JPS6334754A - 光磁気記録媒体の製造法 - Google Patents
光磁気記録媒体の製造法Info
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- JPS6334754A JPS6334754A JP17798086A JP17798086A JPS6334754A JP S6334754 A JPS6334754 A JP S6334754A JP 17798086 A JP17798086 A JP 17798086A JP 17798086 A JP17798086 A JP 17798086A JP S6334754 A JPS6334754 A JP S6334754A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、希土類−遷移金属非晶質磁性合金光磁気記録
媒体の製造法に関する。
媒体の製造法に関する。
従来の光磁気記録媒体の製造においてに、洗浄、ガス出
し等を終え九円盤状透明基体上に、無反射条件をみたす
ように透明誘電体膜を保護層として形成し、その上に希
土類−遷移金属からなる非晶質磁性合金薄膜を記録層と
して、保護膜層表面をプラズマエツチング処理を行なわ
ずに形成していｔ。
し等を終え九円盤状透明基体上に、無反射条件をみたす
ように透明誘電体膜を保護層として形成し、その上に希
土類−遷移金属からなる非晶質磁性合金薄膜を記録層と
して、保護膜層表面をプラズマエツチング処理を行なわ
ずに形成していｔ。
〔発明が解決１−ようとする問題点〕
しかしながら、保護膜層表面をプラズマエツチング処理
をせずに製造されｔ光磁気記録媒体は、ファラデー回転
角やカー回転角の磁場依存性を観察してみると、磁場零
でのファラデー回転角やカー、回転角（そｎぞ几残留フ
ァラデー回転角、残留力６−回転角と呼ぶ）や保磁力が
小さくなり、″１几ル・−ブの角型性が悪＜’ＩＦ）、
磁性膜の本来もつ性能が充分生かされない。このように
静特性が悪くなると必然的にＣ／Ｎ比等の動特性もさが
ってしまい、好ましくない。さらに長期信頼性において
重要な耐候性も悪くしており、好ましく逐い。
をせずに製造されｔ光磁気記録媒体は、ファラデー回転
角やカー回転角の磁場依存性を観察してみると、磁場零
でのファラデー回転角やカー、回転角（そｎぞ几残留フ
ァラデー回転角、残留力６−回転角と呼ぶ）や保磁力が
小さくなり、″１几ル・−ブの角型性が悪＜’ＩＦ）、
磁性膜の本来もつ性能が充分生かされない。このように
静特性が悪くなると必然的にＣ／Ｎ比等の動特性もさが
ってしまい、好ましくない。さらに長期信頼性において
重要な耐候性も悪くしており、好ましく逐い。
そこで本発明はこのような問題点を解決するもので、そ
の目的とするところは、希土類−遷移金属を主たる成分
とでる非晶質磁性合金薄膜光磁気記録層の本来の性能、
特性を出し、耐候性に秀れ次光磁気記録媒体の製造法を
提供することにある。
の目的とするところは、希土類−遷移金属を主たる成分
とでる非晶質磁性合金薄膜光磁気記録層の本来の性能、
特性を出し、耐候性に秀れ次光磁気記録媒体の製造法を
提供することにある。
〔間稙を解決する定めの手段〕
円盤状透明基体上に形成され几透明誘電体膜表面上に、
希土類−遷移金属を主たる成分とする非晶質合金記録藁
を形成する直前に、該誘電体膜表面を、適切なパワー、
適切な時間、高周波でエツチングすることを特徴とする
。
希土類−遷移金属を主たる成分とする非晶質合金記録藁
を形成する直前に、該誘電体膜表面を、適切なパワー、
適切な時間、高周波でエツチングすることを特徴とする
。
〔実施例１〕
実施例により、本発明の効果について述べる。
第１図に本発明実施例における光磁気記録媒体の構造を
示す。本発明実施例では円盤状透明基体としてポリカー
ボネイト基板、透明誘電体膜として、窒化アルミニウム
と窒化ケイ素の混合物をもちいた。記録膜の成膜はすべ
て溶解・鋳造ターゲットをもちいて行なつ之。作製した
光磁気記録媒体の組成を第１表に示す。それぞれの組成
で、誘電体保護膜表面をプラズマエツチングをしたもの
としないものの２種類を作製した。プラズマエツチング
の条件１１、Ａｔガス圧２７）ｙ Ｔｏｒｒ ＋パワー
０゜１Ｗ／ ｃｙｎ”で１０分間であつ几。
示す。本発明実施例では円盤状透明基体としてポリカー
ボネイト基板、透明誘電体膜として、窒化アルミニウム
と窒化ケイ素の混合物をもちいた。記録膜の成膜はすべ
て溶解・鋳造ターゲットをもちいて行なつ之。作製した
光磁気記録媒体の組成を第１表に示す。それぞれの組成
で、誘電体保護膜表面をプラズマエツチングをしたもの
としないものの２種類を作製した。プラズマエツチング
の条件１１、Ａｔガス圧２７）ｙ Ｔｏｒｒ ＋パワー
０゜１Ｗ／ ｃｙｎ”で１０分間であつ几。
第１表
第２表に第１表の記録媒体のファラデ一方式による再生
信号のＣＮ比を示す。なお、線速４．７ｍ／ ｓｅｅ、
記録周波数ＩＭＨｚ分解能帯域幅３０ Ｋ ＨＺである
。表２かられかるように、誘電体保護層表面をプラズマ
エツチングすることＶＣより、ＣＮ比が３〜４．５ｄＢ
向上することがわかり、エツチングの効果がはっきり認
められ几。第２図に試料番号１のファラデー回転角の磁
場依存性を示す。これから、再生信号のシグナル強度に
エラチンフカ効果があることがわかる。
信号のＣＮ比を示す。なお、線速４．７ｍ／ ｓｅｅ、
記録周波数ＩＭＨｚ分解能帯域幅３０ Ｋ ＨＺである
。表２かられかるように、誘電体保護層表面をプラズマ
エツチングすることＶＣより、ＣＮ比が３〜４．５ｄＢ
向上することがわかり、エツチングの効果がはっきり認
められ几。第２図に試料番号１のファラデー回転角の磁
場依存性を示す。これから、再生信号のシグナル強度に
エラチンフカ効果があることがわかる。
第２表
〔実施例２〕
試料番号１と同じ組成で、誘電体膜表面のエツチング時
のパワーを変えて、光磁気記録媒体を作製した。その光
磁気記録媒体のＣＮ比を実施例１と同様な方法で評価し
た。エツチングのパワーとＣＮ比との関係を第３図に示
す。エツチングばＡｒガスでガス圧２ｍＴｏｒｒ、１０
分間行つ之。図かられかるようにあ１り高いパワーで行
なうトＣＮ比が低下でるが、これにエツチングにより、
ノー（ズが高くなるためと考えられる。
のパワーを変えて、光磁気記録媒体を作製した。その光
磁気記録媒体のＣＮ比を実施例１と同様な方法で評価し
た。エツチングのパワーとＣＮ比との関係を第３図に示
す。エツチングばＡｒガスでガス圧２ｍＴｏｒｒ、１０
分間行つ之。図かられかるようにあ１り高いパワーで行
なうトＣＮ比が低下でるが、これにエツチングにより、
ノー（ズが高くなるためと考えられる。
〔実施例５〕
試料番号１及び４と同じ組成で誘電体表面をエツチング
をしたおよびＩ−ない光磁気記録媒体を作製し、恒温恒
湿槽内で温度６０℃、相対湿度９０チの環境におき、Ｃ
Ｎ比の変化を測定しｔｏエツチングの条件げ、高周波０
．１ Ｗ、／ｃｄ、 １ ［１分、アルゴンガス圧２ｍ
Ｔｏｒｒであった。ＣＮ比の測定は実施例１と同様にお
こなった。ＣＮ比の経時変化を第４図に示す。図かられ
かるようにエツチングｋＬｆｆものけエツチングをしな
いものに比べて、ＣＮ比の落ちが非常に少なく、エツチ
ングが信頼性の面においても効果があることがわかった
。
をしたおよびＩ−ない光磁気記録媒体を作製し、恒温恒
湿槽内で温度６０℃、相対湿度９０チの環境におき、Ｃ
Ｎ比の変化を測定しｔｏエツチングの条件げ、高周波０
．１ Ｗ、／ｃｄ、 １ ［１分、アルゴンガス圧２ｍ
Ｔｏｒｒであった。ＣＮ比の測定は実施例１と同様にお
こなった。ＣＮ比の経時変化を第４図に示す。図かられ
かるようにエツチングｋＬｆｆものけエツチングをしな
いものに比べて、ＣＮ比の落ちが非常に少なく、エツチ
ングが信頼性の面においても効果があることがわかった
。
〔発明の効果〕
以上述べたように発明によｎば、希土類−遷移金属系の
光磁気記録媒体の性能を充分ひきだすことが可能で、ま
之長期信頼性も向上ζせるという効果を有する。
光磁気記録媒体の性能を充分ひきだすことが可能で、ま
之長期信頼性も向上ζせるという効果を有する。
第１図は、本発明の実施、ｆｌＪで用いた光磁気記録媒
体の構造を示す図。 第２図（ａ） 、 （ｂ）に、それぞれ、本発明の製造
方法を用いた光磁気記録媒体と従来の製造方法Ｖ（′：
＾【）光磁気記録媒体のファラデー回転角のｆｆｌ場依
存性Ωを表わす図。 第３図は、本発明の製造方法を用いた光磁気記録媒体の
エツチング時のパワーのＣＮ比に対′する影響をあられ
丁図。 第４図は、本発明の製造方法を用いた光磁気記録媒体と
従来の発明法による光磁気記録媒体１７）、温度６０℃
、湿度９０チでのＣＮ比の時間変化なあられ丁図。なお
、・、０は試料番号１、ム、へは試料番号４をあられ丁
。またそｎ、ぞ几白ぬきに本発明の製造方法を用いて作
製した光＠気記録媒体、黒ぬりは従来の製造方法により
製造１〜た光磁気記録媒体を表わす。 １・・・・・・窒化シリコン＋窒化アル（ニウムの層（
厚さ１０００Ａ） ２・・・・・・記録層（５００人） ３・・・・・・窒化シリコン＋窒化アルミニウムの層（
１ｏｏＯＡ） ４・・・・・・透明基体（ポリ力・−ボネイト）以上 出願人 セイコーエブンン株式会社 寓１ 図
体の構造を示す図。 第２図（ａ） 、 （ｂ）に、それぞれ、本発明の製造
方法を用いた光磁気記録媒体と従来の製造方法Ｖ（′：
＾【）光磁気記録媒体のファラデー回転角のｆｆｌ場依
存性Ωを表わす図。 第３図は、本発明の製造方法を用いた光磁気記録媒体の
エツチング時のパワーのＣＮ比に対′する影響をあられ
丁図。 第４図は、本発明の製造方法を用いた光磁気記録媒体と
従来の発明法による光磁気記録媒体１７）、温度６０℃
、湿度９０チでのＣＮ比の時間変化なあられ丁図。なお
、・、０は試料番号１、ム、へは試料番号４をあられ丁
。またそｎ、ぞ几白ぬきに本発明の製造方法を用いて作
製した光＠気記録媒体、黒ぬりは従来の製造方法により
製造１〜た光磁気記録媒体を表わす。 １・・・・・・窒化シリコン＋窒化アル（ニウムの層（
厚さ１０００Ａ） ２・・・・・・記録層（５００人） ３・・・・・・窒化シリコン＋窒化アルミニウムの層（
１ｏｏＯＡ） ４・・・・・・透明基体（ポリ力・−ボネイト）以上 出願人 セイコーエブンン株式会社 寓１ 図
Claims (4)
- （１）すくなくとも円盤状透明基体上に、保護層として
透明誘電体膜層を形成し、その上に膜面に垂直な方向に
磁気異方性を有する希土類−遷移金属非晶質合金を主た
る成分とする記録層を形成した構造をその一部にもつ光
磁気記録媒体の製造において、該記録層を形成する直前
に、該保護層表面に、Ｈｅ、ＡｒおよびＮｅガスの１種
又は２種以上の混合ガスを用いて、プラズマエッチング
を行なうことを特徴とする光磁気記録媒体の製造方法。 - （２）前記記録層を構成する希土類金属が、軽希土類金
属Ｎｄ、Ｓｍ、Ｐｒ、Ｃｅのうち１種類以上、重希土類
金属Ｔｂ、Ｇｄ、Ｄｙのうち１種類以上からなることを
特徴とする特許請求範囲第一項記載の光磁気記録媒体の
製造法。 - （３）特許請求範囲第二項記載の非晶質磁性合金の遷移
金属が、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉのうち１種類以上からなるこ
とを特徴とする特許請求範囲第一項記載の光磁気記録媒
体の製造法。 - （４）前記非晶質磁性合金に原子比で０〜６％のＴｉ、
Ｂ、Ｓｉ、Ｃｒ、Ａｌ、Ｓｍ、Ｐｂ、ＢｉのうちＴｉを
必ず含むを特徴とする特許請求範囲第一項記載の光磁気
記録媒体の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61177980A JPH0746447B2 (ja) | 1986-07-29 | 1986-07-29 | 光磁気記録媒体の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61177980A JPH0746447B2 (ja) | 1986-07-29 | 1986-07-29 | 光磁気記録媒体の製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6334754A true JPS6334754A (ja) | 1988-02-15 |
| JPH0746447B2 JPH0746447B2 (ja) | 1995-05-17 |
Family
ID=16040431
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61177980A Expired - Lifetime JPH0746447B2 (ja) | 1986-07-29 | 1986-07-29 | 光磁気記録媒体の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0746447B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4919451A (en) * | 1987-08-05 | 1990-04-24 | Kabushiki Kaisha Tokai-Rika-Denki-Seisakusho | Automatic seat belt device |
| US5226306A (en) * | 1990-02-15 | 1993-07-13 | Nobuo Yoshino | Bead forming metal die for forming metal gasket |
| JPH07182711A (ja) * | 1994-01-17 | 1995-07-21 | Mitsubishi Chem Corp | 光磁気記録媒体の製造方法 |
| US5815343A (en) * | 1993-07-22 | 1998-09-29 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording medium, process for producing the same and magnetic recording system |
| US5848563A (en) * | 1992-07-21 | 1998-12-15 | Amada Metrecs Company Limited | Multiple tool for punch press |
| US6331338B1 (en) * | 1995-10-28 | 2001-12-18 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Amorphous alloy of light rare earth-transition metal and semi-metal, magneto-optical recording layer made of the alloy, and magneto-optical disk adopting the layer |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61196439A (ja) * | 1985-02-25 | 1986-08-30 | Toshiba Corp | 光磁気記録媒体とその製造方法 |
-
1986
- 1986-07-29 JP JP61177980A patent/JPH0746447B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61196439A (ja) * | 1985-02-25 | 1986-08-30 | Toshiba Corp | 光磁気記録媒体とその製造方法 |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4919451A (en) * | 1987-08-05 | 1990-04-24 | Kabushiki Kaisha Tokai-Rika-Denki-Seisakusho | Automatic seat belt device |
| US5226306A (en) * | 1990-02-15 | 1993-07-13 | Nobuo Yoshino | Bead forming metal die for forming metal gasket |
| US5347888A (en) * | 1990-02-15 | 1994-09-20 | Nobuo Yoshino | Method for forming a bead forming die |
| US5848563A (en) * | 1992-07-21 | 1998-12-15 | Amada Metrecs Company Limited | Multiple tool for punch press |
| US5815343A (en) * | 1993-07-22 | 1998-09-29 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording medium, process for producing the same and magnetic recording system |
| JPH07182711A (ja) * | 1994-01-17 | 1995-07-21 | Mitsubishi Chem Corp | 光磁気記録媒体の製造方法 |
| US6331338B1 (en) * | 1995-10-28 | 2001-12-18 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Amorphous alloy of light rare earth-transition metal and semi-metal, magneto-optical recording layer made of the alloy, and magneto-optical disk adopting the layer |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0746447B2 (ja) | 1995-05-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |