JPH0747865Y2 - ウエハ貼付装置 - Google Patents
ウエハ貼付装置Info
- Publication number
- JPH0747865Y2 JPH0747865Y2 JP1989131256U JP13125689U JPH0747865Y2 JP H0747865 Y2 JPH0747865 Y2 JP H0747865Y2 JP 1989131256 U JP1989131256 U JP 1989131256U JP 13125689 U JP13125689 U JP 13125689U JP H0747865 Y2 JPH0747865 Y2 JP H0747865Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- heater
- heat medium
- wax
- reinforcing plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 GaAsウエハは薄板化するために研削を行うが、このため
に補強板を貼付ける作業が行われる。この考案はこのGa
Asウエハと補強板を貼付けるのに使用されるウエハ貼付
装置に関するものである。
に補強板を貼付ける作業が行われる。この考案はこのGa
Asウエハと補強板を貼付けるのに使用されるウエハ貼付
装置に関するものである。
第２図は従来のウエハ貼付装置の構成を示す断面図で、
図において、１はGaAsウエハ（以下ウエハという）、２
はこのウエハ１に塗布されるワックス、３はウエハ１と
貼付けられる補強板であり、11は上部ヒーター部、12は
下部ヒーター部、13,14はこれらのヒーター部11,12に取
付けられたカートリッジヒーターと冷却管である。
図において、１はGaAsウエハ（以下ウエハという）、２
はこのウエハ１に塗布されるワックス、３はウエハ１と
貼付けられる補強板であり、11は上部ヒーター部、12は
下部ヒーター部、13,14はこれらのヒーター部11,12に取
付けられたカートリッジヒーターと冷却管である。
次に動作について説明する。下部ヒーター部12の上に補
強板３を載せ、次にその上に、ワックス２の塗布された
ウエハ１をワックス２が補強板３に面する様に載せる。
そしてカートリッジヒーター13でワックス２の軟化を行
う。なおカートリッジヒーター13は予め加熱しておいて
も良い（上部ヒーター部11内も含む）。また、本作業は
真空チャンバー内で行う方が貼付け精度上良好である。
このようにしてワックス２の軟化が完了すると、上部ヒ
ーター部11を下降させて（図示せず）、ウエハ１と補強
板３を貼付ける。
強板３を載せ、次にその上に、ワックス２の塗布された
ウエハ１をワックス２が補強板３に面する様に載せる。
そしてカートリッジヒーター13でワックス２の軟化を行
う。なおカートリッジヒーター13は予め加熱しておいて
も良い（上部ヒーター部11内も含む）。また、本作業は
真空チャンバー内で行う方が貼付け精度上良好である。
このようにしてワックス２の軟化が完了すると、上部ヒ
ーター部11を下降させて（図示せず）、ウエハ１と補強
板３を貼付ける。
規定の貼付けが完了すると、ウエハ１と補強板３を貼付
けるワックス２を冷却硬化させる為に上部・下部ヒータ
ー部11,12のカートリッジヒーター13を切り、次に冷却
管14に冷却水等を流して冷却を行うことにより全ての貼
付工程を完了する。なお本装置において、ウエハ１と補
強板３の上下位置は逆であっても同様に貼付けは行われ
る。
けるワックス２を冷却硬化させる為に上部・下部ヒータ
ー部11,12のカートリッジヒーター13を切り、次に冷却
管14に冷却水等を流して冷却を行うことにより全ての貼
付工程を完了する。なお本装置において、ウエハ１と補
強板３の上下位置は逆であっても同様に貼付けは行われ
る。
従来のウエハ貼付装置は以上のように構成されているの
で、カートリッジヒーター近傍の温度が高くなり、ヒー
ター部の温度分布が均等でない為にワックスの軟化状態
が面内で異なり、ウエハの貼付け状態が安定せず、ま
た、冷却においても同様で冷却管近傍のみ冷えやすく冷
却効果が悪い等の欠点があり、この為にウエハ貼付け状
態が面内で不均一になってしまうという問題点があっ
た。
で、カートリッジヒーター近傍の温度が高くなり、ヒー
ター部の温度分布が均等でない為にワックスの軟化状態
が面内で異なり、ウエハの貼付け状態が安定せず、ま
た、冷却においても同様で冷却管近傍のみ冷えやすく冷
却効果が悪い等の欠点があり、この為にウエハ貼付け状
態が面内で不均一になってしまうという問題点があっ
た。
この考案は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、均一な加熱と冷却ができるとともにウエハの
貼付けが安定するウエハ貼付装置を得ることを目的とす
る。
たもので、均一な加熱と冷却ができるとともにウエハの
貼付けが安定するウエハ貼付装置を得ることを目的とす
る。
この考案に係るウエハ貼付け装置は、ヒーター部にその
熱を吸収して加熱を均一にするための熱媒体を用い、か
つこの熱媒体を循環するようにすると共に、当該熱媒体
を冷却する冷却機構を設けたものである。
熱を吸収して加熱を均一にするための熱媒体を用い、か
つこの熱媒体を循環するようにすると共に、当該熱媒体
を冷却する冷却機構を設けたものである。
この考案におけるウエハ貼付装置は、加熱源のヒーター
により加熱し、その熱を媒体を通してヒーター部を均等
に加熱なさしめ、かつその媒体を循環させることにより
均一に冷却を行う。
により加熱し、その熱を媒体を通してヒーター部を均等
に加熱なさしめ、かつその媒体を循環させることにより
均一に冷却を行う。
以下、この考案の一実施例を図について説明する。第１
図において、1,2,3は従来例のものと同一であり、４は
上部ヒーター部、５は下部ヒーター部、６はこれら上部
・下部ヒーター部内に充填されたシリコーン油等の熱媒
体で、その中にカートリッジヒーター13が配設されてい
る。７はこの熱媒体６を循環させるポンプ、８は熱媒体
６を貯めるタンク、９はタンク８内の熱媒体６を冷却す
る冷却管である。
図において、1,2,3は従来例のものと同一であり、４は
上部ヒーター部、５は下部ヒーター部、６はこれら上部
・下部ヒーター部内に充填されたシリコーン油等の熱媒
体で、その中にカートリッジヒーター13が配設されてい
る。７はこの熱媒体６を循環させるポンプ、８は熱媒体
６を貯めるタンク、９はタンク８内の熱媒体６を冷却す
る冷却管である。
次に動作について説明する。ウエハ１と補強板３の設定
は従来例と同様であるので説明を省略する。ウエハ１と
補強板３の設定が完了すると、カートリッジヒーター13
によって上部・下部ヒーター部4,5内の熱媒体６を加熱
し、ヒーター全面を均等に加熱する。なおこのとき従来
例と同様に熱媒体６はカートリッジヒーター13で予め加
熱しておいても良い。また、本作業は真空チャンバー内
で行う方が貼付精度上良好である。以上のようにして、
ワックス２の軟化が完了すると、上部ヒーター部４を下
降させて（図示せず）、ウエハ１と補強板３を貼付け
る。
は従来例と同様であるので説明を省略する。ウエハ１と
補強板３の設定が完了すると、カートリッジヒーター13
によって上部・下部ヒーター部4,5内の熱媒体６を加熱
し、ヒーター全面を均等に加熱する。なおこのとき従来
例と同様に熱媒体６はカートリッジヒーター13で予め加
熱しておいても良い。また、本作業は真空チャンバー内
で行う方が貼付精度上良好である。以上のようにして、
ワックス２の軟化が完了すると、上部ヒーター部４を下
降させて（図示せず）、ウエハ１と補強板３を貼付け
る。
規定の貼付けが完了すると、ウエハ１と補強板３を貼付
けるワックス２を冷却硬化させる為に上部・下部ヒータ
ー部4,5のカートリッジヒーター13を切り、次にタンク
８内の熱媒体６をポンプ７によって上部・下部ヒーター
部4,5に循環させて均等に冷却し、全ての貼付工程を終
了する。なおタンク８に戻ってきた温度の高い熱媒体６
はタンク８内に設置されている冷却管９に水等を流し冷
却する。またポンプ７はタンク８の送り側に設定するこ
とによって、特に高温仕様のものにする必要がなく、安
価に装置を構成できる。
けるワックス２を冷却硬化させる為に上部・下部ヒータ
ー部4,5のカートリッジヒーター13を切り、次にタンク
８内の熱媒体６をポンプ７によって上部・下部ヒーター
部4,5に循環させて均等に冷却し、全ての貼付工程を終
了する。なおタンク８に戻ってきた温度の高い熱媒体６
はタンク８内に設置されている冷却管９に水等を流し冷
却する。またポンプ７はタンク８の送り側に設定するこ
とによって、特に高温仕様のものにする必要がなく、安
価に装置を構成できる。
以上のようにこの考案によれば、加熱部をヒーターと熱
媒体により構成したので、均等な加熱が行われ、また熱
媒体を循環して冷却するようにしたので、冷却も均等か
つ短時間に行われ、これらによってウエハの貼付け精度
が向上し、品質の安定化並びにコストダウンが図れるな
どのすぐれた効果がある。
媒体により構成したので、均等な加熱が行われ、また熱
媒体を循環して冷却するようにしたので、冷却も均等か
つ短時間に行われ、これらによってウエハの貼付け精度
が向上し、品質の安定化並びにコストダウンが図れるな
どのすぐれた効果がある。
特にこの考案によれば、ワックス全体を安定に加熱する
ことで、ワックスによる貼付精度の向上が図れ、かつ昇
温、冷却を徐々に行い熱ストレスの発生を防止し得る。
ことで、ワックスによる貼付精度の向上が図れ、かつ昇
温、冷却を徐々に行い熱ストレスの発生を防止し得る。
第１図はこの考案の一実施例によるウエハ貼付装置の構
成を示す図で、第２図は従来のウエハ貼付装置の断面図
である。 図中、１はウエハ、２はワックス、３は補強板、４は上
部ヒーター部、５は下部ヒーター部、６は熱媒体、７は
ポンプ、８はタンク、９は冷却管、13はカートリッジヒ
ーターである。 なお、図中同一符号は同一又は相当部分を示す。
成を示す図で、第２図は従来のウエハ貼付装置の断面図
である。 図中、１はウエハ、２はワックス、３は補強板、４は上
部ヒーター部、５は下部ヒーター部、６は熱媒体、７は
ポンプ、８はタンク、９は冷却管、13はカートリッジヒ
ーターである。 なお、図中同一符号は同一又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 【請求項１】ウエハの裏面に塗布されたワックスを介し
て補強板を貼付ける装置であって、これらの上面と下面
に、カートリッジヒーターを内蔵した上部ヒーター部と
下部ヒーター部を押し当てて上記ワックスを軟化させる
ことにより接着するようにしたものにおいて、上記カー
トリッジヒーターを、該カートリッジヒーターの熱を吸
収して加熱状態を均一にならしめる熱媒体中に配設し、
上記熱媒体を上記ヒーター部とタンク間で循環させるポ
ンプを設け、上記タンク内に上記熱媒体を冷却する冷却
管を配置したことを特徴とするウエハ貼付装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989131256U JPH0747865Y2 (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 | ウエハ貼付装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989131256U JPH0747865Y2 (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 | ウエハ貼付装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0369226U JPH0369226U (ja) | 1991-07-09 |
| JPH0747865Y2 true JPH0747865Y2 (ja) | 1995-11-01 |
Family
ID=31678775
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989131256U Expired - Lifetime JPH0747865Y2 (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 | ウエハ貼付装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0747865Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI573662B (zh) * | 2011-03-25 | 2017-03-11 | 不二越機械工業股份有限公司 | 工作件之貼附方法以及貼附裝置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007150132A (ja) * | 2005-11-30 | 2007-06-14 | Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial System Corp | 均熱装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62252945A (ja) * | 1986-04-25 | 1987-11-04 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 被加工材の仮止め着脱方法 |
-
1989
- 1989-11-10 JP JP1989131256U patent/JPH0747865Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI573662B (zh) * | 2011-03-25 | 2017-03-11 | 不二越機械工業股份有限公司 | 工作件之貼附方法以及貼附裝置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0369226U (ja) | 1991-07-09 |
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