JPS6179626A - 樹脂基板のアニ−リング装置 - Google Patents

樹脂基板のアニ−リング装置

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JPS6179626A
JPS6179626A JP20346084A JP20346084A JPS6179626A JP S6179626 A JPS6179626 A JP S6179626A JP 20346084 A JP20346084 A JP 20346084A JP 20346084 A JP20346084 A JP 20346084A JP S6179626 A JPS6179626 A JP S6179626A
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JP
Japan
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resin substrate
heater
resin base
heating body
heating
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JP20346084A
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Yoshifumi Uryu
瓜生 良文
Haruo Kobayashi
春夫 小林
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Idemitsu Petrochemical Co Ltd
Original Assignee
Idemitsu Petrochemical Co Ltd
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Publication date
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C71/00—After-treatment of articles without altering their shape; Apparatus therefor
    • B29C71/02—Thermal after-treatment
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C53/00—Shaping by bending, folding, twisting, straightening or flattening; Apparatus therefor
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  • Thermal Sciences (AREA)
  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
  • Processing And Handling Of Plastics And Other Materials For Molding In General (AREA)
  • Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、光ディスクの基板として成形された樹脂基板
を加熱処理して残留応力の除去等を行うアニーリング装
置に関する。
[背景技術とその問題点コ 近年、光メモリ−ディスクの基板としてポリカーボネー
ト樹脂基板の実用化が検討され、ている、光ディスクの
透明な基板にはビーム光が照射され、これにより溝によ
る記憶信号の再生や記憶信号の記録が行われるため、光
ディスクの品質に複屈折が大きく影響する。複屈折は基
板内部の残留応力によって生じるため、成形された樹脂
基板から残留応力を除去することが必要とされる。
また、光ディスクの高記録密度化を図るためには、前記
ビーム光の焦点制御を非常に厳しいものとするとともに
樹脂基板の平面精度を高度化することが必要で、樹脂基
板の面振れを低減して高度の平面精度を確保しなければ
ならない。
成形された樹脂基板の残応力の除去、平面精度の矯正を
行うためにアニーリング処理が行われるが、従来のアニ
ーリング法として熱プレス法と回転法が知られている。
前者は2枚の金型で樹脂基板を挟み、熱と圧力を樹脂基
板に与える方法である。これによると樹脂基板に形成さ
れた記憶信号用の案内溝が圧力によって破壊されるおそ
れがあり、また金型との密着むらによるへこみが樹脂基
扱に生じ易いという問題がある。後者は一定温度下で樹
脂基板を高速回転させる方法である。これによると樹脂
基板の回転中心からの距離に従って遠心力が変化するた
め樹脂基板に作用する応力が均一ではなく、平面精度の
矯正に難点がある。
[発明の目的] 本発明の目的は、樹脂基板の残留応力を低減でき、且つ
これを樹脂基板の平面精度の矯正、高度化を達成しなが
ら行え、光ディスクの高品質化、高記録害度化に資する
樹脂基板の7ニーリング装置°Iy1を提供するところ
にある。
[問題点を解決するための手段および作用]このため本
発明の構成は、樹脂基板を!II!置する加熱体と、こ
の加熱体を配置する基台とからなり、加熱体と基台との
間の空間を真空吸引し、これにより樹脂基板を加熱体に
吸着させるところに特徴を有する。
黄するに本発明では、樹脂基板を加熱体で加熱すること
により残留応力を除去し、この除去を加熱体に樹脂基板
を吸着させながら行うようにし、このため加熱体の平面
精度により樹脂基板の平面精度の改善を図ることができ
、且つ前記吸着によって樹脂基板の熱収縮の防止をも図
ることができる。
[実施例] 第1図、第2図に本実施例に係る装置が示されている。
第1図は半裁平面図で、第2図は縦断面図である。この
装置によってアニーリング処理される樹脂基板1は、熱
可塑性のポリカーボネート樹脂等を材ネ1として一対の
型による射出圧縮成形法によって成形されたもので、こ
の成形時、型に取付けたスタンパから記憶信号用の案内
溝が転写される。この転写による案内溝は樹脂基板1の
一方の面lAに形成されている。
樹脂ノ、(板lが戴置される加熱体2は樹脂基板1の形
状と対応して円板状に形成される。この加熱体2の内部
には熱媒体流通用の通孔3が穿設され、通孔3にシリコ
ン、ビフェニル、フェニルエーテル等の熱媒体が流通ず
ることにより加熱体2は所定温度に昇温せしめられる。
樹脂基板lの載置面である加熱体2の上面2Aは高度に
平面仕上加工されており、このため、この上面2Aの平
面精度は高度化されている。
加熱体2を配置する基台4は盤状になっており、底部4
Aの端部に垂直な周側壁4Bが形成されているため、基
台4には上面が開口した凹部5が設けられている。リン
グ状をなす周側壁4Bには吸気孔6が貫通穿設され、こ
の吸気孔6に真空ポンプ等の吸気手段に連なる気通路7
が接続される。基台4の四部5の中央には同心円状に三
段の段部8A 、8B 、8Cが形成された第1の加熱
体支持部材8が配置され、また凹部5の外端部寄りには
第2の加熱体支持部材9が配置される。この第2の加熱
体支持部材9はfJS1図の通り基台4の周側壁4Bに
沿って円周方向に複数個設けられる。
加熱体2の中央に形成された中心孔2Bに第、lの加熱
体支持部材8の中段部8Bが挿入されることにより、加
熱体2の中央部分が下段部8cの上面8Dに・成せられ
る。これとともに加熱体2の外端部付近が第2の加熱体
支持部材9の上面に載せられる。これにより、凹部5の
内部において加熱体2は2種類の加熱体支持部材8,9
で支持されながら基台4に配置されることとなり、この
配置は加熱体2と基台4の底部4Aとの間に空間10を
設けて行われる0以上により四部5の上面開口部は加熱
体2によって閉塞されることとなるが、第1の加熱体支
持部材8の中段部8Bの外周面と加熱体2の中心孔2B
との間、及び基台4の周側壁4Bの内周面と加熱体2の
外周面との間に隙間11.12が確保される。また、第
1の加熱体支持部材8の下段部8Cの上面8Dと加熱体
2の下面との間にも隙間13が設けられる。前記隙間1
1.12は加熱体2、基台4の周側壁4B、及び第1の
加熱体支持部材2の中段部8Bのそれぞねの径寸法を適
宜に設定することにより設けられ、隙間13は第1の加
熱体支持部材8の下段部8Cの上面8Dに微小凹凸や微
小溝等を形成することにより設けられる。
樹脂基板lの中心孔IBに第1の加熱体支持i?)材8
の上段部8Aが挿入され、樹脂基板lの外端部が保J、
)体4の周側壁4Bの上面に形成された平坦段部4Cに
載せられる。これにより樹脂基板1は加熱体2に載置さ
れ、アニーリング処理の準備つ1整う。尚、この加熱体
2への樹脂基板lのa置、よ、前記記憶信号用案内溝が
形成された面IAを土向きにして行う。
前記吸気手段を駆動し、吸気孔6から前記空間IOの空
気を排出する。この結果、空間loが真空吸引されると
ともに、前記隙間13.及び隙間11.12を介して加
熱体2の、上面2A側に存在する空気も吸引され、この
ため樹脂基板lが加熱体2の1−面2Aに吸着される。
この後、加熱体2つ前記通孔3に熱媒体を流通させて加
熱体2を昇711!させる。これにより樹脂基板1を加
熱体2により加熱する。樹脂基板lの材料がポリヵーポ
ネーi・樹脂の場合、この加熱温度を140−180 
’0.。
とじ、加熱時間を30〜60分とする。この加熱A理に
よって樹脂基板lの残留応力は低減される。
また、この加熱処理は加熱体2の上面2Aに樹脂基板1
が吸着されながら行われ、加熱体のこの上面2Aは前述
の通り高度の平面精度を備えた面となっているため、樹
脂基板lは上面2Aと略同じの高度の平面精度に矯正さ
れることになり、IA脂基板1の面振れの発生、そりの
発生が防止される。更に、樹脂基板lの加熱は前記吸着
によって加熱体2に樹脂基板lが固定された状態で行わ
れるため、加熱による樹脂基板lの熱収縮を極めて小さ
なものに抑えることができる。
以上に加えて、樹脂基板lは記憶信号用の案内溝が形成
された面IAを上向きにして加熱体2に吸着され、この
面IAは加熱体2に接触しないため、案内jIsiが破
壊されることはない。
以上の加熱処理後、加熱体2の通孔3における熱媒体の
流通を中止し、樹脂基板lを冷却させる。この冷却は自
然冷却でもよく、或いは加熱体2の通孔3に冷却媒体を
流通させたり、加熱体2から取外した樹脂基板1を冷却
用の型に押出てたり等する強制冷却でもよい。
以上のようにしてアーニング処理された樹脂基板は光デ
ィスクの基板として使用される場合、残留応力の低減に
よって複屈折が1/8〜1/3に、例えば複屈折60n
wがlO〜20nmに減少しており、また樹脂基板の熱
収縮率は1.5%以下の極めて小さな値に抑えられてい
る。
本実施例の加熱体は内部の通孔に熱媒体を流通させるf
A流体方式によるものであったが、内部に′−L8線を
設けた電熱方式によるものでもよい、要すれば載置され
た樹脂基板を加熱処理できるものであればよい、また、
加熱体を基台に配置する構造は本実施例のものに限定さ
れず、任意な構造とすることができ、更に加熱体、基台
の形状は任意なものでよく、要すれば、加熱体が基台に
配置され、加熱体と基台との間に真空吸引される空間が
できるものであればよい。
[発明の効果] 本発明によれば、樹脂基板の残留応力が低減されるため
光ディスクの複屈折を減少でき、従って光ディスクの品
質を向上でき、更に樹脂基板の平面精度が矯11゛され
この平面精度が向上するため、光ディスクの高記録密度
化を実現することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
図面は一実施例を示し、第1図は装置の半裁外面図、第
2図は装置の縦断面図である。 l・・・樹脂基板、IA・・・案内溝が形成された面。 2・・・加熱体、3・・・熱媒体の通孔、4・・・基台
、6・・吸気孔、io・・・空間。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)樹脂基板を載置する加熱体と、この加熱体を配置
    する基台とからなり、前記加熱体とこの基台との間の空
    間を真空吸引して前記樹脂基板を前記加熱体に吸着させ
    ることを特徴とする樹脂基板のアニーリング装置。
  2. (2)前記特許請求の範囲第1項において、前記樹脂基
    板は案内溝が形成された面を上向きにして前記加熱体に
    載置されることを特徴とする樹脂基板のアニーリング装
    置。
JP20346084A 1984-09-28 1984-09-28 樹脂基板のアニ−リング装置 Granted JPS6179626A (ja)

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JPS6179626A true JPS6179626A (ja) 1986-04-23
JPH0367615B2 JPH0367615B2 (ja) 1991-10-23

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Cited By (4)

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