JPH0748074B2 - プローブ装置 - Google Patents
プローブ装置Info
- Publication number
- JPH0748074B2 JPH0748074B2 JP62178736A JP17873687A JPH0748074B2 JP H0748074 B2 JPH0748074 B2 JP H0748074B2 JP 62178736 A JP62178736 A JP 62178736A JP 17873687 A JP17873687 A JP 17873687A JP H0748074 B2 JPH0748074 B2 JP H0748074B2
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- JP
- Japan
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- unit
- loader
- probing
- reference level
- section
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- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はユニット化されて独立した機構（ユニット）か
ら成るローダ部とプロービング部とを組合せて一つのプ
ローブ装置を構成するための機構に関する。
ら成るローダ部とプロービング部とを組合せて一つのプ
ローブ装置を構成するための機構に関する。
［従来の技術及び発明が解決しようとする問題点］ 現在、半導体チップの検査装置であるプローバ、ハンド
ラ等の装置は被試験体の搬送部、測定部、操作部等が一
体となった装置が普及している。しかしこれら装置の測
定部は被試験体の種類に応じて専用の機種が必要とされ
るが搬送部、操作部等は各種被試験体に汎用の場合が多
く、このため、これら装置の各部を切り離してユニット
化し、例えば測定部のみを被試験体に応じて複数台設置
し、搬送部、操作部は各１個ずつ備え、必要に応じユニ
ット化された各部を組み合わせて一つの装置として使用
することにより汎用ユニットの有効利用とスペース及び
コストの軽減を図ることが望まれており、このような要
請に伴ない装置のユニット化が実現しつつある。
ラ等の装置は被試験体の搬送部、測定部、操作部等が一
体となった装置が普及している。しかしこれら装置の測
定部は被試験体の種類に応じて専用の機種が必要とされ
るが搬送部、操作部等は各種被試験体に汎用の場合が多
く、このため、これら装置の各部を切り離してユニット
化し、例えば測定部のみを被試験体に応じて複数台設置
し、搬送部、操作部は各１個ずつ備え、必要に応じユニ
ット化された各部を組み合わせて一つの装置として使用
することにより汎用ユニットの有効利用とスペース及び
コストの軽減を図ることが望まれており、このような要
請に伴ない装置のユニット化が実現しつつある。
ところで、このようなユニットを組み合わせる場合、問
題となるのは各ユニット間の位置合わせで、特に例えば
プローバのローダとプロービングステージのような場
合、XYZ方向の位置決めを精度良く行うことが必要とさ
れるが、例えばＺ方向のずれはローダ又はプロービング
部いずれか一方の支持脚をそれぞれネジ等により調整し
なければならず、多大の手間と時間を要していた。
題となるのは各ユニット間の位置合わせで、特に例えば
プローバのローダとプロービングステージのような場
合、XYZ方向の位置決めを精度良く行うことが必要とさ
れるが、例えばＺ方向のずれはローダ又はプロービング
部いずれか一方の支持脚をそれぞれネジ等により調整し
なければならず、多大の手間と時間を要していた。
また、ローダ部とプロービング部とを機械的な結合によ
って位置決めし連結する機構では、ローダ部における搬
送機構の振動がプロービング部に伝わり、測定に影響を
与える可能性があった。
って位置決めし連結する機構では、ローダ部における搬
送機構の振動がプロービング部に伝わり、測定に影響を
与える可能性があった。
本発明はこのような従来の難点に鑑みなされたもので、
２以上のユニットを組み合わせて一つのプローブ装置と
して使用する場合にそれらユニットを互いに容易に位置
決めできる機構を備えたプローブ装置を提供することを
目的とする。
２以上のユニットを組み合わせて一つのプローブ装置と
して使用する場合にそれらユニットを互いに容易に位置
決めできる機構を備えたプローブ装置を提供することを
目的とする。
［問題点を解決するための手段］ このような目的を達成するため本発明のプローブ装置
は、それぞれ独立した機構から成るプロービング部とロ
ーダ部とを備えたプローブ装置において、前記プロービ
ング部は基準レベルを保持する手段を有すると共に、前
記ローダ部は前記基準レベルに対して前記ローダ部を垂
直方向に移動させる駆動手段と前記基準レベルを保持す
る手段を検知する検知手段とを備えたことを特徴とす
る。
は、それぞれ独立した機構から成るプロービング部とロ
ーダ部とを備えたプローブ装置において、前記プロービ
ング部は基準レベルを保持する手段を有すると共に、前
記ローダ部は前記基準レベルに対して前記ローダ部を垂
直方向に移動させる駆動手段と前記基準レベルを保持す
る手段を検知する検知手段とを備えたことを特徴とす
る。
［実施例］ 以下、本発明機構をウェハプローバに適用した実施例を
図面を参照して説明する。
図面を参照して説明する。
第１図に示すプローバ１は、それぞれユニット化された
ローダ部２及びこのローダ部２からのウェハが搬送され
るプロービング部３を組み合わせることにより構成され
る装置で、ローダ部２は被試験体である複数のウェハ４
を収納したウェハキャリア５がセットされ、ウェハキヤ
リア５からウェハ４を取り出しロードポジションに搬送
するための搬送手段例えばハンドリングアーム６あるい
はサブチャック（図示せず）などを備えている。
ローダ部２及びこのローダ部２からのウェハが搬送され
るプロービング部３を組み合わせることにより構成され
る装置で、ローダ部２は被試験体である複数のウェハ４
を収納したウェハキャリア５がセットされ、ウェハキヤ
リア５からウェハ４を取り出しロードポジションに搬送
するための搬送手段例えばハンドリングアーム６あるい
はサブチャック（図示せず）などを備えている。
一方、プロービング部３はウェハ４は搭載するためのチ
ャック７及びチャック７をXY方向に駆動するためXYステ
ージ８を備え、更にチャック７上のウェハをXYステージ
８のXY軸に合致させるためのアライメント部９が備えら
れている。
ャック７及びチャック７をXY方向に駆動するためXYステ
ージ８を備え、更にチャック７上のウェハをXYステージ
８のXY軸に合致させるためのアライメント部９が備えら
れている。
次にこのように構成されるプローバ１のユニットである
ローダ部２とプロービング部３との位置決め機構につい
て説明する。
ローダ部２とプロービング部３との位置決め機構につい
て説明する。
まず、Ｘ方向とＹ方向の位置決めについてはローダ部２
とプロービング部３の各シャーシに設けられた位置決め
用のマーク10、11とを合致させるように両者を合体させ
た後、図示しない固定手段で固定する。マーク10、11は
基準線のようなものでもよいし、凹部と突起としてそれ
らを互いに係合させることにより位置決めと係止を行な
わせてよい。
とプロービング部３の各シャーシに設けられた位置決め
用のマーク10、11とを合致させるように両者を合体させ
た後、図示しない固定手段で固定する。マーク10、11は
基準線のようなものでもよいし、凹部と突起としてそれ
らを互いに係合させることにより位置決めと係止を行な
わせてよい。
次に垂直（Ｚ）方向の位置決め機構として、第２図に実
施例として示すようにプロービング部３はローダ部２が
接続される側面3aに面して基準レベルを保持する手段と
してのストッパ12が設けられる。一方、ローダ部２には
プロービング部３に接続される側面2aにプロービング部
３の基準レベルを検知する検知手段としてのマイクロス
イッチ13又はセンサが設けられると共にローダ部２の主
要機器を搭載する可動台14を上下に移動するための駆動
手段15が備えられている。駆動手段15としては例えば油
圧又は空気圧を利用したもの、あるいは電気制御による
ものが利用できる。マイクロスイッチ13等の検知手段は
可動台14上の所定の位置に設置しており、可動台14と一
体に移動しプロービング部３のストッパ12によって作動
される。
施例として示すようにプロービング部３はローダ部２が
接続される側面3aに面して基準レベルを保持する手段と
してのストッパ12が設けられる。一方、ローダ部２には
プロービング部３に接続される側面2aにプロービング部
３の基準レベルを検知する検知手段としてのマイクロス
イッチ13又はセンサが設けられると共にローダ部２の主
要機器を搭載する可動台14を上下に移動するための駆動
手段15が備えられている。駆動手段15としては例えば油
圧又は空気圧を利用したもの、あるいは電気制御による
ものが利用できる。マイクロスイッチ13等の検知手段は
可動台14上の所定の位置に設置しており、可動台14と一
体に移動しプロービング部３のストッパ12によって作動
される。
このような構成においてＺ方向の位置決めはローダ部２
をプロービング部３に接続した後、駆動手段15の駆動源
16をONして可動台14を上方あるいは下方に移動させる。
この移動中にマイクロスイッチ13がプロービング部３の
ストッパ12に当接するとマイクロスイッチ13がON（又は
OFF）し、駆動源16をOFFにさせて可動台14の移動を停止
する。これにより、可動台14はストッパ12によって決め
られた基準レベルに保持されＺ方向の位置決めがなされ
る。
をプロービング部３に接続した後、駆動手段15の駆動源
16をONして可動台14を上方あるいは下方に移動させる。
この移動中にマイクロスイッチ13がプロービング部３の
ストッパ12に当接するとマイクロスイッチ13がON（又は
OFF）し、駆動源16をOFFにさせて可動台14の移動を停止
する。これにより、可動台14はストッパ12によって決め
られた基準レベルに保持されＺ方向の位置決めがなされ
る。
尚、本実施例において基準レベルを保持する手段として
ストッパ12及びそれを検知する手段としてマイクロスイ
ッチ13を示したが、これら手段はストッパ12、マイクロ
スイッチ13に限定されることなく、例えば光源と光電素
子等のセンサ、あるいはストッパとストッパに機械的に
係合するロック等種々の態様が適用される。しかし、マ
イクロスイッチ、センサーは駆動手段15のスイッチとし
ても作用するので、位置決めが自動化でき、より好適で
ある。また、このような基準レベルを保持する手段とそ
の検知手段はＺ方向の位置合わせのみならず、Ｘ方向あ
るいはＹ方向についても採用できることはいうまでもな
い。
ストッパ12及びそれを検知する手段としてマイクロスイ
ッチ13を示したが、これら手段はストッパ12、マイクロ
スイッチ13に限定されることなく、例えば光源と光電素
子等のセンサ、あるいはストッパとストッパに機械的に
係合するロック等種々の態様が適用される。しかし、マ
イクロスイッチ、センサーは駆動手段15のスイッチとし
ても作用するので、位置決めが自動化でき、より好適で
ある。また、このような基準レベルを保持する手段とそ
の検知手段はＺ方向の位置合わせのみならず、Ｘ方向あ
るいはＹ方向についても採用できることはいうまでもな
い。
更に、実施例においては二つのユニットからなる装置に
ついて説明したが、本発明はその他ハンドラなどユニッ
トを組み合わせて使用される装置にはすべて適用でき、
しかも二つのユニットから成る装置のみならず３以上の
ユニットから成る装置の場合でも少なくとも１のユニッ
トに基準レベルを保持する手段を設け、他のユニットを
その基準レベルに合致させるように移動させることによ
り実施例と同様に容易にユニット間の位置決めすること
ができる。
ついて説明したが、本発明はその他ハンドラなどユニッ
トを組み合わせて使用される装置にはすべて適用でき、
しかも二つのユニットから成る装置のみならず３以上の
ユニットから成る装置の場合でも少なくとも１のユニッ
トに基準レベルを保持する手段を設け、他のユニットを
その基準レベルに合致させるように移動させることによ
り実施例と同様に容易にユニット間の位置決めすること
ができる。
［発明の効果］ 以上の説明からも明らかなように本発明によれば、ユニ
ット化された各機器を組み合わせて用いる場合、各ユニ
ットを極めて容易に必要とされる精度で位置決めを行う
ことができる。
ット化された各機器を組み合わせて用いる場合、各ユニ
ットを極めて容易に必要とされる精度で位置決めを行う
ことができる。
第１図は本発明が適用されるプローブ装置を示す図、第
２図は本発明に係る位置決め機構の一実施例を示す図で
ある。 １……プローブ装置（装置） ２……ローダ部（ユニット） ３……プローバ部（ユニット） 12……ストッパ（基準レベルを保持する手段） 13……マイクロスイッチ（検知手段） 14……可動台（ユニットの一部） 15……駆動手段
２図は本発明に係る位置決め機構の一実施例を示す図で
ある。 １……プローブ装置（装置） ２……ローダ部（ユニット） ３……プローバ部（ユニット） 12……ストッパ（基準レベルを保持する手段） 13……マイクロスイッチ（検知手段） 14……可動台（ユニットの一部） 15……駆動手段
Claims (3)
- 【請求項１】それぞれ独立した機構から成るプロービン
グ部とローダ部とを備えたプローブ装置において、前記
プロービング部は基準レベルを保持する手段を有すると
共に、前記ローダ部は前記基準レベルに対して前記ロー
ダ部を垂直方向に移動させる駆動手段と前記基準レベル
を保持する手段を検知する検知手段とを備えたことを特
徴とするプローブ装置。 - 【請求項２】前記駆動手段は、油圧又は空気圧により前
記ローダ部を垂直に駆動する機構である特許請求の範囲
第１項記載のプローブ装置。 - 【請求項３】前記駆動手段は、前記検知手段からの検知
信号によりスイッチングされることを特徴とする特許請
求の範囲第１項又は第２項記載のプローブ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62178736A JPH0748074B2 (ja) | 1987-07-17 | 1987-07-17 | プローブ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62178736A JPH0748074B2 (ja) | 1987-07-17 | 1987-07-17 | プローブ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6423170A JPS6423170A (en) | 1989-01-25 |
| JPH0748074B2 true JPH0748074B2 (ja) | 1995-05-24 |
Family
ID=16053687
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62178736A Expired - Fee Related JPH0748074B2 (ja) | 1987-07-17 | 1987-07-17 | プローブ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0748074B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5087190B2 (ja) * | 2001-02-27 | 2012-11-28 | ラム リサーチ コーポレーション | 真空装置 |
| JP2012066248A (ja) * | 2011-12-08 | 2012-04-05 | Lam Research Corp | 真空装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56168566A (en) * | 1980-05-30 | 1981-12-24 | Toshiba Corp | Ic autohandler |
| JPS62104131A (ja) * | 1985-10-31 | 1987-05-14 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | ウエハ測定装置 |
-
1987
- 1987-07-17 JP JP62178736A patent/JPH0748074B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6423170A (en) | 1989-01-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |