JPH0748253B2 - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
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- JPH0748253B2 JPH0748253B2 JP61247109A JP24710986A JPH0748253B2 JP H0748253 B2 JPH0748253 B2 JP H0748253B2 JP 61247109 A JP61247109 A JP 61247109A JP 24710986 A JP24710986 A JP 24710986A JP H0748253 B2 JPH0748253 B2 JP H0748253B2
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Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は磁気記録媒体、さらに詳しくは走行耐久性にす
ぐれる金属薄膜型磁気記録媒体に関する。
ぐれる金属薄膜型磁気記録媒体に関する。
近年、記録媒体の高密度化に伴い、従来の塗布型磁気記
録媒体に替わつて、いわゆる金属薄膜型磁気記録媒体が
注目されるようになつてきている。
録媒体に替わつて、いわゆる金属薄膜型磁気記録媒体が
注目されるようになつてきている。
しかし、金属薄膜型磁気記録媒体は、従来の塗布型磁気
記録媒体のように潤滑剤や研磨剤を磁性膜中に混入させ
ることが困難なので、一般に走行耐久性に劣り、例えば
Co−Cr合金膜を設けた垂直磁気記録デイスクの場合100
回程度の走行パスで表面の合金とヘツドとの間で凝着等
が生じて走行不能になることが多い。
記録媒体のように潤滑剤や研磨剤を磁性膜中に混入させ
ることが困難なので、一般に走行耐久性に劣り、例えば
Co−Cr合金膜を設けた垂直磁気記録デイスクの場合100
回程度の走行パスで表面の合金とヘツドとの間で凝着等
が生じて走行不能になることが多い。
そこで、このような問題を解決するために、液体潤滑剤
を磁性層表面に塗布したり、固体保護膜を磁性表面に設
けることが提案されている。この中では、固体潤滑剤で
あるカーボンを主成分とする保護膜を磁性膜表面に設け
ることが特に走行耐久性向上に効果があることが知られ
ている。
を磁性層表面に塗布したり、固体保護膜を磁性表面に設
けることが提案されている。この中では、固体潤滑剤で
あるカーボンを主成分とする保護膜を磁性膜表面に設け
ることが特に走行耐久性向上に効果があることが知られ
ている。
しかしながら、このようなカーボンを主成分とする保護
層を磁性層表面に設けてもなお走行耐久性が充分でな
い。これは主にへツドに生じた付着物が保護との摩擦係
数を増大させることに原因するものと考えられる。
層を磁性層表面に設けてもなお走行耐久性が充分でな
い。これは主にへツドに生じた付着物が保護との摩擦係
数を増大させることに原因するものと考えられる。
さらに、ほう素、ケイ素、遷移金属元素等をダイアモン
ド状カーボン保護膜に含有させることが提案されている
が（特開昭60−29936号）、潤滑性が劣り、したがつて
十分な耐久性が得られない。
ド状カーボン保護膜に含有させることが提案されている
が（特開昭60−29936号）、潤滑性が劣り、したがつて
十分な耐久性が得られない。
本発明は、磁気ヘツドに付着物を生せしめない、かつ走
行耐久性の著しく改良された金属薄膜型磁気記録媒体を
提供するにある。
行耐久性の著しく改良された金属薄膜型磁気記録媒体を
提供するにある。
本発明は、非磁性基板上に磁性金属薄膜を設けてなる磁
気ヘッドと磁性層が摺動する磁気記録方式用の磁気記録
媒体において、該薄膜上にMn、Mo、Nb、Ta、Ti、Ｖ、お
よびＷから選ばれる少なくとも１種を含有するグラフア
イト状カーボンを主成分とする保護膜が設けられている
ことを特徴とする磁気記録媒体、に関する。
気ヘッドと磁性層が摺動する磁気記録方式用の磁気記録
媒体において、該薄膜上にMn、Mo、Nb、Ta、Ti、Ｖ、お
よびＷから選ばれる少なくとも１種を含有するグラフア
イト状カーボンを主成分とする保護膜が設けられている
ことを特徴とする磁気記録媒体、に関する。
上記グラフアイト状カーボンを主成分とする保護膜と
は、真空蒸着法、スパツタリング法等で作成されるグラ
フアイト様のアモルフアス膜を意味する。すなわち、Ｘ
線回折によつては明確なピークがみられず、かつＸ線電
子分光法（xps）により求められる炭素のプラズモン損
失エネルギー値がグラフアイトのそれを示すような膜で
ある。
は、真空蒸着法、スパツタリング法等で作成されるグラ
フアイト様のアモルフアス膜を意味する。すなわち、Ｘ
線回折によつては明確なピークがみられず、かつＸ線電
子分光法（xps）により求められる炭素のプラズモン損
失エネルギー値がグラフアイトのそれを示すような膜で
ある。
上記グラフアイト状カーボンを主成分とする保護膜中に
含有されるMn、Mo、Nb、Ta、Ti、Ｖ、およびＷの重量は
0.5％以上10％以下であり、0.5〜５％であることが好ま
しい。
含有されるMn、Mo、Nb、Ta、Ti、Ｖ、およびＷの重量は
0.5％以上10％以下であり、0.5〜５％であることが好ま
しい。
本発明の磁性金属薄膜には、Fe、Co、Ni等の強磁性金
属、あるいはFe−Co、Fe−Ni、Co−Ni、Fe−Si、Co−C
r、Co−Ｖ、Co−Sm、Co−Pt、Co−Ｐ、Co−Ni−Ｐ、Fe
−Cr−Co等の強磁性合金、あるいはまたこれらに微量の
金属元素等が添加されたものが使用される。
属、あるいはFe−Co、Fe−Ni、Co−Ni、Fe−Si、Co−C
r、Co−Ｖ、Co−Sm、Co−Pt、Co−Ｐ、Co−Ni−Ｐ、Fe
−Cr−Co等の強磁性合金、あるいはまたこれらに微量の
金属元素等が添加されたものが使用される。
非磁性基板としてはポリエチレンテレフタレート、ポリ
イミド、ポリアミド等のフイルム状の高分子材料、ポリ
カーボネイト、ポリメチルメタクリレート等のデイスク
状の高分子材料、ガラス等のセラミック、アルミニウム
等の金属等が使用可能である。基板の形状はシート、カ
ード、デイスク、ドラム、テープ等のいずれでも良い。
イミド、ポリアミド等のフイルム状の高分子材料、ポリ
カーボネイト、ポリメチルメタクリレート等のデイスク
状の高分子材料、ガラス等のセラミック、アルミニウム
等の金属等が使用可能である。基板の形状はシート、カ
ード、デイスク、ドラム、テープ等のいずれでも良い。
本発明の磁気記録媒体を作成するには、まず非磁性基板
上に磁性金属薄膜を真空蒸着、スパツタリング、イオン
プレーテイング、メツキ等の方法で被着せしめて形成
し、更にその上にMn、Mo、Nb、Ta、Ti、Ｖ、Ｗのうち少
なくとも一種を含有するグラフアイト状カーボンを主成
分とする保護膜を真空蒸着、スパツタリング等で形成す
れば良い。
上に磁性金属薄膜を真空蒸着、スパツタリング、イオン
プレーテイング、メツキ等の方法で被着せしめて形成
し、更にその上にMn、Mo、Nb、Ta、Ti、Ｖ、Ｗのうち少
なくとも一種を含有するグラフアイト状カーボンを主成
分とする保護膜を真空蒸着、スパツタリング等で形成す
れば良い。
この場合、磁性膜は２種の異なる磁性体を用いて積層し
ても良いし、下地層を設けた単層型にしても良い。ま
た、中間層を設けた積層型にしても良い。なお磁性膜の
厚さはいずれの場合でも0.1〜２μｍ程度が適当であ
る。
ても良いし、下地層を設けた単層型にしても良い。ま
た、中間層を設けた積層型にしても良い。なお磁性膜の
厚さはいずれの場合でも0.1〜２μｍ程度が適当であ
る。
また、保護膜の厚さは厚すぎると記録、再生時に充分な
出力が得られず、一方薄すぎると走行耐久性の向上が見
られないので、10〜1000Å好ましいく50〜200Å程度で
ある。
出力が得られず、一方薄すぎると走行耐久性の向上が見
られないので、10〜1000Å好ましいく50〜200Å程度で
ある。
以下、本発明の実施例について説明する。
非磁性基板として厚さ50μｍのポリイミドフイルムを用
いた。
いた。
まず、この基板上にCoCrをターゲットとしたArガス中の
スパツタリングにより厚さ2500ÅのCoCr薄膜を形成し
た。
スパツタリングにより厚さ2500ÅのCoCr薄膜を形成し
た。
次に、グラフアイトターゲツト上にMn、Mo、Nb、Ta、T
i、Ｖ、Ｗ等のペレツトを置いてArガス中でスパツタリ
ングを行い、上記CoCr薄膜上に上記元素のうち少なくと
も一種を含有するグラフアイト状カーボンを主成分とす
る厚さ200Åの保護膜を各種作成した。
i、Ｖ、Ｗ等のペレツトを置いてArガス中でスパツタリ
ングを行い、上記CoCr薄膜上に上記元素のうち少なくと
も一種を含有するグラフアイト状カーボンを主成分とす
る厚さ200Åの保護膜を各種作成した。
これらを直径3.5インチのデイスクの形状に加工し、市
販のデイスクジヤケツトに組み込んだ。
販のデイスクジヤケツトに組み込んだ。
市販のフロツピーデイスクドライブにより記録を行つた
後、再生信号と摩擦係数をモニターしながら600r.p.mで
回転させ、摩擦係数が急激に大きくなるまでのパス数を
測定することにより走行耐久性のテストを行つた。
後、再生信号と摩擦係数をモニターしながら600r.p.mで
回転させ、摩擦係数が急激に大きくなるまでのパス数を
測定することにより走行耐久性のテストを行つた。
上記元素の含有量はオージエ電子分光法を用いて測定し
た各々の元素と炭素との微分スペクトルのピーク比より
求めた。なお、膜厚方向で保護膜の構成元素の組成に変
化がないことも同様にして確認した。
た各々の元素と炭素との微分スペクトルのピーク比より
求めた。なお、膜厚方向で保護膜の構成元素の組成に変
化がないことも同様にして確認した。
比較の為、上記元素を含有しないグラフアイト状カーボ
ンを主成分とする厚さ200Åの保護膜を設けた媒体も作
成し、これを比較例とした。
ンを主成分とする厚さ200Åの保護膜を設けた媒体も作
成し、これを比較例とした。
得られた結果を第１表〜第８表に示した。表から明らか
なように、Mn、Mo、Nb、Ta、Ti、Ｖ、およびＷを適量含
有したカーボンを主成分とする保護膜を設けた媒体は、
これらを含有しないカーボンを主成分とする保護膜を設
けた媒体と比較して走行耐久性に優れている。ヘツドを
顕微鏡観察した結果、含有した金属の量が多く走行耐久
性が悪かつた媒体には付着物はないものの傷が入り、走
行耐久性の優れた媒体には付着物も傷もなく、金属を含
有しない媒体は傷はないものの付着物が発生しているこ
とを確認した。
なように、Mn、Mo、Nb、Ta、Ti、Ｖ、およびＷを適量含
有したカーボンを主成分とする保護膜を設けた媒体は、
これらを含有しないカーボンを主成分とする保護膜を設
けた媒体と比較して走行耐久性に優れている。ヘツドを
顕微鏡観察した結果、含有した金属の量が多く走行耐久
性が悪かつた媒体には付着物はないものの傷が入り、走
行耐久性の優れた媒体には付着物も傷もなく、金属を含
有しない媒体は傷はないものの付着物が発生しているこ
とを確認した。
Claims (1)
- 【請求項１】非磁性基板上に磁性金属薄膜を設けてなる
磁気ヘッドと磁性層とが摺動する磁気記録方式用の磁気
記録媒体において、該薄膜上にMn、Mo、Nb、Ta、Ti、
Ｖ、およびＷから選ばれる少なくとも１種を0.5重量％
以上10重量％以下含有するグラファイト状カーボンを主
成分とする保護膜が設けられていることを特徴とする磁
気記録媒体。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61247109A JPH0748253B2 (ja) | 1986-10-17 | 1986-10-17 | 磁気記録媒体 |
| US07/109,377 US4840843A (en) | 1986-10-17 | 1987-10-19 | Magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61247109A JPH0748253B2 (ja) | 1986-10-17 | 1986-10-17 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63102023A JPS63102023A (ja) | 1988-05-06 |
| JPH0748253B2 true JPH0748253B2 (ja) | 1995-05-24 |
Family
ID=17158566
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61247109A Expired - Fee Related JPH0748253B2 (ja) | 1986-10-17 | 1986-10-17 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0748253B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6029936A (ja) * | 1983-07-29 | 1985-02-15 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 磁気記録媒体およびその製法 |
-
1986
- 1986-10-17 JP JP61247109A patent/JPH0748253B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63102023A (ja) | 1988-05-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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