JPS63102016A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は磁気記録媒体、さらに詳しくは走行耐久性にす
ぐれる金属薄膜型磁気記録媒体に関する。

〔従来の技術〕

近年、記録媒体の高密度化に伴い、従来の塗布型磁気記
録媒体に替わって、いわゆる金属薄膜型磁気記録媒体が
注目されるようになってきている。

しかし、金属薄膜型磁気記録媒体は、従来の塗布型磁気
記録媒体のように潤滑剤や研磨剤を磁性層中に混入させ
ることが困難なので、一般に走行耐久性に劣り、例えば
Ｃｏ−Ｃｒ合金膜を設けた垂直磁気記録ディスクの場合
１００回程鹿の走行パスで表面の合金層とヘッドとの間
で凝着等が生じて走行不能になることが多い。

そこで、このような問題を解決するために、液体潤滑剤
を磁性薄膜表面に塗布したυ、固体保護膜を磁性層表面
に設けることが提案されている。

この中では、固体潤滑剤であるカーボンを主成分とする
保護膜を磁性薄膜表面に設けることが特に走行耐久性向
上に効果があることが知られている。

しかしながら、このようなカーボンを主成分とする保護
層を磁性層表面に設けてもなお走行耐久性が充分でない
。これは主にヘッドに生じた付着物が保護膜との摩擦係
数を増大させることに原因するものと考えられる。

さらに、はう素、ケイ素、遷移金属元素等をダイアモン
ド状カーボン保護膜に含有させることが提案されている
が（特開昭６０−２２２３６号）、潤滑性が劣り、した
がって十分な耐久性が得られない。

〔発明が解決しようとする問題点〕

本発明は、磁気ヘッドに付着物を生ぜしめない：かつ走
行耐久性の著しく改良された金属薄膜型磁気記録媒体を
提供するにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は、非磁性基板上に磁性金属薄膜を設けてなる磁
気記録媒体において、該薄膜上にＱｅ、Ｐｄ、Ｐｔ、お
よびＺｒから選ばれる少なくとも１種を含有するグラフ
ァイト状カーボンを主成分とする保護膜が設けられてい
ることを特徴とする磁気記録媒体、に関する。

上記グラファイト状カーボンを主成分とする保護膜とは
、真空蒸着法、ス・でツタリング法等で作成されるグラ
ファイト様のアモルファス膜を意味する。すなわち、Ｘ
線回折によっては明確なピークが見られず、かつＸ線電
子分光法（ｘｐｓ）によシ求められる炭素のプラズモン
損失工＊ルギ−Ｍがグラファイトのそれを示すような膜
である。

上記グラファイト状カーボンを主成分とする保護膜中に
含有されるＧｅ、Ｐｄ％ｐｔ、およびＺｒの重量け１０
％以下であり、０．ｊ−７％であることが好ましい。

本発明の磁性金属薄膜には、ｐｅ、Ｃｏ、Ｎｉ等の強磁
性金属、あるいはＦｅ−Ｃｏ、Ｆｅ−Ｎｉ、Ｃｏ−Ｎｉ
、Ｆｅ−８ｉ％Ｃｏ−Ｃｒ。

Ｃｏ−Ｖ、Ｃｏ−８ｍ、Ｃｏ−Ｐｔ５Ｃｏ−Ｐ。

Ｃｏ−Ｎ１−Ｐ、）’ｅ−Ｃｒ−Ｃｏ等の強磁性合金、
あるいはまたこれらに微量の金属元素等が添加されたも
のが使用される。

非磁性基板としてはポリエチレンテレフタレート、ポリ
イミド、ポリアミド等のフィルム状の高分子材料、ポリ
カーボネイト、ポリメチルメタクリレート等のディスク
状の高分子材料、ガラス等のセラミック、アルミニウム
等の金属等が使用可能である。基板の形状はシート、カ
ード、ディスク、ドラム、テープ等のいずれでも良い。

本発明の磁気記録媒体を作成するには、捷ず非磁性基板
上に磁性金属薄膜を真空蒸着、スパッタリング、イオン
ブレーティング、メッキ等の方法で被着せしめて形成し
、更にその上にＣ□、ｐｅ。

Ｎｉの中から少なくとも一種を含有するグラファイト状
カーメンを主成分とする保護膜を真空蒸着、スパッタリ
ング等で形成すれば良い。

この場合、磁性膜は２種の異なる磁性体を用いて様４し
ても良いし、下地層を設けた単層型にしても良い。また
、中間層を設けた積層型にしても良い。なお磁性膜の厚
さはいずれの場合でもＯ０／−２μｍが適当である。

また、保護膜の厚さけ厚すぎると記録、再生時に充分な
出力が得られず、−力落すぎると走行耐久性の向上が見
られないので、ｌＯ〜ｔｏｏｏＸ、好ましくはｊＯ−２
００穴程度である。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例について説明する。

非磁性基板として厚さＳＯμｍのポリイミドフィルムを
用いた。

まず、この基板上にＣｏＣｒをターゲットしたＡｒガス
中のスパッタリングによシ厚さ、２３００穴のＣｏＣｒ
薄膜を形成した。

次に、グラファイトターゲット上にＧｅ、Ｐｄ、−よ− Ｐｔ、Ｚｒ等のベレットを置いてＡｒガス中でスパッタ
リングを行い、上記ＣｏＣｒ薄膜上にＧｅ。

Ｐｄ、Ｐｔ、Ｚｒのうち少なくとも一種を含有するグラ
ファイト状カーボンを主成分とする厚さλ００＾の保護
膜を各種作成した。

これらを直径３．３インチのディスクの形状に加工し、
市販のディスクジャケットに組み込んだ。

市販の７０ツピーデイスクドライブによシ記録を行った
後、再生信号と摩擦係数をモニターしなから乙θθｒ、
ｐ、ｍ、で回転させ、摩擦係数が急激に大きくなるまで
の−ξミスを測定することによシ走行耐久性のテストを
行った。

Ｇｅ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｚｒ等の含有量はオージェ電子分光
法を用いて測定した各々の元素と炭素との微分スはクト
ルのピーク比より求めた。なお、膜厚方向で保護膜の構
成元素の組成に変化がないことも同様にして確認した。

比較の為、Ｇｅ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｚｒ等を含有しないグラ
ファイト状カーボンを主成分とする厚さ２００穴の保護
膜を設けた媒体も作成し、これを比較例とした。

得られた結果を第１表〜第μ表に示した。表から明らか
なように、上記金属を適量含有したカーボンを主成分と
する保護膜を設けた媒体は、これらを含有しないカーボ
ンを主成分とする保護膜を設けた媒体と比較して走行耐
久性に優れている。

ヘッドを顕微鏡観察した結果、含有した金属の量が多く
走行耐久性が悪かった媒体には付着物はないものの傷が
入シ、走行耐久性の優れた媒体には付着物も傷もなく、
金属を含有しない媒体は傷はないものの付着物が発生し
ていることを確認した。

第１表 第２表 第３表 第μ表 一タ− 〔発明の効果〕 本発明の磁気記録媒体は、走行時磁気ヘッドに付着物を
生ぜしめないと同時に、走行耐久性に顕著にすぐれるも
のである。

特許出願人　富士写真フィルム株式会社−７θ−

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 非磁性基板上に磁性金属薄膜を設けてなる磁気記録媒体
   において、該薄膜上にＧｅ、Ｐｄ、Ｐｔ、およびＺｒか
   ら選ばれる少なくとも１種を１０重量％以下含有するグ
   ラファイト状カーボンを主成分とする保護膜が設けられ
   ていることを特徴とする磁気記録媒体。