JPS63102014A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は磁気記録媒体、さらに詳しくは走行耐久性にす
ぐれる金属薄膜型磁気記録媒体に関する。

〔従来の技術〕

近年、記録媒体の高密度化に伴い、従来の塗布型磁気記
録媒体に替わって、いわゆる金属薄膜型磁気記録媒体が
注目されるようになってきている。

しかし、金属薄膜型磁気記録媒体は、従来の塗布型磁気
記録媒体のように潤滑剤や研磨剤を磁性層中に混入させ
ることが困難なので、一般に走行耐久性に劣り、例えば
Ｃｏ−Ｃｒ合金膜を設けた垂直磁気記録ディスクの場合
ｉｏｏ回程度の走行パスで表面の合金層とヘッドとの間
で凝着等が生じて走行不能になることが多い。

そこで、このような問題を解決するために、液体潤滑剤
を磁性層表面に塗布したり、固体保護層を磁性層表面に
設けることが提案されている。この中では、固体潤滑剤
であるカーボンを主成分とする保護層を磁性層表面に設
けることが特に走行耐久性向上に効果があることが知ら
れている。

しかしながら、このようなカーボンを主成分とする保護
層を磁性層表面に設けてもなお走行耐久性が充分でない
。これは主にヘッドに生じた付着物が保護層との摩擦係
数を増大させることに原因するものと考えられる。

さらに、はう素、ケイ素、遷移金属元素等をダイアモン
ド状カーボン保護膜に含有させることが提案されている
がｒ％開昭６０−一タタ３ぶ号）、潤滑性が劣り、した
がって十分な耐久性が得られない。

〔発明が解決しようとする問題点〕

本発明は、磁気ヘッドに付着物を生せしめない、かつ走
行耐久性の著しく改良された金属薄膜型磁気記録媒体を
提供するにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は、非磁性基板上に磁性金属薄膜を設けてなる磁
気記録媒体において、該薄膜上にＣ０１Ｆｅ、およびＮ
ｉから選ばれる少なくとも１種を含有するグラファイト
状カーボンを主成分とする保護膜が設けられていること
を特徴とする磁気記録媒体、に関する。

上記グラファイト状カーボンを主成分とする保護層とは
、真空蒸着法、スパッタリング法等で作成されるグラフ
ァイト様のアモルファス膜を意味する。すなわち、Ｘ線
回折によっては明確なピークが見られず、かつＸ線電子
分光法（ｘｐｓ　）Ｋより求められる炭素のプラズモン
損失エネルギー値がグラファイトのそれを示すような膜
である。

上記グラファイト状カーボンを主成分とする保護膜中に
含有されるＣ　ｏ、ＦｅｓおよびＮｉの重量はＩＯ憾以
下であり、Ｏ１夕〜３４であることが好オしｈｏ 本発明の磁性金属薄膜には、Ｆ　ｅ　ｓ　Ｃｏ　ｓ　Ｎ
　ｒ等の強磁性金属、あるいはＦｅ−Ｃｏ、Ｆｅ−Ｎｉ
、Ｃｏ−Ｎｉ、Ｆｅ−８ｉ、Ｃｏ−Ｃｒ。

Ｃｏ−Ｖ、Ｃｏ−８ｍ、Ｃｏ−Ｐｔ、Ｃｏ−Ｐ。

Ｃｏ−Ｎ１−Ｐ、Ｆｅ−Ｃｒ−Ｃｏ等の強磁性合金、あ
るいはまたこれらに微量の金属元素等が添加されたもの
が使用される。

非磁性基板としてはポリエチレンテレフタレート、ポリ
イミド、ポリアミド等のフィルム状の高分子材料、ポリ
カーボネイト、ポリメチルメタクリレート等のディスク
状の高分子材料、ガラス等のセラミック、アルミニウム
等の金属等が使用可能である。基板の形状はシート、カ
ード、ディスク、ドラム、テープ等のいずれでも良い。

本発明の磁気記録媒体を作成するには、寸ず非磁性基板
上に磁性金属薄膜を真空蒸着、スパッタリング、イオン
ブレーティング、メッキ等の方法で被着せしめて形成し
、更にその上にＣｏ、Ｆｅ。

ＮｉＯ中から少なくとも一種を含有するグラファイト状
カーボンを主成分とする保護膜を真空蒸着、スパッタリ
ング等で形成すれば良い。

この場合、磁性膜は２種の異なる磁性体を用いて積層し
ても良いし、下地層を設けた単層型にしても良い。また
、中間層を設けた積層型にしても良い。なお磁性膜の厚
さはいずれの場合でもＯ０／〜２μｍ程度が適当である
。

また、保護の厚さは厚すぎると記録、再生時に充分な出
力が得られず、−力落すぎると走行耐久性の向上が見ら
れないので、１０−１０００＾、好ましくは、ＴＯ−，
２００＾程度である。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例について説明する。

非磁性基板として厚さ５０μｍのポリイミドフィルムを
用いた。

壕ず、この基板上にＣｏＣｒをターゲットとしたＡｒガ
ス中のスパッタリングにより厚さ２３００ＡのＣｏＣｒ
薄膜を形成した。

次に、グラファイトターゲット上にＣｏ、Ｆｅ。

Ｎｉ等のはレットを置いてＡｒガス中でスパッタリング
を行い、上記ＣｏＣｒ薄膜上にＣｏ、Ｆｅ。

Ｎｉの中から少なくとも一種を含有するグラファイト状
カーボンを主成分とする厚さ２００人の保護膜を各稲作
成した。

これらを直径３．５インチのディスクの形状に加工し、
市販のディスクジャケットに組み込んだ。

市販のフロッピーディスクドライブにより記録を行った
後、再生信号と摩擦係数をモニターしながらｔｏＯｒ、
ｐ、ｍで回転させ、摩擦係数が急激に大きくなるまでの
パス数を測定することにより走行耐久性のテストを行っ
た。

Ｃｏ、Ｆｅ、Ｎｉ等の含有量はオージェ電子分光法を用
いて測定した各々の元素と炭素との微分スペクトルのピ
ーク比より求めた。なお、膜厚方向で保護膜の構成元素
の組成に変化がないことも同様にして確認した。

比較の為、Ｃｏ、Ｆｅ％Ｎｉ’Ｓｔ含有しないグラファ
イト状カーボンを主成分とする厚さ一００＾の保護膜を
設けた媒体も作成し、これを比較例Ｊ− とした。

得られた結果を第１表〜第１表に示した。表から明らか
なように、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｎｉを適量含有したカーボンを
主成分とする保護膜を設けた媒体は、これらを含有しな
いカーボンを主成分とする保護膜を設けた媒体と比較し
て走行耐久性に優れている。ヘッドを顕微鏡観察した結
果、含有した金属の量が多く走行耐久性が悪かった媒体
には付着物はないものの傷が入り、走行耐久性の優れた
媒体には付着物も傷もなく、金属を含有しない媒体は傷
はないものの付着物が発生していることを確認した。

第−表 第３表 第１表 〔発明の効果〕 本発明により、磁気ヘッドに付着物を生せしめることの
ない、かつ走行耐久性の顕著に改良された磁気記録媒体
が得られる。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 非磁性基板上に磁性金属薄膜を設けてなる磁気記録媒体
   において、該薄膜上にＣｏ、Ｆｅ、およびＮｉから選ば
   れる少なくとも１種を１０重量％以下含有するグラファ
   イト状カーボンを主成分とする保護膜が設けられている
   ことを特徴とする磁気記録媒体。