JPS63102017A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分舒〕 本発明は磁気記録媒体、さらに眸しくは走行耐久性にす
ぐれる金属薄膜型磁気記録媒体に関する。

〔従来の技術〕

近年、記録媒体の高密度化に伴い、従来の塗布型磁気記
録媒体に替わって、いわゆる金属薄膜型磁気記録媒体が
注目されるようにガってきている。

しかし、金属薄膜型磁気記録媒体は、従来の塗布型磁気
記録媒体のように潤滑剤や研磨剤を磁性中に混入させる
ことが困難なので、一般に走行耐久性に劣り、例えばＣ
ｏ−Ｃｒ合金膜を設けた垂直磁気記録ディスクの場合１
００回程度の走行パスで表面の合金とヘッドとの間で凝
着等が生じて走行不能になることが多い。

そこで、このような問題を解決するために、液体潤滑剤
を磁性層表面に塗布したり、固体保護膜を磁性膜表面に
設けることが提案されている。この中では、固体潤滑剤
であるカーボンを主成分とする保護膜を磁性膜表面に設
けることが特に走行耐久性向上に効果があることが知ら
れている。

しかしながら、このようなカーボンを主成分とする保護
層を磁性層表面に設けてもなお走行耐久性が充分でない
。これは主にヘッドに生じた付着物が保護との摩擦係数
を増大させることに原因するものと考えられる。

さらに、ほう素、ケイ素、遷移金属元素等をダイアモン
ド状カーボン保護膜に含有させることが提案されている
が（特開昭乙Ｏ−コタタ３乙号）、潤滑性が劣り、した
がって十分な耐久性が得られない。

〔発明が解決しようとする問題点〕

本発明は、磁気ヘッドに付着物を生せしめない、かつ走
行耐久性の著しく改良された金属薄膜型磁気記録媒体を
提供するにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は、非磁性基板上に磁性金属薄膜を設けてなる磁
気記録媒体において、該薄膜上にほう素、窒化ほう素、
および炭化ほう素から選ばれる少なくとも１種を含有す
るグラファイト状カーボンを主成分とする保護膜が設け
られていることを特徴とする磁気記録媒体、に関する。

上記グラファイト状カーボンを主成分とする保賜膜とは
、真空蒸着法、スパッタリング法等で作成されるグラフ
ァイト様のアモルファス膜を意味する。すなわち、Ｘ線
回折によっては明確なピークが見られず、かつＸ線電子
分光法１ｘｐｓ）により求められる炭素のプラズモン損
失エネルギー値がグラファイトのそれを示すような膜で
ある。

上記グラファイト状カーボンを主成分とする保護膜中に
含有されるほう素、窒化ほう素、および炭化ほう素の重
量は１０係以下であり、０．ｊ〜５憾であることが好ま
しい。

本発明の磁性金属薄膜には、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ等の強磁
性金属、あるいはｐｅ−Ｃｏ、Ｆｅ−Ｎｉ１Ｃｏ−Ｎｉ
、Ｆｅ−８ｉ、Ｃｏ−Ｃｒ。

Ｃｏ−Ｖ、Ｃｏ−８ｍ、Ｃｏ−Ｐｔ、Ｃｏ−Ｐ。

Ｃｏ−Ｎ１−Ｐ、Ｆｅ−Ｃｒ−Ｃｏ等の強磁性合金、あ
るいはまたこれらに微量の金属元素等が添加されたもの
が使用される。

非磁性基板としてはポリエチレンテレフタレート、ポリ
イミド、ポリアミド等のフィルム状の高分子材料、ポリ
カーボネイト、ポリメチルメタクリレート等のディスク
状の高分子材料、ガラス等のセラミック、アルミニウム
等の金属等が使用可能である。基板の形状はシート、カ
ード、ディスク、ドラム、テープ等のいずれでも良い。

本発明の磁気記録媒体を作成するには、まず非磁性基板
上に磁性金属薄膜を真空蒸着、スパッタリング、イオン
ブレーティング、メッキ等の方法で被着せしめて形成し
、更にその上にほう素、窒化ほう素、炭化ほう素のうち
少なくとも一種を含有するグラファイト状カーボンを主
成分とする保護膜を真空蒸着、スパッタリング等で形成
すれば良い。

この場合、磁性膜は２種の異なる磁性体を用いて積層し
ても良いし、下地層を設けた単層型にしても良い。また
、中間層を設けた積層型にしても良い。なお磁性膜の厚
さはいずれの場合でもＯ０／−ｊμｍ程度が適当である
。

また、保護膜の厚さは厚すぎると記録、再生時に充分な
出力が得られず、−力落すぎると走行耐久性の向上が見
られないので、ｉｏ〜１０００ｋ、好ましくは３ｏ−２
００に程度である。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例について説明する。

非磁性基板として厚さ５０μｍのポリイミドフィルムを
用いた。

まず、この基板上にＣｏＣｒをターゲットとしたＡｒガ
ス中のスパッタリングにより厚さ２３００にのＣｏＣｒ
薄膜を形成した。

次に、グラファイトターゲットとほう素、窒化ほう素、
炭化ほう素等のターゲットを用いてＡｒガス中で２元同
時スノツタリングを行い、上記ＣｏＣｒ薄膜上に上記物
質の中から少なくとも一種を含有するグラファイト状カ
ーボンを主成分とする厚さ２００大の保護膜を各種作成
した。

これらを直径３．５インチのディスクの形状に加工し、
市販のディスクジャケットに組み込んだ。

市販のフロッピーディスクドライブにより記録を行った
後、再生信号と摩擦係数をモニターしなからＡ　００　
ｒ、ｐ、ｍで回転させ、摩擦係数が急激に大きくなるま
でのノ（ス数を測定することにより走行耐久性のテスト
を行った。

ほう素、窒化ほう素、炭化ほう素等の含有量はオージェ
電子分光法を用いて測定した各々の元素と炭素との微分
ス堅りトルのピーク比より求めた。

々お、膜厚方向で保護膜の構成元素の組成に変化がない
ことも同様にして確認した。

比較の為、上記物質を含有しないグラファイト状カーボ
ンを主成分とする厚さ２００にの保護膜を設は九媒体も
作成し、これを比較例とした。

得られた結果を第７表〜第３表に示した。表から明らか
なように、ほう素、窒化ほう素、および炭化ほう素を適
量含有したカーボ゛ンを主成分とする保護膜を設けた媒
体は、これらを含有しないカーボンを主成分とする保護
膜を設けた媒体と比較して走行耐久性に優れている。ヘ
ッドを顕微鏡観察した結果、含有した金属の量が多く走
行耐久性が悪かった媒体には付着物はないものの傷が入
り、走行耐久性の優れた媒体には付着物も傷もなく、金
属を含有しかい媒体は傷はないものの付着物が発生して
いることを確認した。

第１表 第２表 第３表 〔発明の効果〕 本発明の磁気記録媒体は、走行時磁気ヘッドに付着物を
生ぜしめないと同時に、走行耐久性に顕著にすぐれるも
のである。

特許出願人　富士写真フィルム株式会社−ヂ　−

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 非磁性基板上に磁性金属薄膜を設けてなる磁気記録媒体
   において、該薄膜上にほう素、窒化ほう素、および炭化
   ほう素から選ばれる少なくとも１種を１０重量％以下含
   有するグラファイト状カーボンを主成分とする保護膜が
   設けられていることを特徴とする磁気記録媒体。