JPH0752437Y2 - 磁気浮上除振装置の除振制御器 - Google Patents
磁気浮上除振装置の除振制御器Info
- Publication number
- JPH0752437Y2 JPH0752437Y2 JP14891U JP14891U JPH0752437Y2 JP H0752437 Y2 JPH0752437 Y2 JP H0752437Y2 JP 14891 U JP14891 U JP 14891U JP 14891 U JP14891 U JP 14891U JP H0752437 Y2 JPH0752437 Y2 JP H0752437Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration isolation
- vibration
- magnetic
- controller
- casing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Vibration Prevention Devices (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、磁気を利用して振動伝
達を絶縁する除振制御器を用いた磁気浮上除振装置に関
する。
達を絶縁する除振制御器を用いた磁気浮上除振装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造装置や電子顕微鏡など設置床
からの振動により歩留りや精度上の問題が起こる設備を
床振動から絶縁する除振台の支持には、除振台の床板の
下側に空気ばや防振用のゴムなどを用いており、また、
積極的に床板の運動を制御するタイプの除振台では、油
圧や空圧のシリンダ又は電磁ソレノイドを使用してい
た。しかし、これらの除振台の除振効果は充分ではなか
った。
からの振動により歩留りや精度上の問題が起こる設備を
床振動から絶縁する除振台の支持には、除振台の床板の
下側に空気ばや防振用のゴムなどを用いており、また、
積極的に床板の運動を制御するタイプの除振台では、油
圧や空圧のシリンダ又は電磁ソレノイドを使用してい
た。しかし、これらの除振台の除振効果は充分ではなか
った。
【０００３】これに対し、磁気を利用して振動伝達を絶
縁する除振制御器を用いた磁気浮上除振装置が開発され
ている。その一例を第２図を参照して説明する。
縁する除振制御器を用いた磁気浮上除振装置が開発され
ている。その一例を第２図を参照して説明する。
【０００４】図において、除振装置床１の下面には、磁
性材製の上部ケーシング１１Ａが固設され、建物床２に
は上部ケーシング１１Ａに対向し隙間Ｃを設けて磁性材
製の下部ケーシング１２Ａが立設されている。
性材製の上部ケーシング１１Ａが固設され、建物床２に
は上部ケーシング１１Ａに対向し隙間Ｃを設けて磁性材
製の下部ケーシング１２Ａが立設されている。
【０００５】上部ケーシング１１Ａの軸線上には軸１３
が垂設され、その軸１３の上部及び下部には、それぞれ
継鉄１４及び継鉄１５が固設されている。また、軸１３
の上端部には、水平方向加速度センサ２１が設けられ、
上部ケーシング１１の下面には、鉛直方向加速度センサ
２２が設けられている。
が垂設され、その軸１３の上部及び下部には、それぞれ
継鉄１４及び継鉄１５が固設されている。また、軸１３
の上端部には、水平方向加速度センサ２１が設けられ、
上部ケーシング１１の下面には、鉛直方向加速度センサ
２２が設けられている。
【０００６】他方、下部ケーシング１２Ａには、継鉄１
４を囲んで励磁コイル１７を備えた水平方向電磁石１６
と、継鉄１５の上下方を囲む励磁コイル２０ａを備えた
電磁石１９ａと励磁コイル２０ｂを備えた電磁石１９ｂ
とからなる鉛直方向電磁石１９とが設けられている。ま
た、下部ケーシング１２Ａの中程には、水平方向相対変
位センサ２３が設けられており、そのセンサ２３及び水
平方向加速度センサ２１は、それぞれ第３図に示す制御
回路の補償回路３１に接続されている。なお、図中の符
号３３ａ、３３ｅは電力増幅器であり、２４は軸線方向
センサである。このように構成され、制御回路は、電磁
石１６の磁気吸引力を水平方向加速度センサ２１の出力
がゼロになるように制御し、また、水平方向相対変位セ
ンサ２３からの出力が一定すなわち所定加速度以下で運
動するように制御する。また、制御回路は、電磁石１９
の磁気吸引力を鉛直方向加速度センサ２２の出力がゼロ
になるように制御する。このような制御により除振装置
床板１を建物床２から浮上して振動の伝達を絶縁するよ
うになっている。
４を囲んで励磁コイル１７を備えた水平方向電磁石１６
と、継鉄１５の上下方を囲む励磁コイル２０ａを備えた
電磁石１９ａと励磁コイル２０ｂを備えた電磁石１９ｂ
とからなる鉛直方向電磁石１９とが設けられている。ま
た、下部ケーシング１２Ａの中程には、水平方向相対変
位センサ２３が設けられており、そのセンサ２３及び水
平方向加速度センサ２１は、それぞれ第３図に示す制御
回路の補償回路３１に接続されている。なお、図中の符
号３３ａ、３３ｅは電力増幅器であり、２４は軸線方向
センサである。このように構成され、制御回路は、電磁
石１６の磁気吸引力を水平方向加速度センサ２１の出力
がゼロになるように制御し、また、水平方向相対変位セ
ンサ２３からの出力が一定すなわち所定加速度以下で運
動するように制御する。また、制御回路は、電磁石１９
の磁気吸引力を鉛直方向加速度センサ２２の出力がゼロ
になるように制御する。このような制御により除振装置
床板１を建物床２から浮上して振動の伝達を絶縁するよ
うになっている。
【０００７】
【考案が解決しようとする課題】しかし、励磁コイル１
７に励磁電流を流すと、磁束は、磁束線４０Ａで示すよ
うに両ケーシング１１Ａ、１２Ａの間の隙間Ｃから漏れ
る。この漏れた磁束により除振装置の支持する半導体製
造装置や電子顕微鏡などの性能が変動する磁界のために
低下する不具合がある。
７に励磁電流を流すと、磁束は、磁束線４０Ａで示すよ
うに両ケーシング１１Ａ、１２Ａの間の隙間Ｃから漏れ
る。この漏れた磁束により除振装置の支持する半導体製
造装置や電子顕微鏡などの性能が変動する磁界のために
低下する不具合がある。
【０００８】本考案は、電磁石からの漏れ磁束をなくす
ようにした磁気浮上除振装置の除振制御器を提供するこ
とを目的としている。
ようにした磁気浮上除振装置の除振制御器を提供するこ
とを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本考案によれば、磁気を
利用して振動伝達を絶縁する除振制御器を用いた磁気浮
上除振装置において、該除振制御器の浮上床板に取付け
た磁性材ケーシングと建物に取付けた磁性材ケーシング
との間の隙間に磁性流体を満たしている。
利用して振動伝達を絶縁する除振制御器を用いた磁気浮
上除振装置において、該除振制御器の浮上床板に取付け
た磁性材ケーシングと建物に取付けた磁性材ケーシング
との間の隙間に磁性流体を満たしている。
【００１０】上記建物床に取付けた磁性材ケーシングの
上縁部に長方形断面の環状溝を形成し、浮上床板に取付
けた磁性材ケーシングの下縁部に環状溝を内面に隙間を
設けて収められる環状突部を形成し、環状溝に環状突部
の下端部より若干上方のレベルまで磁性流体を満すのが
好ましい。
上縁部に長方形断面の環状溝を形成し、浮上床板に取付
けた磁性材ケーシングの下縁部に環状溝を内面に隙間を
設けて収められる環状突部を形成し、環状溝に環状突部
の下端部より若干上方のレベルまで磁性流体を満すのが
好ましい。
【００１１】
【作用】上記のように構成された磁気浮上除振装置の除
振制御器において、両ケーシング間は磁性流体で満たさ
れ、磁気的には隙間がなくなる。したがって、励磁コイ
ルからの磁束により両ケーシング及び磁性流体間に閉回
路磁束線が形成され、磁束が両ケーシング間の隙間から
外部に漏れるのが確実に防止される。
振制御器において、両ケーシング間は磁性流体で満たさ
れ、磁気的には隙間がなくなる。したがって、励磁コイ
ルからの磁束により両ケーシング及び磁性流体間に閉回
路磁束線が形成され、磁束が両ケーシング間の隙間から
外部に漏れるのが確実に防止される。
【００１２】
【実施例】以下図面を参照して本考案の実施例を説明す
る。なお、第１図において第２図に対応する部分につい
ては、同じ符号を付して重複説明を省略する。
る。なお、第１図において第２図に対応する部分につい
ては、同じ符号を付して重複説明を省略する。
【００１３】第１図において、下部ケーシング１２の上
縁部には、断面が長方形の環状溝５０が形成されてい
る。
縁部には、断面が長方形の環状溝５０が形成されてい
る。
【００１４】他方、上部ケーシング１１の下縁部には、
環状溝５０の内面に隙間を設けて収められる環状突部５
１が形成され、環状溝５０には、環状突部５１の下端部
より若干上方のレベルまで磁性流体５２が満たされてい
る。
環状溝５０の内面に隙間を設けて収められる環状突部５
１が形成され、環状溝５０には、環状突部５１の下端部
より若干上方のレベルまで磁性流体５２が満たされてい
る。
【００１５】したがって、磁性材で形成された両ケーシ
ング１１、１２間は磁性流体５２で満たされ、磁気的に
は隙間がなくなる。その結果、励磁コイル１７からの磁
束は、磁束線４０で示すように両ケーシング１１、１２
及び磁性流体５２間に閉回路を形成し、磁束が両ケーシ
ング１１、１２間の隙間Ｃから外部に漏れるのが確実に
防止される。
ング１１、１２間は磁性流体５２で満たされ、磁気的に
は隙間がなくなる。その結果、励磁コイル１７からの磁
束は、磁束線４０で示すように両ケーシング１１、１２
及び磁性流体５２間に閉回路を形成し、磁束が両ケーシ
ング１１、１２間の隙間Ｃから外部に漏れるのが確実に
防止される。
【００１６】
【考案の効果】本考案は、以上説明したように構成され
ているので、除振制御器からの漏れ磁束をなくし、除振
装置床で支持する半導体製造装置や電子顕微鏡などの性
能が除振制御器の変動磁界により低下するのを確実に防
止することができる。
ているので、除振制御器からの漏れ磁束をなくし、除振
装置床で支持する半導体製造装置や電子顕微鏡などの性
能が除振制御器の変動磁界により低下するのを確実に防
止することができる。
【図１】本考案の一実施例を示す側断面図。
【図２】従来の除振制御器を示す側断面図。
【図３】制御回路図。
１・・・除振装置床 ２・・・建物床 １１・・・上部ケーシング １２・・・下部ケーシング １６・・・水平方向電磁石 １７・・・励磁コイル ５０・・・環状溝 ５１・・・環状突部 ５２・・・磁性流体
Claims (1)
- 【請求項１】 磁気を利用して振動伝達を絶縁する除振
制御器を用いた磁気浮上除振装置において、該除振制御
器の浮上床板に取付けた磁性材ケーシングと建物に取付
けた磁性材ケーシングとの間の隙間に磁性流体を満たし
たことを特徴とする磁気浮上除振装置の除振制御器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14891U JPH0752437Y2 (ja) | 1991-01-08 | 1991-01-08 | 磁気浮上除振装置の除振制御器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14891U JPH0752437Y2 (ja) | 1991-01-08 | 1991-01-08 | 磁気浮上除振装置の除振制御器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0493539U JPH0493539U (ja) | 1992-08-13 |
| JPH0752437Y2 true JPH0752437Y2 (ja) | 1995-11-29 |
Family
ID=31726828
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14891U Expired - Lifetime JPH0752437Y2 (ja) | 1991-01-08 | 1991-01-08 | 磁気浮上除振装置の除振制御器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0752437Y2 (ja) |
-
1991
- 1991-01-08 JP JP14891U patent/JPH0752437Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0493539U (ja) | 1992-08-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN112696455B (zh) | 一种适用于超低频减隔振的准零刚度电磁隔振器 | |
| EP0767320B1 (en) | Vibration damping apparatus | |
| JP4400742B2 (ja) | 能動型防振装置 | |
| JPH11351322A (ja) | 能動的防振用加振器 | |
| JP5689519B1 (ja) | 動電型振動発生機の静荷重保持装置 | |
| US5975510A (en) | Damping apparatus | |
| CN109039007B (zh) | 磁流体驱动的防微振柔性微位移调节平台 | |
| JPH0552235A (ja) | 粘性ダンパ | |
| JPH0752437Y2 (ja) | 磁気浮上除振装置の除振制御器 | |
| US5631506A (en) | Sloped facet electromagnetic actuator adapted for vibration compensation | |
| JPS63259235A (ja) | 磁性流体ダンパ装置 | |
| JPH028528A (ja) | 振動減衰装置 | |
| JPS60241539A (ja) | 磁性流体ダンパ | |
| SU1190113A1 (ru) | Управл емый динамический виброгаситель | |
| JPH0366952A (ja) | 振動防止懸垂装置 | |
| JP2006077923A (ja) | 流体封入式能動型防振装置 | |
| KR100834901B1 (ko) | 전기액추에이터를 이용한 고정밀장비 운동제어용모션컨트롤러 및 이를 이용한 운동제어시스템 | |
| JP2668476B2 (ja) | 除振装置 | |
| JPH05149369A (ja) | 流体封入式マウント装置 | |
| RU2222729C2 (ru) | Виброизолирующая опора | |
| JPH0614513A (ja) | リニアアクチュエータ | |
| JPH03583Y2 (ja) | ||
| JPH05280571A (ja) | 流体封入式マウント装置 | |
| JPH0874930A (ja) | 防振装置 | |
| CN111219443B (zh) | 一种基于磁流变弹性体的准零刚度隔振器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |