JPH0754191A - 部分めっき装置 - Google Patents
部分めっき装置Info
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- JPH0754191A JPH0754191A JP5199807A JP19980793A JPH0754191A JP H0754191 A JPH0754191 A JP H0754191A JP 5199807 A JP5199807 A JP 5199807A JP 19980793 A JP19980793 A JP 19980793A JP H0754191 A JPH0754191 A JP H0754191A
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- Japan
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- mask
- plate
- plated
- lead frame
- plating
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D5/00—Electroplating characterised by the process; Pretreatment or after-treatment of workpieces
- C25D5/02—Electroplating of selected surface areas
- C25D5/022—Electroplating of selected surface areas using masking means
Landscapes
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 マスクと被めっき物とが自動的に位置合わせ
され、寸法精度の高い部分めっきを行うことができる。 【構成】 被めっき物１４をマスク１２で覆い、ノズル
３０からマスク１２の開口部４６にめっき液を噴出して
開口部４６に対応する被めっき物１４のめっき領域にめ
っきを施す部分めっき装置において、前記マスク１２
は、マスク支持板４０と、該マスク支持板４０上でマス
ク支持板４０に対して所要の範囲内で移動可能に設けら
れたマスク板４２とを含み、該マスク板４２には、被め
っき物１４に設けられた規制部に係合する係合部４７が
設けられていることを特徴としている。
され、寸法精度の高い部分めっきを行うことができる。 【構成】 被めっき物１４をマスク１２で覆い、ノズル
３０からマスク１２の開口部４６にめっき液を噴出して
開口部４６に対応する被めっき物１４のめっき領域にめ
っきを施す部分めっき装置において、前記マスク１２
は、マスク支持板４０と、該マスク支持板４０上でマス
ク支持板４０に対して所要の範囲内で移動可能に設けら
れたマスク板４２とを含み、該マスク板４２には、被め
っき物１４に設けられた規制部に係合する係合部４７が
設けられていることを特徴としている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はリードフレームのめっき
に用いて好適な部分めっき装置に関する。
に用いて好適な部分めっき装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置用のリードフレームは、帯状
の金属部材を加工して複数の単位リードフレームが多数
連接された長尺帯状部材に形成され、この各単位リード
フレームの半導体素子を搭載するステージおよびワイヤ
ボンディングがなされるインナーリード先端部に必要な
めっき、例えば銀めっきが部分めっきされる。このよう
にリードフレームの必要な部位に部分めっきを施すに
は、図５に示すような部分めっき装置が用いられる。１
０はスパージャーであり、密閉箱体状をなす。１２はそ
のマスクであり、被めっき物たるリードフレーム１４の
めっき領域に対応した部分が開口され、当板１６との間
でリードフレーム１４を挟圧する。１８はめっき液供給
容体であり、スパージャー１０内に配置され、その前面
側にノズルプレート２０が配置されている。２２はめっ
き液供給容体１８中に横断して配設された邪魔板であ
り、めっき液を前後に流通させる透孔２４が形成されて
いる。めっき液はタンク２６からポンプ２８によりめっ
き液供給容体１８内に導入され、さらにノズルプレート
２０に設けたノズル３０から噴出され、マスク１２の開
口部からリードフレーム１４の所定部位に噴出される。
３２は陽極となる白金線であり、ノズル３０先端近傍に
張設されるようになっている。マスク１２は前記のごと
く部分めっき装置のスパージャー１０に固定されるもの
で、図６、図７に示すように、支持板１３とこのマスク
支持板１３に接着剤等により固着されるゴム製のマスク
板１５からなり、リードフレーム１４の複数の単位リー
ドフレームを同時に部分めっきすべく、めっき領域に対
応して複数の開口部１７が設けられている。１９はリー
ドフレーム１４をガイドするガイドピンであり、２１は
リードフレーム１４に設けられている位置決め孔（図示
せず）に嵌入してリードフレーム１４をマスク１２に対
して位置決めする位置決めピンである。リードフレーム
１４はリールに巻回されていて図示しないフィーダーに
より繰り出され、部分めっき装置に所要の複数の単位リ
ードフレーム分ずつ間欠送りされて、複数個ずつ同時に
部分めっきが行えるようになっている。
の金属部材を加工して複数の単位リードフレームが多数
連接された長尺帯状部材に形成され、この各単位リード
フレームの半導体素子を搭載するステージおよびワイヤ
ボンディングがなされるインナーリード先端部に必要な
めっき、例えば銀めっきが部分めっきされる。このよう
にリードフレームの必要な部位に部分めっきを施すに
は、図５に示すような部分めっき装置が用いられる。１
０はスパージャーであり、密閉箱体状をなす。１２はそ
のマスクであり、被めっき物たるリードフレーム１４の
めっき領域に対応した部分が開口され、当板１６との間
でリードフレーム１４を挟圧する。１８はめっき液供給
容体であり、スパージャー１０内に配置され、その前面
側にノズルプレート２０が配置されている。２２はめっ
き液供給容体１８中に横断して配設された邪魔板であ
り、めっき液を前後に流通させる透孔２４が形成されて
いる。めっき液はタンク２６からポンプ２８によりめっ
き液供給容体１８内に導入され、さらにノズルプレート
２０に設けたノズル３０から噴出され、マスク１２の開
口部からリードフレーム１４の所定部位に噴出される。
３２は陽極となる白金線であり、ノズル３０先端近傍に
張設されるようになっている。マスク１２は前記のごと
く部分めっき装置のスパージャー１０に固定されるもの
で、図６、図７に示すように、支持板１３とこのマスク
支持板１３に接着剤等により固着されるゴム製のマスク
板１５からなり、リードフレーム１４の複数の単位リー
ドフレームを同時に部分めっきすべく、めっき領域に対
応して複数の開口部１７が設けられている。１９はリー
ドフレーム１４をガイドするガイドピンであり、２１は
リードフレーム１４に設けられている位置決め孔（図示
せず）に嵌入してリードフレーム１４をマスク１２に対
して位置決めする位置決めピンである。リードフレーム
１４はリールに巻回されていて図示しないフィーダーに
より繰り出され、部分めっき装置に所要の複数の単位リ
ードフレーム分ずつ間欠送りされて、複数個ずつ同時に
部分めっきが行えるようになっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで上記部分めっ
き装置には次のような問題点がある。すなわち、リード
フレーム１４は帯状の金属部材を順次プレス加工もしく
はエッチング加工して形成されるが、帯状部材を加工す
る際にはまず位置決め孔を形成し、この位置決め孔を基
準にしてプレス機あるいはエッチング装置に定寸送り
し、所要の加工を行うようにしている。この場合に位置
決め孔に多少ともずれが生じると、リードフレーム１４
の各単位リードフレームの位置に累積ピッチ誤差が生
じ、ある位置決め孔を基準に上記のように複数の単位リ
ードフレームを同時に部分めっきするときには、マスク
１２の開口部１７と各単位リードフレームのめっき領域
との間にずれが生じ、正確な位置に部分めっきが行えな
いという問題点がある。特に昨今では、リードフレーム
形状がファインで複雑化し、めっき領域も複雑な領域と
なる場合が多く、めっき位置のずれが問題となる。上記
のようにリードフレームにはある程度の累積ピッチ誤差
は免れないことから、上記マスク１２を用いて部分めっ
きするときは、累積ピッチ誤差を考慮に入れて部分めっ
きを行う必要があり、したがって一度に多数の部分めっ
きを行うことは不可能であり、生産性にも劣るものであ
った。また、マスク１２とリードフレーム１４との正確
な位置合わせが要求されることから、めっき開始時のマ
スク１２の位置調整（リードフレーム１４の位置決め孔
と位置決めピン２１との位置合わせ）が極めて厄介であ
り、調整に長時間を要し、さらには稼働時に両者間の位
置ずれの有無を常時監視せねばならないなど、作業性に
も劣る問題点があった。
き装置には次のような問題点がある。すなわち、リード
フレーム１４は帯状の金属部材を順次プレス加工もしく
はエッチング加工して形成されるが、帯状部材を加工す
る際にはまず位置決め孔を形成し、この位置決め孔を基
準にしてプレス機あるいはエッチング装置に定寸送り
し、所要の加工を行うようにしている。この場合に位置
決め孔に多少ともずれが生じると、リードフレーム１４
の各単位リードフレームの位置に累積ピッチ誤差が生
じ、ある位置決め孔を基準に上記のように複数の単位リ
ードフレームを同時に部分めっきするときには、マスク
１２の開口部１７と各単位リードフレームのめっき領域
との間にずれが生じ、正確な位置に部分めっきが行えな
いという問題点がある。特に昨今では、リードフレーム
形状がファインで複雑化し、めっき領域も複雑な領域と
なる場合が多く、めっき位置のずれが問題となる。上記
のようにリードフレームにはある程度の累積ピッチ誤差
は免れないことから、上記マスク１２を用いて部分めっ
きするときは、累積ピッチ誤差を考慮に入れて部分めっ
きを行う必要があり、したがって一度に多数の部分めっ
きを行うことは不可能であり、生産性にも劣るものであ
った。また、マスク１２とリードフレーム１４との正確
な位置合わせが要求されることから、めっき開始時のマ
スク１２の位置調整（リードフレーム１４の位置決め孔
と位置決めピン２１との位置合わせ）が極めて厄介であ
り、調整に長時間を要し、さらには稼働時に両者間の位
置ずれの有無を常時監視せねばならないなど、作業性に
も劣る問題点があった。
【０００４】そこで、本発明は上記問題点を解決すべく
なされたものであり、その目的とするところは、マスク
と被めっき物とが自動的に位置合わせされ、寸法精度の
高い部分めっきを行うことができる部分めっき装置を提
供するにある。
なされたものであり、その目的とするところは、マスク
と被めっき物とが自動的に位置合わせされ、寸法精度の
高い部分めっきを行うことができる部分めっき装置を提
供するにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため次の構成を備える。すなわち、長尺帯状の被め
っき物をマスクで覆い、ノズルからマスクの開口部にめ
っき液を噴出して前記開口部に対応する被めっき物のめ
っき領域にめっきを施す部分めっき装置において、前記
マスクは、マスク支持板と、該マスク支持板上でマスク
支持板に対して所要の範囲内で移動可能に設けられたマ
スク板とを含み、該マスク板には、前記被めっき物に設
けられた規制部に係合する係合部が設けられていること
を特徴としている。前記マスク板は前記被めっき物の長
手方向に対して複数枚に分割して設けると好適である。
前記規制部に被めっき物に設けられた位置決め孔を用
い、前記係合部にマスク板に固定した位置決めピンを用
いると好適である。半導体装置用のリードフレームの部
分めっきに好適である。
するため次の構成を備える。すなわち、長尺帯状の被め
っき物をマスクで覆い、ノズルからマスクの開口部にめ
っき液を噴出して前記開口部に対応する被めっき物のめ
っき領域にめっきを施す部分めっき装置において、前記
マスクは、マスク支持板と、該マスク支持板上でマスク
支持板に対して所要の範囲内で移動可能に設けられたマ
スク板とを含み、該マスク板には、前記被めっき物に設
けられた規制部に係合する係合部が設けられていること
を特徴としている。前記マスク板は前記被めっき物の長
手方向に対して複数枚に分割して設けると好適である。
前記規制部に被めっき物に設けられた位置決め孔を用
い、前記係合部にマスク板に固定した位置決めピンを用
いると好適である。半導体装置用のリードフレームの部
分めっきに好適である。
【０００６】
【作用】図１、図２により作用を説明する。リードフレ
ーム１４は図示しないフィーダーにより図１上紙面に垂
直な方向に所定距離、実施例では単位リードフレーム２
４個分定寸送りされ、次いでスパージャー１０が前進さ
れてリードフレーム１４を当板１６とマスク１２との間
で挟圧する。その際、位置決めピン４７がリードフレー
ム１４の位置決め孔に進入する。リードフレーム１４は
フィーダーにより送り込み位置が決まっているので、位
置決めピン４７が位置決め孔に進入していくにしたが
い、マスク板４２は、リードフレーム１４に設けられた
位置決め孔に位置決めピン４７がきっちり嵌まり込むま
で自動的に移動され、これにより開口部４６とリードフ
レーム１４のめっき領域とが自動的に一致するよう位置
合わせされるのである。しかして、ポンプ２８によりタ
ンク２６内のめっき液をくみ上げてめっき液供給容体１
８内に圧送して、ノズル３０からめっき液をマスク板４
７で囲まれているリードフレーム１４のめっき領域に噴
出させることによりリードフレーム１４の所定部位に部
分めっきを施すことができる。
ーム１４は図示しないフィーダーにより図１上紙面に垂
直な方向に所定距離、実施例では単位リードフレーム２
４個分定寸送りされ、次いでスパージャー１０が前進さ
れてリードフレーム１４を当板１６とマスク１２との間
で挟圧する。その際、位置決めピン４７がリードフレー
ム１４の位置決め孔に進入する。リードフレーム１４は
フィーダーにより送り込み位置が決まっているので、位
置決めピン４７が位置決め孔に進入していくにしたが
い、マスク板４２は、リードフレーム１４に設けられた
位置決め孔に位置決めピン４７がきっちり嵌まり込むま
で自動的に移動され、これにより開口部４６とリードフ
レーム１４のめっき領域とが自動的に一致するよう位置
合わせされるのである。しかして、ポンプ２８によりタ
ンク２６内のめっき液をくみ上げてめっき液供給容体１
８内に圧送して、ノズル３０からめっき液をマスク板４
７で囲まれているリードフレーム１４のめっき領域に噴
出させることによりリードフレーム１４の所定部位に部
分めっきを施すことができる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の好適な実施例を添付図面に基
づいて詳細に説明する。図１において、１０はスパージ
ャー、１２はそのマスク、１４は被めっき物の一例たる
リードフレーム、１６は当板、１８はめっき液供給容
体、２０はノズルプレート、２２は邪魔板、２４はその
透孔、２６はめっき液のタンク、２８はポンプ、３０は
ノズルである。図２〜図４は上記マスク１２の具体例を
示す。マスク１２はスパージャー１０に固定されるマス
ク支持板４０と、このマスク支持板４０上で移動可能に
設けられたマスク板４２を基本構成とする。マスク板４
２はゴム等のシール性に優れる材料を素材として形成さ
れている。マスク板４２は図示の例では３分割され、各
々４隅に設けた透孔４３（図４）にボルト４４が挿通さ
れ、ボルト４４がナット４５により固定されることによ
り、マスク支持板４０上に支持される。そして透孔４３
はいわゆるバカ孔に形成され、これにより各マスク板４
２はマスク支持板４０の面内で任意の方向に移動可能に
なされている。なお透孔４３をマスク支持板４０の長手
方向に長い長孔に形成し、マスク板４２をマスク支持板
４０の長手方向のみ（リードフレーム１４の送り方向）
に移動可能に設けてもよい。
づいて詳細に説明する。図１において、１０はスパージ
ャー、１２はそのマスク、１４は被めっき物の一例たる
リードフレーム、１６は当板、１８はめっき液供給容
体、２０はノズルプレート、２２は邪魔板、２４はその
透孔、２６はめっき液のタンク、２８はポンプ、３０は
ノズルである。図２〜図４は上記マスク１２の具体例を
示す。マスク１２はスパージャー１０に固定されるマス
ク支持板４０と、このマスク支持板４０上で移動可能に
設けられたマスク板４２を基本構成とする。マスク板４
２はゴム等のシール性に優れる材料を素材として形成さ
れている。マスク板４２は図示の例では３分割され、各
々４隅に設けた透孔４３（図４）にボルト４４が挿通さ
れ、ボルト４４がナット４５により固定されることによ
り、マスク支持板４０上に支持される。そして透孔４３
はいわゆるバカ孔に形成され、これにより各マスク板４
２はマスク支持板４０の面内で任意の方向に移動可能に
なされている。なお透孔４３をマスク支持板４０の長手
方向に長い長孔に形成し、マスク板４２をマスク支持板
４０の長手方向のみ（リードフレーム１４の送り方向）
に移動可能に設けてもよい。
【０００８】４６は開口部であり、マスク支持板４０、
マスク板４２を貫通して設けられている。開口部４６は
各マスク板４２に８個ずつ設けられ、本実施例では一度
に２４個の単位リードフレームに部分めっきが行えるよ
うになされている。もちろんこの数には限定されない。
４７は係合部の一例たる位置決めピンであり、各マスク
板４２に２個ずつ固定して設けられている。この位置決
めピン４７はリードフレーム１４の位置決め孔（規制部
の一例）に嵌入可能に設けられている。位置決めピン４
７はマスク板４２がマスク支持板４０上でどの位置に移
動していても位置決め孔に嵌入可能なように先端を尖ら
せて設けられている。なお実施例では、位置決めピン４
７は図４に示すように、マスク板４２に設けた透孔にマ
スク支持板４０側から嵌入して設けられており、基部の
大径部がマスク支持板４０に設けた穴に緩く嵌まりこ
み、これによりマスク板４２を移動可能にすると共に自
身の抜け止めをしている。位置決めピン４７はマスク板
４２と共に移動し、マスク板４２に対しては移動不能で
ある。４８はリードフレーム１４をガイドするガイドピ
ンであり、マスク支持板４０に固定され、マスク板４２
に設けた透孔を緩く挿通しており、マスク板４２の前記
移動を妨げないようになっている。
マスク板４２を貫通して設けられている。開口部４６は
各マスク板４２に８個ずつ設けられ、本実施例では一度
に２４個の単位リードフレームに部分めっきが行えるよ
うになされている。もちろんこの数には限定されない。
４７は係合部の一例たる位置決めピンであり、各マスク
板４２に２個ずつ固定して設けられている。この位置決
めピン４７はリードフレーム１４の位置決め孔（規制部
の一例）に嵌入可能に設けられている。位置決めピン４
７はマスク板４２がマスク支持板４０上でどの位置に移
動していても位置決め孔に嵌入可能なように先端を尖ら
せて設けられている。なお実施例では、位置決めピン４
７は図４に示すように、マスク板４２に設けた透孔にマ
スク支持板４０側から嵌入して設けられており、基部の
大径部がマスク支持板４０に設けた穴に緩く嵌まりこ
み、これによりマスク板４２を移動可能にすると共に自
身の抜け止めをしている。位置決めピン４７はマスク板
４２と共に移動し、マスク板４２に対しては移動不能で
ある。４８はリードフレーム１４をガイドするガイドピ
ンであり、マスク支持板４０に固定され、マスク板４２
に設けた透孔を緩く挿通しており、マスク板４２の前記
移動を妨げないようになっている。
【０００９】続いて動作について説明する。図１におい
て、リードフレーム１４は図示しないフィーダーにより
紙面に垂直な方向に所定距離、実施例では単位リードフ
レーム２４個分定寸送りされ、次いでスパージャー１０
が前進されてリードフレーム１４を当板１６とマスク１
２との間で挟圧する。その際、位置決めピン４７がリー
ドフレーム１４の位置決め孔に進入する。リードフレー
ム１４はフィーダーにより送り込み位置が決まっている
ので、位置決めピン４７が位置決め孔に進入していくに
したがい、マスク板４２は、リードフレーム１４に設け
られた位置決め孔に位置決めピン４７がきっちり嵌まり
込むまで自動的に移動され、これにより開口部４６とリ
ードフレーム１４のめっき領域とが自動的に一致するよ
う位置合わせされるのである。マスク板４２は本実施例
では３個に分割されているので、各マスク板４２の担当
する単位リードフレームは８個であり、リードフレーム
１４にパターン形成時の位置の累積ピッチ誤差があった
としても僅かであるから、実際上ほとんど問題がなく、
正確に位置合わせされる。なお、各マスク板４２にそれ
ぞれ位置決めピン４７を２個配設したのは、マスク板４
２をマスク支持板４０面上のＸＹ方向に移動せしめて、
所望の位置に位置合わせするためである。前記したよう
に透孔４３を長孔に形成することによりマスク板４２を
リードフレーム１４の送り方向にのみ移動するようにす
れば、位置決めピン４７は各マスク板４２に対して１個
だけ設けるようにしてもよい。しかして、ポンプ２８に
よりタンク２６内のめっき液をくみ上げてめっき液供給
容体１８内に圧送して、ノズル３０からめっき液をマス
ク板４７で囲まれているリードフレーム１４のめっき領
域に噴出させることによりリードフレーム１４の所定部
位に部分めっきを施すことができる。めっき終了後、ス
パージャー１０を後退させ、位置決めピン４７を位置決
め孔から離脱させ、次いでフィーダーにより次回めっき
分の長さだけリードフレーム１４を送り込むことによっ
て順次連続して部分めっきを行える。
て、リードフレーム１４は図示しないフィーダーにより
紙面に垂直な方向に所定距離、実施例では単位リードフ
レーム２４個分定寸送りされ、次いでスパージャー１０
が前進されてリードフレーム１４を当板１６とマスク１
２との間で挟圧する。その際、位置決めピン４７がリー
ドフレーム１４の位置決め孔に進入する。リードフレー
ム１４はフィーダーにより送り込み位置が決まっている
ので、位置決めピン４７が位置決め孔に進入していくに
したがい、マスク板４２は、リードフレーム１４に設け
られた位置決め孔に位置決めピン４７がきっちり嵌まり
込むまで自動的に移動され、これにより開口部４６とリ
ードフレーム１４のめっき領域とが自動的に一致するよ
う位置合わせされるのである。マスク板４２は本実施例
では３個に分割されているので、各マスク板４２の担当
する単位リードフレームは８個であり、リードフレーム
１４にパターン形成時の位置の累積ピッチ誤差があった
としても僅かであるから、実際上ほとんど問題がなく、
正確に位置合わせされる。なお、各マスク板４２にそれ
ぞれ位置決めピン４７を２個配設したのは、マスク板４
２をマスク支持板４０面上のＸＹ方向に移動せしめて、
所望の位置に位置合わせするためである。前記したよう
に透孔４３を長孔に形成することによりマスク板４２を
リードフレーム１４の送り方向にのみ移動するようにす
れば、位置決めピン４７は各マスク板４２に対して１個
だけ設けるようにしてもよい。しかして、ポンプ２８に
よりタンク２６内のめっき液をくみ上げてめっき液供給
容体１８内に圧送して、ノズル３０からめっき液をマス
ク板４７で囲まれているリードフレーム１４のめっき領
域に噴出させることによりリードフレーム１４の所定部
位に部分めっきを施すことができる。めっき終了後、ス
パージャー１０を後退させ、位置決めピン４７を位置決
め孔から離脱させ、次いでフィーダーにより次回めっき
分の長さだけリードフレーム１４を送り込むことによっ
て順次連続して部分めっきを行える。
【００１０】上記実施例では、マスク板４２を３個に分
割して設けた例を示したが、１個でも複数でもよい。ま
たリードフレーム１４の位置決め孔（規制部）を逆にピ
ンにして、マスク板４２の位置決めピン（係合部）を逆
に透孔にしてもよい。規制部と係合部とは、両者が係合
して規制されることによりマスク板４２を開口部４６と
めっき領域とが一致するよう移動させうるものであれば
ピンと透孔とに限定されない。またスパージャー１０の
構成も上記に限られないことはもちろんである。さら
に、リードフレームに限らず他の長尺帯状の被めっき物
の部分めっきにも同様にして用いることができる。
割して設けた例を示したが、１個でも複数でもよい。ま
たリードフレーム１４の位置決め孔（規制部）を逆にピ
ンにして、マスク板４２の位置決めピン（係合部）を逆
に透孔にしてもよい。規制部と係合部とは、両者が係合
して規制されることによりマスク板４２を開口部４６と
めっき領域とが一致するよう移動させうるものであれば
ピンと透孔とに限定されない。またスパージャー１０の
構成も上記に限られないことはもちろんである。さら
に、リードフレームに限らず他の長尺帯状の被めっき物
の部分めっきにも同様にして用いることができる。
【００１１】
【発明の効果】本発明に係る部分めっき装置によれば、
マスク板を、被めっき物の規制部にしたがって移動する
よう構成したので、被めっき物に対して正確にかつ自動
的に位置合わせでき、寸法精度のよい部分めっきを行え
る。また消耗品であるマスク板をマスク支持板に対して
容易に交換して用いることができるという著効を奏す
る。
マスク板を、被めっき物の規制部にしたがって移動する
よう構成したので、被めっき物に対して正確にかつ自動
的に位置合わせでき、寸法精度のよい部分めっきを行え
る。また消耗品であるマスク板をマスク支持板に対して
容易に交換して用いることができるという著効を奏す
る。
【図１】部分めっき装置の一例を示す断面説明図であ
る。
る。
【図２】マスクの一例を示す正面図である。
【図３】図２のマスクの側面図である。
【図４】図２のマスクの部分断面図である。
【図５】従来の部分めっき装置の一例を示す断面説明図
である。
である。
【図６】従来のマスクの正面図である。
【図７】従来のマスクの側面図である。
１０ スパージャー １２ マスク １４ リードフレーム １６ 当板 １８ めっき液供給容体 ２０ ノズルプレート ２６ タンク ２８ ポンプ ３０ ノズル ４０ マスク支持板 ４２ マスク板 ４４ ボルト ４６ 開口部 ４７ 位置決めピン ４８ ガイド
Claims (4)
- 【請求項１】 長尺帯状の被めっき物をマスクで覆い、
ノズルからマスクの開口部にめっき液を噴出して前記開
口部に対応する被めっき物のめっき領域にめっきを施す
部分めっき装置において、 前記マスクは、マスク支持板と、該マスク支持板上でマ
スク支持板に対して所要の範囲内で移動可能に設けられ
たマスク板とを含み、該マスク板には、前記被めっき物
に設けられた規制部に係合する係合部が設けられている
ことを特徴とする部分めっき装置。 - 【請求項２】 前記マスク板が前記被めっき物の長手方
向に対して複数枚に分割されていることを特徴とする請
求項１記載の部分めっき装置。 - 【請求項３】 前記規制部が被めっき物に設けられた位
置決め孔であり、前記係合部がマスク板に固定された位
置決めピンであることを特徴とする請求項１または２記
載の部分めっき装置。 - 【請求項４】 前記被めっき物が半導体装置用のリード
フレームであることを特徴とする請求項１、２または３
記載の部分めっき装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19980793A JP3339927B2 (ja) | 1993-08-11 | 1993-08-11 | 部分めっき装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19980793A JP3339927B2 (ja) | 1993-08-11 | 1993-08-11 | 部分めっき装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0754191A true JPH0754191A (ja) | 1995-02-28 |
| JP3339927B2 JP3339927B2 (ja) | 2002-10-28 |
Family
ID=16413964
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19980793A Expired - Lifetime JP3339927B2 (ja) | 1993-08-11 | 1993-08-11 | 部分めっき装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3339927B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002161392A (ja) * | 2000-11-24 | 2002-06-04 | Mitsui High Tec Inc | リードフレームのめっき装置 |
-
1993
- 1993-08-11 JP JP19980793A patent/JP3339927B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002161392A (ja) * | 2000-11-24 | 2002-06-04 | Mitsui High Tec Inc | リードフレームのめっき装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3339927B2 (ja) | 2002-10-28 |
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