JPH0758598B2 - プログラム回路 - Google Patents
プログラム回路Info
- Publication number
- JPH0758598B2 JPH0758598B2 JP62171510A JP17151087A JPH0758598B2 JP H0758598 B2 JPH0758598 B2 JP H0758598B2 JP 62171510 A JP62171510 A JP 62171510A JP 17151087 A JP17151087 A JP 17151087A JP H0758598 B2 JPH0758598 B2 JP H0758598B2
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- JP
- Japan
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- mos transistor
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- terminal
- channel mos
- potential
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Links
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- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Techniques For Improving Reliability Of Storages (AREA)
- For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体集積回路、特にプログラム回路に関す
る。
る。
近年のメモリ回路は、製造工程上の歩留り向上の目的
で、拡散工程での微細加工技術の改善の他に、回路上で
も、メモリセル部に発生する不良ビット群を、予備に設
けてあるビット群と置き換える回路方式(以下冗長回路
方式と呼ぶ)が提案され、実用化されている。この冗長
回路方式を構成するにあたり、不良ビット群のアドレス
番地を各チップ毎に記憶させる為のプログラム回路が必
要になる。
で、拡散工程での微細加工技術の改善の他に、回路上で
も、メモリセル部に発生する不良ビット群を、予備に設
けてあるビット群と置き換える回路方式(以下冗長回路
方式と呼ぶ)が提案され、実用化されている。この冗長
回路方式を構成するにあたり、不良ビット群のアドレス
番地を各チップ毎に記憶させる為のプログラム回路が必
要になる。
以下、従来のプログラム回路を説明する。
第5図(a),第6図(a)は従来のプログラム回路を
示す回路図である。図中、Q1,Q2はNチャネルMOSトラン
ジスタ、Q3はPチャネルMOSトランジスタ、N1,N2,N3は
節点、INVはインバータ回路、C1,C2,C3,C4はMOSトラン
ジスタQ1,Q2,Q3,インバータ回路INVのゲート,ドレイン
容量及びマスクパターン上の配線容量及び回路上付加し
た容量を含めた節点N1,N2のVCC電源,GND電源に対する各
部の静電容量、Fは多結晶シリコンで構成したヒューズ
である。
示す回路図である。図中、Q1,Q2はNチャネルMOSトラン
ジスタ、Q3はPチャネルMOSトランジスタ、N1,N2,N3は
節点、INVはインバータ回路、C1,C2,C3,C4はMOSトラン
ジスタQ1,Q2,Q3,インバータ回路INVのゲート,ドレイン
容量及びマスクパターン上の配線容量及び回路上付加し
た容量を含めた節点N1,N2のVCC電源,GND電源に対する各
部の静電容量、Fは多結晶シリコンで構成したヒューズ
である。
第5図,第6図はヒューズFの切断前後の回路図であ
り、プログラム回路内の各節点の電位が電源投入後定ま
るまでの動作を第5図(b),第6図(b)を用いて説
明する。
り、プログラム回路内の各節点の電位が電源投入後定ま
るまでの動作を第5図(b),第6図(b)を用いて説
明する。
第5図に於いて、ヒューズFはその抵抗値と、Nチャネ
ルMOSトランジスタQ1のON抵抗の比で定まる節点N1の電
位が、PチャネルMOSトランジスタQ3,NチャネルMOSトラ
ンジスタQ2で構成する次段インバータのスレッショルド
電位より十分VCC側に高くなるように、即ち、一般に数
百Ω以下の低抵抗に設定される。したがって、節点N1は
VCC電源の上昇に追従して上昇し、時刻T51でNチャネル
MOSトランジスタのスレッショルド電位(以下VTN)と呼
ぶ)に達する。一方、節点N2は、時刻T51では、Pチャ
ネルMOSトランジスタQ3,NチャネルMOSトランジスタQ2が
ともにOFF状態であるから、容量C2,C3の容量比で定まる
電位で徐々に上昇するが、時刻T51でNチャネルMOSトラ
ンジスタQ2がONするとGND電位に向かう。よって、最終
的に、NチャネルMOSトランジスタQ2はON,NチャネルMOS
トランジスタQ1,PチャネルMOSトランジスタQ3がOFFにな
り、節点N1はVCC電位,節点N2はGND電位,プログラム回
路の出力である節点N3は“H"レベルに保たれる。
ルMOSトランジスタQ1のON抵抗の比で定まる節点N1の電
位が、PチャネルMOSトランジスタQ3,NチャネルMOSトラ
ンジスタQ2で構成する次段インバータのスレッショルド
電位より十分VCC側に高くなるように、即ち、一般に数
百Ω以下の低抵抗に設定される。したがって、節点N1は
VCC電源の上昇に追従して上昇し、時刻T51でNチャネル
MOSトランジスタのスレッショルド電位(以下VTN)と呼
ぶ)に達する。一方、節点N2は、時刻T51では、Pチャ
ネルMOSトランジスタQ3,NチャネルMOSトランジスタQ2が
ともにOFF状態であるから、容量C2,C3の容量比で定まる
電位で徐々に上昇するが、時刻T51でNチャネルMOSトラ
ンジスタQ2がONするとGND電位に向かう。よって、最終
的に、NチャネルMOSトランジスタQ2はON,NチャネルMOS
トランジスタQ1,PチャネルMOSトランジスタQ3がOFFにな
り、節点N1はVCC電位,節点N2はGND電位,プログラム回
路の出力である節点N3は“H"レベルに保たれる。
第6図に於いて、容量C1,C2,C3,C4の値はC1≫C4及びC3
≫C2に設定するものとする。即ち、VCC電源の上昇に伴
い、節点N2は節点N1に比べより高い電位で上昇し、時刻
T61でVTNに達する。すると、NチャネルMOSトランジス
タQ1がONし、節点N1はGND電位に向かって下降する。時
刻T62でVCC電位と節点N1の差電位がPチャネルMOSトラ
ンジスタのスレッショルド電位(以下|VTP|と呼ぶ)に
達するとPチャネルMOSトランジスタQ3がONし、節点N2
はVCC電位に向かって上昇する。よって、最終的に、N
チャネルMOSトランジスタQ2はOFF,NチャネルMOSトラン
ジスタQ1,PチャネルMOSトランジスタQ3がONになり、節
点N1はGND電位,節点N2はVCC電位,プログラム回路の出
力である節点N3は“L"レベルに保たれる。
≫C2に設定するものとする。即ち、VCC電源の上昇に伴
い、節点N2は節点N1に比べより高い電位で上昇し、時刻
T61でVTNに達する。すると、NチャネルMOSトランジス
タQ1がONし、節点N1はGND電位に向かって下降する。時
刻T62でVCC電位と節点N1の差電位がPチャネルMOSトラ
ンジスタのスレッショルド電位(以下|VTP|と呼ぶ)に
達するとPチャネルMOSトランジスタQ3がONし、節点N2
はVCC電位に向かって上昇する。よって、最終的に、N
チャネルMOSトランジスタQ2はOFF,NチャネルMOSトラン
ジスタQ1,PチャネルMOSトランジスタQ3がONになり、節
点N1はGND電位,節点N2はVCC電位,プログラム回路の出
力である節点N3は“L"レベルに保たれる。
以上より、従来のプログラム回路は、ヒューズFの切断
情報により、接点N3の電位が定まりプログラム回路とし
て機能する。
情報により、接点N3の電位が定まりプログラム回路とし
て機能する。
上述した従来のプログラム回路は、以下に述べる欠点が
あった。
あった。
ヒューズFはレーザーで切断する為に、製造工程上、レ
ーザー強度のばらつき、レーザー照射位置のずれ等によ
り完全に切断されず、多結晶シリコンが高抵抗で残る場
合がある。この場合、節点N1の電位は、VCC電源の上昇
に伴い、高抵抗で残ったヒューズFの抵抗値と容量C1,C
4のCR積で定まる時間で上昇する。したがって、VCC電源
が、このCR積で定まる時間より速く上昇した場合は、前
述の第6図の説明と同様な動作を行うが、一方、CR積で
定まる時間より遅く上昇した場合には、節点N1はVCC電
源に追従して上昇してしまう。よって、節点N2がVTNに
達する時刻T61より速く、節点N1がVTNに達しNチャネル
MOSトランジスタQ2がONし、節点N2はGND電位に向かう。
即ちヒューズ未切断の情報が保持される。したがって、
ヒューズFが高抵抗で残った場合、ヒューズ回路の保持
情報がVCC電源の上昇時間により異なってしまうという
欠点があった。また、節点N1の容量を数pF,高抵抗で残
ったヒューズ抵抗を数MEGΩとすれば、検査工程でこの
ような不確定なプログラム回路を検査するには数秒程度
の時間が必要となりい、検査時間が長いという欠点があ
った。
ーザー強度のばらつき、レーザー照射位置のずれ等によ
り完全に切断されず、多結晶シリコンが高抵抗で残る場
合がある。この場合、節点N1の電位は、VCC電源の上昇
に伴い、高抵抗で残ったヒューズFの抵抗値と容量C1,C
4のCR積で定まる時間で上昇する。したがって、VCC電源
が、このCR積で定まる時間より速く上昇した場合は、前
述の第6図の説明と同様な動作を行うが、一方、CR積で
定まる時間より遅く上昇した場合には、節点N1はVCC電
源に追従して上昇してしまう。よって、節点N2がVTNに
達する時刻T61より速く、節点N1がVTNに達しNチャネル
MOSトランジスタQ2がONし、節点N2はGND電位に向かう。
即ちヒューズ未切断の情報が保持される。したがって、
ヒューズFが高抵抗で残った場合、ヒューズ回路の保持
情報がVCC電源の上昇時間により異なってしまうという
欠点があった。また、節点N1の容量を数pF,高抵抗で残
ったヒューズ抵抗を数MEGΩとすれば、検査工程でこの
ような不確定なプログラム回路を検査するには数秒程度
の時間が必要となりい、検査時間が長いという欠点があ
った。
本発明のプログラム回路は、抵抗素子の直列接続により
抵抗分割された接続点をゲート入力としソース端子を第
1の電源端子に接続した第1のMOSトランジスタのドレ
イン端子を、ヒューズ素子を形成する抵抗素子を介して
ソース端子を第2の電源端子に接続した第2のMOSトラ
ンジスタのドレイン端子に接続し、かつ、該第2のMOS
トランジスタのドレイン端子に入力端子が接続された第
1のインバータ回路の出力端子を該第2のMOSトランジ
スタのゲート端子及び第2のインバータ回路の入力端子
に接続し、該第2のインバータ回路の出力端子を出力と
して構成することを特徴とする。
抵抗分割された接続点をゲート入力としソース端子を第
1の電源端子に接続した第1のMOSトランジスタのドレ
イン端子を、ヒューズ素子を形成する抵抗素子を介して
ソース端子を第2の電源端子に接続した第2のMOSトラ
ンジスタのドレイン端子に接続し、かつ、該第2のMOS
トランジスタのドレイン端子に入力端子が接続された第
1のインバータ回路の出力端子を該第2のMOSトランジ
スタのゲート端子及び第2のインバータ回路の入力端子
に接続し、該第2のインバータ回路の出力端子を出力と
して構成することを特徴とする。
次に、本発明の第1の実施例を第1図,第2図を参照し
て説明する。
て説明する。
本発明の第1の実施例は、ヒューズFを従来例では直接
VCC電源に接続しているのに対し、PチャネルMOSトラン
ジスタQ4を介してVCC電源に接続し、かつ、PチャネルM
OSトランジスタQ4のゲート端子は抵抗R1,R2で抵抗分割
された節点N4に接続することを構成上の特徴とする。
VCC電源に接続しているのに対し、PチャネルMOSトラン
ジスタQ4を介してVCC電源に接続し、かつ、PチャネルM
OSトランジスタQ4のゲート端子は抵抗R1,R2で抵抗分割
された節点N4に接続することを構成上の特徴とする。
第1図(a),第2図(a)はヒューズ切断前後の回路
図であり、プログラム回路内の各節点の電位が電源投入
後、定まるまでの動作を第1図(b),第2図(b)を
用いて説明する。
図であり、プログラム回路内の各節点の電位が電源投入
後、定まるまでの動作を第1図(b),第2図(b)を
用いて説明する。
第1図に於いて、ヒューズFとPチャネルMOSトランジ
スタQ4のON抵抗の和は、NチャネルMOSトランジスタQ1
のON抵抗に比べ小さく、節点N1の電位が、PチャネルMO
SトランジスタQ3,NチャネルMOSトランジスタQ2で構成す
る次段のインバータのスレッショルド電位より十分VCC
側に高く設定されているものとする。また、抵抗R1,R2
の抵抗比は、プログラム回路を使用する例えばメモリ回
路の最低動作電源電圧以上では、節点N4とVCC電源との
差電位が|VTP|以上に開く、即ちPチャネルMOSトランジ
スタQ4がONするように設定されているものとする。
スタQ4のON抵抗の和は、NチャネルMOSトランジスタQ1
のON抵抗に比べ小さく、節点N1の電位が、PチャネルMO
SトランジスタQ3,NチャネルMOSトランジスタQ2で構成す
る次段のインバータのスレッショルド電位より十分VCC
側に高く設定されているものとする。また、抵抗R1,R2
の抵抗比は、プログラム回路を使用する例えばメモリ回
路の最低動作電源電圧以上では、節点N4とVCC電源との
差電位が|VTP|以上に開く、即ちPチャネルMOSトランジ
スタQ4がONするように設定されているものとする。
VCC電源が上昇すると、まず、第6図の従来例の説明で
述べたように、容量C1,C2,C3,C4の設定値により、節点N
2は節点N1に比べより高い電位で上昇する。時刻T11に於
いて節点N2がVTNに達するとNチャネルMOSトランジスタ
Q1がONし、節点N1はGND電位に向かって下降する。時刻T
12に於いて、VCC電位と節点N1との差電位が|VTP|に達す
るとPチャネルMOSトランジスタQ3がONし、節点N2の電
位はVCC電源に向かって上昇する。時刻T13に於いて節点
N4とVCC電源の差電位が|VTP|に達しPチャネルMOSトラ
ンジスタQ4がONすると、ヒューズ抵抗Fを介して節点N1
に電流が流れ込み、節点N1がVCC電位に向かって上昇す
る。ここで、PチャネルMOSトランジスタQ4,NチャネルM
OSトランジスタQ1のON抵抗及びヒューズFの抵抗値で定
まる接点N1の電位は、次段のPチャネルMOSトランジス
タQ3,NチャネルMOSトランジスタQ2で構成するインバー
タ回路のスレッショルド電位よりVCC側に十分高く設定
してあるから、節点N2はGND電位に向かって下降し、P
チャネルMOSトランジスタQ3,Q4,NチャネルMOSトランジ
スタQ1,Q2で構成するフリップフロップの動作により、
節点N1はVCC電位,節点N2はGND電位に安定する。即ち、
プログラム回路出力である節点N3は“H"レベルになる。
述べたように、容量C1,C2,C3,C4の設定値により、節点N
2は節点N1に比べより高い電位で上昇する。時刻T11に於
いて節点N2がVTNに達するとNチャネルMOSトランジスタ
Q1がONし、節点N1はGND電位に向かって下降する。時刻T
12に於いて、VCC電位と節点N1との差電位が|VTP|に達す
るとPチャネルMOSトランジスタQ3がONし、節点N2の電
位はVCC電源に向かって上昇する。時刻T13に於いて節点
N4とVCC電源の差電位が|VTP|に達しPチャネルMOSトラ
ンジスタQ4がONすると、ヒューズ抵抗Fを介して節点N1
に電流が流れ込み、節点N1がVCC電位に向かって上昇す
る。ここで、PチャネルMOSトランジスタQ4,NチャネルM
OSトランジスタQ1のON抵抗及びヒューズFの抵抗値で定
まる接点N1の電位は、次段のPチャネルMOSトランジス
タQ3,NチャネルMOSトランジスタQ2で構成するインバー
タ回路のスレッショルド電位よりVCC側に十分高く設定
してあるから、節点N2はGND電位に向かって下降し、P
チャネルMOSトランジスタQ3,Q4,NチャネルMOSトランジ
スタQ1,Q2で構成するフリップフロップの動作により、
節点N1はVCC電位,節点N2はGND電位に安定する。即ち、
プログラム回路出力である節点N3は“H"レベルになる。
次に第2図に於いて、時刻T22までの動作は、前記ヒュ
ーズ切断前の時刻T12までの動作と同じである。第2図
ではヒューズは切断されているから、節点N1に電流の流
れ込みはなく、節点N1はGND電位,節点N2はVCC電位で安
定する。即ち、プログラム回路出力である接点N3は“L"
レベルになる。
ーズ切断前の時刻T12までの動作と同じである。第2図
ではヒューズは切断されているから、節点N1に電流の流
れ込みはなく、節点N1はGND電位,節点N2はVCC電位で安
定する。即ち、プログラム回路出力である接点N3は“L"
レベルになる。
以上、本発明の第1の実施例もヒューズFの切断情報に
より、プログラム回路出力N3の情報が異なり、プログラ
ム回路として動作する。
より、プログラム回路出力N3の情報が異なり、プログラ
ム回路として動作する。
本発明の第1の実施例では、仮にヒューズFが切断時に
数MEGΩ程度の高抵抗で残った場合でも時刻T21で、すで
にNチャネルMOSトランジスタQ1がONしているから、時
刻T23でPチャネルMOSトランジスタQ4がONしヒューズF
を介して電流が流れ込んでも節点N1は“L"レベルに保た
れ正しく動作する。
数MEGΩ程度の高抵抗で残った場合でも時刻T21で、すで
にNチャネルMOSトランジスタQ1がONしているから、時
刻T23でPチャネルMOSトランジスタQ4がONしヒューズF
を介して電流が流れ込んでも節点N1は“L"レベルに保た
れ正しく動作する。
次に本発明の第2の実施例を第3図,第4図を参照して
説明する。
説明する。
第3図(a),第4図(a)の回路図に示す第2の実施
例は第1の実施例に対し、プログラム回路を構成するMO
Sトランジスタの導通チャネルを変えただけであり、第
2の実施例もプログラム回路として正しく動作すること
は第3図(b),第4図(b)に示した内部節点の波形
より明らかである。尚、第2の実施例に於いても、ヒュ
ーズFが切断時に数MEGΩ程度の高抵抗で残った場合で
も、時刻T42でPチャネルMOSトランジスタQ4がすでにON
しているから、時刻T43でNチャネルMOSトランジスタQ1
がONして節点N1から微少電流が流れても節点N1は“H"レ
ベルに保たれ、ヒューズ切断時の情報を正しく出力す
る。
例は第1の実施例に対し、プログラム回路を構成するMO
Sトランジスタの導通チャネルを変えただけであり、第
2の実施例もプログラム回路として正しく動作すること
は第3図(b),第4図(b)に示した内部節点の波形
より明らかである。尚、第2の実施例に於いても、ヒュ
ーズFが切断時に数MEGΩ程度の高抵抗で残った場合で
も、時刻T42でPチャネルMOSトランジスタQ4がすでにON
しているから、時刻T43でNチャネルMOSトランジスタQ1
がONして節点N1から微少電流が流れても節点N1は“H"レ
ベルに保たれ、ヒューズ切断時の情報を正しく出力す
る。
以上説明したように本発明は、従来回路に比べ抵抗素子
2個とトランジスタ1個を追加するだけの簡単な構成に
より、ヒューズ抵抗が高抵抗で残った場合でもプログラ
ム回路として正しく動作するという効果がある。
2個とトランジスタ1個を追加するだけの簡単な構成に
より、ヒューズ抵抗が高抵抗で残った場合でもプログラ
ム回路として正しく動作するという効果がある。
第1図(a),第2図(a)は本発明の一実施例の回路
図、第1図(b),第2図(b)は第1図(a),第2
図(a)の動作を示す特性図、第3図(a),第4図
(a)は本発明の他の実施例の回路図、第3図(b),
第4図(b)は第3図(a),第4図(a)の動作を示
す特性図、第5図(a),第6図(a)は従来例の回路
図、第5図(b),第6図(b)は第5図(a),第6
図(a)の動作を示す特性図である。 Q1,Q2……NチャネルMOSトランジスタ、Q3,Q4……Pチ
ャネルMOSトランジスタ、C1,C2,C3,C4……容量、INV…
…インバータ回路、F……ヒューズ、R1,R2……抵抗、N
1,N2,N3,N4……節点。
図、第1図(b),第2図(b)は第1図(a),第2
図(a)の動作を示す特性図、第3図(a),第4図
(a)は本発明の他の実施例の回路図、第3図(b),
第4図(b)は第3図(a),第4図(a)の動作を示
す特性図、第5図(a),第6図(a)は従来例の回路
図、第5図(b),第6図(b)は第5図(a),第6
図(a)の動作を示す特性図である。 Q1,Q2……NチャネルMOSトランジスタ、Q3,Q4……Pチ
ャネルMOSトランジスタ、C1,C2,C3,C4……容量、INV…
…インバータ回路、F……ヒューズ、R1,R2……抵抗、N
1,N2,N3,N4……節点。
Claims (1)
- 【請求項1】抵抗素子の直列接続により抵抗分割された
接続点をゲート入力としソース端子を第1の電源端子に
接続した第1のMOSトランジスタのドレイン端子を、ヒ
ューズ素子を形成する抵抗素子を介してソース端子を第
2の電源端子に接続した第2のMOSトランジスタのドレ
イン端子に接続し、かつ、該第2のMOSトランジスタの
ドレイン端子に入力端子が接続された第1のインバータ
回路の出力端子を該第2のMOSトランジスタのゲート端
子及び第2のインバータ回路の入力端子に接続し、該第
2のインバータ回路の出力端子を出力とするプログラム
回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62171510A JPH0758598B2 (ja) | 1987-07-08 | 1987-07-08 | プログラム回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62171510A JPH0758598B2 (ja) | 1987-07-08 | 1987-07-08 | プログラム回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6414799A JPS6414799A (en) | 1989-01-18 |
| JPH0758598B2 true JPH0758598B2 (ja) | 1995-06-21 |
Family
ID=15924453
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62171510A Expired - Lifetime JPH0758598B2 (ja) | 1987-07-08 | 1987-07-08 | プログラム回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0758598B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03272098A (ja) * | 1990-03-20 | 1991-12-03 | Fujitsu Ltd | 半導体集積回路装置 |
| JP7586000B2 (ja) * | 2021-06-30 | 2024-11-19 | 株式会社オートネットワーク技術研究所 | 車載装置 |
-
1987
- 1987-07-08 JP JP62171510A patent/JPH0758598B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6414799A (en) | 1989-01-18 |
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