JPH0760265B2

JPH0760265B2 - 感光性組成物

Info

Publication number: JPH0760265B2
Application number: JP60145483A
Authority: JP
Inventors: 近衛三浦; 為一落合; 秀夫牧島
Original assignee: Mitsubishi Chemical Corp
Current assignee: Mitsubishi Chemical Corp
Priority date: 1985-07-02
Filing date: 1985-07-02
Publication date: 1995-06-28
Anticipated expiration: 2010-06-28
Also published as: JPS626254A

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、有機カラーフイルターの耐染色性層等として
良好に使用し得る感光性組成物に関する。

〔従来の技術〕

カラーフイルターの搭載方法には大別して次の２つがあ
げられる。

例えば、シリコンウエーハー等の上に光検知部等を
設けてなる固体撮像素子上に直接色分解有機カラーフイ
ルターを製造するもの（以下「直付型」と云う）。

固体撮像素子と色分解有機カラーフイルターを夫々
個別に製造しておき、両者を位置合わせしつつ、適当な
接着剤等で貼合わせるもの（以下「貼合わせ型」と云
う）。

本発明の感光性組成物は量産性に優れていると考えられ
る直付型カラーフイルターに適用するのが特に有用であ
る。

直付型カラーフイルターを製造する場合、通常、固体撮
像素子の表面を平担化し、ひずみのないカラーフイルタ
ーを得るためにポリマー層（以後「平担化」層と呼ぶ）
を塗布する。その後その上に被染色層を形成するための
感光性物質層をもうけ、しかる後に、被染色層上にパターニングしたレジストを設け、露
出している被染色層の部分を染色して染色層を形成後レ
ジストを剥離し、その後に同様にして次の染色層を形成
する。（単一の被染色層を複数の染色部分に染め分ける
方法。）被染色層を所定のパターンに露光し、現像した後染
色して染色層を形成し、次いで、透明な耐染色性絶縁層
を被覆後、その上に同様にして次の染色層を形成する。

上記の方法は、各染色部分の境界における色のにじみ
等の問題があり、一般にはの方法が広く行われてい
る。

上記の方法で得られるカラーフイルターにおいては、
耐染色性絶縁層の選択が重要である。

耐染色性絶縁層は、第２色目以降の染色の際に、既に染
色された第１色目の染色層の耐染色層としての役割と、
出来上つたカラーフイルターの染色層間の経時的な色の
にじみを防止するという重要な役割を持つている。ま
た、耐染色性絶縁層は、基本的に、耐染色性、基板及び
染色層との接着性、無色透明性、耐現像性、塗膜性が良
好であることが必要とされる。

しかしながら、これらの性質のいずれをも満足するよう
なものの選択は難しい。すなわち、例えば、被染色層と
しては、通常、ゼラチン、カゼイン、グリユー、ポリビ
ニルアルコール等と重クロム酸塩の混合物といつた水溶
性の感光性物質が使用され、また、染色は水溶性染料が
使用される。従つて、耐染色性絶縁層としては、耐染色
性の観点からは親油性の高いものが要求されるが、染色
層との接着性の観点からは親水性の高いものが要求され
るといつた相矛盾した性質が要求されるからである。

本発明者等はこのような矛盾を解決した感光性ポリマー
として下記式（Ｉ）および（II）で表わされる繰返し単
位を有するポリマーと増感剤を含む感光性組成物を見出
し、先に提案した（特願昭60−21044）。

（式中、R¹およびR²は水素原子又はメチル基を表わし、
R³は水素原子又はフエニル基を表わし、R⁴は水素原子、
フエニル基又はシアノ基を表わし、R⁵およびR⁶は水素原
子、ハロゲン原子、ニトロ基又はメトキシ基を表わ
す。）〔発明が解決しようとする問題点〕前述のようなポリマーは、下記式（III）で表わされる
化合物、即ち、アクリル酸のグリシジルエステル又はメ
タクリル酸のグリシジルエステルと下記式（IV）で表わ
される化合物、即ち、下記式（VI）で表わされる２−ヒ
ドロキシエチルアクリレート又は２−ヒドロキシエチル
メタクリレートと下記式（VII）で表わされる桂皮酸ク
ロライド又はその誘導体との反応物をアゾビスイソブチ
ロニトリル、過酸化ベンゾイル等のラジカル開始剤を使
用し、公知の方法に従いラジカル共重合することによつ
て得た化合物とからなる。

（式中、R¹〜R⁶は前記と同義を表わし、Ｘはハロゲン原
子を表わす。）しかしながら、式（VII）で表わされる化合物はきわめ
て加水分解をうけやすいために保存中に空気中に含まれ
る水分により加水分解をうけたり、或いは、２−ヒドロ
キシエチルアクリレート又は２−ヒドロキシエチルメタ
クリレートと反応させる際に系中に含まれる微量の水分
により加水分解をうけるため、生成した式（IV）で表わ
される化合物中には通常若干量の式（Ｖ）、で表わされるケイ皮酸、もしくはその誘導体が不純物と
して含まれている。この不純物は、式（IV）で表わされ
る化合物の性質と類似しているため、アルカリ水で洗浄
するなどの通常の操作では充分には除けないのが実状で
あつた。

このようにモノマー中に酸を含んだままの状態で重合反
応を行わせると、はなはだしい時は反応中に酸の触媒作
用により式（III）で表わされる化合物のグリシジル基
が架橋反応をおこしてゲル化し、そうでない場合でも当
該酸は通常の条件ではポリマーとの分解も困難であるた
め生成したポリマー中にとりこまれる。

このようにして得られた樹脂は保存安定性にとぼしく数
日から数週間の間にわずかながらゲル化が進行し、たと
えば感光液組成物に調液後0.2μ程度のフイルターを用
いて過するに際して目ずまりをおこして頻繁に紙の
交換を行わねばならないなどの問題点が存在した。

〔問題を解決するための手段〕

本発明者等は上述したような欠点を解決すべく種々検討
の結果、式（III）および（IV）で表わされる化合物を
反応させる際、反応系内の酸の濃度が１×10^-3mol/l以
下の条件で重合を行わせることにより保存安定性が著し
く改善された感光性樹脂を製造出来ることを見出し本発
明を完成した。

すなわち本発明の要旨は、少くとも、下記式（Ｉ）及び
（II）（式中、R¹及びR²は水素原子又はメチル基を表わし、R³
は水素原子又はフエニル基を表わし、R⁴は水素原子、フ
エニル基又はシアノ基を表わし、R⁵およびR⁶は水素原
子、ハロゲン原子、ニトロ基又はメトキシ基を表わ
す。）で表わされる繰返し単位を有するポリマーと増感
剤を含む感光性組成物であつて、該ポリマーが下記式
（III）および下記式（IV）で表わされる化合物を反応
系内の酸濃度が１×10^-3mol/l以下の条件下に重合して
得られるものであることを特徴とする感光性組成物。

（式中、R¹〜R⁶は前記と同義を表わす。）に存する。

本発明をさらに詳しく説明する。

式（III）で表わされる化合物は、アクリル酸のグリシ
ジルエステルおよびメタクリル酸のグリシジルエステル
であり、市販されているものが便利に使用出来る。

次に、式（IV）で表わされる化合物は、下式に従つて合
成することによつて得られる。

即ち、ヒドロキシエチルアクリレート又はヒドロキシエ
チルメタクリレート（VI）とケイ皮酸ハライドもしくは
その誘導体（VII）を塩基の存在下で溶媒中で反応させ
る。塩基は反応の進行に従つて発生してくる塩酸を捕獲
するためのものでどのような塩基でも使用出来るが通常
トリエチルアミンなどの第３級有機アミン、ピリジンな
どの複素環塩基性化合物、テトラメチルアンモニウムハ
イドロオキサイドなどの第４級アンモニウムヒドロオキ
シド、ジアザビシクロウンデセンなどの有機強塩基、水
酸化ナトリウム、炭酸ソーダなどの無機塩基が好適に使
用される。これらの塩基はかならずしも溶液状態で存在
する必要はなくけん濁状態で存在していても良い。

溶媒としては、例えば、テトラヒドロフラン（THF）、
ジオキサン、ジエチルエーテルなどのエーテル系溶媒、
アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサンなどの
ケトン系溶媒、ペンタン、ヘキサンなどの炭化水素、ベ
ンゼン、トルエンなどの芳香族炭化水素、ジクロルエタ
ンなどのハロゲン化炭化水素もしくはピリジンなどの求
核性の小さい塩基性溶媒を塩基の働きもかねて使用する
ことも出来る。

反応は−10℃〜＋80℃、好ましくは−５℃〜＋50℃の間
で行われる。この反応は著しい発熱反応であるので通常
全体を一度に混合せず（VII）もしくは塩基をあとから
滴下して滴下速度により反応をコントロールする手法が
とられる。滴下時間は除熱とのかね合いで反応温度が上
記にコントロール出来るようにすれば良い。滴下が終了
してから１〜５時間反応させて反応を完了する。反応後
生成した塩酸塩を別除去しさらに蒸留もしくは水溶性
の溶媒を用いた場合は水を加えて生成物と相分離させる
ことにより目的物を取り出すことが出来便利である。

この粗生成物は通常原料の酸ハライド（VII）の不純物
として存在していた相当する酸もしくは溶媒中に微量存
在していた水による（VII）の加水分解により生成した
相当する酸を微量（約１％）含んでおりアルカリ水での
洗浄をくり返しても相当する酸を完全に除くことはむず
かしく、そのまま重合にもち込めば生成したポリマーの
保存安定性の低下を招く原因となる。酸を完全に除く方
法の１つとして粗生成物をシリカゲル、アルミナ等の多
孔質無機担体のカラムを通す方法がとられる。展開溶媒
としては酸の展開速度が充分遅いものであれば何でもよ
いがヘキサンなどの炭化水素、トルエン、ベンゼンなど
の芳香族炭化水素、クロロホルム、メチレンクロライド
などのハロゲン化炭化水素もしくはこれらの混合溶媒な
どが好適に用いられる。

このようにして得られた（IV）と（III）、さらに必要
ならば他のモノマーを混合して溶媒中に溶解しラジカル
開始剤を用いて重合を行う。

溶媒としてはラジカル連鎖移動定数が充分小さくかつ中
性のものであれば特に制限はないがベンゼン、トルエン
などの芳香族炭化水素、テトラヒドロフラン、ジオキサ
ンなどのエーテル系溶媒、アセトン、メチルエチルケト
ンなどのケトン系溶媒、メタノール、エタノールなどの
アルコール系溶媒などが好適に用いられる。

ラジカル開始剤としては過酸化ベンゾイル、ｔ−ブチル
パ−オキシドなどの過酸化物、アゾビスイソブチロニト
リルなどのアゾ系の開始剤が好適に用いられる。

反応系内に存在する酸の濃度は１×10^-3mol/l以下、好
ましくは１×10^-4mol/l以下となるようにする。（IV）
を前述のような方法で合成、精製すればこの条件は容易
に達成出来る。

反応温度、反応時間は使用する開始剤、溶媒によつて異
なるが通常30℃〜150℃、好ましくは40℃〜130℃で１時
間〜30時間、好ましくは３時間〜20時間反応を行う。

反応終了後は反応液にｍ−ヘキサン、ｎ−ペンタンなど
の貧溶媒を加えポリマーを析出させるか又は蒸留により
溶媒を除くことによりポリマーを単離することが出来
る。必要ならばさらに再沈法などによりポリマーを精製
しても良い。

本発明のポリマーは、テトラヒドロフラン（THF）中、3
0℃での固有粘度が通常、0.05〜3dl/g、好ましくは、0.
1〜2.0dl/g、特に好ましくは、0.2〜1.5dl/gの範囲のも
のが好適である。増感剤としては、公知の種々のものが
使用できる。例えば、アントロン、ベンゾフエノン、フ
エナントレン、ミヒラ−ケトン、２−ニトロフルオレ
ン、５−ニトロアセナフテン、クリセン、ｐ−ニトロア
ニリン、２−ベンゾイルメチレン−３−メチルナフトチ
アゾリン、２−ジベンゾイルメチレン−３−メチルナフ
トチアゾリン、ベンジル、Ｎ−アセチル−４−ニトロ−
１−ナフチルアミン、アントラキノンなどのいわゆる三
重項増感剤が好適に用いられる。増感剤の量としては、
ポリマーに対して0.1〜20重量％、好ましくは、0.5〜10
重量％が用いられる。

通常は上記ポリマー及び増感剤双方を溶かすような溶
媒、例えば、エチルセロソルブ、メチルセロソルブ等の
セロソルブ系溶媒、ブチルアセテートなどのエステル系
溶媒、もしくは、ジメチルホルムアミド（DMF）、ジメ
チルスルホキシド（DMSO）、Ｎ−メチルピロリドンなど
の溶媒に溶解して感光液として供せられる。感光液その
ものは、通常含有される増感剤のために黄色を呈してい
ることが多いが、スピンコーテイング、キヤステイン
グ、デイツプ法などで基板上に薄膜を作り、可視光・近
紫外光等で露光後、現像すれば、増感剤は容易に洗い出
されて無色透明のポリマー層を得ることが出来る。

以下本発明の感光性組成物を用いたカラーフイルターの
一例につき図面を用いて更に詳細に説明する。

第１図（ａ）〜（ｊ）は直付型カラーフイルターの製造
工程の一例を示す説明図である。

図中１はシリコンウエハー、２は光検知部、３は保護
膜、４は平坦化層、５は被染色層、６はマスク、７は耐
染色性絶縁層、８はボンデイング・パツド、９は被染色
層、10は表面層、をそれぞれ示す。

直付型カラーフイルターの場合は固体撮像素子面上に直
接カラーフイルターが設けられるものであり、その基体
となる固体撮像素子は例えば第１図（ａ）に示すような
シリコンウエハー１に光検知部２が設けられ、その上面
にリンガラス、石英等の保護膜３が設けられた構造とさ
れている。固体撮像素子にはその他、走査線、遮光膜等
が設けられているが、図面には省略した。

本発明のカラーフイルターは上述のような固体撮像素子
の上面に形成するものでありその工程順に説明する。

まず固体撮像素子の保護膜３の上に0.2〜2.0μ程度の厚
さに平坦化層４を被覆する。この平担化層は後述する耐
染色性絶縁層７と同じものを使用するのが良い。この層
によつて光検知部の表面が平担化され、被染色層５、耐
染色性絶縁層７等の形成が容易となり、また被染色層５
の厚みむら等に基づく色のヒズミ等が軽減される。次い
でこの平担化層４上に所定のボンデイングパツド８等を
加工する｛第１図（ｂ）｝。

この平担化層４の材質、ボンデイングパツド８の加工方
法については後に耐染色性絶縁層７の説明と合わせて詳
細に述べる。

次いで平担化層４上にゼラチン、カゼイン、グリユー、
アルブミン等、或いは、ポリビニルアルコール等の合成
ポリマー等の水溶性ポリマーと重クロム酸アンモニウム
等の重クロム酸塩との混合物を塗布して被染色層５を構
成するための感光性物質層を形成する｛第１図
（ｃ）｝。

被染色層５を構成するための感光性物質層は、通常、0.
1〜２μとなるように設ける。

次いで、被染色層５を構成するための感光性物質層上に
所定のパターンを有するマスク６を通して露光する｛第
１図（ｄ）｝。被染色層５を構成するための感光性物質
には、通常、440〜380nmに感光性をもたせるようにする
ので、かかる領域の波長を有する高圧水銀燈等を光源と
して露光する。

次いで、水で現像して所定のパターンの被染色層５を構
成する部分を形成し｛第１図（ｅ）｝、所定の分光特性
を有する第１色目の染料で公知の方法に従い染色して被
染色層５を形成する。

次いで、耐染色性絶縁層７を形成するための感光性樹脂
組成物を被覆する｛第１図（ｆ）｝。本発明において
は、耐染色性絶縁層７の形成には、本発明においては前
記式（Ｉ）及び（II）で表わされる単位を有する共重合
体と増感剤との組成物を被染色層５を形成した上に塗布
し｛第１図（ｆ）｝、所定のパターン、すなわち、ボン
デイング・パツド部を形成する部分等が光不透明性とさ
れたパターン等を有するマスク６を用いて露光する｛第
１図（ｇ）｝。露光に当つては増感剤が吸収を持つ波長
の高圧水銀燈等を用いれば良い。露光された上記組成物
中では増感剤により吸収されたエネルギーはポリマー中
のシンナモイル基に移動され、励起状態となつたシンナ
モイル基が２分子でシクロブタン環を形成して架橋が進
行し不溶化される。

次いで、エチルセロソルブやメチルエチルケトン、或い
は、これらにベンジルアルコールやＮ−メチルピロリド
ンを混合したもの等適当な現像液で現像すればボンディ
ング・パッド部分などに相当する露光されなかった部分
が溶出されることにより加工され、しかも耐染色性絶縁
層７（フィルター部分）は現像によって増感剤が溶出
し、無色透明となった耐染色性絶縁層７が得られる｛第
１図（ｈ）｝。平坦化層４に本感光性組成物を使用した
場合も同様の操作でボンディング・パッド８等の加工が
なされた透明な平坦化層４を得ることが出来る。

次いで、該耐染色性絶縁層７上に、前述と同様にして被
染色層を構成するための感光性物質を設け、露光、現像
して所定のパターンの被染色層部分を形成する。そし
て、所定の分光特性を有する第２色目の染料で染色して
第２の被染色層９を形成する｛第１図（ｉ）｝。

かかる操作を繰返し、耐染色性絶縁層を介して更に他の
被染色層を形成してもよい。

被染色層としては、赤、緑、青の三原色系の３種を用い
ることもあれば、シアン、緑、黄の補色系の３種を用い
ることもある。その際、例えば、第１のシアンの被染色
層に、第２の黄の被染色層を一部重なるように形成し
て、その重なり部分で第３色目の緑色を得るようにして
もよい。

通常、最上部の被染色層上に、表面の平滑化、或いは染
色層の保護のために表面層10を設ける。

表面層10としては、強度、透明性、中間層及び染色層と
の密着性及びボンデイング・パツド部などの加工性が要
求され、その要求を満たしたものならなんでもよいが、
前述の感光性組成物を使用しても良い。

表面層10は通常0.1〜２μの膜厚となるように設けさら
に露光現像して所定のボンデイング・パツドなどの加工
を行なう｛第１図（ｊ）｝。

以上のようにして、本発明のカラーフイルターを得るこ
とが出来るが、本発明のカラーフイルターの平担化層も
しくは耐染色性絶縁層は耐染色性が完全であり、基板或
いは染色層との接着性が良好であり従つて鮮明な画像を
得ることが出来るのである。

本発明においては平担化層および／または耐染色性絶縁
層として上記した特殊の感光性組成物を用いるものであ
るが、本発明においては上記感光性組成物からなる層を
少なくとも一層設け、他は他の樹脂層等とすることもで
き、用途に応じ適宜選択決定すれば良い。但し上記感光
性組成物の物性上、平担化層よりも耐染色性絶縁層とし
て用いるのが好ましい。他の感光性樹脂としてはポリグ
リシジルメタクリレート、ポリメチルメタクリレート、
ポリメチルイソプロペニルケトン、メチルメタクリルア
ミド、ポリヘキサフロロブチルメタクリレート、ポリプ
テン−１−スルホン等種々のものが用い得る。

〔実施例〕

以下実施例により本発明を更に具体的に説明する。

実施例１〔モノマーの合成〕ヒドロキシエチルメタクリレート33gとピリジン24gをテ
トラヒドロフラン84mlに溶解する。ケイヒ酸クロライド
50gのテトラヒドロフラン50ml溶液を上記溶液にかくは
んしながら30分で滴下する。

このときの反応温度を５〜10℃の間に制御する。滴下が
終了してから上記温度で４時間反応させて反応を完了す
る。

反応後生成したピリジン塩酸塩を過し除去する。つい
で別した反応液に脱塩水300mlを加えて生成物と相分
離させる。

ついで、テトラメチルアンモニウムハイドロオキシド１
％水溶液300mlで洗浄を３回くり返し、更に脱塩水300ml
で洗浄を３回くり返して粗生成物を取り出すことができ
る。

この時の収量は36.0g（収率55％）である。

上述の粗生成物20gをシリカゲル（500g）カラムにかけ
クロロホルム/n−ヘキサン（＝4/1wt）混合溶媒で展開
し精製する。流出物を薄層クロマトグラフイーで分析し
ケイ皮酸の全く認められないフラクシヨンを集め展開溶
媒を減圧蒸留により除き目的物を得る。

収量 11.5g（57.5％）〔ポリマーの合成〕グリシジルメタクリレート19.5g、前述のミンナモイル
オキシエチルメタクリレート10.7gをｐ−ジオキサン150
mlに溶解し30分窒素でバブリングする。ついで窒素雰囲
気を保つたまま60℃に加熱し、アゾビスイソブチロニト
リル037gを加え60℃で６時間反応させる。反応系内の酸
及び塩基の濃度は１×10^-4mol/l以下であつた。

反応終了後反応混合物を450mlのｎ−ヘキサンに滴下し
ポリマーを析出させ、析出したポリマーを別後95mlの
アセトンに溶解し300mlのメタノール中に滴下して再沈
し、別後減圧下に乾燥する。

収量25.4g（84.1％） ηsp/c＝0.54（THF中30℃ Ｃ＝
0.2g/dl）〔感光剤の調液〕合成剤１で合成したポリマー1.4gに増感剤として２−ジ
ベンゾイルメチレン−３−メチルナフトチアゾリン42mg
を加えシクロヘキサノンに溶解して全体を10gとし、0.2
μのミリポアフイルターで過して感光液を得た。この
感光液を２インチφ酸化膜（SiO₂5000Å）付シリコンウ
エーハー上にスピンコーテング法（2500rpm）で1.0μの
厚さに塗布し、感度、解像力、接着性についてそれぞれ
以下にのべるような方法で評価を行つた。なお耐染色
性、透明性についてはシリコンウエーハーのかわりに0.
5mm厚テンパツクス製ガラス基板上にシリコンウエーハ
ーの場合と同様に塗布したもので評価を行つた。

（１）感度……イーストマン・コダツク（株）製No.2
ステツプタブレツトを用い、ミカサ（株）製マスクアラ
イナーMA−10を用いて露光後メチルイソブチルケトンと
イソプロピルアルコールの7:1（vol/vol）混合溶媒で１
分間スプレー現像を行い、さらにメチルイソブチルケト
ンで１分間リンスを行つた。得られた各ステツプの膜厚
をテンコール（株）製膜厚計α−ステツプで測定し感度
曲線を作製し、残膜率80％を与える照射エネルギー量を
もつて感度とした。

（２）解像力……トツパン（株）製解像力テストチヤ
ートを用いミカサ（株）製マスクアライナーMA−10を用
いて感度評価の場合と同じように露光現像後得られた像
を光学顕微鏡（X500）で観察し、解像している最小のラ
インアンドスペースの巾をもつて解像力とした。

（３）透明性……ミカサ（株）製マスクアライナーMA
−10を用いて全面露光、現像後日立（株）製分光光度計
228を用いて380〜780nmの分光透過率を求めた。

（４）耐染色性……透明性を評価したと同様の基板を
後にのべるカラーフイルターの染色条件と同じ条件で黄
色又はシアンに染色しリンス後透明性を評価したと同じ
ように分光透過率を求めた。

（５）密着性……粘着テープ（セロハンテープ）を指
圧によりよく接着し、これを剥離することによりガラス
との接着性を評価した。また平担化層の上面に実施例と
同様にしてゼラチンの被染色層を形成し、上記と同様粘
着テープで接着強度を評価した。評価基準は次記の通り
である。

○：全く剥離しないもの ×：一部でも剥離の見られるもの（６）保存安定性……ゲル化の進行度をみるために再
度0.2μの過を行いゲルにより目づまりのため過不
能となる日数を求めた。結果を表１にまとめる。

比較例実施例１と同様にしてシンナモイルオキシエチルメタク
リレートの粗生成物を得た。このものの酸塩基滴定を行
つた結果約２重量％のケイ皮酸を含んでいることが判明
した。このものを精製せずにそのまま実施例１と同様に
グリシジルメタクリレートと共重合した。反応系内の酸
の濃度は８×10^-3mol/l、塩基の濃度は10^-4mol/lであつ
た。生じたポリマーを用いて感光液に調液し実施例と同
様に評価した。結果を表１にまとめる。

実施例２多数の光検知部とこれらを駆動する駆動回路とからなる
固体撮像素子基板上に、実施例１と同様に作成した感光
性組成物を膜厚が２μとなるようにスピンコーテイング
塗布して、平担化層を形成するための樹脂層を形成し
た。塗布した樹脂層は黄色みを帯びていた。この平担化
層を形成する樹脂層にボンデイング・パツド等の所定の
パターンを有するマスクを通して、高圧水銀燈が装備さ
れたマスクアライナーMA10型｛ミカサ（株）数｝を用い
300ミリジユール/cm³のエネルギー量で露光した後20℃
のメチルイソブチルケトンとイソプロピルアルコールの
7:1（vol/vol）混合溶媒で１分間スプレー現像した。さ
らにメチルイソブチルケトンで１分間リンスを行つた。
得られたボンデイング・パツド部などの加工がなされた
平担化層は、黄色みが消え透明な層であつた。

ついで150℃で15分間ポストベークを行い熱キユアし
た。

次いでこの平担化層上にゼラチン−重クロム酸アンモニ
ウム（10:1、重量比）の水溶液を膜厚が１μとなるよう
にスピンコーテイングにより塗布して被染色層を形成す
る感光性物質層を形成した。この被染色層を形成する感
光性物質層に、所定のパターンを有するマスクを通して
前記と同じ装置を用い200ミリジユール/cm²のエネルギ
ー量で露光した後、45℃の水で１分間現像した。次いで
120℃で15分加熱してゼラチン膜を硬化させた。

酢酸でpHを４に調整した“カヤノールイエローN5G"（日
本化薬（株）製）｛カヤノールは日本化薬（株）の商品
名｝の約0.1％水溶液中に75℃、１分間浸漬し染色処理
して被染色層を形成した。

次いで平担化層と同じ組成の感光性組成物を膜厚が0.5
μとなるようにスピンコーテイング塗布し、平担化層の
場合と同様に露光、現像、熱キユアして透明でかつボン
デイング・パツド部などの加工がなされた耐染色性絶縁
層を形成した。

次いで、この耐染色性絶縁層上に、前述と同様にしてゼ
ラチン−重クロム酸アンモニウム層を形成し、前述と同
様に露光、現像した後、酢酸でpHを４に調整した“ダイ
アクロンターキスブルーGF"（三菱化成工業（株）製）
｛ダイアクロンは三菱化成工業（株）の登録商標｝の約
0.3％水溶液で75℃、１分間染色処理して被染色層を形
成した。

次いで、保護膜として平担化層と同じ感光性組成物を膜
厚0.5μとなるようにスピンコーテイングにより塗布し
て前記と同様の条件にて露光、現像してボンデイング・
パツド部等の加工のなされた透明な表面層を形成しカラ
ーフイルターが直付された固体カラー撮像素子を得た。

〔発明の効果〕

このように本発明の組成物によれば耐染色性に優れ、基
板及び染色層との接着性、可視、近紫外線に対する無色
透明性等が良好で、しかも可視光線、近紫外光線を用い
て加工可能な耐染色性絶縁層を形成することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）〜（ｊ）は直付型カラーフイルターの製造
工程の一例を示す説明図である。図中１はシリコンウエハー、２は光検知部、３は保護
膜、４は平担化層、５は被染色層、６はマスク、７は耐
染色性絶縁層、８はボンデイング・パツド、９は被染色
層、10は表面層を表わす。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献特開昭61−85421（ＪＰ，Ａ) 特開昭57−64229（ＪＰ，Ａ) 特開昭55−156941（ＪＰ，Ａ)

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】少くとも、下記式（Ｉ）及び（II）（式中、R¹及びR²は水素原子又はメチル基を表わし、R³
は水素原子又はフェニル基を表わし、R⁴は水素原子、フ
ェニル基又はシアノ基を表わし、R⁵およびR⁶は水素原
子、ハロゲン原子、ニトロ基又はメトキシ基を表わ
す。）で表わされる繰返し単位を有するポリマーと増感
剤を含む感光性組成物であって、該ポリマーが下記式
（III）および下記式（IV）で表わされる化合物を反応
系内の酸濃度が１×10^-3mol/l以下の条件下に重合して
得られるものであることを特徴とする感光性組成物。（式中、R¹〜R⁶は前記と同義を表わす。）
【請求項２】酸が、下記式（Ｖ）で表わされるものであ
る特許請求の範囲第１項記載の感光性組成物。（式中、R³〜R⁶は前記と同義を表わす。）
【請求項３】式（IV）で表わされる化合物が、下記式
（VI）および下記式（VII）で表わされる化合物を反応
させ、次いで、多孔質無機担体により精製処理すること
によって得られたものである特許請求の範囲第１項記載
の感光性組成物。（式中、R²〜R⁶は前記と同義を表わし、ｘはハロゲン原
子を表わす。）