JPH0761891B2 - 焼成ボ−ド - Google Patents
焼成ボ−ドInfo
- Publication number
- JPH0761891B2 JPH0761891B2 JP13061786A JP13061786A JPH0761891B2 JP H0761891 B2 JPH0761891 B2 JP H0761891B2 JP 13061786 A JP13061786 A JP 13061786A JP 13061786 A JP13061786 A JP 13061786A JP H0761891 B2 JPH0761891 B2 JP H0761891B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- firing
- board
- cracks
- fired
- firing board
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
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- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Furnace Charging Or Discharging (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、薄膜太陽電池等の焼成工程時に、焼成物を載
置する焼成ボードに関するものである。
置する焼成ボードに関するものである。
薄膜太陽電池を形成する工程中、ガラス基板にCdS膜やC
dTe膜をスクリーン印刷して、690℃程度で焼成するが、
このときガラス基板を比較的小さな板状の焼成セッター
に載置し、小型雰囲気バッチ式焼成炉にて焼成を行って
いた。また、この他、焼成ボードに載置して雰囲気トン
ネル炉にて焼成を行うこともあったが、これらの焼成セ
ッターや焼成ボードは、主にアルミナやムライトからな
っていた。これらの焼成セッターや焼成ボードは薄膜太
陽電池以外の他の物体の焼成等にも使用していた。
dTe膜をスクリーン印刷して、690℃程度で焼成するが、
このときガラス基板を比較的小さな板状の焼成セッター
に載置し、小型雰囲気バッチ式焼成炉にて焼成を行って
いた。また、この他、焼成ボードに載置して雰囲気トン
ネル炉にて焼成を行うこともあったが、これらの焼成セ
ッターや焼成ボードは、主にアルミナやムライトからな
っていた。これらの焼成セッターや焼成ボードは薄膜太
陽電池以外の他の物体の焼成等にも使用していた。
ところが、このような従来のアルミナまたはムライトよ
りなる焼成セッターや焼成ボードは焼成時のヒートショ
ックにより、クラックや割れが発生しやすく、焼成中に
焼成セッターや焼成ボードにクラックや割れが発生する
と載置していた被焼成物体が歪んだり変質して、品質が
低下してしまうという問題点があった。特に大きな焼成
ボードを使用するとクラックや割れの発生率が高く、例
えば30cm角程度の焼成ボードをアルミナまたはムライト
で形成しても、実用に用いることができなかった。その
ため、比較的小さな焼成セッターしか用いることができ
ず、焼成工程の効率が悪いという不都合があった。
りなる焼成セッターや焼成ボードは焼成時のヒートショ
ックにより、クラックや割れが発生しやすく、焼成中に
焼成セッターや焼成ボードにクラックや割れが発生する
と載置していた被焼成物体が歪んだり変質して、品質が
低下してしまうという問題点があった。特に大きな焼成
ボードを使用するとクラックや割れの発生率が高く、例
えば30cm角程度の焼成ボードをアルミナまたはムライト
で形成しても、実用に用いることができなかった。その
ため、比較的小さな焼成セッターしか用いることができ
ず、焼成工程の効率が悪いという不都合があった。
上記に鑑みて、本発明は重量組成比が、SiO2 71〜77
％，Al2O3 19〜25％，Li2O 2.1〜3.3％のリシア系セラ
ミックを板状体または皿状体に形成して焼成ボードとし
たものである。
％，Al2O3 19〜25％，Li2O 2.1〜3.3％のリシア系セラ
ミックを板状体または皿状体に形成して焼成ボードとし
たものである。
本発明に係る焼成ボードは第１図に示すような板状体
で、焼成物を載置する載置面11を上面に形成し、周囲に
ヘリ12を備えている。
で、焼成物を載置する載置面11を上面に形成し、周囲に
ヘリ12を備えている。
この焼成ボード10は、SiO2,Al2O3,Li2Oを主成分とする
リシア系セラミックよりなっているが、これら各成分の
重量組成比を変化させることにより耐ヒートショック性
等の性質が変化する。そこで、第１表に示すように、さ
まざまな重量組成比のリシア系セラミックで100mm×100
mm×5mmのテストピースをつくり、このテストピースを
表面温度600℃に加熱後水中投下するサイクルをくり返
し、クラックが発生するまでの回数を調べた。その結
果、各組成比での平均値は第１表の通りであった。
リシア系セラミックよりなっているが、これら各成分の
重量組成比を変化させることにより耐ヒートショック性
等の性質が変化する。そこで、第１表に示すように、さ
まざまな重量組成比のリシア系セラミックで100mm×100
mm×5mmのテストピースをつくり、このテストピースを
表面温度600℃に加熱後水中投下するサイクルをくり返
し、クラックが発生するまでの回数を調べた。その結
果、各組成比での平均値は第１表の通りであった。
第１表より、No.5〜No.8のものは、少数回のサイクルで
クラックが発生してしまい、耐ヒートショック性が悪い
のに対し、No.1〜No.4のものはクラック発生までのサイ
クルが10回以上と長く、耐ヒートショック性に優れてい
ることがわかる。またNo.1〜No.4のものはLi2O 2.7％に
固定しているが、この比率もさまざまに変化させ、さら
に実験を行った結果、SiO2が71〜77％，Al2O3が19〜25
％、Li2Oが2.1〜3.3％のものが特に耐ヒートショック性
に優れていることがわかった。
クラックが発生してしまい、耐ヒートショック性が悪い
のに対し、No.1〜No.4のものはクラック発生までのサイ
クルが10回以上と長く、耐ヒートショック性に優れてい
ることがわかる。またNo.1〜No.4のものはLi2O 2.7％に
固定しているが、この比率もさまざまに変化させ、さら
に実験を行った結果、SiO2が71〜77％，Al2O3が19〜25
％、Li2Oが2.1〜3.3％のものが特に耐ヒートショック性
に優れていることがわかった。
この第１表におけるNo.4のものについて、さまざまな特
性を調べた結果、第２表に示すように熱膨張係数が小さ
く、ヒートショックによる割れの発生が少ないことがわ
かる。
性を調べた結果、第２表に示すように熱膨張係数が小さ
く、ヒートショックによる割れの発生が少ないことがわ
かる。
次に第１表のNo.4と同じ組成比で、第１図に示した焼成
ボード10を形成した。大きさは、縦37cm、横38cm、厚さ
1.9cmで内径は35cm×35cmとした。この焼成ボード10を
薄膜太陽電池の焼成に使用した結果、クラックや割れ、
載置面のソリなどはほとんど発生せず、200回程度繰り
返し使用した後でも充分使用可能な状態を保っていた。
ボード10を形成した。大きさは、縦37cm、横38cm、厚さ
1.9cmで内径は35cm×35cmとした。この焼成ボード10を
薄膜太陽電池の焼成に使用した結果、クラックや割れ、
載置面のソリなどはほとんど発生せず、200回程度繰り
返し使用した後でも充分使用可能な状態を保っていた。
叙上のように本発明によれば、重量組成比が、SiO2 71
〜77％，Al2O3 19〜25％，Li2O 2.1〜3.3％のリシア系
セラミックを板状体または皿状体に形成して焼成ボード
としたことによって、焼成時にクラックや割れ、ソリが
発生しにくいため、載置した焼成物体の品質を低下させ
ることがなく、長期にわたって使用することができる。
また、焼成ボードを大きく形成しても充分使用可能であ
るため、一度に大量の焼成が行え、焼成工程を効率化さ
せられるなど多くの特長を有した焼成ボードを提供する
ことができる。
〜77％，Al2O3 19〜25％，Li2O 2.1〜3.3％のリシア系
セラミックを板状体または皿状体に形成して焼成ボード
としたことによって、焼成時にクラックや割れ、ソリが
発生しにくいため、載置した焼成物体の品質を低下させ
ることがなく、長期にわたって使用することができる。
また、焼成ボードを大きく形成しても充分使用可能であ
るため、一度に大量の焼成が行え、焼成工程を効率化さ
せられるなど多くの特長を有した焼成ボードを提供する
ことができる。
第１図は本発明に係る焼成ボードを示す斜視図である。 10……焼成ボード、11……載置面 12……ヘリ
Claims (1)
- 【請求項１】重量組成比が、SiO2 71〜77％，Al2O3 19
〜25％，Li2O 2.1〜3.3％のリシア系セラミックを板状
体または皿状体に形成してなる焼成ボード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13061786A JPH0761891B2 (ja) | 1986-06-04 | 1986-06-04 | 焼成ボ−ド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13061786A JPH0761891B2 (ja) | 1986-06-04 | 1986-06-04 | 焼成ボ−ド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62288158A JPS62288158A (ja) | 1987-12-15 |
| JPH0761891B2 true JPH0761891B2 (ja) | 1995-07-05 |
Family
ID=15038506
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13061786A Expired - Fee Related JPH0761891B2 (ja) | 1986-06-04 | 1986-06-04 | 焼成ボ−ド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0761891B2 (ja) |
-
1986
- 1986-06-04 JP JP13061786A patent/JPH0761891B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62288158A (ja) | 1987-12-15 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
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