JPH0763573B2 - 液体ろ過装置の廃棄物処理方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、例えば真空ポンプの潤滑油のろ過等に用い
られる液体ろ過装置の、廃棄物を処理する液体ろ過装置
の廃棄物処理方法に関するものである。

〔従来の技術〕

第２図は従来の液体ろ過装置を示し、図において、容器
（１）は、送入口（２）を有し導電体からなる容器部
（1a）と、容器部（1a）の開口（1b）を覆い送出口
（３）を有するふた部（1c）とを備えている。フイルタ
（４）はその一端面がふた部（1c）に取り付けられ、送
入口（２）から容器（１）内に送入された液体をろ過し
て後、送出口（３）から容器（１）外に送出する。電極
（５）は絶縁物（501）を介してふた部（1c）に取り付
けられ、フイルタ（４）を内部に挿入するように筒状に
構成されている。電圧印加手段（６）は容器部（1a）の
外周部と電極（５）とによつて構成され、容器（１）内
の液体に電圧を印加するものである。

次に動作について説明する。送入口（２）より矢印イの
ように容器（１）内に送入された液体は、電圧印加手段
（６）によつて電圧が印加される。このため液体中の不
純物は、イオン化され、または電気二重層が破壊され、
もしくは電気二重層のゼータ電位が中和されて、不純物
同士が静電凝集して大きくなり、フイルタ（４）でろ過
されて後、送出口（３）から矢印ロのように容器（１）
外に送出される。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記のようなろ過装置では、液体が例えば真空ポンプの
潤滑油の場合には、液体中の不純物がミクロオーダのよ
うに細かく、フイルタ（４）でろ過されるまで不純物が
静電凝集して大きくなるのに、長時間を要する問題点が
あつた。また、液体中にガスが混入した場合には、この
ガスを除去できない問題点があつた。さらに、液体が例
えば半導体製造ラインの真空ポンプの潤滑油の場合に
は、アルシン，ジボラン，フオスフイン等のガスとの化
合物が潤滑油中に混入し、潤滑油を単純に処理できない
問題点があつた。

この発明はかかる問題点を除去するためになされたもの
で、液体中の不純物を短時間でろ過し、ガス等の不純物
を強力に吸着剤に吸着させる液体ろ過装置において、廃
棄物処理を安全に行う液体ろ過装置の廃棄物処理方法を
提供することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明にかかる液体ろ過装置の廃棄物処理方法は、被
処理液体に電圧を印加する電圧印加手段と、電圧が印加
された液体を吸着剤内に流通させる吸着手段と、吸着剤
内を通過した液体をフイルタでろ過するろ過手段とを備
えた液体ろ過装置の、廃棄物を集積する工程と、集積さ
れた廃棄物を中和する工程とを備えたものである。

〔作用〕

この発明においては、電圧印加手段によつて、液体中の
不純物をイオン化し、または電気二重層のゼータ電位を
中和して、不純物同士を静電凝集し、吸着手段によつて
不純物を吸着させ、ろ過手段によつてろ過した後、廃棄
物を集積し、アルカリ性溶液で無害に中和処理する。

〔実施例〕

第１図はこの発明に適用される液体ろ過装置の一実施例
を示し、図において、容器部（1a）の底面はテーパー
（1d）が形成され、テーパー（1d）に連通して容器部
（1a）の側面の下部に第１のドレン（1e）が設けられて
いる。ふた部（1c）には第２のドレン（1f）が設けら
れ、かつ絶縁物（1g）を介して後述の密封容器（5C）に
接続される電極接続導体（1h）が貫通挿入されている。
ボルト（1i）は容器部（1a）とふた部（1c）とを取り付
けている。送出口（3A）は導電体のパイプからなり、ふ
た部（1c）と、ふた部（1c）に一端面が取り付けられた
絶縁物の誘電体からなるフイルタ（4A）とに貫通挿入さ
れ、フイルタ（4A）の他端面から突出した一端部（3a）
は、後述する袋ナツトである取り付け具（８）によつて
閉塞され、フイルタ（4A）内の部分には貫通孔（3b）が
均等に穿設されている。第１の電極（5A）は多孔体もし
くは網目状体で筒状に構成され、フイルタ（4A）を収納
して、その一端面は絶縁物（5x）を介してふた部（1c）
に取り付けられ、電極接続導体（1h）に接続されてい
る。第２の電極（5B）は多孔体もしくは網目状体で筒状
に構成され、第１の電極（5A）を収納して、その一端面
は絶縁物（5x）を介してふた部（1c）に取り付けられ、
第１の電極（5A）と同電位に電極接続導体（1h）に接続
されている。密封容器（5C）は円筒状の中空部（5D）を
形成するように第1,第２の電極（5A），（5B）の両端面
を閉塞して構成されている。電圧印加手段（6A）は、容
器部（1a）と第1,第２の電極（5A），（5B）と送出口
（3A）とからなつている。底板（７）は例えば絶縁物か
らなり、送出口（3A）の一端部（3a）を貫通させ、フイ
ルタ（4A）と第1,第２の電極（5A），（5B）とのそれぞ
れの他端面に接して設置されている。取り付け具（８）
は例えば袋ナツトであり、送出口（3A）の一端部（3a）
の外周に螺合して、送出口（3A）の一端部（3a）を閉塞
するとともに、底板（７）を送出口（3A）に取り付け
る。吸着剤（９）は例えばゼオハーブ，ソルビート，活
性白土等であり、第1,第２の電極（5A），（5B）間、即
ち、密封容器（5C）の中空部（5D）内に封入されてい
る。変圧器（10）は電極接続導体（1h）を介して第1,第
２の電極（5A），（5B）とふた部（1c）間に接続され、
第1,第２の電極（5A），（5B）が正電位に、ふれ部（1
c）がアース電位になるように、例えば10〜3000V/cmの
電圧が印加される。

次に動作について説明する。送入口（２）より矢印イの
ように容器（１）内に送入された液体は、電圧印加手段
（6A）によつて、電圧が印加される。このため、容器部
（1a）と第２の電極（5B）間に送入された液体中の比較
的粒子の大きい不純物は、第２の電極（5B）にクーロン
力で吸引され、電気泳動で第２の電極（5B）の周囲に集
まり、ゼーター電位が消去されて、分子間引力で凝集粗
大化する。液体より比重の軽い不純物は、矢印ハに示す
ように浮上分離し、第２のドレン（1f）から容器（１）
外に除去される。また、液体より比重の重い不純物は、
矢印ニに示すように沈降分離し、第１のドレン（1e）か
ら容器（１）外に除去される。

このように比較的粒子の大きい不純物が除去された液体
は、圧力によって矢印ホのように密封容器（5C）内に送
入され、中空部（5D）内に封入された吸着剤（９）に均
等に接触する。この場合、吸着剤（９）の細孔表面のイ
オンは第1,第２の電極（5A），（5B）の課電によつて増
強されており、このイオンのクーロン力によつて、ガス
及び水並びに低分子の不純物は吸着剤（９）に吸着除去
される。

一方、絶縁物の誘電体よりなるフイルタ（4A）は、第１
の電極（5A）と送出口（3A）とによって電圧が印加され
て、誘電電荷を帯電する。このため、吸着剤（９）を通
過して後、液体中に残つているコロイド粒子，マイクロ
粒子は、ポンプ圧力とフイルタ（4A）の誘電電荷にひか
れて、フイルタ（4A）の外周上に集まり、ゼーター電位
が消去されて凝集し、ケークを造り、残存粒子を捕捉す
る。このようにして不純物がろ過された液体は、送出口
（3A）の貫通孔（3b）から送出口（3A）を経て、矢印ロ
に示すように容器（１）外に送出される。

また、フイルタ（4A）及び吸着剤（９）並びに第1,第２
の電極（5A），（5B）を取り換えるには、ふた部（1c）
を容器部（1a）から取り外し、その後、締め付け具
（８）を外して底板（７）を取り外し、フイルタ（4A）
と第1,第２の電極（5A），（5B）並びに密封容器（5D）
内の吸着剤（９）とを取り換える。

なお、吸着剤（９）で吸着されなかったガスは、第1,第
２の電極（5A），（5B）が多孔体もしくは網目状体であ
り、送出口（3A）に貫通孔（3b）が設けられているた
め、液体と共に容器（１）外に排出される。

次に第１図に示す液体ろ過装置の廃棄物処理について説
明する。このようにして液体のろ過を行つた後、ふた部
（1c）を取り外すと、容器部（1a）の底部には未処理液
体が残つているのが見られる。即ち、容器部（1a）の内
壁面はアース電位であるため、フオスフイン，ジボラ
ン，アルシン等のガスとの化合物であるコロイド粒子
が、ゼーター電位の変位によつて凝集して、その一部が
容器部（1a）の内壁面に付着するように、未処理液体中
に含まれているのが見られる。

この容器部（1a）内の未処理液体を、第１のドレン（1
e）から外部に排出し、廃棄物容器（図示せず）内に溜
める。次に容器部（1a）の内壁面をウエス，フロン溶液
等によつて清掃し、ウエス，フロン溶液等は廃棄物容器
内に捨てる。

次に、容器部（1a）から容器（5c）を取り出すと、容器
（5C）の外壁面を構成する第２の電極（5B）は、正電位
であり、フオスフイン，ジボラン，アルシン等のガスと
の化合物であるコロイド粒子が、凝集し積層しているの
が見られる。この積層物をヘラ等で取り除き、廃棄物容
器内に除去し、その後、ウエス等で清掃し、ウエス等は
廃棄物容器内に捨てる。

次に、容器（5c）内から吸着剤（９）を廃棄物容器内に
捨てる。

次に、容器（5c）内から吸着剤（９）を廃棄物容器内に
捨てた後、容器（5c）全体をウエス，フロン溶液等で清
掃し、ウエス，フロン溶液等は廃棄物容器内に捨てる。

次に、第１の電極（5A）内からフイルタ（4A）を引き出
す。フイルタ（4A）の表面には、送出口（3A）と第１の
電極（5A）間に働くクーロン力によつて分極しゼータ電
位が発生している。このため、液体中の残存コロイド
は、クーロン力によつてフイルタ（4A）の表面に吸着さ
れ、ケーク層を作る。このため、フイルタ（4A）の寿命
が長くなる。このフイルタ（4A）を廃棄物容器内に廃棄
する。

このように、廃棄物容器内に廃棄された液体ろ過装置の
廃棄物を、カセイソーダ等のアルカリ性溶液で中和処理
して、無害化する。この無害化された廃棄物に重油等を
加え、焼却処理する。その後、必要におおじて、焼却処
理された廃棄物を、直接に、あるいはドラム缶に入れた
後に、コンクリートで固めてコンクリート処理する。

なお、廃棄物容器内に廃棄された液体ろ過装置の廃棄物
を、中和処理せずに直接焼却処理してもよい。また、中
和処理した廃棄物をドラム缶等に詰めた後、コンクリー
ト処理してもよい。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明によれば、容器内に送入れた液
体に電圧印加手段で電圧を印加して、不純物を凝集し、
吸着剤によつて、ガス及び水並びに低分子の不純物を吸
着除去し、さらにコロイド粒子，マイクロ粒子を凝集し
てフイルタで捕捉する液体ろ過装置に生じる廃棄物を、
集積し、アルカリ性溶液で中和処理し、または焼却処理
しているため、液体ろ過装置の廃棄物を安全に廃棄処分
することができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明に適用される液体ろ過装置の一実施例
を示す断面図ッ第２図は従来の液体ろ過装置を示す断面
図である。 図において、（１）は容器、（1a）は容器部、（1b）は
開口、（1c）はふた部、（1d）はテーパー、（1e）（1
f）は第1,第２のドレン、（２）は送入口、（3A）は送
出口、（3a）は一端部、（3b）は貫通孔、（4A）はフイ
ルタ、（5A），（5B）は第1,第２の電極、（5C）は密封
容器、（5D）は中空部、（6A）は電圧印加手段、（７）
は底板、（８）は取り付け具、（９）は吸着剤、（10）
は変圧器、（11a），（11b）は第1,第２の誘電体であ
る。 なお、各図中同一符号は同一もしくは相当部分を示す。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 福本 隼明 兵庫県伊丹市瑞原４丁目１番地 三菱電機 株式会社エル・エス・アイ研究所内 (72)発明者 浜 正治 兵庫県伊丹市瑞原４丁目１番地 三菱電機 株式会社エル・エス・アイ研究所内 (72)発明者 田村 勝彦 兵庫県伊丹市瑞原４丁目１番地 三菱電機 株式会社北伊丹製作所内 (72)発明者 岡上 公彦 大阪府大阪市淀川区西中島４丁目３番４号 リキツドコンサンド株式会社内

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】被処理液体に電圧を印加する電圧印加手段
   と、前記電圧印加手段で電圧が印加された液体を吸着剤
   内に流通させる吸着手段と、吸着剤内を通過した液体を
   フイルタでろ過するろ過手段とを備えた液体ろ過装置に
   おいて、前記電圧印加手段を構成する容器内の液体を排
   出する工程と、前記容器の内表面の付着物を除去する工
   程と、前記吸着剤を除去する工程と、前記フイルタを除
   去する工程とからなる廃棄物集積工程、及び前記廃棄物
   集積工程で集積された廃棄物をアルカリ性液体で中和処
   理するか、もしくは焼却処理するか、または中和処理し
   た後焼却処理する廃棄物処理工程を備えたことを特徴と
   する液体ろ過装置の廃棄物処理方法。
2. 【請求項２】廃棄物処理工程は、アルカリ性液体で中和
   処理した廃棄物を、もしくは焼却処理した廃棄物を、ま
   たは中和処理した後焼却処理した廃棄物をコンクリート
   で固めるコンクリート処理工程を備えたことを特徴とす
   る特許請求の範囲第（１）項記載の液体ろ過装置の廃棄
   物処理方法。