JPH0765175B2 - 赤外線透明窓の曇りを防止する金属メッキ装置及びその方法 - Google Patents
赤外線透明窓の曇りを防止する金属メッキ装置及びその方法Info
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- JPH0765175B2 JPH0765175B2 JP2226440A JP22644090A JPH0765175B2 JP H0765175 B2 JPH0765175 B2 JP H0765175B2 JP 2226440 A JP2226440 A JP 2226440A JP 22644090 A JP22644090 A JP 22644090A JP H0765175 B2 JPH0765175 B2 JP H0765175B2
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
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Description
【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は、赤外線透明窓に関する。より詳細には、本発
明は、赤外線を化学蒸着室に入れて室内の基体を加熱す
る赤外線窓に関する。
明は、赤外線を化学蒸着室に入れて室内の基体を加熱す
る赤外線窓に関する。
技術の背景および課題 金属カルボニルの熱分解による化学蒸着は、以前から基
体をメッキする既知の方法である。金属カルボニルを含
有する室内の基体は、金属カルボニルガスの分解温度よ
りも高い温度に加熱している。金属カルボニルガスは、
分解して、基体を金属被覆物、例えば、分解ニッケルカ
ルボニルガスからのニッケル被覆物で被覆している。金
属カルボニル化合物から付着してもよい有用な金属は、
ニッケル、鉄、クロム、モリブデン、タングステン、コ
バルト、テルル、レニウムなどである。
体をメッキする既知の方法である。金属カルボニルを含
有する室内の基体は、金属カルボニルガスの分解温度よ
りも高い温度に加熱している。金属カルボニルガスは、
分解して、基体を金属被覆物、例えば、分解ニッケルカ
ルボニルガスからのニッケル被覆物で被覆している。金
属カルボニル化合物から付着してもよい有用な金属は、
ニッケル、鉄、クロム、モリブデン、タングステン、コ
バルト、テルル、レニウムなどである。
基体を化学蒸着室内で加熱する方法としては、誘導加
熱、電気抵抗加熱、および赤外線加熱が挙げられる。赤
外線加熱は、加熱すべき基体が導電性ではない場合（例
えば、ポリウレタン）に必要とされる。赤外線加熱は、
赤外線透明窓を通して室内に向けて基体を加熱してい
る。好ましくは、赤外線加熱は、室内の基体のみを選択
的に加熱し、金属カルボニルガスまたは赤外線透明窓を
加熱しない。金属カルボニルガスをその分解温度よりも
高い温度に加熱するならな、金属カルボニルガスは、自
発的に分解する。同様に、赤外線透明窓を金属カルボニ
ルガスの分解温度よりも高い温度に加熱するならば、ガ
ス状化合物は、赤外線透明窓上で分解する。この状況
は、窓の「曇り」と称されている。放射線は曇った窓を
有効には透過できないので、窓の曇りは、基体のカルボ
ニルメッキを停止させることになる。この課題を解決す
るためには、窓は、浄化するために取り外すか取り替え
なければならない。
熱、電気抵抗加熱、および赤外線加熱が挙げられる。赤
外線加熱は、加熱すべき基体が導電性ではない場合（例
えば、ポリウレタン）に必要とされる。赤外線加熱は、
赤外線透明窓を通して室内に向けて基体を加熱してい
る。好ましくは、赤外線加熱は、室内の基体のみを選択
的に加熱し、金属カルボニルガスまたは赤外線透明窓を
加熱しない。金属カルボニルガスをその分解温度よりも
高い温度に加熱するならな、金属カルボニルガスは、自
発的に分解する。同様に、赤外線透明窓を金属カルボニ
ルガスの分解温度よりも高い温度に加熱するならば、ガ
ス状化合物は、赤外線透明窓上で分解する。この状況
は、窓の「曇り」と称されている。放射線は曇った窓を
有効には透過できないので、窓の曇りは、基体のカルボ
ニルメッキを停止させることになる。この課題を解決す
るためには、窓は、浄化するために取り外すか取り替え
なければならない。
この課題の１つの源は、材料、例えば、ホウケイ酸ガラ
ス、透明融解石英、ポリエチレン、テレフタレート、ポ
リテトラフルオロエチレン、ポリテトラフルオロエチレ
ンプロピレンおよび他の材料から作られる赤外線透明窓
が、完全には赤外線透明（すなわち赤外線に対して透過
性）ではないことである。それゆえ、赤外線透明窓は、
赤外線の吸収によって加熱され、それによって窓が金属
カルボニルガスの分解が生ずる温度にまで加熱されるこ
とがある。金属カルボニルガスは、過熱窓上で分解し
て、窓を曇らす。一旦曇りが生ずると、付着プロセス
は、迅速に加速される。カルボニルガスの金属生成物も
完全には赤外線透明ではなく、このことが窓の赤外線加
熱を増大させるので、曇りは加速される。
ス、透明融解石英、ポリエチレン、テレフタレート、ポ
リテトラフルオロエチレン、ポリテトラフルオロエチレ
ンプロピレンおよび他の材料から作られる赤外線透明窓
が、完全には赤外線透明（すなわち赤外線に対して透過
性）ではないことである。それゆえ、赤外線透明窓は、
赤外線の吸収によって加熱され、それによって窓が金属
カルボニルガスの分解が生ずる温度にまで加熱されるこ
とがある。金属カルボニルガスは、過熱窓上で分解し
て、窓を曇らす。一旦曇りが生ずると、付着プロセス
は、迅速に加速される。カルボニルガスの金属生成物も
完全には赤外線透明ではなく、このことが窓の赤外線加
熱を増大させるので、曇りは加速される。
米国特許第3,213,827号明細書は、赤外線透明室壁を冷
却するための空冷冷却ダクトを記載している。しかしな
がら、空冷の不能率のため、前記米国特許第3,213,827
号明細書の設計では、曇りを有効には防止するのに不十
分であると信じられる。
却するための空冷冷却ダクトを記載している。しかしな
がら、空冷の不能率のため、前記米国特許第3,213,827
号明細書の設計では、曇りを有効には防止するのに不十
分であると信じられる。
本発明の目的は、カルボニル分解室内での赤外線窓の曇
りを有効に防止することにある。
りを有効に防止することにある。
本発明の別の目的は、操作効率の最小限の損失で曇りを
有効に防止することにある。
有効に防止することにある。
発明の概要 本発明は、基体を金属メッキするための装置を提供す
る。装置は、金属カルボニルガスを受容するのに適した
室を包含する。室は、赤外線透明窓を包含する。赤外線
透明窓は、液体冷却剤が充填された冷却通路を有する。
液体冷却剤は、金属カルボニルガスの分解を生じさせる
温度未満の温度を有する。液体冷却剤は、赤外線透明窓
上での金属カルボニルガスの分解を防止する。また、液
体冷却剤は、実質的に赤外線透明であって、赤外線を赤
外線透明窓および冷却通路を通して前記室内に入れる。
赤外線源は、赤外線を赤外線透明窓および冷却通路を通
して室内に送って基体を金属カルボニルガスの分解が起
こる温度に加熱する。
る。装置は、金属カルボニルガスを受容するのに適した
室を包含する。室は、赤外線透明窓を包含する。赤外線
透明窓は、液体冷却剤が充填された冷却通路を有する。
液体冷却剤は、金属カルボニルガスの分解を生じさせる
温度未満の温度を有する。液体冷却剤は、赤外線透明窓
上での金属カルボニルガスの分解を防止する。また、液
体冷却剤は、実質的に赤外線透明であって、赤外線を赤
外線透明窓および冷却通路を通して前記室内に入れる。
赤外線源は、赤外線を赤外線透明窓および冷却通路を通
して室内に送って基体を金属カルボニルガスの分解が起
こる温度に加熱する。
基体上への金属カルボニルガスの分解法は、基体を室内
に導入することを包含する。赤外線は、赤外線透明窓お
よび赤外線透明窓の冷却通路を通して送って、基体を金
属ガスの分解が起こる温度に加熱する。赤外線透明窓
は、前記冷却通路内の液体冷却剤で冷却して、前記赤外
線透明窓上でのカルボニルガスの分解を防止する。液体
は、赤外線に対して実質上透明であって赤外線を前記冷
却通路を通して入れて基体を加熱する。最後に、液体冷
却剤は、透明窓の効果的な冷却を保証するために、金属
カルボニルガスが分解する温度未満の温度に維持され
る。
に導入することを包含する。赤外線は、赤外線透明窓お
よび赤外線透明窓の冷却通路を通して送って、基体を金
属ガスの分解が起こる温度に加熱する。赤外線透明窓
は、前記冷却通路内の液体冷却剤で冷却して、前記赤外
線透明窓上でのカルボニルガスの分解を防止する。液体
は、赤外線に対して実質上透明であって赤外線を前記冷
却通路を通して入れて基体を加熱する。最後に、液体冷
却剤は、透明窓の効果的な冷却を保証するために、金属
カルボニルガスが分解する温度未満の温度に維持され
る。
好ましい態様の説明 第１図を参照すると、装置10は、室入口14および出口16
を有する室12で構成されている。金属カルボニルガス
は、室12に入り、この室12においてカルボニルガスは加
熱された基体18上で分解して基体18を金属メッキする。
排ガスは、出口16を通して除去する。基体18、例えば、
ポリウレタンフォーム、繊維のトウまたはガラス、炭素
または高分子繊維から作られるファブリックは、室12を
通して連続的に通過して、基体入口20に入り且つ基体出
口22から出る（本発明の図示の態様においては）。或い
は、本発明は、バッチ型操作に利用してもよい。
を有する室12で構成されている。金属カルボニルガス
は、室12に入り、この室12においてカルボニルガスは加
熱された基体18上で分解して基体18を金属メッキする。
排ガスは、出口16を通して除去する。基体18、例えば、
ポリウレタンフォーム、繊維のトウまたはガラス、炭素
または高分子繊維から作られるファブリックは、室12を
通して連続的に通過して、基体入口20に入り且つ基体出
口22から出る（本発明の図示の態様においては）。或い
は、本発明は、バッチ型操作に利用してもよい。
基体は、赤外線源24および32で加熱する。赤外線源24
は、放射線を赤外線透明窓25を通して発する。赤外線透
明窓25は、外部シート26、冷却通路28および内部シート
30で構成されている。同様に、赤外線源32は、放射線を
赤外線透明窓33を通して発する。赤外線透明窓33は、外
部シート34、冷却通路36および内部シート38で構成され
ている。シート26、30、34および38は、安定なガラスま
たは硬質プラスチックで作ることが好ましい。好適な窓
材料としては、例えば、商標パレックス（PYREX）また
はバイカー（VYCOR）で販売されているガラス、石英、
および高い赤外線透明性および軟化点約150℃以上を有
する硬質プラスチックが挙げられる。
は、放射線を赤外線透明窓25を通して発する。赤外線透
明窓25は、外部シート26、冷却通路28および内部シート
30で構成されている。同様に、赤外線源32は、放射線を
赤外線透明窓33を通して発する。赤外線透明窓33は、外
部シート34、冷却通路36および内部シート38で構成され
ている。シート26、30、34および38は、安定なガラスま
たは硬質プラスチックで作ることが好ましい。好適な窓
材料としては、例えば、商標パレックス（PYREX）また
はバイカー（VYCOR）で販売されているガラス、石英、
および高い赤外線透明性および軟化点約150℃以上を有
する硬質プラスチックが挙げられる。
冷却通路28および36は、好ましくは、それぞれシート2
6、30間の空間、およびシート34、38間の空間によって
規定される。しかしながら、冷却通路28および36は、窓
25および33のデザインに応じて異なる形状を有すること
ができることが認識される。液体冷却剤40は、シート30
および38を冷却して、金属カルボニルガスがシート30お
よび38上で分解するのを防止する。液体冷却剤は、透明
窓を冷却するために使用してもよく且つ室内への赤外線
の十分な透過を可能にして基体を室内の金属カルボニル
ガスの分解温度以上に加熱するすべての液体と規定され
る。液体冷却剤40は、赤外線を前記窓および前記冷却通
路を通して前記室内に入れるために実質上赤外線透明で
ある。
6、30間の空間、およびシート34、38間の空間によって
規定される。しかしながら、冷却通路28および36は、窓
25および33のデザインに応じて異なる形状を有すること
ができることが認識される。液体冷却剤40は、シート30
および38を冷却して、金属カルボニルガスがシート30お
よび38上で分解するのを防止する。液体冷却剤は、透明
窓を冷却するために使用してもよく且つ室内への赤外線
の十分な透過を可能にして基体を室内の金属カルボニル
ガスの分解温度以上に加熱するすべての液体と規定され
る。液体冷却剤40は、赤外線を前記窓および前記冷却通
路を通して前記室内に入れるために実質上赤外線透明で
ある。
金属がシート30および38上へ分解するときには、シート
は、金属で曇るようになる。このことが生ずる時には、
シート30および38上に付着された金属は、更に加熱され
て、金属の付着を促進する。この時点で、シート30およ
び38上に付着された金属が基体18の赤外線加熱を有効に
遮断するので、金属基体のメッキは、もはや可能ではな
い。室12における金属カルボニルガスの温度がその分解
温度に接近するので、窓25および33の曇りは、より大き
い問題になる。しかしながら、本発明の装置および方法
は、金属カルボニルガスが分解温度付近である時に窓25
および33の曇りを有効に防止する。
は、金属で曇るようになる。このことが生ずる時には、
シート30および38上に付着された金属は、更に加熱され
て、金属の付着を促進する。この時点で、シート30およ
び38上に付着された金属が基体18の赤外線加熱を有効に
遮断するので、金属基体のメッキは、もはや可能ではな
い。室12における金属カルボニルガスの温度がその分解
温度に接近するので、窓25および33の曇りは、より大き
い問題になる。しかしながら、本発明の装置および方法
は、金属カルボニルガスが分解温度付近である時に窓25
および33の曇りを有効に防止する。
液体冷却剤40は、シート30および38を有効に冷却するた
めに金属カルボニルガスの分解温度未満の温度に維持し
なければならない。ポンプ42は、冷却液体を導管43およ
び44を通して冷却通路28および36内に強制的に供給す
る。次いで、赤外線透明液体は、導管45および46を通し
て放熱器48に流入する。放熱器48は、液体冷却剤40をシ
ート30および38の曇りを有効に防止する温度に維持する
ために使用される。放熱器48は、空気、水、氷水または
他の冷却手段によって冷却してもよい。
めに金属カルボニルガスの分解温度未満の温度に維持し
なければならない。ポンプ42は、冷却液体を導管43およ
び44を通して冷却通路28および36内に強制的に供給す
る。次いで、赤外線透明液体は、導管45および46を通し
て放熱器48に流入する。放熱器48は、液体冷却剤40をシ
ート30および38の曇りを有効に防止する温度に維持する
ために使用される。放熱器48は、空気、水、氷水または
他の冷却手段によって冷却してもよい。
液体冷却剤40の選択は、装置10の操作に必須である。液
体が余りに多い赤外線エネルギーを吸収するならば、基
体18は、十分な温度に加熱されないであろうし且つカル
ボニルガスの分解は生じないであろう。また、液体冷却
剤40による赤外線エネルギーの吸収は、メッキ効率を減
少して、操作コストを増大する。下記の表１は、赤外線
に対して必要な透明性を有し且つシート30および38を冷
却するのに十分な熱容量を有すると予測される液体冷却
剤のリストを含む。
体が余りに多い赤外線エネルギーを吸収するならば、基
体18は、十分な温度に加熱されないであろうし且つカル
ボニルガスの分解は生じないであろう。また、液体冷却
剤40による赤外線エネルギーの吸収は、メッキ効率を減
少して、操作コストを増大する。下記の表１は、赤外線
に対して必要な透明性を有し且つシート30および38を冷
却するのに十分な熱容量を有すると予測される液体冷却
剤のリストを含む。
表１ グループ名 必要元素数 ★ アルカン 炭素数≧10〜11 アルケン 炭素数≧10〜11 アルキン 炭素数≧10〜11 芳香族化合物 炭素数≧10 アルコール 炭素数≧３＋酸素 エーテル 炭素数≧10〜11＋酸素 カルボキシル酸 炭素数≧３＋酸素 カルボン酸 炭素数３、10、または11＋酸素 エステル 炭素数≧７または８＋酸素 ケトン 炭素数≧７または８＋酸素 無水物 炭素数≧７または８＋酸素 アミド 炭素数３＋酸素＋窒素 アミン 炭素数≧７＋窒素★ ハロゲン置換化合物の場合には低級 存在する原子の数も限定すべきであり、それゆえ、化合
物は室温で液体である。ケイ素をベースとする液体、例
えば、ダウ・コーニングの製品ダウ・コーニング（DOW
CORNING）200流体も、有効である。しかし、室温で固体
である若干の化合物も、液体であるのに十分な程高い温
度であってシート30および38を有効に冷却するのに十分
な程低い温度に維持するならば、作動するであろう。選
ばれる液体冷却剤は、有効な冷却のために粘度10cP未満
および100℃よりも高い沸点を有することが好ましい。
物は室温で液体である。ケイ素をベースとする液体、例
えば、ダウ・コーニングの製品ダウ・コーニング（DOW
CORNING）200流体も、有効である。しかし、室温で固体
である若干の化合物も、液体であるのに十分な程高い温
度であってシート30および38を有効に冷却するのに十分
な程低い温度に維持するならば、作動するであろう。選
ばれる液体冷却剤は、有効な冷却のために粘度10cP未満
および100℃よりも高い沸点を有することが好ましい。
第２図および第３図を参照すると、数種の赤外線透明液
体を試験した。実験室試験組立は、6mm離間された商標
パイレックスで販売されている２個の赤外線透明ガラス
シートを有する窓を利用した。パイレックスシート間の
空間に各種の流体を充填した。第２図の試験は厚さ4mm
のパイレックスシートを利用し且つ第３図の試験は厚さ
5mmのパイレックスシートを利用した。パイレックスシ
ートおよび試験流体の一方のサイドに隣接して140V、44
0Wの赤外線ランプを離間した。赤外線ランプのフィラメ
ントを温度1980゜Kに加熱した（ピーク波長1.46μ
ｍ）。窓および試験流体の他方のサイド上にポリウレタ
ンフォーム基体を離間した。ポリウレタンフォーム内に
は、ポリウレタンフォームの加熱を測定するために使用
する熱電対があった。
体を試験した。実験室試験組立は、6mm離間された商標
パイレックスで販売されている２個の赤外線透明ガラス
シートを有する窓を利用した。パイレックスシート間の
空間に各種の流体を充填した。第２図の試験は厚さ4mm
のパイレックスシートを利用し且つ第３図の試験は厚さ
5mmのパイレックスシートを利用した。パイレックスシ
ートおよび試験流体の一方のサイドに隣接して140V、44
0Wの赤外線ランプを離間した。赤外線ランプのフィラメ
ントを温度1980゜Kに加熱した（ピーク波長1.46μ
ｍ）。窓および試験流体の他方のサイド上にポリウレタ
ンフォーム基体を離間した。ポリウレタンフォーム内に
は、ポリウレタンフォームの加熱を測定するために使用
する熱電対があった。
液体冷却剤赤外線透過度は、下記の順序で最低から最高
の透過率に増大した：水、エチレングリコール、エチレ
ングリコールジアセテート、テトラクロロエタンおよび
テトラクロロエチレン。試験は、テトラクロロエチレン
および空気が大体等しい赤外線を通過させることを示し
た。しかしながら、空気の低い密度のため、空気は、有
効な冷却剤ではない。テトラクロロエチレンは、有効な
冷却剤であることが証明された。テトラクロロエチレン
は、20℃での熱容量約0.904J/g℃を有する。使用する冷
却剤は、十分な熱容量および赤外線に対して十分な透明
性を有する液体であるべきである。20℃での熱容量は、
好ましくは、約0.4J/g℃よりも大きく、最も好ましくは
約0.9J/g℃よりも大きい。20℃での空気の熱容量は、実
際には、熱容量約1.00J/g℃を有する20℃でのテトラク
ロロエチレンのものよりもわずかに大きい。しかしなが
ら、テトラクロロエチレンの密度は、空気のものよりも
３桁以上大きい。テトラクロロエチンは20℃での密度約
1.623g/cmを有する一方、空気は、20℃での密度約0.001
22g/cm3のみを有する。このより大きい密度は、熱容量
を大幅に改善し、本発明の赤外線透明液体冷却剤を空冷
法よりも優れたものにさせる。本発明の赤外線液体冷却
剤での冷却は、窓曇りの有効な防止を容易にする。
の透過率に増大した：水、エチレングリコール、エチレ
ングリコールジアセテート、テトラクロロエタンおよび
テトラクロロエチレン。試験は、テトラクロロエチレン
および空気が大体等しい赤外線を通過させることを示し
た。しかしながら、空気の低い密度のため、空気は、有
効な冷却剤ではない。テトラクロロエチレンは、有効な
冷却剤であることが証明された。テトラクロロエチレン
は、20℃での熱容量約0.904J/g℃を有する。使用する冷
却剤は、十分な熱容量および赤外線に対して十分な透明
性を有する液体であるべきである。20℃での熱容量は、
好ましくは、約0.4J/g℃よりも大きく、最も好ましくは
約0.9J/g℃よりも大きい。20℃での空気の熱容量は、実
際には、熱容量約1.00J/g℃を有する20℃でのテトラク
ロロエチレンのものよりもわずかに大きい。しかしなが
ら、テトラクロロエチレンの密度は、空気のものよりも
３桁以上大きい。テトラクロロエチンは20℃での密度約
1.623g/cmを有する一方、空気は、20℃での密度約0.001
22g/cm3のみを有する。このより大きい密度は、熱容量
を大幅に改善し、本発明の赤外線透明液体冷却剤を空冷
法よりも優れたものにさせる。本発明の赤外線液体冷却
剤での冷却は、窓曇りの有効な防止を容易にする。
場合によって、一酸化炭素の実質上純粋な源または供給
は、金属がカルボニル付着から室内の窓の内壁上に付着
する時には弁を室に供給してもよい。例えば、付着ニッ
ケルを除去するためには、赤外線源は、一時的に減少し
且つ一酸化炭素は室を充填する。室内では、下記逆反応
が窓からニッケルを除去する： Ni＋4CO→Ni（CO）４ しかしながら、本発明の正確な適用の場合には、逆反応
を使用することは必要ではない。本発明の装置および方
法は、赤外線によって加熱するカルボニル室の赤外線透
明窓の定期的クリーニングの要件を排除した。
は、金属がカルボニル付着から室内の窓の内壁上に付着
する時には弁を室に供給してもよい。例えば、付着ニッ
ケルを除去するためには、赤外線源は、一時的に減少し
且つ一酸化炭素は室を充填する。室内では、下記逆反応
が窓からニッケルを除去する： Ni＋4CO→Ni（CO）４ しかしながら、本発明の正確な適用の場合には、逆反応
を使用することは必要ではない。本発明の装置および方
法は、赤外線によって加熱するカルボニル室の赤外線透
明窓の定期的クリーニングの要件を排除した。
法令の条項に従って、本発明の特定の態様をここに図示
し且つ説明したが、当業者は、特許請求の範囲によって
カバーされる発明の形態で変更を施すことができ且つ本
発明の或る特徴が他の特徴の対応の使用なしに有利に時
々使用できることを理解するであろう。
し且つ説明したが、当業者は、特許請求の範囲によって
カバーされる発明の形態で変更を施すことができ且つ本
発明の或る特徴が他の特徴の対応の使用なしに有利に時
々使用できることを理解するであろう。
第１図は赤外線透明窓を通しての冷却通路を図示する本
発明の装置の略断面図、第２図は4mm離間された赤外線
透明シートを使用した異なる赤外線透明液体を比較する
ポリウレタンフォームの赤外線加熱の場合の温度vs時間
のプロット、第３図は5mm離間された赤外線透明シート
を使用した異なる赤外線透明液体を比較するポリウレタ
ンフォームの赤外線加熱の場合の温度vs時間のプロット
である。 10……装置、12……室、18……基体、24……赤外線源、
25……赤外線透明窓、28……冷却通路、32……赤外線
源、33……赤外線透明窓、36……冷却通路、40……液体
冷却剤。
発明の装置の略断面図、第２図は4mm離間された赤外線
透明シートを使用した異なる赤外線透明液体を比較する
ポリウレタンフォームの赤外線加熱の場合の温度vs時間
のプロット、第３図は5mm離間された赤外線透明シート
を使用した異なる赤外線透明液体を比較するポリウレタ
ンフォームの赤外線加熱の場合の温度vs時間のプロット
である。 10……装置、12……室、18……基体、24……赤外線源、
25……赤外線透明窓、28……冷却通路、32……赤外線
源、33……赤外線透明窓、36……冷却通路、40……液体
冷却剤。
フロントページの続き (72)発明者 ビクター、アレクザンダー、エテル カナダ国オンタリオ州、ミシソーガ、チャ ーメイン、ハイツ、3282 (72)発明者 リチャード、スチュアート、アダムズ カナダ国オンタリオ州、バーリントン、エ ッジバンク、コート、2093 (56)参考文献 特開 昭63−172421（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−188781（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−170573（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−212225（ＪＰ，Ａ)
Claims (2)
- 【請求項１】金属カルボニルガスを受容し、赤外線透明
窓を包含する室であって、前記赤外線透明窓は液体冷却
剤が充填された冷却通路を有し、前記液体冷却剤はテト
ラクロロエタンおよびテトラクロロエチレンのうちから
選択されたいずれか１種であり、前記液体冷却剤は金属
カルボニルガスの分解が生ずる温度未満の温度を有して
いて前記赤外線透明窓を冷却して金属カルボニルガスの
分解を防止し、かつ、赤外線に対して透明であり、前記
赤外線透明窓および冷却通路を通して赤外線が送られる
室、および、 前記室内の基体を金属カルボニルガスの分解が生ずる温
度に加熱するために赤外線を前記赤外線透明窓を通して
前記室内に送るための赤外放射線源、 を具備することを特徴とする赤外線透明窓の曇りを防止
する金属メッキ装置。 - 【請求項２】金属カルボニルガスを含有し、かつ赤外線
を入れるための赤外線透明窓を有する室に基体を導入
し、 前記赤外線透明窓および冷却通路を通して赤外線を送っ
て、基体を金属カルボニルガスの分解が生ずる温度に加
熱し、 前記赤外線透明窓を前記冷却通路内の液体冷却剤で冷却
して、前記窓上での金属カルボニルガスの分解を防止
し、 テトラクロロエタンおよびテトラクロロエチレンのうち
から選択されたいずれか１種の前記液体冷却剤を金属カ
ルボニルガスが分解する温度未満の温度に維持する、 ことを特徴とする、金属メッキ装置用赤外線透明窓の曇
り防止方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CA2001009 | 1989-10-19 | ||
| CA002001009A CA2001009C (en) | 1989-10-19 | 1989-10-19 | Infrared window |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03134171A JPH03134171A (ja) | 1991-06-07 |
| JPH0765175B2 true JPH0765175B2 (ja) | 1995-07-12 |
Family
ID=4143356
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2226440A Expired - Lifetime JPH0765175B2 (ja) | 1989-10-19 | 1990-08-28 | 赤外線透明窓の曇りを防止する金属メッキ装置及びその方法 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5145716A (ja) |
| EP (1) | EP0424183B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0765175B2 (ja) |
| CA (1) | CA2001009C (ja) |
| DE (1) | DE69002812T2 (ja) |
| FI (1) | FI93554C (ja) |
| NO (1) | NO303231B1 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| FR2686967B1 (fr) * | 1992-02-04 | 1999-04-09 | France Telecom | Dispositif de refroidissement d'un four de traitement d'un element et four equipe d'un tel dispositif. |
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| EP0628706A2 (en) * | 1993-06-10 | 1994-12-14 | Inco Limited | Catalytic conversion of internal combustion engine exhaust gases |
| JPH0978239A (ja) * | 1994-08-26 | 1997-03-25 | Kyokuto Giken:Kk | プラスチック成形型の製造方法 |
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| US6559424B2 (en) | 2001-01-02 | 2003-05-06 | Mattson Technology, Inc. | Windows used in thermal processing chambers |
| CN100408146C (zh) * | 2003-01-28 | 2008-08-06 | 弗劳尔公司 | 去除羰基化合物的机构和方法 |
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| US20070283782A1 (en) * | 2005-08-10 | 2007-12-13 | Mercuri Robert A | Continuous process for the production of nano-scale metal particles |
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| US20070034049A1 (en) * | 2005-08-10 | 2007-02-15 | Mercuri Robert A | Continuous process for the use of metal carbonyls for the production of nano-scale metal particles |
| US20070036913A1 (en) * | 2005-08-10 | 2007-02-15 | Mercuri Robert A | Process and apparatus for the production of engineered catalyst materials formed of non-noble metals |
| US20070037700A1 (en) * | 2005-08-10 | 2007-02-15 | Mercuri Robert A | Continuous process and apparatus for the production of catalyst-coated support materials |
| BRPI0614686A2 (pt) * | 2005-08-10 | 2011-04-12 | Directa Plus Patent & Technology Ltd | produção de partìculas de metal de nano-escala |
| US20070034051A1 (en) * | 2005-08-10 | 2007-02-15 | Mercuri Robert A | Process for the use of metal carbonyls for the production of nano-scale metal particles |
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| US20070034050A1 (en) * | 2005-08-10 | 2007-02-15 | Mercuri Robert A | Process for the use of metal carbonyls for the production of nano-scale metal particles formed of non-noble metals |
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| US11143459B1 (en) | 2017-04-04 | 2021-10-12 | Mainstream Engineering Corporation | Advanced cooling system using throttled internal cooling passage flow for a window assembly, and methods of fabrication and use thereof |
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