JPH076534Y2 - 体積、表面抵抗率測定装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この考案は例えばプリント基板用の絶縁板或いは床面絶
縁タイル等の超高抵抗（ＭΩ以上）絶縁体の体積抵抗率
或いは表面抵抗率を高精度で測定する体積、表面抵抗率
測定装置に関する。

「体積抵抗率の測定方法」 絶縁体の体積抵抗率は第３図に示すように、円盤状の主
電極１と同じく円盤状の対向電極２との間に試料３を挟
み込んで、主電極１と対向電極２との間に高圧電源４か
ら例えば1000ボルト程度の電圧を印加し、試料３を通じ
て流れる電流Ｉを電流計５で測定し、試料３の抵抗値を
求める。この抵抗値が体積抵抗である。この体積抵抗値
を試料３の厚みｔで割ると体積抵抗率が得られる。

なお、電流Ｉを測定する場合試料３の表面を通って対向
電極２と主電極１の間を流れる電流I_Nが存在すると測定
誤差となる。このため主電極１を取囲んでガード電極６
を設け、ガード電極６を接地して電流I_Nを接地に側路さ
せている。

「表面抵抗率の測定方法」 表面抵抗率は第４図に示すように主電極１及びガード電
極６と対向電極２との間に試料３を挾んだ状態でガード
電極６と主電極１との間に高圧電源４から電圧を印加
し、電流計５で試料３の表面を流れる電流Ｉを測定し、
表面抵抗を求める。

主電極１とガード電極６の各直径によって決まる電極係
数を測定した表面抵抗値に乗じて表面抵抗率を算出す
る。

この場合対向電極２は接地されガード電極６から試料３
の表面を通って流れる電流I_Nを接地に側路させている。

体積抵抗率及び表面抵抗率は上記のようにして測定され
るものであるが、主電極１とガード電極６及び対向電極
２は第５図及び第６図に示すような構造で支持されてい
る。

「従来の技術」 従来は第５図及び第６図に示すように上板７と下板８と
が４本の支柱９によって互に板面を対向させて支持さ
れ、下板８に対向電極２が取付けられ、上板７に主電極
１とガード電極６がツマミ11によって回転されるネジ送
り機構12によって上下に移動できるように支持される。

なお、13はネジ送り機構12の下端に回転自在に取付けた
補助板を示す。この補助板13はガイド棒14によって回り
止めされ、ネジ送り機構12によって上下に移動できるよ
うに支持される。

補助棒14の下端はガード電極６に連結され、ガード電極
６も回り止めする。ガード電極６と補助板13の間にバネ
15を挿入し、ガード電極６をバネ15によって吊り下げ
る。

補助板13には更に補助棒16が係合する。この補助棒16は
上端にフランジ16Aを有し、このフランジ16Aが補助板13
に係合して主電極１を吊り下げて支持する。補助棒16に
はバネ17が装着される。このバネ17は補助板13と主電極
１との間に反発力を与える。

このような構造によって補助板13を降下させ、主電極１
とガード電極６を試料３の面に当接させる。この状態で
更にネジ送り機構12を操作して補助板13を降下させると
バネ15と17が圧縮変形される。よって、このバネ15と17
の圧縮変形によって主電極１とガード電極６を所定の圧
接力で試料に当接させるようにしている。

「考案が解決しようとする課題」 従来は主電極１、ガード電極６と対向電極２を取囲んで
４本の支柱９が存在するため支柱９の間隔Ｗより大きい
形状の試料を測定することができない欠点がある。

つまり、従来は大きな形状の試料は測定のためにわざわ
ざ切断してサンプルを作り、このサンプルを使って測定
を行っている。このため試料が無駄になってしまう欠点
がある。

従来の構造では周囲の電磁的な雑音妨害を阻止すること
ができず、高精度の測定を行えない欠点がある。

この考案の目的は、形状が大きい試料でも切断すること
なく測定することができると共に周囲雑音の影響を受け
ず、高精度の測定が可能な体積抵抗率、表面抵抗率測定
装置を提供しようとするものである。

「課題を解決するための手段」 この考案では主電極及びガード電極を前面が解放の電極
収納箱に収納し、更に装置全体をシールドケースに収容
する。大型試料を装着できるようにするため電極収容箱
の側板に切込を入れている。

このようにすると主電極及びガード電極と対向電極の周
囲は一面が塞がれるだけで、他の三方が開放される。よ
って面積が大きい試料でも切断することなく主電極と対
向電極の間に挾み込むことができ、体積抵抗率及び表面
抵抗率を測定することができる。

電極等の測定要部は電極収容箱及びシールドケースとの
二重シールド構造によって、周囲雑音妨害を阻止するこ
とができ、高精度の測定を行える。

「実施例」 第１図及び第２図にこの考案の一実施例を示す。図中１
は主電極、２は対向電極、６はガード電極、７は上板、
８は下板、11はツマミ、12はネジ送り機構、13は補助
板、14は回り止め用の補助棒、15はガード電極６を吊り
下げているバネ、16は主電極１を吊り下げている補助
棒、17は主電極１に圧接力を与えるためのバネを示す点
は従来と同じである。

この考案においては上板７と下板８と左右の側板18A及
び背面板18Bとによって前面が解放の電極収容箱23を構
成している。この電極収容箱23は扱者が電極等に不用意
に触れないように防護すると共にこれら電極等の測定要
部を周囲の電磁的な雑音からシールドする機能を有す
る。

左右の側板（金属板）18Aに切込18Aaを形成し、切込18A
aが対向電極２の奥行よりも更に大きく切込ませる。対
向電極２の上面を切込18Aaの範囲内に位置させる。

更に、電極収容箱23の外側に台としても作用するシール
ドケース19Aと、このシールドケース19Aの上部を覆う蓋
19Bとを設ける。測定中は蓋19Bを閉じて内部をシールド
するようにし、周囲から雑音が混入しないようにしてい
る。このようにこの考案の測定装置は電極収容箱23,シ
ールドケース19A,蓋19Bによる二重シールド構造となっ
ている。

また、シールドケース19Aの上面を対向電極２の上面と
面一に選定する。このようにすることによって試料３の
面積が大きい場合には試料３をシールドケース19Aの上
面に乗せて対向電極２の上面にスライドさせることがで
きるから試料３の装着が容易にできるようになる。

「考案の効果」 以上説明したように、この考案によれば電極収容箱23の
左右の側板18Aに切込18Aaを設けたから、面積が大きい
試料でも切断することなく対向電極２の上面に乗せるこ
とができる。よって、そのまま体積抵抗率或いは面積抵
抗率を測定することができ便利である。

この考案では電極収容箱23とシールドケース19A,その蓋
19Bとによって二重シールド構造をとっているため、周
囲雑音妨害を阻止し、高精度の測定を行うことができ
る。

なお、上述では体積抵抗率及び表面抵抗率測定装置につ
いて説明したが、この考案による構造はその他に誘電率
測定装置等に利用することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例を説明するための斜視図、
第２図はその側面から見た断面図、第３図及び第４図は
体積抵抗率測定及び表面抵抗率の測定方法を説明するた
めの図、第５図及び第６図は従来の技術を説明するため
の図である。 1:主電極、2:対向電極、3:試料、6:ガード電極、7:上
板、8:下板、11:ツマミ、12:ネジ送り機構、18A:側板、
18B:背面板、19A:シールドケース、19B:蓋、23:電極収
容箱。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】上面に開口（21）が設けられた箱形のシー
   ルドケース（19A）と、 シールドケース（19A）を蓋する蓋（19B）と、 開口（21）より突出するようにシールドケース（19A）
   の底板上に立てられた背面板（18B）と左右の側板（18
   A）と上板（７）とを有し、前面が解放され、左右の側
   板（18A）の前縁から背面板の近傍に亘って試料（３）
   を内包するように切込（18Aa）が形成された電極収容箱
   （23）と、 電極収容箱（23）の上板（７）に螺合して、上下にスラ
   イド自在に取付けられたネジ送り機構（12）と、 ネジ送り機構（12）の下端に水平に取付けられた補助板
   （13）と、 補助板（13）の底面からコイルバネ（17）を介して水平
   に吊り下げられた円板状の主電極（１）と、 補助板（13）の底面からコイルバネ（15）を介して水平
   に吊り下げられ、主電極（１）の周りに空隙を介して同
   心に配されたリング状のガード電極（６）と、 主電極（１）及びガード電極（６）の下方に対向して、
   シールドケース（19A）の上面と面一になるように、開
   口（21）内に配され、主電極（１）及びガード電極
   （６）との間に試料（３）を挟持する対向電極（２）
   と、 を具備することを特徴とする、 体積、表面抵抗率測定装置。