JPH0766596A - 搭載機 - Google Patents
搭載機Info
- Publication number
- JPH0766596A JPH0766596A JP5216426A JP21642693A JPH0766596A JP H0766596 A JPH0766596 A JP H0766596A JP 5216426 A JP5216426 A JP 5216426A JP 21642693 A JP21642693 A JP 21642693A JP H0766596 A JPH0766596 A JP H0766596A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- electronic component
- mounting
- mounting nozzle
- distance
- Prior art date
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- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 プリント基板のはんだパタ−ン上に電子部品
を高精度に搭載する搭載機を提供することを目的とす
る。 【構成】 本発明搭載機は、電子部品1を搭載すべき基
板6の所望箇所と搭載ノズル2に吸着された該電子部品
1との間隙を計測する手段20と、該計測手段の計測結
果に基づいて電子部品を吸着した搭載ノズルの基板への
駆動を該基板から任意の位置までは高速に、該任意位置
から前記電子部品を搭載すべき基板の所望箇所までは低
速で移動させる手段11を有している。
を高精度に搭載する搭載機を提供することを目的とす
る。 【構成】 本発明搭載機は、電子部品1を搭載すべき基
板6の所望箇所と搭載ノズル2に吸着された該電子部品
1との間隙を計測する手段20と、該計測手段の計測結
果に基づいて電子部品を吸着した搭載ノズルの基板への
駆動を該基板から任意の位置までは高速に、該任意位置
から前記電子部品を搭載すべき基板の所望箇所までは低
速で移動させる手段11を有している。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は搭載機に係り、特に、電
子部品を保持した搭載ノズルをプリント基板上に駆動
し、保持を解除することによってプリント基板上の所望
箇所に電子部品を搭載する搭載機に関するものである。
子部品を保持した搭載ノズルをプリント基板上に駆動
し、保持を解除することによってプリント基板上の所望
箇所に電子部品を搭載する搭載機に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来の搭載機における部品搭載部及び該
部品搭載部を制御する制御部を、図10及び図11に示
す一例に基づいて説明する。
部品搭載部を制御する制御部を、図10及び図11に示
す一例に基づいて説明する。
【0003】部品搭載部は、電子部品1を真空吸着(保
持)する搭載ノズル2,該搭載ノズル2を駆動する駆動
機構3,該駆動機構3を動作させるモ−タ4,該モ−タ
4に装着されるエンコ−ダ5等により構成されている。
制御部は、上位コンピュ−タシステム10と該上位コン
ピュ−タシステム10により管理されている制御システ
ム11とからなり、上位コンピュ−タシステム10から
出される命令は、搭載ノズル2の基板6上からの高さを
制御する位置制御器12,該位置制御器12からの信号
に基づいて搭載ノズル2の上下動速度を制御する速度制
御器13,更に該速度制御器13からの信号に基づいて
モ−タ4を駆動する信号を出す駆動回路14とからなる
制御システム11を介して上記部品搭載部に伝達され
る。
持)する搭載ノズル2,該搭載ノズル2を駆動する駆動
機構3,該駆動機構3を動作させるモ−タ4,該モ−タ
4に装着されるエンコ−ダ5等により構成されている。
制御部は、上位コンピュ−タシステム10と該上位コン
ピュ−タシステム10により管理されている制御システ
ム11とからなり、上位コンピュ−タシステム10から
出される命令は、搭載ノズル2の基板6上からの高さを
制御する位置制御器12,該位置制御器12からの信号
に基づいて搭載ノズル2の上下動速度を制御する速度制
御器13,更に該速度制御器13からの信号に基づいて
モ−タ4を駆動する信号を出す駆動回路14とからなる
制御システム11を介して上記部品搭載部に伝達され
る。
【0004】そして、図11に示すようにガイド7が部
品搭載位置に保持する基板6の下面、すなわち、ガイド
7の上部と、電子部品1を吸着した搭載ノズル2の先端
との距離を距離L1として、上位コンピュ−タシステム
10に記憶させる。同様に電子部品1の高さH1、基板
6の厚さH2についても、あらかじめ計測され、上位コ
ンピュ−タシステム10にそれぞれ記憶させる。前記距
離L1,高さH1,厚さH2を記憶した上位コンピュ−
タシステム10は、基板6の上面と搭載ノズル2に吸着
した電子部品1の先端との距離を以下の式にて算出し、
距離L2として記憶する。
品搭載位置に保持する基板6の下面、すなわち、ガイド
7の上部と、電子部品1を吸着した搭載ノズル2の先端
との距離を距離L1として、上位コンピュ−タシステム
10に記憶させる。同様に電子部品1の高さH1、基板
6の厚さH2についても、あらかじめ計測され、上位コ
ンピュ−タシステム10にそれぞれ記憶させる。前記距
離L1,高さH1,厚さH2を記憶した上位コンピュ−
タシステム10は、基板6の上面と搭載ノズル2に吸着
した電子部品1の先端との距離を以下の式にて算出し、
距離L2として記憶する。
【0005】L2=L1−(H1+H2) 距離L2は搭載ノズル2の基板6への最大接近値、言い
替えると降下可能な最大値を示している。
替えると降下可能な最大値を示している。
【0006】従って、上位コンピュ−タシステム10に
は、搭載ノズル2に吸着した電子部品1の先端と該基板
6との距離を示す距離L2を初期値として記憶させ、該
搭載ノズル2は該距離L2に基づいて降下動作を行う。
具体的には、搭載ノズル2の位置制御は、前記基板6上
からの高さにおいては、モ−タ4に装着したエンコ−ダ
5の信号を位置制御器12の入力点にフィ−ドバックす
ることで制御する。速度制御は、エンコ−ダ5の信号を
速度制御器13の入力点にフィ−ドバックして行い、モ
−タ4を駆動するための電流信号を変流器15により駆
動回路14の入力点にフィ−ドバックして電流制御を行
う。なお、特開平1−120897号公報には、電子部
品の衝撃耐性度に応じて搭載ノズルの降下速度を段階的
又は無段階に変化させる制御装置を設けて速度制御を行
い、搭載時に電子部品の破損を防ぐことが提案されてい
る。
は、搭載ノズル2に吸着した電子部品1の先端と該基板
6との距離を示す距離L2を初期値として記憶させ、該
搭載ノズル2は該距離L2に基づいて降下動作を行う。
具体的には、搭載ノズル2の位置制御は、前記基板6上
からの高さにおいては、モ−タ4に装着したエンコ−ダ
5の信号を位置制御器12の入力点にフィ−ドバックす
ることで制御する。速度制御は、エンコ−ダ5の信号を
速度制御器13の入力点にフィ−ドバックして行い、モ
−タ4を駆動するための電流信号を変流器15により駆
動回路14の入力点にフィ−ドバックして電流制御を行
う。なお、特開平1−120897号公報には、電子部
品の衝撃耐性度に応じて搭載ノズルの降下速度を段階的
又は無段階に変化させる制御装置を設けて速度制御を行
い、搭載時に電子部品の破損を防ぐことが提案されてい
る。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】電子部品1を吸着した
搭載ノズル2は、基板6上の所望箇所に該電子部品1を
搭載するために下降するが、下降の際に該搭載ノズル2
先端が振動し、吸着した該電子部品1がリ−ドピッチ幅
方向に動く現象が生じる。しかし、電子部品1のリ−ド
ピッチ幅方向への動きによってはんだペ−ストが崩れて
も、従来ははんだペ−ストの幅が大きいためパタ−ン同
士は接触せず、いわゆるブリッジは生じないため問題と
はならなかった。しかし、電子部品1のリ−ドピッチが
30μm程度まで狭小化し、それに伴いはんだペ−スト
のパタ−ン間もより微細に形成されてきたため、搭載ノ
ズル2に吸着した電子部品1のリ−ド9がはんだペ−ス
ト上に接触する際にリ−ドピッチ幅方向に動くためブリ
ッジが発生する不具合が生じ、搭載精度の低下による不
良基板の発生が顕著となってきた。
搭載ノズル2は、基板6上の所望箇所に該電子部品1を
搭載するために下降するが、下降の際に該搭載ノズル2
先端が振動し、吸着した該電子部品1がリ−ドピッチ幅
方向に動く現象が生じる。しかし、電子部品1のリ−ド
ピッチ幅方向への動きによってはんだペ−ストが崩れて
も、従来ははんだペ−ストの幅が大きいためパタ−ン同
士は接触せず、いわゆるブリッジは生じないため問題と
はならなかった。しかし、電子部品1のリ−ドピッチが
30μm程度まで狭小化し、それに伴いはんだペ−スト
のパタ−ン間もより微細に形成されてきたため、搭載ノ
ズル2に吸着した電子部品1のリ−ド9がはんだペ−ス
ト上に接触する際にリ−ドピッチ幅方向に動くためブリ
ッジが発生する不具合が生じ、搭載精度の低下による不
良基板の発生が顕著となってきた。
【0008】従って、基板上に電子部品を高精度に搭載
するためには、搭載ノズルの下降時に発生するリ−ドピ
ッチ幅方向の振動を減少させる必要が生じる。すなわ
ち、電子部品のリ−ドがはんだペ−スト上に接触する際
の搭載ノズルの下降速度をリ−ドピッチが大きい電子部
品の搭載時に比べて低速にすればよい。該搭載ノズルの
下降速度を制御して電子部品の搭載を行うためには、対
象基板の状況を正確に把握し、把握した情報をフィ−ド
バックしながら制御を行う必要がある。
するためには、搭載ノズルの下降時に発生するリ−ドピ
ッチ幅方向の振動を減少させる必要が生じる。すなわ
ち、電子部品のリ−ドがはんだペ−スト上に接触する際
の搭載ノズルの下降速度をリ−ドピッチが大きい電子部
品の搭載時に比べて低速にすればよい。該搭載ノズルの
下降速度を制御して電子部品の搭載を行うためには、対
象基板の状況を正確に把握し、把握した情報をフィ−ド
バックしながら制御を行う必要がある。
【0009】基板の状況を示す因子としては、基板の反
り量,該基板上に設けられたはんだペ−ストの幅及び厚
さなどが挙げられる。
り量,該基板上に設けられたはんだペ−ストの幅及び厚
さなどが挙げられる。
【0010】例えば基板の反り量について見てみると、
上述した従来の搭載機において、搭載ノズル2の先端に
吸着した電子部品1の先端と基板6上面との距離をあら
かじめ測定して距離L2としているが、該距離L2は基
板6表面を平坦なものと仮定した場合の理論上の距離で
あり、実際の製造ラインで使用される基板には若干の反
りが生じており、この反りも個々の基板によっては一定
ではなく、しかも、同一基板上においても搭載位置によ
って変化していることが多い。また、上記特許公開公報
に述べられるように、部品の衝撃耐性度、すなわち、部
品の種類に応じて、例えば電子部品1の高さH1をあら
かじめ計測して上位コンピュ−タシステム10に記憶さ
せておき、搭載ノズル2の動作速度の切り替えを行う判
別値とした場合、位置制御器12から出された搭載ノズ
ル2の上下動作を指示する指令値は、前記高さH1に対
して1対1対応で変化するだけであり、基板の反りによ
り生じる基板上面の変化を把握し、それに追従して搭載
ノズル2の上下動作を指示することはできない。
上述した従来の搭載機において、搭載ノズル2の先端に
吸着した電子部品1の先端と基板6上面との距離をあら
かじめ測定して距離L2としているが、該距離L2は基
板6表面を平坦なものと仮定した場合の理論上の距離で
あり、実際の製造ラインで使用される基板には若干の反
りが生じており、この反りも個々の基板によっては一定
ではなく、しかも、同一基板上においても搭載位置によ
って変化していることが多い。また、上記特許公開公報
に述べられるように、部品の衝撃耐性度、すなわち、部
品の種類に応じて、例えば電子部品1の高さH1をあら
かじめ計測して上位コンピュ−タシステム10に記憶さ
せておき、搭載ノズル2の動作速度の切り替えを行う判
別値とした場合、位置制御器12から出された搭載ノズ
ル2の上下動作を指示する指令値は、前記高さH1に対
して1対1対応で変化するだけであり、基板の反りによ
り生じる基板上面の変化を把握し、それに追従して搭載
ノズル2の上下動作を指示することはできない。
【0011】本発明の目的は、上記課題を解決し、基板
上に電子部品を高精度に搭載する搭載機を提供するもの
である。
上に電子部品を高精度に搭載する搭載機を提供するもの
である。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明搭載機の特徴とす
るところは、電子部品を搭載すべき基板の所定箇所と搭
載ノズルに保持された電子部品との距離を計測する手段
と、該計測手段の計測結果に基づいて電子部品を吸着し
た搭載ノズルの基板上面への駆動を、該基板から任意の
位置までは高速に、該任意の位置から前記電子部品を搭
載すべき基板の所望箇所までは低速で移動させる手段を
設けたことにある。
るところは、電子部品を搭載すべき基板の所定箇所と搭
載ノズルに保持された電子部品との距離を計測する手段
と、該計測手段の計測結果に基づいて電子部品を吸着し
た搭載ノズルの基板上面への駆動を、該基板から任意の
位置までは高速に、該任意の位置から前記電子部品を搭
載すべき基板の所望箇所までは低速で移動させる手段を
設けたことにある。
【0013】
【作用】本発明によれば、電子部品を搭載すべき基板の
所望箇所と搭載ノズルに保持された電子部品との距離を
計測する手段によって該基板の状況を把握でき、該計測
手段の計測結果すなわち該基板の状況に基づいて、電子
部品を吸着した搭載ノズルの基板上面への駆動を、該基
板から任意の位置までは高速に、該任意の位置から前記
電子部品を搭載すべき基板の所定箇所までは低速で移動
させる手段により、該搭載ノズルの下降時に発生する振
動が該電子部品の搭載時に減少するため、該基板上に設
けたはんだペ−ストを崩してブリッジを発生させること
がなく高精度に搭載することができる。
所望箇所と搭載ノズルに保持された電子部品との距離を
計測する手段によって該基板の状況を把握でき、該計測
手段の計測結果すなわち該基板の状況に基づいて、電子
部品を吸着した搭載ノズルの基板上面への駆動を、該基
板から任意の位置までは高速に、該任意の位置から前記
電子部品を搭載すべき基板の所定箇所までは低速で移動
させる手段により、該搭載ノズルの下降時に発生する振
動が該電子部品の搭載時に減少するため、該基板上に設
けたはんだペ−ストを崩してブリッジを発生させること
がなく高精度に搭載することができる。
【0014】
【実施例】図1,図2及び図3に本発明の一実施例を示
す。
す。
【0015】図1に示す本実施例は、基板表面の状態を
計測する手段として基板の下方に例えば超音波センサを
設け、電子部品を吸着した搭載ノズルを該基板から任意
の位置までは高速に、該任意の位置から電子部品を搭載
すべき基板の所望箇所までは低速で移動させるものであ
る。図10に示す従来例と同一部分には同一符号を付け
説明を省略する。
計測する手段として基板の下方に例えば超音波センサを
設け、電子部品を吸着した搭載ノズルを該基板から任意
の位置までは高速に、該任意の位置から電子部品を搭載
すべき基板の所望箇所までは低速で移動させるものであ
る。図10に示す従来例と同一部分には同一符号を付け
説明を省略する。
【0016】図10に示す従来例と同様に、あらかじめ
ガイド7が部品搭載位置に保持する基板6の下面、すな
わち、ガイド7の上部と、電子部品1を吸着した搭載ノ
ズル2の先端との距離を距離L1とし、上位コンピュ−
タシステム10に記憶させる。同様に、搭載部品6の高
さH1,基板6の厚さH2についてもあらかじめ計測
し、上位コンピュ−タシステム10にそれぞれ記憶させ
る。
ガイド7が部品搭載位置に保持する基板6の下面、すな
わち、ガイド7の上部と、電子部品1を吸着した搭載ノ
ズル2の先端との距離を距離L1とし、上位コンピュ−
タシステム10に記憶させる。同様に、搭載部品6の高
さH1,基板6の厚さH2についてもあらかじめ計測
し、上位コンピュ−タシステム10にそれぞれ記憶させ
る。
【0017】なお、基板6の下方に超音波センサ20を
設け、前記基板6に対する位置をあらかじめ設定し、該
超音波センサ20のアンプ21の信号は、ル−プ22を
通って位置制御器12と駆動回路14にフィ−ドバック
する。
設け、前記基板6に対する位置をあらかじめ設定し、該
超音波センサ20のアンプ21の信号は、ル−プ22を
通って位置制御器12と駆動回路14にフィ−ドバック
する。
【0018】図2は、搭載ノズル2と基板6及び超音波
センサ20の位置関係において反りが生じた基板6を対
象とした場合を示しており、基板6下部の一点鎖線は、
表面が平坦と仮定した場合の基板下面の位置を示してい
る。
センサ20の位置関係において反りが生じた基板6を対
象とした場合を示しており、基板6下部の一点鎖線は、
表面が平坦と仮定した場合の基板下面の位置を示してい
る。
【0019】基板6の下方に設けた超音波センサ20の
先端と、部品搭載位置にガイド7により保持した基板6
の下面との距離を、表面が平坦と仮定した理想的基板の
場合に距離L3とし、実測値を実測距離K3とすると、
基板6の反り量Jは、 J=L3−K3 として算出することができる。この時基板6は、J>0
のとき搭載ノズル2に対して下方に反っており、J=0
のときは反りが無く、J<0のとき搭載ノズル2に対し
て上方に反っていると判断できる。
先端と、部品搭載位置にガイド7により保持した基板6
の下面との距離を、表面が平坦と仮定した理想的基板の
場合に距離L3とし、実測値を実測距離K3とすると、
基板6の反り量Jは、 J=L3−K3 として算出することができる。この時基板6は、J>0
のとき搭載ノズル2に対して下方に反っており、J=0
のときは反りが無く、J<0のとき搭載ノズル2に対し
て上方に反っていると判断できる。
【0020】また、搭載ノズル2に吸着した電子部品1
のリ−ド9先端と基板6上の搭載位置面との距離を実測
距離K2とすると、該距離K2は上位コンピュ−タシス
テム10によって、部品搭載位置にガイド7により保持
した基板6の下面、すなわち、ガイド7の上部と搭載ノ
ズル2の先端との距離である距離L1、基板の反り量
J,電子部品1の高さH1,基板厚さH2から、 K2=L1−(H1+H2+J) として求められる。
のリ−ド9先端と基板6上の搭載位置面との距離を実測
距離K2とすると、該距離K2は上位コンピュ−タシス
テム10によって、部品搭載位置にガイド7により保持
した基板6の下面、すなわち、ガイド7の上部と搭載ノ
ズル2の先端との距離である距離L1、基板の反り量
J,電子部品1の高さH1,基板厚さH2から、 K2=L1−(H1+H2+J) として求められる。
【0021】前記実測距離K2は従来例に示す距離L2
と同様に搭載ノズル2の基板6への最大接近値、言い替
えると降下可能な最大値を示し、該搭載ノズル2は該実
測距離K2に基づいて降下動作を行う。従って、上位コ
ンピュ−タシステム10は該実測距離K2を初期値とし
て記憶し、搭載ノズル2の駆動距離、すなわち、残りの
降下距離を把握することができる。
と同様に搭載ノズル2の基板6への最大接近値、言い替
えると降下可能な最大値を示し、該搭載ノズル2は該実
測距離K2に基づいて降下動作を行う。従って、上位コ
ンピュ−タシステム10は該実測距離K2を初期値とし
て記憶し、搭載ノズル2の駆動距離、すなわち、残りの
降下距離を把握することができる。
【0022】さて、基板6上面から任意の位置までは高
速に、該任意の位置から搭載位置までは低速に移動する
搭載時間及び搭載距離の関係を図3に示す。
速に、該任意の位置から搭載位置までは低速に移動する
搭載時間及び搭載距離の関係を図3に示す。
【0023】図3は、縦軸に基板6上面からの距離、横
軸に搭載ノズル2の下降時間を取り、部品搭載時の搭載
ノズル2の下降ストロ−クを表したものである。
軸に搭載ノズル2の下降時間を取り、部品搭載時の搭載
ノズル2の下降ストロ−クを表したものである。
【0024】上述した搭載ノズル2に吸着した電子部品
1のリ−ド9先端と基板6の上面との間隙を示す実測距
離K2が、基板6上面の部品搭載箇所上から任意の高さ
である距離ΔLとなる時点(時刻t1)までを搭載ノズ
ル2の駆動速度が高速なモ−ド1と設定し、該距離ΔL
から基板6上のはんだペ−スト8上に電子部品1が搭載
される時点(時刻t2)までを搭載ノズル2の駆動速度
が低速なモ−ド2と設定する。上記時刻t2は、搭載ノ
ズル2の降下距離が上述した実測距離K2と等しくなる
時点であり、搭載ノズル2の下降が停止する時点であ
る。従って、電子部品1を吸着した搭載ノズル2の降下
速度を上記モ−ド1と上記モ−ド2とで切り替えること
により、基板6上部での該搭載ノズル2の急停止を防止
することができ、該搭載ノズル2先端に発生するリ−ド
ピッチ幅方向の振動を減少させることができるため、該
基板6上に設けたはんだパタ−ン8を該電子部品1が搭
載時にくずし、いわゆるブリッジが発生する不具合を防
ぐことができる。
1のリ−ド9先端と基板6の上面との間隙を示す実測距
離K2が、基板6上面の部品搭載箇所上から任意の高さ
である距離ΔLとなる時点(時刻t1)までを搭載ノズ
ル2の駆動速度が高速なモ−ド1と設定し、該距離ΔL
から基板6上のはんだペ−スト8上に電子部品1が搭載
される時点(時刻t2)までを搭載ノズル2の駆動速度
が低速なモ−ド2と設定する。上記時刻t2は、搭載ノ
ズル2の降下距離が上述した実測距離K2と等しくなる
時点であり、搭載ノズル2の下降が停止する時点であ
る。従って、電子部品1を吸着した搭載ノズル2の降下
速度を上記モ−ド1と上記モ−ド2とで切り替えること
により、基板6上部での該搭載ノズル2の急停止を防止
することができ、該搭載ノズル2先端に発生するリ−ド
ピッチ幅方向の振動を減少させることができるため、該
基板6上に設けたはんだパタ−ン8を該電子部品1が搭
載時にくずし、いわゆるブリッジが発生する不具合を防
ぐことができる。
【0025】また、上記時刻t2を、該電子部品1の先
端が基板6上のはんだペ−スト8に接触し該基板6上面
が該電子部品1により上方から押されることにより上記
実測距離K3が変化する時点としてとらえ、ル−プ22
を通って駆動回路14にフィ−ドバックする該実測距離
K3の変化によりモ−タ4を停止し、低速モ−ドで降下
している搭載ノズル2を即座に停止させてもよい。
端が基板6上のはんだペ−スト8に接触し該基板6上面
が該電子部品1により上方から押されることにより上記
実測距離K3が変化する時点としてとらえ、ル−プ22
を通って駆動回路14にフィ−ドバックする該実測距離
K3の変化によりモ−タ4を停止し、低速モ−ドで降下
している搭載ノズル2を即座に停止させてもよい。
【0026】本実施例によれば、基板の下方に設けた超
音波センサによって、電子部品を搭載すべき基板の所定
箇所と搭載ノズルに吸着された該電子部品との距離を計
測し、該超音波センサの計測結果に基づいて電子部品を
吸着した搭載ノズルの基板への駆動を該基板から任意の
位置までは高速に、該任意位置から前記電子部品を搭載
すべき基板の所望箇所までは低速で移動させる手段を設
けたため、搭載ノズルの下降時に発生する該搭載ノズル
先端のリ−ドピッチ幅方向の振動を減少することがで
き、反りの生じている基板に対しても精度良く電子部品
の搭載を行うことができる。
音波センサによって、電子部品を搭載すべき基板の所定
箇所と搭載ノズルに吸着された該電子部品との距離を計
測し、該超音波センサの計測結果に基づいて電子部品を
吸着した搭載ノズルの基板への駆動を該基板から任意の
位置までは高速に、該任意位置から前記電子部品を搭載
すべき基板の所望箇所までは低速で移動させる手段を設
けたため、搭載ノズルの下降時に発生する該搭載ノズル
先端のリ−ドピッチ幅方向の振動を減少することがで
き、反りの生じている基板に対しても精度良く電子部品
の搭載を行うことができる。
【0027】なお、電子部品1を吸着した搭載ノズル2
が基板6に対して斜め方向に下降する場合には、上位コ
ンピュ−タシステム10によって該搭載ノズル2の移動
距離を水平及び垂直方向に分解して演算させることも可
能である。
が基板6に対して斜め方向に下降する場合には、上位コ
ンピュ−タシステム10によって該搭載ノズル2の移動
距離を水平及び垂直方向に分解して演算させることも可
能である。
【0028】図4,図5,図6及び図7に本発明の他の
実施例を示す。
実施例を示す。
【0029】本実施例は、基板表面の状態を計測する手
段として基板上方にセンサを設け、該基板から任意の位
置までは高速に、該任意の位置から電子部品を搭載すべ
き基板の所望箇所までは低速で移動させるものである。
なお、図10に示す従来例と同一部分には同一符号を付
け説明を省略する。
段として基板上方にセンサを設け、該基板から任意の位
置までは高速に、該任意の位置から電子部品を搭載すべ
き基板の所望箇所までは低速で移動させるものである。
なお、図10に示す従来例と同一部分には同一符号を付
け説明を省略する。
【0030】図10に示す従来例と同様に、あらかじめ
上位コンピュ−タシステム10には、ガイド7の上部
と、電子部品1を吸着し基板6の該電子部品1を搭載す
べき所望箇所上部に達した下降直前の搭載ノズル2の先
端との距離L1,搭載電子部品1の高さH1,基板6の
厚さH2をそれぞれ記憶する。
上位コンピュ−タシステム10には、ガイド7の上部
と、電子部品1を吸着し基板6の該電子部品1を搭載す
べき所望箇所上部に達した下降直前の搭載ノズル2の先
端との距離L1,搭載電子部品1の高さH1,基板6の
厚さH2をそれぞれ記憶する。
【0031】本実施例においては図4に示すように、搭
載ノズル2をθ軸方向に回転するモ−タ30と、該搭載
ノズル2とともに回転するセンサ31,32を設けてい
る。該センサ31,32は搭載ノズル2の先端から任意
の位置に設けるが、該任意の位置とは搭載ノズル2に吸
着した電子部品1には接触せず該電子部品1を検知しな
い位置であれば良い。この時の電子部品1,搭載ノズル
2とセンサ31,32との位置関係を図5及び図6に示
すA−A断面図を用いて説明する。
載ノズル2をθ軸方向に回転するモ−タ30と、該搭載
ノズル2とともに回転するセンサ31,32を設けてい
る。該センサ31,32は搭載ノズル2の先端から任意
の位置に設けるが、該任意の位置とは搭載ノズル2に吸
着した電子部品1には接触せず該電子部品1を検知しな
い位置であれば良い。この時の電子部品1,搭載ノズル
2とセンサ31,32との位置関係を図5及び図6に示
すA−A断面図を用いて説明する。
【0032】図5に示すように上記搭載ノズル2は、吸
着した電子部品1を上記センサ31,32が検知しない
位置V0,W0に位置している。モ−タ30により該位
置V0,W0から搭載ノズル2が図6に示すようにθ軸
方向に45°回転する。このとき搭載ノズル2は吸着し
た電子部品1及びセンサ31,32と共に回転するた
め、該センサ31,32は、搭載ノズル2が吸着した電
子部品1を検知せずに基板6上面の位置V1,W1まで
の距離を計測し、計測値を上位コンピュ−タシステム1
0に記憶する。次に、搭載ノズル2が更にθ軸方向に9
0°回転すると、該センサ31,32は図6に示す場合
と同様に電子部品1は検知せず基板6上面の位置V2,
W2までの距離を計測し、計測値を上位コンピュ−タシ
ステム10に記憶する。
着した電子部品1を上記センサ31,32が検知しない
位置V0,W0に位置している。モ−タ30により該位
置V0,W0から搭載ノズル2が図6に示すようにθ軸
方向に45°回転する。このとき搭載ノズル2は吸着し
た電子部品1及びセンサ31,32と共に回転するた
め、該センサ31,32は、搭載ノズル2が吸着した電
子部品1を検知せずに基板6上面の位置V1,W1まで
の距離を計測し、計測値を上位コンピュ−タシステム1
0に記憶する。次に、搭載ノズル2が更にθ軸方向に9
0°回転すると、該センサ31,32は図6に示す場合
と同様に電子部品1は検知せず基板6上面の位置V2,
W2までの距離を計測し、計測値を上位コンピュ−タシ
ステム10に記憶する。
【0033】該センサ31,32が、電子部品1が搭載
される基板6上の所望箇所におけるはんだペ−スト8上
の4点を計測した後、搭載ノズル2がモ−タ30によっ
てθ軸方向に−135°回転する。つまり、図5に示す
ように位置V0,W0に該センサ31,32が位置した
時点で搭載ノズル2は降下する。
される基板6上の所望箇所におけるはんだペ−スト8上
の4点を計測した後、搭載ノズル2がモ−タ30によっ
てθ軸方向に−135°回転する。つまり、図5に示す
ように位置V0,W0に該センサ31,32が位置した
時点で搭載ノズル2は降下する。
【0034】上位コンピュ−タシステム10は、上記4
点(位置V1,W1,V2,W2)において該センサ3
1,32が計測した距離の最小値を判別して距離K4と
し、搭載ノズル2の降下距離として記憶する。該基板6
上に設けたはんだペ−スト8の高さは数10μm程度で
あり、電子部品1を搭載するために搭載ノズル2が下降
する厳密な距離は、吸着した電子部品1のリ−ド9下端
からはんだペ−スト8の上部までとなる。従って、前記
搭載ノズル2が吸着した電子部品1がはんだペ−スト8
をつぶしてブリッジを形成すること無く降下できる距離
は、上位コンピュ−タシステム10により判別された上
記4点における上記センサ31,32が計測した距離の
最小値として示すことができる。
点(位置V1,W1,V2,W2)において該センサ3
1,32が計測した距離の最小値を判別して距離K4と
し、搭載ノズル2の降下距離として記憶する。該基板6
上に設けたはんだペ−スト8の高さは数10μm程度で
あり、電子部品1を搭載するために搭載ノズル2が下降
する厳密な距離は、吸着した電子部品1のリ−ド9下端
からはんだペ−スト8の上部までとなる。従って、前記
搭載ノズル2が吸着した電子部品1がはんだペ−スト8
をつぶしてブリッジを形成すること無く降下できる距離
は、上位コンピュ−タシステム10により判別された上
記4点における上記センサ31,32が計測した距離の
最小値として示すことができる。
【0035】該距離K4に基づいて、基板6上面から任
意の位置までは高速に、該任意の位置から搭載位置まで
は低速に移動する搭載時間及び搭載距離の関係を図7に
示す。 図7において、センサ31,32による位置V
0,W0の計測時点を時刻T0、位置V1,W1の計測
時点を時刻T1,位置V2,W2の計測時点を時刻T2
とすると、時刻T0−時刻T2間は計測期間のため搭載
ノズル2の下降は行わない。上位コンピュ−タシステム
10は、記憶している搭載ノズル2の降下速度(高速モ
−ド及び低速モ−ド)と既に算出された距離K4とか
ら、基板上面の部品搭載箇所上から任意の高さである距
離ΔLに搭載ノズル2の先端に吸着した電子部品1の先
端が達する時点を時刻T3とし、該距離ΔLから基板6
上のはんだペ−スト8上に電子部品1が搭載される時点
を時刻T4として求め、時刻T3において降下速度を高
速モ−ドから低速モ−ドに切り替え、時刻T4において
電子部品1の吸着を解除し基板6上のはんだペ−スト8
上に搭載する。
意の位置までは高速に、該任意の位置から搭載位置まで
は低速に移動する搭載時間及び搭載距離の関係を図7に
示す。 図7において、センサ31,32による位置V
0,W0の計測時点を時刻T0、位置V1,W1の計測
時点を時刻T1,位置V2,W2の計測時点を時刻T2
とすると、時刻T0−時刻T2間は計測期間のため搭載
ノズル2の下降は行わない。上位コンピュ−タシステム
10は、記憶している搭載ノズル2の降下速度(高速モ
−ド及び低速モ−ド)と既に算出された距離K4とか
ら、基板上面の部品搭載箇所上から任意の高さである距
離ΔLに搭載ノズル2の先端に吸着した電子部品1の先
端が達する時点を時刻T3とし、該距離ΔLから基板6
上のはんだペ−スト8上に電子部品1が搭載される時点
を時刻T4として求め、時刻T3において降下速度を高
速モ−ドから低速モ−ドに切り替え、時刻T4において
電子部品1の吸着を解除し基板6上のはんだペ−スト8
上に搭載する。
【0036】なお本実施例においては、説明を簡略化す
るため搭載ノズル2に設けたセンサ31,32が垂直方
向にはんだペ−スト8の高さ検出を行うものとして説明
したが、該センサ31,32の検出方向は垂直方向に限
定されるものではない。
るため搭載ノズル2に設けたセンサ31,32が垂直方
向にはんだペ−スト8の高さ検出を行うものとして説明
したが、該センサ31,32の検出方向は垂直方向に限
定されるものではない。
【0037】本実施例によれば、基板の上部に設けたセ
ンサにより、電子部品を搭載すべき基板の所望箇所と搭
載ノズルに吸着された該電子部品との間隙を精密に計測
し、該センサの計測結果に基づいて該電子部品を吸着し
た該搭載ノズルの基板への駆動を該基板から任意の位置
までは高速に、該任意位置から該電子部品を搭載すべき
基板の所望箇所までは低速で移動するため、搭載ノズル
の下降時に発生する搭載ノズル先端のリ−ドピッチ幅方
向の振動を減少することができ、搭載した電子部品によ
ってブリッジが発生することを防ぐことができるため、
精度の良い搭載を行うことができる。
ンサにより、電子部品を搭載すべき基板の所望箇所と搭
載ノズルに吸着された該電子部品との間隙を精密に計測
し、該センサの計測結果に基づいて該電子部品を吸着し
た該搭載ノズルの基板への駆動を該基板から任意の位置
までは高速に、該任意位置から該電子部品を搭載すべき
基板の所望箇所までは低速で移動するため、搭載ノズル
の下降時に発生する搭載ノズル先端のリ−ドピッチ幅方
向の振動を減少することができ、搭載した電子部品によ
ってブリッジが発生することを防ぐことができるため、
精度の良い搭載を行うことができる。
【0038】なお、図1から図7に示す2つの実施例に
おいては、あらかじめ高速モ−ド及び低速モ−ドを設定
しているため、搭載ノズルの基板上面からの距離によっ
て搭載時間が異なるが、搭載時間を一定として制御した
場合にはばらつきの無い精度の良いタクトタイムを確保
することができる。
おいては、あらかじめ高速モ−ド及び低速モ−ドを設定
しているため、搭載ノズルの基板上面からの距離によっ
て搭載時間が異なるが、搭載時間を一定として制御した
場合にはばらつきの無い精度の良いタクトタイムを確保
することができる。
【0039】図8に、搭載時間を一定とした場合及び搭
載時速度を一定とした場合の搭載ノズルの下降ストロ−
クを比較して示す。
載時速度を一定とした場合の搭載ノズルの下降ストロ−
クを比較して示す。
【0040】降下速度をあらかじめ設定し距離Xだけ降
下する場合に、基板6上から搭載ノズル2が所定の距離
ΔLに達する時点を時刻t1a,基板6上に電子部品1
を搭載する時点を時刻t1bとする(ケ−スA)。ま
た、降下速度はケ−スAと同様だが降下距離が距離αだ
けケ−スAよりも短い場合に、基板6上から搭載ノズル
2が所定の距離ΔLに達する時点を時刻t2a,基板6
上に電子部品1を搭載する時点を時刻t2bとする(ケ
−スB)。図8では、ケ−スAにおける搭載ノズル2の
下降ストロ−クを点線及び実線Aで示し、ケ−スBにお
ける搭載ノズル2の下降ストロ−クを実線Bで示す。
下する場合に、基板6上から搭載ノズル2が所定の距離
ΔLに達する時点を時刻t1a,基板6上に電子部品1
を搭載する時点を時刻t1bとする(ケ−スA)。ま
た、降下速度はケ−スAと同様だが降下距離が距離αだ
けケ−スAよりも短い場合に、基板6上から搭載ノズル
2が所定の距離ΔLに達する時点を時刻t2a,基板6
上に電子部品1を搭載する時点を時刻t2bとする(ケ
−スB)。図8では、ケ−スAにおける搭載ノズル2の
下降ストロ−クを点線及び実線Aで示し、ケ−スBにお
ける搭載ノズル2の下降ストロ−クを実線Bで示す。
【0041】前記ケ−スA及びケ−スBを比較すると、
図8に示すように電子部品1が基板6上のはんだペ−ス
ト8上に搭載される搭載時間の差は時刻t1b−時刻t
2bとなる。従って、搭載速度をあらかじめ設定した場
合には、基板の状況すなわち、基板6の反り量や電子部
品1が載るはんだパタ−ンの幅及び厚さなどにより発生
する距離α分の降下距離が変化し、該降下距離に対応し
て搭載時間も変化することがわかる。
図8に示すように電子部品1が基板6上のはんだペ−ス
ト8上に搭載される搭載時間の差は時刻t1b−時刻t
2bとなる。従って、搭載速度をあらかじめ設定した場
合には、基板の状況すなわち、基板6の反り量や電子部
品1が載るはんだパタ−ンの幅及び厚さなどにより発生
する距離α分の降下距離が変化し、該降下距離に対応し
て搭載時間も変化することがわかる。
【0042】さて、搭載ノズル2が基板6上から所定の
距離ΔLに達するまでの時間をケ−スAと同様の時刻t
1aとし、降下距離をケ−スBと同様の距離X−αとし
た場合(ケ−スC)、上位コンピュ−タシステム10
は、基板6上から所定の距離ΔLに達するまでの時刻t
1aと搭載ノズル2の下降距離を示す距離X−αとか
ら、高速モ−ド1aにおける降下速度を演算し搭載ノズ
ル2の降下を行う。図8において実線Cの傾きは搭載ノ
ズル2の降下速度を示しており、実線Bに比べてゆるや
かであり、低速度となっている。なおケ−スCにおいて
は、基板上の所定の距離ΔLに達する時間をケ−スAと
同様にしたため、モ−ド1bにおいてはケ−スAと同様
の実線Aで示す下降ストロ−クとなる。
距離ΔLに達するまでの時間をケ−スAと同様の時刻t
1aとし、降下距離をケ−スBと同様の距離X−αとし
た場合(ケ−スC)、上位コンピュ−タシステム10
は、基板6上から所定の距離ΔLに達するまでの時刻t
1aと搭載ノズル2の下降距離を示す距離X−αとか
ら、高速モ−ド1aにおける降下速度を演算し搭載ノズ
ル2の降下を行う。図8において実線Cの傾きは搭載ノ
ズル2の降下速度を示しており、実線Bに比べてゆるや
かであり、低速度となっている。なおケ−スCにおいて
は、基板上の所定の距離ΔLに達する時間をケ−スAと
同様にしたため、モ−ド1bにおいてはケ−スAと同様
の実線Aで示す下降ストロ−クとなる。
【0043】搭載時間を一定としたケ−スCにおいて
は、基板6の反り量やはんだパタ−ンの幅及び厚さ等に
よって変化する基板の状況を考慮して、常に一定の時間
で電子部品を搭載することができるため、ばらつきの無
いタクトタイムを確保することができる。
は、基板6の反り量やはんだパタ−ンの幅及び厚さ等に
よって変化する基板の状況を考慮して、常に一定の時間
で電子部品を搭載することができるため、ばらつきの無
いタクトタイムを確保することができる。
【0044】図9に本発明の更に他の実施例を示す。本
実施例は、搭載ノズルに吸着した電子部品に対する基板
上の搭載箇所の高さ位置を計測する手段として、搭載ノ
ズルとともに下降し基板上面に接触する接触子と、該接
触子に設けた圧力センサと該圧力センサから出力する電
気信号を制御手段にフィ−ドバックするアンプを備えて
いる。図9に示す実施例において、図10に示す従来例
と同一部分には同一符号を付け、説明を省略する。
実施例は、搭載ノズルに吸着した電子部品に対する基板
上の搭載箇所の高さ位置を計測する手段として、搭載ノ
ズルとともに下降し基板上面に接触する接触子と、該接
触子に設けた圧力センサと該圧力センサから出力する電
気信号を制御手段にフィ−ドバックするアンプを備えて
いる。図9に示す実施例において、図10に示す従来例
と同一部分には同一符号を付け、説明を省略する。
【0045】図10に示す従来例と同様に、あらかじめ
上位コンピュ−タシステム10には、ガイド7の上部
と、電子部品1を吸着し基板6の該電子部品1を搭載す
べき所望箇所上部に達した下降直前の搭載ノズル2の先
端との距離L1,搭載部品6の高さH1,基板6の厚さ
H2をそれぞれ記憶させる。
上位コンピュ−タシステム10には、ガイド7の上部
と、電子部品1を吸着し基板6の該電子部品1を搭載す
べき所望箇所上部に達した下降直前の搭載ノズル2の先
端との距離L1,搭載部品6の高さH1,基板6の厚さ
H2をそれぞれ記憶させる。
【0046】本実施例においては、搭載ノズル2先端か
ら所定の高さにストッパ40を設け、該ストッパ40に
より接触子41を支持する。このとき、該接触子41は
搭載ノズル2に対して上部には自由に移動できるが、搭
載ノズル2の先端方向に対しては、前記ストッパ40に
より、前記接触子41の下端が搭載ノズル2の吸着した
電子部品1の先端から距離ΔLだけ下方に位置するのが
限度である。また、搭載ノズル2はバネ42を有してお
り、前記バネ42が保持する圧力センサ43に、該接触
子41の上部が接触している。
ら所定の高さにストッパ40を設け、該ストッパ40に
より接触子41を支持する。このとき、該接触子41は
搭載ノズル2に対して上部には自由に移動できるが、搭
載ノズル2の先端方向に対しては、前記ストッパ40に
より、前記接触子41の下端が搭載ノズル2の吸着した
電子部品1の先端から距離ΔLだけ下方に位置するのが
限度である。また、搭載ノズル2はバネ42を有してお
り、前記バネ42が保持する圧力センサ43に、該接触
子41の上部が接触している。
【0047】すなわち、前記搭載ノズル2において、前
記ストッパ40により支持された前記接触子41は、上
部がバネ42により保持された圧力センサ43の押圧値
を0として接触している。
記ストッパ40により支持された前記接触子41は、上
部がバネ42により保持された圧力センサ43の押圧値
を0として接触している。
【0048】搭載ノズル2が下降して該接触子41の先
端が基板6上に接触する(時間t1とする。)と該圧力
センサ43が押圧力を検出し、アンプ44を介して下降
速度を制御する速度制御器11及びモ−タ4を駆動する
駆動回路14にル−プ45を介して信号がフィ−ドバッ
クされる。この時点では電子部品1は基板6上から距離
ΔL上部に位置している。上位コンピュ−タシステム1
0により搭載速度を低速に切り替えて、さらに搭載ノズ
ル2は距離ΔLだけ降下する。この時、該搭載ノズル2
が更に降下してもバネ42によって上方に接触子41の
みが押し上げられるため基板6を該接触子41が更に押
すことはなく、搭載ノズル2のみ下降でき、降下が停止
した時点で吸着を解除して電子部品1を基板6上に搭載
する。
端が基板6上に接触する(時間t1とする。)と該圧力
センサ43が押圧力を検出し、アンプ44を介して下降
速度を制御する速度制御器11及びモ−タ4を駆動する
駆動回路14にル−プ45を介して信号がフィ−ドバッ
クされる。この時点では電子部品1は基板6上から距離
ΔL上部に位置している。上位コンピュ−タシステム1
0により搭載速度を低速に切り替えて、さらに搭載ノズ
ル2は距離ΔLだけ降下する。この時、該搭載ノズル2
が更に降下してもバネ42によって上方に接触子41の
みが押し上げられるため基板6を該接触子41が更に押
すことはなく、搭載ノズル2のみ下降でき、降下が停止
した時点で吸着を解除して電子部品1を基板6上に搭載
する。
【0049】本実施例によれば、搭載ノズルに吸着した
電子部品が基板上から任意の高さに位置した時点を搭載
ノズルに設けた接触子により検知でき、該任意位置まで
は高速に、該任意位置から前記電子部品を搭載すべき基
板の所望箇所までは低速で移動するため、搭載ノズルの
下降時に発生する該搭載ノズル先端のリ−ドピッチ幅方
向の振動を減少することができ、搭載した電子部品によ
ってはんだペ−ストがつぶれてブリッジが発生すること
を防ぐことができるため、精度良く部品搭載を行うこと
ができる。
電子部品が基板上から任意の高さに位置した時点を搭載
ノズルに設けた接触子により検知でき、該任意位置まで
は高速に、該任意位置から前記電子部品を搭載すべき基
板の所望箇所までは低速で移動するため、搭載ノズルの
下降時に発生する該搭載ノズル先端のリ−ドピッチ幅方
向の振動を減少することができ、搭載した電子部品によ
ってはんだペ−ストがつぶれてブリッジが発生すること
を防ぐことができるため、精度良く部品搭載を行うこと
ができる。
【0050】
【発明の効果】本発明によれば、搭載ノズルの下降時に
発生する該搭載ノズル先端のリ−ドピッチ幅方向の振動
を減少することができるため、該基板上に設けたはんだ
ペ−ストに電子部品を搭載する際にブリッジが発生する
ことを防ぐことができ、精度良く部品搭載を行う搭載機
を得ることができる。
発生する該搭載ノズル先端のリ−ドピッチ幅方向の振動
を減少することができるため、該基板上に設けたはんだ
ペ−ストに電子部品を搭載する際にブリッジが発生する
ことを防ぐことができ、精度良く部品搭載を行う搭載機
を得ることができる。
【図1】本発明の一実施例を示す図である。
【図2】図1に示す実施例における搭載ノズル先端付近
の拡大図である。
の拡大図である。
【図3】図1に示す実施例における搭載ノズルの下降ス
トロ−クを示す図である。
トロ−クを示す図である。
【図4】本発明の他の実施例を示す図である。
【図5】図4に示す実施例のA−A断面図である。
【図6】図4に示す実施例において、搭載ノズルがθ軸
方向に45°回転した時のA−A断面図である。
方向に45°回転した時のA−A断面図である。
【図7】図4に示す実施例における搭載ノズルの下降ス
トロ−クを示す図である。
トロ−クを示す図である。
【図8】搭載時間を一定とした場合における搭載ノズル
の下降ストロ−クを示す図である。
の下降ストロ−クを示す図である。
【図9】本発明の更に他の実施例を示す図である。
【図10】従来の搭載機を示す図である。
【図11】図10に示す搭載機における搭載ノズル先端
付近の拡大図である。
付近の拡大図である。
1…電子部品、 2…搭載ノズル、 3…駆動機構、
4…モ−タ、 5…エンコ−ダ、 6…基板、 7…ガ
イド、 8…はんだペ−スト、 9…リ−ド、10…上
位コンピュ−タシステム、11…制御システム、12…
位置制御器、13…速度制御器、14…駆動回路、15
…変流器、20…超音波センサ、21…アンプ、22…
ル−プ、30…モ−タ、31,32…センサ、40…ス
トッパ、41…接触子、42…バネ、43…圧力セン
サ、44…アンプ、45…ル−プ
4…モ−タ、 5…エンコ−ダ、 6…基板、 7…ガ
イド、 8…はんだペ−スト、 9…リ−ド、10…上
位コンピュ−タシステム、11…制御システム、12…
位置制御器、13…速度制御器、14…駆動回路、15
…変流器、20…超音波センサ、21…アンプ、22…
ル−プ、30…モ−タ、31,32…センサ、40…ス
トッパ、41…接触子、42…バネ、43…圧力セン
サ、44…アンプ、45…ル−プ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 斉藤 忠之 茨城県竜ヶ崎市向陽台5丁目2番 日立テ クノエンジニアリング株式会社開発研究所 内 (72)発明者 薮野 光平 茨城県竜ヶ崎市向陽台5丁目2番 日立テ クノエンジニアリング株式会社開発研究所 内 (72)発明者 三階 春夫 茨城県竜ヶ崎市向陽台5丁目2番 日立テ クノエンジニアリング株式会社開発研究所 内
Claims (1)
- 【請求項1】電子部品を保持した搭載ノズルを基板上面
に駆動し、保持を解除することによって基板上に電子部
品を搭載するものにおいて、電子部品を搭載すべき基板
の所定箇所と搭載ノズルに保持された電子部品との距離
を計測する手段と、該計測手段の計測結果に基づいて電
子部品を保持した搭載ノズルの基板への駆動を該基板か
ら任意の位置までは高速に、該任意位置から前記電子部
品を搭載すべき基板の所定箇所までは低速で移動させる
手段を設けたことを特徴とする搭載機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5216426A JPH0766596A (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | 搭載機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5216426A JPH0766596A (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | 搭載機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0766596A true JPH0766596A (ja) | 1995-03-10 |
Family
ID=16688382
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5216426A Pending JPH0766596A (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | 搭載機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0766596A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009302329A (ja) * | 2008-06-13 | 2009-12-24 | Yamaha Motor Co Ltd | テープフィーダ監視装置、テープフィーダ、表面実装機、およびテープフィーダ監視装置の制御方法 |
| JP2012174822A (ja) * | 2011-02-21 | 2012-09-10 | Juki Corp | マウンタ装置の加圧制御ヘッド |
| WO2014076809A1 (ja) * | 2012-11-16 | 2014-05-22 | 富士機械製造株式会社 | 作業機器および部品実装機 |
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| JP2019061990A (ja) * | 2017-09-25 | 2019-04-18 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 部品搭載装置および部品搭載方法 |
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| CN114785941A (zh) * | 2022-03-29 | 2022-07-22 | 上海谦视智能科技有限公司 | 一种晶圆检测实时对焦装置及方法 |
-
1993
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