JPH076676B2 - 設備グリツドの空気調整用パネル - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、既存の建屋の中に適宜配置することが可能な
ユニット型クリーンルームに係り、特に、ユニット型ク
リーンルームを構成する門形の構造グリッドと設備グリ
ッドのうち、清浄度や温度、湿度など室内空気を調整す
る設備グリッドの空気調整用パネルに関するものであ
る。

〔従来の技術〕

クリーンルームは、高い清浄度の作業環境を提供するも
のであり、例えばLSI（半導体製造工程）や精密機械等
の工業用クリーンルーム、手術室や食品加工等のバイオ
クリーンルームその他さまざまな産業分野、研究分野で
用いられている。従来のクリーンルームとしては、高性
能フィルタで処理された清浄空気を天井より室内に吹き
出し、室内空気を床下を通して排出することによって作
業室全体をほぼ一様に高清浄度に維持する全面ダウンフ
ロー式クリーンルームや、製造ラインに沿って区域毎に
トンネル状のクリーンルームを形成し、そのクリーンル
ームに天井面から清浄空気を吹き出すようにすることに
よって、トンネル状のクリーンルームを一様に高清浄度
に維持するクリーン・トンネル・システムなどがある。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、上述した従来のシステムには、種々の問
題がある。例えば、上述した全面ダウンフロー式クリー
ンルームでは、次のような欠点がある。

清浄化区域及び空調対象区域が広く、高価な高性能フ
ィルタを多量に使用しているため、設備費が非常に高
い。

空調維持費、フィルタ交換費用などのランニング・コ
ストが高い。

室全体の空調を行うため、製造ライン別（工程別）の
空調温度制御ができない。

製造ライン用機器や配管類の補修をクリーンルーム内
で行うため、それによる発塵が他の製造ライン（工程）
に及ぼす影響が大きい。

また、クリーン・トンネル・システムでは、次のような
欠点がある。

既存の建屋内に長いダクトを配設することが必要であ
り、そのため配設作業上、建屋の構造上で種々の問題が
生じる。

クリーン・トンネルの下部からの空気の噴出によって
建屋内に塵埃が浮遊する。

大容量のフィルタとポンプを建屋外に別置することが
必要になる。

これらの問題点を解決するとともに、要求品質に的確に
対応できる安価なものとして提案されているのがユニッ
ト型クリーンルームである。

第２図はユニット型クリーンルームを構成する構造グリ
ッドの例を示す図、第３図はユニット型クリーンルーム
を構成する設備グリッドの例を示す図、第４図はユニッ
ト型クリーンルームの外観を示す図である。図におい
て、21、25と39は天井パネル、22と26は構造材、23は内
装パネル、24と41は外装パネル、27は空気調整用パネ
ル、28は電気盤用パネル、31ないし33は構造グリッド、
34と35は設備グリッド、36は入口扉、37は覗き窓、38は
エアー・シャワー・ルーム、40は設備パネルをそれぞれ
示している。

ユニット型クリーンルームは、第２図に示すような門形
の構造グリッド及び第３図に示すような設備グリッドを
単位とし、これらを交互に配列接合してクリーンルーム
を構成するものである。構造グリッドは、第２図に示す
ように門形のフレームよりなる構造材22とこれを覆うよ
うに取り付けられる天井パネル21、内装パネル23、及び
外装パネル24で構成するものであり、設備グリッドは、
第３図に示すように空気調整用パネル27や電気盤用パネ
ル28などの設備用パネルと天井を形成する構造材26とこ
れを覆う天井パネル25で構成するものである。これらの
グリッドを使ってユニット型クリーンルームを構成する
場合には、第４図に示すようにエアー・シャワー・ルー
ム38に構造グリッド31を接合し、そして順に設備グリッ
ド34、構造グリッド32、設備グリッド35、構造グリッド
33のように第２図に示す構造グリッドと第３図に示す設
備グリッドの各単位グリッドを交互に配置接合する。

上述したユニット型クリーンルームでは、設備グリッド
をコンパクト化することが重要である。特に空気調整用
パネルは、一般に冷却コイルや加湿器、加熱コイル、送
風機、高性能フィルタなどを備えており、要求に応じた
清浄度を維持するためにはコンパクトで且つ効率良いも
のが必要となる。

本発明は、上記の考察に基づくものであって、コンパク
トにでき清浄度の要求にも柔軟に対応できる、ユニット
型クリーンルームに適した設備グリッドの空気調整用パ
ネルの提供を目的とするものである。

〔問題点を解決するための手段〕

そのために本発明の設備グリッドの空気調整用パネル
は、下部の吸込口と上部の吹出口との間に冷却コイル、
加湿器、加熱コイル、風流を調節するスライド・バンパ
ー、送風機、ガイドベン、及び上部の吹出口に近接配置
の高性能フィルタを備えるとともに、冷却コイルは、加
熱コイルより下側に位置するように加湿器と加熱コイル
とに並列に配置し、スライド・バンパーは、加熱コイル
にラップする冷却コイルの出力の量を調整する位置に配
置し、ガイドベンは、送風機から出力される空気の乱流
を整流するように送風機の出力側に配置したことを特徴
とするものである。

〔作用〕

本発明の空気調整用パネルでは、冷却コイルを加熱コイ
ルより下側に位置するようにして冷却コイルを加湿器と
加熱コイルとに並列に配置して高さを抑える。そして、
冷却コイル、加湿器、加熱コイルを直列に配置しなくて
も、冷却コイルの出力をスライド・バンパーにより加熱
コイルにラップさせることによって性能上も問題ないよ
うにしている。また、ガイドベンにより送風機から出力
される空気の乱流を整流するようにして乱流により発生
する騒音を少なくし、大きい出力の送風機を使用できる
ようにしている。

〔実施例〕

以下、実施例を図面を参照しつつ説明する。

第１図は本発明の空気調整用パネルの１実施例を説明す
るための図である。第１図において、１は吹出口、２は
送風機、３はガイドベン、４はスライド・バンパー、５
は加熱コイル、６は冷却コイル、７は加湿器、８は吸込
口、９は構造材、10は高性能フィルタをそれぞれ示して
いる。

冷却コイル６、加湿器７、加熱コイル５は、一般に直列
に配置されるが、本発明では、第１図（ａ）の内部正面
配置図に示すように加湿器７は下の隅に、加熱コイル５
はその上に、冷却コイル６はそれらと並列に配置され
る。加湿器７は、純水器を備えており、これを３ケ月に
１回程度の期間毎に交換することが必要であるが、図に
示すように配置すると、他の構成部品に関係なく裏側か
ら簡単に交換できるようにすることができる。なお、冷
却コイル６の後に加湿器７を配置するのが普通である
が、図に示す配置であっても加湿器７からの空気は冷却
コイル６の方へ流れず、加熱コイル５の方へ流れるので
性能上問題はない。また、冷却コイル６と加熱コイル５
は、第１図（b9の内部側面図に示すように前後に傾ける
ようにすると、さらに高さを抑えることができるととも
に、それぞれのコイル全面にわたって均等に空気の接触
を図ることができ、性能の低下を防止することができ
る。

スライド・バンパー４は、風量の調整が一応工場におい
て行われるが、クリーンルームを形成した後の現場で、
再度要求に合わせて微調整するのに用いられ、これによ
りローコストで高効率のクリーンルームを提供する。

送風機２は、厚さが制限されると所望の容量を確保する
ためには径が大きくなるが、冷却コイル６、加湿器７、
加熱コイル５で配置を工夫し高さを抑えることによっ
て、大きい径の送風機２の使用を可能にした。例えば低
速回転モータで駆動される中静圧のシロッコ・ファンが
使用される。しかし送風機２の径を大きくすると、渦流
が発生しその渦流のために騒音が大きくなるという問題
が生じる。そこで、第１図（ａ）に示すようにガイドベ
ン３を設けるとともに、送風路を長くしてこのガイドベ
ン３によって送風機２の出力を整流し、方向転換をしな
がら徐々に送風路の幅を広げ、渦流が発生しないように
することによって、渦流を原因とする騒音の発生を抑え
ている。また騒音の低減を図るには、随所に吸音材を用
いるようにしてもよい。このようにすることによって、
従来72ホンの騒音レベルのものを54ホンまで低減させる
ことができた。

吹出口１は、グリルまたはパンチング・メタルを使った
固定式にしたり、室内レイアウトに応じ、特に風向きの
影響が必要なときにはアタッチメントを設けて可動式に
したり、併用にしてもよいことはいうまでもない。吸込
口８は、粗塵フィルタ内蔵型が一般に使用される。

なお上記各部品は、従来溶接して取り付けのが普通であ
るが、本発明では取り外し交換が可能なようにネジ止め
にする。このようにすることによって、個々の部品をカ
セット的に随意交換することができ、メンテナンスが可
能になり要求に柔軟に対応した装置を提供することもで
きる。

〔発明の効果〕

以上の説明から明らかなように、本発明によれば、冷却
コイル、加湿器、加熱コイル関係の配置及び空気の流路
を工夫することによって、コンパクト化した、且つ騒音
の低い空気調整用パネルを提供することができる。ま
た、各構成部品を随意交換することができるので、要求
にフレキシブルに対応することができ、要求に最も近づ
けた内容の空気調整用パネルを提供することができる。
これらの空気調整用パネルを有する設備グリッドを用い
ることで、空間を有効に確保し、過剰な設備をすること
もなく結果的に安価なクリーンルームを提供することが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の空気調整用パネルの１実施例を説明す
るための図、第２図はユニット型クリーンルームを構成
する構造グリッドの例を示す図、第３図はユニット型ク
リーンルームを構成する設備グリッドの例を示す図、第
４図はユニット型クリーンルームの外観を示す図であ
る。 １…吹出口、２…送風機、３…ガイドベン、４…スライ
ド・バンパー、５…加熱コイル、６…冷却コイル、７…
加湿器、８…吸込口、９…構造材、10…高性能フィル
タ、21、25と39…天井パネル、22と26…構造材、23…内
装パネル、24と41…外装パネル、27…空気調整用パネ
ル、28…電気盤用パネル、31ないし33…構造グリッド、
34と35…設備グリッド、36…入口扉、37…覗き窓、38…
エアー・シャワー・ルーム、40…設備パネル。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】門形の構造グリッドと設備グリッドとを交
   互に配列接合して構成するユニット型クリーンルームに
   おける設備グリッドの空気調整用パネルであって、下部
   の吸込口と上部の吹出口との間に冷却コイル、加湿器、
   加熱コイル、風流を調節するスライド・バンパー、送風
   機、ガイドベン、及び上部の吹出口に近接配置の高性能
   フィルタを備えるとともに、冷却コイルは、加熱コイル
   より下側に位置するように加湿器と加熱コイルとに並列
   に配置し、スライド・バンパーは、加熱コイルにラップ
   する冷却コイルの出力の量を調整する位置に配置し、ガ
   イドベンは、送風機から出力される空気の乱流を整流す
   るように送風機の出力側に配置したことを特徴とする設
   備グリッドの空気調整用パネル。
2. 【請求項２】冷却コイル及び加熱コイルは、それぞれ前
   後に傾けて配置したことを特徴とする特許請求の範囲第
   （１）項記載の設備グリッドの空気調整用パネル。