JPH077035A - ワイヤボンダ - Google Patents
ワイヤボンダInfo
- Publication number
- JPH077035A JPH077035A JP5147338A JP14733893A JPH077035A JP H077035 A JPH077035 A JP H077035A JP 5147338 A JP5147338 A JP 5147338A JP 14733893 A JP14733893 A JP 14733893A JP H077035 A JPH077035 A JP H077035A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stator
- horn
- wire bonder
- unit
- main body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
- H10W72/07141—Means for applying energy, e.g. ovens or lasers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
- H10W72/07173—Means for moving chips, wafers or other parts, e.g. conveyor belts
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ホーンを上下方向に揺動させるための駆動手
段としてリニヤモータを使用し、簡単かつ高精度で組み
立てることができるワイヤボンダを提供すること。 【構成】 ホーン３とロータヨーク１１とベアリングホ
ルダー７ａ，７ｂをホーン３の回転軸６に一体的に組み
付けて駆動部ユニット１とし、またステータ２６を本体
部２１に一体的に組み付けて本体部ユニット２としてい
る。そして本体部２１の側壁の前面に凹入部２２を形成
し、マグネット１２とステータ２６の磁気吸引力を利用
してこの凹入部２２にベアリングホルダー７ａ，７ｂを
嵌合させることにより、ロータヨーク１１のマグネット
１２をステータ２６の前面に対向させて、駆動部ユニッ
ト１を本体部ユニット２に組み付けることにより、ワイ
ヤボンダを組み立てる。
段としてリニヤモータを使用し、簡単かつ高精度で組み
立てることができるワイヤボンダを提供すること。 【構成】 ホーン３とロータヨーク１１とベアリングホ
ルダー７ａ，７ｂをホーン３の回転軸６に一体的に組み
付けて駆動部ユニット１とし、またステータ２６を本体
部２１に一体的に組み付けて本体部ユニット２としてい
る。そして本体部２１の側壁の前面に凹入部２２を形成
し、マグネット１２とステータ２６の磁気吸引力を利用
してこの凹入部２２にベアリングホルダー７ａ，７ｂを
嵌合させることにより、ロータヨーク１１のマグネット
１２をステータ２６の前面に対向させて、駆動部ユニッ
ト１を本体部ユニット２に組み付けることにより、ワイ
ヤボンダを組み立てる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、チップの電極とリード
フレームなどの電極をワイヤで接続するワイヤボンダに
関するものである。
フレームなどの電極をワイヤで接続するワイヤボンダに
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤボンダは、ホーンの先端部に保持
されたツールに金線などの細いワイヤを挿通し、ホーン
を回転軸を中心に上下方向に揺動させながら、チップの
電極とリードフレームやプリント基板などの電極をワイ
ヤにより接続するようになっている。
されたツールに金線などの細いワイヤを挿通し、ホーン
を回転軸を中心に上下方向に揺動させながら、チップの
電極とリードフレームやプリント基板などの電極をワイ
ヤにより接続するようになっている。
【０００３】また従来のワイヤボンダにおいて、ホーン
を上下方向に揺動させるための駆動手段は、一般にカム
やモータなどが用いられていた。
を上下方向に揺動させるための駆動手段は、一般にカム
やモータなどが用いられていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで近年は、ワイ
ヤボンディング作業の高速性が益々要求されてきている
が、カムを使用する従来の駆動手段では、動作の高速化
に限界があった。そこでホーンを上下方向に揺動させる
ための駆動手段として、リニヤモータを使用することが
考えられる。リニヤモータは、ステータに巻回されたコ
イルに流す電流を制御することにより、ロータヨークの
速度制御を行うものであり、従来のカムやモータに替え
てリニヤモータをワイヤボンダに適用すれば、ホーンを
より高速度で揺動させることが可能となるだけでなく、
全体構造を簡単軽量化でき、更にはホーンの揺動にとも
なって発生する騒音（機械的カチカチ音）も著しく低減
できる。
ヤボンディング作業の高速性が益々要求されてきている
が、カムを使用する従来の駆動手段では、動作の高速化
に限界があった。そこでホーンを上下方向に揺動させる
ための駆動手段として、リニヤモータを使用することが
考えられる。リニヤモータは、ステータに巻回されたコ
イルに流す電流を制御することにより、ロータヨークの
速度制御を行うものであり、従来のカムやモータに替え
てリニヤモータをワイヤボンダに適用すれば、ホーンを
より高速度で揺動させることが可能となるだけでなく、
全体構造を簡単軽量化でき、更にはホーンの揺動にとも
なって発生する騒音（機械的カチカチ音）も著しく低減
できる。
【０００５】しかしながらリニヤモータを採用した場
合、ワイヤボンダの組立て時に、ロータヨークのマグネ
ットとステータの間に強い磁気吸引力が発生し、この磁
気吸引力のためにロータヨークとステータが互いに強く
吸引し合い、軸受部分の組み付けなどがきわめて困難と
なる。
合、ワイヤボンダの組立て時に、ロータヨークのマグネ
ットとステータの間に強い磁気吸引力が発生し、この磁
気吸引力のためにロータヨークとステータが互いに強く
吸引し合い、軸受部分の組み付けなどがきわめて困難と
なる。
【０００６】そこで本発明は、全体の組み付けを簡単か
つ正確に行えるリニヤモータを備えたワイヤボンダを提
供することを目的とする。
つ正確に行えるリニヤモータを備えたワイヤボンダを提
供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】このために本発明は、ホ
ーンとロータヨークとベアリング部をホーンの回転軸に
一体的に組み付けて駆動部ユニットとし、またステータ
を本体部に一体的に組み付けて本体部ユニットとしてい
る。
ーンとロータヨークとベアリング部をホーンの回転軸に
一体的に組み付けて駆動部ユニットとし、またステータ
を本体部に一体的に組み付けて本体部ユニットとしてい
る。
【０００８】そして本体部に凹入部を形成し、マグネッ
トとステータの磁気吸引力を利用してこの凹入部にベア
リング部を嵌合させることにより、ロータヨークのマグ
ネットをステータの前面に対向させて駆動部ユニットを
本体ユニットに組み付けることにより、ワイヤボンダを
組み立てるようにしている。
トとステータの磁気吸引力を利用してこの凹入部にベア
リング部を嵌合させることにより、ロータヨークのマグ
ネットをステータの前面に対向させて駆動部ユニットを
本体ユニットに組み付けることにより、ワイヤボンダを
組み立てるようにしている。
【０００９】
【作用】上記構成によれば、ロータヨークのマグネット
とステータの磁気吸引力を利用しながら、駆動部ユニッ
トのベアリング部を本体部ユニットの凹入部に嵌合させ
ることにより、ワイヤボンダを簡単にしかも精度よく組
み立てることができる。
とステータの磁気吸引力を利用しながら、駆動部ユニッ
トのベアリング部を本体部ユニットの凹入部に嵌合させ
ることにより、ワイヤボンダを簡単にしかも精度よく組
み立てることができる。
【００１０】
【実施例】次に、図面を参照しながら本発明の実施例を
説明する。
説明する。
【００１１】図１は本発明の一実施例におけるワイヤボ
ンダの組み立て前の側面図、図２は本発明の一実施例に
おける組み立て後の側面図である。このワイヤボンダ
は、駆動部ユニット１と本体部ユニット２から成ってお
り、図２に示すように、駆動部ユニット１を本体部ユニ
ット２に装着して組み立てられる。
ンダの組み立て前の側面図、図２は本発明の一実施例に
おける組み立て後の側面図である。このワイヤボンダ
は、駆動部ユニット１と本体部ユニット２から成ってお
り、図２に示すように、駆動部ユニット１を本体部ユニ
ット２に装着して組み立てられる。
【００１２】次に、図３を参照しながら、駆動部ユニッ
ト１の構造を説明する。図３は本発明の一実施例におけ
るワイヤボンダの駆動部ユニット１の分解図であって、
３はホーンであり、その先端部にはツール４が保持され
ている。ワイヤボンディング時には、このツール４にワ
イヤが挿通される。ホーン３の基端部は、箱型のホーン
ホルダー５に保持されている。図示しないが、このホー
ンホルダー５の内部には、ホーン３を超音波振動させる
ための振動素子などが内蔵されている。
ト１の構造を説明する。図３は本発明の一実施例におけ
るワイヤボンダの駆動部ユニット１の分解図であって、
３はホーンであり、その先端部にはツール４が保持され
ている。ワイヤボンディング時には、このツール４にワ
イヤが挿通される。ホーン３の基端部は、箱型のホーン
ホルダー５に保持されている。図示しないが、このホー
ンホルダー５の内部には、ホーン３を超音波振動させる
ための振動素子などが内蔵されている。
【００１３】６は水平な回転軸であって、ホーンホルダ
ー５を貫通しており、ホーン３はホーンホルダー５を介
して回転軸６に一体的に組み付けられている。７ａ，７
ｂはベアリングホルダーであって、その形状は円筒形で
あり、端部にはフランジ８が設けられている。フランジ
８にはねじ孔９が形成されている。１０ａ，１０ｂはベ
アリングであって、ベアリングホルダー７ａ，７ｂの内
部に収納され、回転軸６の両端部を軸支する。このベア
リングホルダー７ａ，７ｂとベアリング１０ａ，１０ｂ
とにより、ベアリング部が構成される。１１はロータヨ
ークであって、その側面形状は扇形であり、その背面に
はマグネット１２が複数個装着されている。ロータヨー
ク１１の根元部は回転軸６に装着されている。以上の構
成部品を回転軸６に一体的に組み付けることにより、駆
動部ユニット１が構成される。
ー５を貫通しており、ホーン３はホーンホルダー５を介
して回転軸６に一体的に組み付けられている。７ａ，７
ｂはベアリングホルダーであって、その形状は円筒形で
あり、端部にはフランジ８が設けられている。フランジ
８にはねじ孔９が形成されている。１０ａ，１０ｂはベ
アリングであって、ベアリングホルダー７ａ，７ｂの内
部に収納され、回転軸６の両端部を軸支する。このベア
リングホルダー７ａ，７ｂとベアリング１０ａ，１０ｂ
とにより、ベアリング部が構成される。１１はロータヨ
ークであって、その側面形状は扇形であり、その背面に
はマグネット１２が複数個装着されている。ロータヨー
ク１１の根元部は回転軸６に装着されている。以上の構
成部品を回転軸６に一体的に組み付けることにより、駆
動部ユニット１が構成される。
【００１４】次に本体部ユニット２を説明する。図４は
本発明の一実施例におけるワイヤボンダの本体部ユニッ
ト２の主体となる本体部２１の斜視図である。この本体
部２１は箱型であって、前面は大きく開口する開口部２
５になっている。側壁の前面やや下部には凹入部２２が
半円状に切欠形成されており、凹入部２２の周囲にはね
じ孔２３が形成されている。また側壁の後部にもねじ孔
２４が形成されている。
本発明の一実施例におけるワイヤボンダの本体部ユニッ
ト２の主体となる本体部２１の斜視図である。この本体
部２１は箱型であって、前面は大きく開口する開口部２
５になっている。側壁の前面やや下部には凹入部２２が
半円状に切欠形成されており、凹入部２２の周囲にはね
じ孔２３が形成されている。また側壁の後部にもねじ孔
２４が形成されている。
【００１５】図３において、２６は本体部２１の内部に
組み付けられるステータであり、その脚部２７にはコイ
ル２８が巻回されている。このステータ２６は、図１に
示すように本体部２１の内部に収納され、ねじ孔２４と
ねじ孔２９にねじ３０をねじ込むことにより、本体部２
１に組み付けられて本体部ユニット２が構成される。
組み付けられるステータであり、その脚部２７にはコイ
ル２８が巻回されている。このステータ２６は、図１に
示すように本体部２１の内部に収納され、ねじ孔２４と
ねじ孔２９にねじ３０をねじ込むことにより、本体部２
１に組み付けられて本体部ユニット２が構成される。
【００１６】駆動部ユニット１は、ベアリングホルダー
７ａ，７ｂを本体部２１の凹入部２２に嵌合し、ねじ孔
２９、２３にビス３１をねじ込むことにより、本体部ユ
ニット２に組み付けられて、図２に示すようにワイヤボ
ンダが完成する。この場合、駆動部ユニット１を手に保
持して、図１において矢印にて示すようにベアリングホ
ルダー７ａ，７ｂを凹入部２２に嵌合させる際には、マ
グネット１２とステータ２６の間に強い磁気吸引力が発
生し、この磁気吸引力によりベアリングホルダー７ａ，
７ｂは難なくかつしっかりと凹入部２２に嵌合するの
で、簡単にワイヤボンダを組み立てることができ、また
その状態で、マグネット１２はステータ２６の前面に対
向する。ここで、ベアリングホルダー７ａ，７ｂ、ロー
タヨーク１１、ステータ２６、凹入部２２などの成形精
度を出しておけば、マグネット１２とステータ２６の前
面とのギャップＧを正しく保持して高い組み付け精度を
得ることができる。
７ａ，７ｂを本体部２１の凹入部２２に嵌合し、ねじ孔
２９、２３にビス３１をねじ込むことにより、本体部ユ
ニット２に組み付けられて、図２に示すようにワイヤボ
ンダが完成する。この場合、駆動部ユニット１を手に保
持して、図１において矢印にて示すようにベアリングホ
ルダー７ａ，７ｂを凹入部２２に嵌合させる際には、マ
グネット１２とステータ２６の間に強い磁気吸引力が発
生し、この磁気吸引力によりベアリングホルダー７ａ，
７ｂは難なくかつしっかりと凹入部２２に嵌合するの
で、簡単にワイヤボンダを組み立てることができ、また
その状態で、マグネット１２はステータ２６の前面に対
向する。ここで、ベアリングホルダー７ａ，７ｂ、ロー
タヨーク１１、ステータ２６、凹入部２２などの成形精
度を出しておけば、マグネット１２とステータ２６の前
面とのギャップＧを正しく保持して高い組み付け精度を
得ることができる。
【００１７】ロータヨーク１１とステータ２６から成る
リニヤモータによれば、ホーン３を回転軸６を中心に高
速度で上下方向に揺動させることが可能となり、ワイヤ
ボンディングを高速度で行うことができる。またリニヤ
モータは構造が簡単でしかも軽量であり、したがってこ
のワイヤボンダを移動テーブル（図外）に保持させても
移動テーブルの負荷は小さく、したがって移動テーブル
によりワイヤボンダをより高速度で水平移動させなが
ら、ワイヤボンディング作業を行うことができ、この点
からもワイヤボンディングの高速化が可能となる。
リニヤモータによれば、ホーン３を回転軸６を中心に高
速度で上下方向に揺動させることが可能となり、ワイヤ
ボンディングを高速度で行うことができる。またリニヤ
モータは構造が簡単でしかも軽量であり、したがってこ
のワイヤボンダを移動テーブル（図外）に保持させても
移動テーブルの負荷は小さく、したがって移動テーブル
によりワイヤボンダをより高速度で水平移動させなが
ら、ワイヤボンディング作業を行うことができ、この点
からもワイヤボンディングの高速化が可能となる。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明のワイヤボン
ダは、駆動部ユニットのベアリング部を本体部ユニット
の凹入部にマグネットとステータの磁気吸引力を利用し
ながら嵌合させることにより、簡単に組み立てることが
でき、また高い組み立て精度を実現することができる。
ダは、駆動部ユニットのベアリング部を本体部ユニット
の凹入部にマグネットとステータの磁気吸引力を利用し
ながら嵌合させることにより、簡単に組み立てることが
でき、また高い組み立て精度を実現することができる。
【図１】本発明の一実施例におけるワイヤボンダの組み
立て前の側面図
立て前の側面図
【図２】本発明の一実施例におけるワイヤボンダの組み
立て後の側面図
立て後の側面図
【図３】本発明の一実施例におけるワイヤボンダの駆動
部ユニットの分解図
部ユニットの分解図
【図４】本発明の一実施例におけるワイヤボンダの本体
部ユニットの斜視図
部ユニットの斜視図
１ 駆動部ユニット ２ 本体部ユニット ３ ホーン ４ ツール ６ 回転軸 ７ａ，７ｂ ベアリングホルダー １０ａ，１０ｂ ベアリング（ベアリング部） １１ ロータヨーク １２ マグネット ２１ 本体部 ２２ 凹入部 ２６ ステータ ２８ コイル
Claims (1)
- 【請求項１】ツールを保持するホーンと、このホーンの
回転軸と、この回転軸を軸支するベアリング部と、背面
にマグネットを備えたロータヨークと、コイルが巻回さ
れたステータと、本体部とから成るワイヤボンダであっ
て、 前記ホーンと前記ロータヨークと前記ベアリング部とを
前記回転軸に一体的に組み付けて駆動部ユニットとし、
また前記ステータを前記本体部に一体的に組み付けて本
体部ユニットとし、かつ前記本体部に凹入部を形成し、
前記マグネットとステータの磁気吸引力を利用してこの
凹入部に前記ベアリング部を嵌合させることにより、前
記ロータヨークのマグネットを前記ステータの前面に対
向させて、前記駆動部ユニットを前記本体ユニットに組
み付けることを特徴とするワイヤボンダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5147338A JPH077035A (ja) | 1993-06-18 | 1993-06-18 | ワイヤボンダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5147338A JPH077035A (ja) | 1993-06-18 | 1993-06-18 | ワイヤボンダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH077035A true JPH077035A (ja) | 1995-01-10 |
Family
ID=15427924
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5147338A Pending JPH077035A (ja) | 1993-06-18 | 1993-06-18 | ワイヤボンダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH077035A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5728983A (en) * | 1995-12-27 | 1998-03-17 | Asmo Co., Ltd. | Elongated tube-like pressure sensitive cable switch |
| US5834719A (en) * | 1995-08-04 | 1998-11-10 | Asmo Co., Ltd. | Cord switch |
| US5920044A (en) * | 1995-10-05 | 1999-07-06 | Asmo Co., Ltd. | Pressure-responsive switch |
| US6107580A (en) * | 1998-02-09 | 2000-08-22 | Shinmei Rubber Industries Co., Ltd. | Omnidirectional response cable switch |
-
1993
- 1993-06-18 JP JP5147338A patent/JPH077035A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5834719A (en) * | 1995-08-04 | 1998-11-10 | Asmo Co., Ltd. | Cord switch |
| US5920044A (en) * | 1995-10-05 | 1999-07-06 | Asmo Co., Ltd. | Pressure-responsive switch |
| US5728983A (en) * | 1995-12-27 | 1998-03-17 | Asmo Co., Ltd. | Elongated tube-like pressure sensitive cable switch |
| US6107580A (en) * | 1998-02-09 | 2000-08-22 | Shinmei Rubber Industries Co., Ltd. | Omnidirectional response cable switch |
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