JPH0771459A - クリーンルーム用各種機器における可動部の発塵防止方法及びその発塵防止装置 - Google Patents
クリーンルーム用各種機器における可動部の発塵防止方法及びその発塵防止装置Info
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- JPH0771459A JPH0771459A JP27332892A JP27332892A JPH0771459A JP H0771459 A JPH0771459 A JP H0771459A JP 27332892 A JP27332892 A JP 27332892A JP 27332892 A JP27332892 A JP 27332892A JP H0771459 A JPH0771459 A JP H0771459A
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Landscapes
- Sliding-Contact Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 クリーンルーム用の各種機器の可動部におけ
る円滑な作動を確保し、可動部に生じる摩擦、剥離によ
る金属粒子その他の発生を防止する。 【構成】 クリーンルームで使用される各種機器におけ
る軸受、スライド部その他の可動部において、その当接
部位の一方の部材には、自己潤滑型の軸受筒５等の素材
を使用し、他方の部材３には、必要に応じてセラミック
スコーティング製の被装膜６を形成する。そして、自己
潤滑型の素材自体あるいは表面に形成された潤滑剤層を
介在して他方の部材３あるいは被装膜６表面との摩擦を
解消する。
る円滑な作動を確保し、可動部に生じる摩擦、剥離によ
る金属粒子その他の発生を防止する。 【構成】 クリーンルームで使用される各種機器におけ
る軸受、スライド部その他の可動部において、その当接
部位の一方の部材には、自己潤滑型の軸受筒５等の素材
を使用し、他方の部材３には、必要に応じてセラミック
スコーティング製の被装膜６を形成する。そして、自己
潤滑型の素材自体あるいは表面に形成された潤滑剤層を
介在して他方の部材３あるいは被装膜６表面との摩擦を
解消する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルーム内にお
いて使用される各種の機器における軸受、クリーンルー
ムに設置したドアの蝶番その他の各可動部位における発
塵を防止し、クリーンルーム内を清浄に維持できるよう
にしたクリーンルーム用各種機器における可動部の発塵
防止方法及びその発塵防止装置に関する。
いて使用される各種の機器における軸受、クリーンルー
ムに設置したドアの蝶番その他の各可動部位における発
塵を防止し、クリーンルーム内を清浄に維持できるよう
にしたクリーンルーム用各種機器における可動部の発塵
防止方法及びその発塵防止装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】医薬品、半導体装置、精密機器等の製造
に際しては、空気中の微細な塵埃といえども製品の歩留
まり等に大きく影響するから、これらの製造では、空気
中の塵埃を一定限度にまで制御規制するものとしたクリ
ーンルーム内で行なわれている。このクリーンルーム内
では、使用する機器、器具が高度に清浄化されているこ
とはもとより、これらの各種の機器は、これらから発生
する塵埃が周囲に飛散しないように可能な限り覆われて
いる。
に際しては、空気中の微細な塵埃といえども製品の歩留
まり等に大きく影響するから、これらの製造では、空気
中の塵埃を一定限度にまで制御規制するものとしたクリ
ーンルーム内で行なわれている。このクリーンルーム内
では、使用する機器、器具が高度に清浄化されているこ
とはもとより、これらの各種の機器は、これらから発生
する塵埃が周囲に飛散しないように可能な限り覆われて
いる。
【０００３】ただ、クリーンルーム内で使用される各種
の機器、クリーンルームに設置された出入口建具の蝶番
その他は、作動部、作業工具その他に回転、スライド等
の各種の動作をさせるための軸受、スライド部材その他
の可動部を備えているから、その可動部における摩擦等
によってそれらが擦過することに伴なう細かい金属粒子
その他が発生する。この金属粒子等がクリーンルーム内
で浮遊することは、クリーンルーム内で行なわれる各種
作業の遂行に極めて重大な影響を与えるから、これを確
実に抑制し、その発生を防止する必要がある。
の機器、クリーンルームに設置された出入口建具の蝶番
その他は、作動部、作業工具その他に回転、スライド等
の各種の動作をさせるための軸受、スライド部材その他
の可動部を備えているから、その可動部における摩擦等
によってそれらが擦過することに伴なう細かい金属粒子
その他が発生する。この金属粒子等がクリーンルーム内
で浮遊することは、クリーンルーム内で行なわれる各種
作業の遂行に極めて重大な影響を与えるから、これを確
実に抑制し、その発生を防止する必要がある。
【０００４】このため、従来、採用されていた防止方法
の一つは、各種機器における可動部、更には機器全体を
覆うことで、機器から発生した金属粒子等の塵埃を周囲
に飛散させないようにしていたものである。
の一つは、各種機器における可動部、更には機器全体を
覆うことで、機器から発生した金属粒子等の塵埃を周囲
に飛散させないようにしていたものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、こうした被
覆方式の防塵手段は、可動部が繰り返し作動することで
被覆材等に曲り癖、折り癖等が形成されると、その部分
が他の部分に比較して次第に脆弱になる結果、破断し、
防塵作用が全く機能しなくなる場合があった。そればか
りでなく、機器の使用態様によっては可動部を完全に覆
うことが困難なことも多く、防塵手段として極めて不完
全なものであった。
覆方式の防塵手段は、可動部が繰り返し作動することで
被覆材等に曲り癖、折り癖等が形成されると、その部分
が他の部分に比較して次第に脆弱になる結果、破断し、
防塵作用が全く機能しなくなる場合があった。そればか
りでなく、機器の使用態様によっては可動部を完全に覆
うことが困難なことも多く、防塵手段として極めて不完
全なものであった。
【０００６】そこで、本発明は、叙上のような従来存し
た諸事情に鑑み創出されたもので、各種機器における可
動部からの塵埃の発生自体を阻止するものとして従来方
法の欠点を解消するのであり、特に、可動部における円
滑な作動を確保しながらも、可動部に生じる摩擦に起因
する金属粒子その他の発生を未然に防止し、しかも、メ
インテナンスも容易であるクリーンルーム用各種機器に
おける可動部の発塵防止方法及びその発塵防止装置を提
供することを目的とする。
た諸事情に鑑み創出されたもので、各種機器における可
動部からの塵埃の発生自体を阻止するものとして従来方
法の欠点を解消するのであり、特に、可動部における円
滑な作動を確保しながらも、可動部に生じる摩擦に起因
する金属粒子その他の発生を未然に防止し、しかも、メ
インテナンスも容易であるクリーンルーム用各種機器に
おける可動部の発塵防止方法及びその発塵防止装置を提
供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
ため、本発明に係るクリーンルーム用各種機器における
可動部の発塵防止方法にあっては、クリーンルームで使
用される各種機器における可動部の当接部位において、
当接部位の一方の部材５に使用した自己潤滑型の素材に
対し、他方の部材３を当接させることを特徴とし、更に
は、この他方の部材３表面にはセラミックスコーティン
グ製の被装膜６を形成したことを特徴とする。
ため、本発明に係るクリーンルーム用各種機器における
可動部の発塵防止方法にあっては、クリーンルームで使
用される各種機器における可動部の当接部位において、
当接部位の一方の部材５に使用した自己潤滑型の素材に
対し、他方の部材３を当接させることを特徴とし、更に
は、この他方の部材３表面にはセラミックスコーティン
グ製の被装膜６を形成したことを特徴とする。
【０００８】また、クリーンルーム用各種機器における
可動部の発塵防止装置にあっては、クリーンルームで使
用される各種機器における可動部の当接部位において、
当接部位の一方の部材５には自己潤滑型の素材を使用し
たことを特徴とし、更には、他方の部材３表面にはセラ
ミックスコーティング製の被装膜６を形成したことを特
徴とする。
可動部の発塵防止装置にあっては、クリーンルームで使
用される各種機器における可動部の当接部位において、
当接部位の一方の部材５には自己潤滑型の素材を使用し
たことを特徴とし、更には、他方の部材３表面にはセラ
ミックスコーティング製の被装膜６を形成したことを特
徴とする。
【０００９】可動部は軸受構造にし、自己潤滑型の軸受
筒５内に軸ピン材３を挿入して構成でき、必要があれ
ば、この軸ピン材３の表面にセラミックスコーティング
製の被装膜６を形成することができる。
筒５内に軸ピン材３を挿入して構成でき、必要があれ
ば、この軸ピン材３の表面にセラミックスコーティング
製の被装膜６を形成することができる。
【００１０】
【作用】本発明に係るクリーンルーム用各種機器におけ
る可動部の発塵防止方法及びその発塵防止装置にあっ
て、可動部における相互に当接する部位の一方の部材５
と他方の部材３との間に自己潤滑型の素材自体またはそ
の表面に形成された潤滑剤層が介在し、他方の部材３あ
るいはこれ３に形成した被装膜６表面との摩擦を解消さ
せる。
る可動部の発塵防止方法及びその発塵防止装置にあっ
て、可動部における相互に当接する部位の一方の部材５
と他方の部材３との間に自己潤滑型の素材自体またはそ
の表面に形成された潤滑剤層が介在し、他方の部材３あ
るいはこれ３に形成した被装膜６表面との摩擦を解消さ
せる。
【００１１】当接部位における摩擦の解消は、当接部位
相互間の摺接によっても、その間で金属粒子その他の細
かな塵埃の剥離、分離を生じさせず、クリーンルーム中
への浮遊塵埃を極めて少なくさせる。
相互間の摺接によっても、その間で金属粒子その他の細
かな塵埃の剥離、分離を生じさせず、クリーンルーム中
への浮遊塵埃を極めて少なくさせる。
【００１２】
【実施例】以下、例えばクリーンルーム内外に設置され
る出入口のドアを回転自在に支承させる蝶番に実施した
場合につき、図面を参照して本発明の実施例を説明する
に、図において示される符号１は、所定の建具枠Ｆに固
定される固定蝶番材であり、同じく２は、ドアＤ等に固
定される揺動蝶番材である。そして、固定蝶番材１ある
いは揺動蝶番材２のいずれか一方に突設した軸ピン材３
に、いずれか他方に凹設形成した軸支穴４が回転自在に
して嵌め込まれるようにしてあり、図示にあっては、固
定蝶番材１に軸ピン材３を突設し、揺動蝶番材２に軸支
穴４を形成してある。
る出入口のドアを回転自在に支承させる蝶番に実施した
場合につき、図面を参照して本発明の実施例を説明する
に、図において示される符号１は、所定の建具枠Ｆに固
定される固定蝶番材であり、同じく２は、ドアＤ等に固
定される揺動蝶番材である。そして、固定蝶番材１ある
いは揺動蝶番材２のいずれか一方に突設した軸ピン材３
に、いずれか他方に凹設形成した軸支穴４が回転自在に
して嵌め込まれるようにしてあり、図示にあっては、固
定蝶番材１に軸ピン材３を突設し、揺動蝶番材２に軸支
穴４を形成してある。
【００１３】この軸ピン材３と軸支穴４との当接部分に
おいて、軸支穴４内側面には、自己潤滑型の軸受筒５が
装着されており、軸ピン材３外周面には、必要に応じて
セラミックスコーティング処理されることで被装膜６が
形成されているのであり、両者５，６間で生じる摩擦時
にはいずれもその表面から剥離、分離する金属粒子等が
発生しにくくしてある。
おいて、軸支穴４内側面には、自己潤滑型の軸受筒５が
装着されており、軸ピン材３外周面には、必要に応じて
セラミックスコーティング処理されることで被装膜６が
形成されているのであり、両者５，６間で生じる摩擦時
にはいずれもその表面から剥離、分離する金属粒子等が
発生しにくくしてある。
【００１４】軸受筒５は、２価、４価の弗素を使用した
特殊フィラー入り４ふっかエチレン樹脂製のもので、そ
の構造自体は、図示のように、軸支穴４内周面に当接す
る有底筒状の筒部本体の開口縁に、軸支穴４の開口端面
に当接するフランジを突設して成り、揺動蝶番材２の軸
支穴４内に強制的に圧入され、更に必要に応じ接着され
るものとなっている。この軸受筒５自体は、潤滑成分の
揮発性が極めて少ない非揮発性ものであり、例えば株式
会社ニチアス製造販売の商品名エクセライドが使用され
る。
特殊フィラー入り４ふっかエチレン樹脂製のもので、そ
の構造自体は、図示のように、軸支穴４内周面に当接す
る有底筒状の筒部本体の開口縁に、軸支穴４の開口端面
に当接するフランジを突設して成り、揺動蝶番材２の軸
支穴４内に強制的に圧入され、更に必要に応じ接着され
るものとなっている。この軸受筒５自体は、潤滑成分の
揮発性が極めて少ない非揮発性ものであり、例えば株式
会社ニチアス製造販売の商品名エクセライドが使用され
る。
【００１５】この軸受筒５は、高温下、定温下、真空下
でも潤滑性能を発揮し、低摩擦係数、対磨耗性、圧縮強
度を十分に維持し、各種の化学溶液にも浸蝕されず、注
油の必要がなく、騒音、振動を低減化させるものであ
る。
でも潤滑性能を発揮し、低摩擦係数、対磨耗性、圧縮強
度を十分に維持し、各種の化学溶液にも浸蝕されず、注
油の必要がなく、騒音、振動を低減化させるものであ
る。
【００１６】一方、被装膜６は、軸ピン材３自体を清浄
にし、下地処理を施し、乾燥させ、セラミックスコーテ
ィング処理した後に焼成して形成されるもので、次式の
セラミックスコーティング反応によって得られる。 また、一般式、Ｍ２Ｏ・ｍＳｉＯ２・ｎＨ２Ｏ （Ｍ＝
Ｌｉ，Ｎａ，Ｋ）で表わされる。
にし、下地処理を施し、乾燥させ、セラミックスコーテ
ィング処理した後に焼成して形成されるもので、次式の
セラミックスコーティング反応によって得られる。 また、一般式、Ｍ２Ｏ・ｍＳｉＯ２・ｎＨ２Ｏ （Ｍ＝
Ｌｉ，Ｎａ，Ｋ）で表わされる。
【００１７】この被装膜６自体は、耐食性、耐熱性、対
磨耗性、耐候性、親水性、装飾性に優れており、軸受筒
５内周面との接触によっても剥離、分離されないものと
なっている。
磨耗性、耐候性、親水性、装飾性に優れており、軸受筒
５内周面との接触によっても剥離、分離されないものと
なっている。
【００１８】また、図示のように、軸ピン材３と軸支穴
４との間に潤滑剤を供給する供給手段１０を設けること
もできる。図における供給手段１０は、揺動蝶番材２に
おける軸支穴４内部と揺動蝶番材２外部とを連通させる
小径の供給路を形成し、この供給路の入口を着脱自在な
蓋１１によって閉塞したものである。こうした潤滑剤の
供給手段１０は、軸受筒５と被装膜６との間に生じる摩
擦を一層低減化させ、これらの使用寿命を長期化するこ
とができる。
４との間に潤滑剤を供給する供給手段１０を設けること
もできる。図における供給手段１０は、揺動蝶番材２に
おける軸支穴４内部と揺動蝶番材２外部とを連通させる
小径の供給路を形成し、この供給路の入口を着脱自在な
蓋１１によって閉塞したものである。こうした潤滑剤の
供給手段１０は、軸受筒５と被装膜６との間に生じる摩
擦を一層低減化させ、これらの使用寿命を長期化するこ
とができる。
【００１９】今、ここで、クリーンルーム内外に設置さ
れる出入口にドアＤの蝶番その他として使用されると
き、軸ピン材３自体の表面あるいはこれ３の表面に被装
した被装膜６と軸支穴４内に配装した軸受筒５内周面と
の間では極めて滑らかな当接状態となる。すなわち、軸
受筒５自体の潤滑作用あるいはこれ５の内周面に形成さ
れる潤滑剤層が軸ピン材３自体あるいはこれ３に形成し
た被装膜６表面との摩擦を解消する。そのため、ドアＤ
の開閉に伴なう摺接によってもその間で金属粒子その他
の細かな塵埃が発生せず、クリーンルーム中に浮遊塵埃
を生じさせない。
れる出入口にドアＤの蝶番その他として使用されると
き、軸ピン材３自体の表面あるいはこれ３の表面に被装
した被装膜６と軸支穴４内に配装した軸受筒５内周面と
の間では極めて滑らかな当接状態となる。すなわち、軸
受筒５自体の潤滑作用あるいはこれ５の内周面に形成さ
れる潤滑剤層が軸ピン材３自体あるいはこれ３に形成し
た被装膜６表面との摩擦を解消する。そのため、ドアＤ
の開閉に伴なう摺接によってもその間で金属粒子その他
の細かな塵埃が発生せず、クリーンルーム中に浮遊塵埃
を生じさせない。
【００２０】もとより、本発明の実施例は、上述した蝶
番構造とする場合に限らず、医薬品、半導体装置、精密
機器等の製造に際し使用されるクリーンルーム内の各種
機器において、それらの作動部、作業工具その他に回
転、スライド等を行なわせる軸受、スライド部材その他
の可動部夫々に同様にして使用できるものである。この
とき、可動部の形状、構造によって、軸ピン材３自体の
形状、構造が変更されるのに対応して、自己潤滑型の素
材としての軸受筒５自体も、筒状に形成される場合に限
らず、リング状、シート状とされたり、ネジ構造、ギア
形状等とされたりする。
番構造とする場合に限らず、医薬品、半導体装置、精密
機器等の製造に際し使用されるクリーンルーム内の各種
機器において、それらの作動部、作業工具その他に回
転、スライド等を行なわせる軸受、スライド部材その他
の可動部夫々に同様にして使用できるものである。この
とき、可動部の形状、構造によって、軸ピン材３自体の
形状、構造が変更されるのに対応して、自己潤滑型の素
材としての軸受筒５自体も、筒状に形成される場合に限
らず、リング状、シート状とされたり、ネジ構造、ギア
形状等とされたりする。
【００２１】
【発明の効果】本発明は以上のように構成されており、
これがため、クリーンルームで使用される各種機器にお
ける可動部からの塵埃の発生自体を防止でき、特に、可
動部における円滑な作動を確保しながらも、可動部に生
じる摩擦、剥離に起因する金属粒子その他の細かな塵埃
の発生を未然に防止できるのである。
これがため、クリーンルームで使用される各種機器にお
ける可動部からの塵埃の発生自体を防止でき、特に、可
動部における円滑な作動を確保しながらも、可動部に生
じる摩擦、剥離に起因する金属粒子その他の細かな塵埃
の発生を未然に防止できるのである。
【００２２】しかも、当接部位相互間では、一方の自己
潤滑型の素材自体の潤滑作用あるいはこれの表面に形成
される潤滑剤層が他方の部材あるいは被装形成されたセ
ラミックスコーティング製の被装膜６に対して円滑に摺
接させるから、特別な潤滑剤の補充回数も少なくなり、
メインテナンスも極めて容易である。
潤滑型の素材自体の潤滑作用あるいはこれの表面に形成
される潤滑剤層が他方の部材あるいは被装形成されたセ
ラミックスコーティング製の被装膜６に対して円滑に摺
接させるから、特別な潤滑剤の補充回数も少なくなり、
メインテナンスも極めて容易である。
【００２３】したがって、本発明によれば、発塵自体を
防止するから、従来の如く、防塵のために各種機器にお
ける可動部を覆う等の面倒な方法を採用する必要がな
く、可動部を露出させたままでもよく、機器における各
作動部位の作動を大きく制約することもないのである。
防止するから、従来の如く、防塵のために各種機器にお
ける可動部を覆う等の面倒な方法を採用する必要がな
く、可動部を露出させたままでもよく、機器における各
作動部位の作動を大きく制約することもないのである。
【図面の簡単な説明】
【図１】ドア用の蝶番部材として実施した場合の縦断面
図である。
図である。
【図２】同じく横断面図である。
Ｄ ドア Ｆ 建具枠 １ 固定蝶番材 ２ 揺動蝶番材 ３ 軸ピン材 ４ 軸支穴 ５ 軸受筒 ６ 被装膜 １０ 供給手段 １１ 蓋
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成４年１０月２７日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】追加
【補正内容】
【発明の名称】 クリーンルーム用各種機器に
おける可動部の発塵防止方法及びその発塵防止装置
おける可動部の発塵防止方法及びその発塵防止装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１１】当接部位における摩擦の解消は、当接部位
相互間の摺接によっても、その間で金属粒子その他の細
かな塵埃の剥離、分離を生じさせず、クリーンルーム中
への浮遊塵埃を極めて少なくさせる。特に、自己潤滑型
の素材は、高い導電性を示すため、作動に伴なう摩擦で
発生する静電気を帯電させるものとなり、摺接作動に伴
ない発生する金属粒子その他の細かな塵埃を吸着させ
る。
相互間の摺接によっても、その間で金属粒子その他の細
かな塵埃の剥離、分離を生じさせず、クリーンルーム中
への浮遊塵埃を極めて少なくさせる。特に、自己潤滑型
の素材は、高い導電性を示すため、作動に伴なう摩擦で
発生する静電気を帯電させるものとなり、摺接作動に伴
ない発生する金属粒子その他の細かな塵埃を吸着させ
る。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１４】軸受筒５は、２価、４価の弗素を使用した
特殊フィラー入り４ふっかエチレン樹脂製のもので、そ
の構造自体は、図示のように、軸支穴４内周面に当接す
る有底筒状の筒部本体の開口縁に、軸支穴４の開口端面
に当接するフランジを突設して成り、揺動蝶番材２の軸
支穴４内に強制的に圧入され、更に必要に応じ接着され
るものとなっている。この軸受筒５自体は、潤滑成分の
揮発性が極めて少ない非揮発性ものであり、例えば株式
会社ニチアス製造販売の商品名エクセライドが使用され
る。特に、２価、４価の弗素を使用した特殊フィラー入
り４ふっかエチレン樹脂製の軸受筒５は、高い導電性を
示すため、蝶番の回動に伴なう摩擦で発生する静電気を
帯電させられ、その結果、回動摺接作動に伴ない金属粒
子その他の細かな塵埃が発生しても、これらを吸着させ
る。
特殊フィラー入り４ふっかエチレン樹脂製のもので、そ
の構造自体は、図示のように、軸支穴４内周面に当接す
る有底筒状の筒部本体の開口縁に、軸支穴４の開口端面
に当接するフランジを突設して成り、揺動蝶番材２の軸
支穴４内に強制的に圧入され、更に必要に応じ接着され
るものとなっている。この軸受筒５自体は、潤滑成分の
揮発性が極めて少ない非揮発性ものであり、例えば株式
会社ニチアス製造販売の商品名エクセライドが使用され
る。特に、２価、４価の弗素を使用した特殊フィラー入
り４ふっかエチレン樹脂製の軸受筒５は、高い導電性を
示すため、蝶番の回動に伴なう摩擦で発生する静電気を
帯電させられ、その結果、回動摺接作動に伴ない金属粒
子その他の細かな塵埃が発生しても、これらを吸着させ
る。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２１】
【発明の効果】本発明は以上のように構成されており、
これがため、クリーンルームで使用される各種機器にお
ける可動部からの塵埃の発生自体を防止でき、特に、可
動部における円滑な作動を確保しながらも、可動部に生
じる摩擦、剥離に起因する金属粒子その他の細かな塵埃
の発生を未然に防止でき、また、発生しても、帯電され
た静電気によってこれらを吸着し、周囲に飛散させるこ
とがないのである。 ─────────────────────────────────────────────────────
これがため、クリーンルームで使用される各種機器にお
ける可動部からの塵埃の発生自体を防止でき、特に、可
動部における円滑な作動を確保しながらも、可動部に生
じる摩擦、剥離に起因する金属粒子その他の細かな塵埃
の発生を未然に防止でき、また、発生しても、帯電され
た静電気によってこれらを吸着し、周囲に飛散させるこ
とがないのである。 ─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年７月２日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正内容】
【書類名】 明細書
【発明の名称】 クリーンルーム用各種機器における可
動部の発塵防止方法及びその発塵防止装置
動部の発塵防止方法及びその発塵防止装置
【特許請求の範囲】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルーム内にお
いて使用される各種の機器における軸受、クリーンルー
ムに設置したドアの蝶番その他の各可動部位における発
塵を防止し、クリーンルーム内を清浄に維持できるよう
にしたクリーンルーム用各種機器における可動部の発塵
防止方法及びその発塵防止装置に関する。
いて使用される各種の機器における軸受、クリーンルー
ムに設置したドアの蝶番その他の各可動部位における発
塵を防止し、クリーンルーム内を清浄に維持できるよう
にしたクリーンルーム用各種機器における可動部の発塵
防止方法及びその発塵防止装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】医薬品、半導体装置、精密機器等の製造
に際しては、空気中の微細な塵埃といえども製品の歩留
まり等に大きく影響するから、これらの製造では、空気
中の塵埃を一定限度にまで制御規制するものとしたクリ
ーンルーム内で行なわれている。このクリーンルーム内
では、使用する機器、器具が高度に清浄化されているこ
とはもとより、これらの各種の機器は、これらから発生
する塵埃が周囲に飛散しないように可能な限り覆われて
いる。
に際しては、空気中の微細な塵埃といえども製品の歩留
まり等に大きく影響するから、これらの製造では、空気
中の塵埃を一定限度にまで制御規制するものとしたクリ
ーンルーム内で行なわれている。このクリーンルーム内
では、使用する機器、器具が高度に清浄化されているこ
とはもとより、これらの各種の機器は、これらから発生
する塵埃が周囲に飛散しないように可能な限り覆われて
いる。
【０００３】ただ、クリーンルーム内で使用される各種
の機器、クリーンルームに設置された出入口建具の蝶番
その他は、作動部、作業工具その他に回転、スライド等
の各種の動作をさせるための軸受、スライド部材その他
の可動部を備えているから、その可動部における摩擦等
によってそれらが擦過することに伴なう細かい金属粒子
その他が発生する。この金属粒子等がクリーンルーム内
で浮遊することは、クリーンルーム内で行なわれる各種
作業の遂行に極めて重大な影響を与えるから、これを確
実に抑制し、その発生を防止する必要がある。
の機器、クリーンルームに設置された出入口建具の蝶番
その他は、作動部、作業工具その他に回転、スライド等
の各種の動作をさせるための軸受、スライド部材その他
の可動部を備えているから、その可動部における摩擦等
によってそれらが擦過することに伴なう細かい金属粒子
その他が発生する。この金属粒子等がクリーンルーム内
で浮遊することは、クリーンルーム内で行なわれる各種
作業の遂行に極めて重大な影響を与えるから、これを確
実に抑制し、その発生を防止する必要がある。
【０００４】このため、従来、採用されていた防止方法
の一つは、各種機器における可動部、更には機器全体を
覆うことで、機器から発生した金属粒子等の塵埃を周囲
に飛散させないようにしていたものである。
の一つは、各種機器における可動部、更には機器全体を
覆うことで、機器から発生した金属粒子等の塵埃を周囲
に飛散させないようにしていたものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、こうした被
覆方式の防塵手段は、可動部が繰り返し作動することで
被覆材等に曲り癖、折り癖等が形成されると、その部分
が他の部分に比較して次第に脆弱になる結果、破断し、
防塵作用が全く機能しなくなる場合があった。そればか
りでなく、機器の使用態様によっては可動部を完全に覆
うことが困難なことも多く、防塵手段として極めて不完
全なものであった。
覆方式の防塵手段は、可動部が繰り返し作動することで
被覆材等に曲り癖、折り癖等が形成されると、その部分
が他の部分に比較して次第に脆弱になる結果、破断し、
防塵作用が全く機能しなくなる場合があった。そればか
りでなく、機器の使用態様によっては可動部を完全に覆
うことが困難なことも多く、防塵手段として極めて不完
全なものであった。
【０００６】そこで、本発明は、叙上のような従来存し
た諸事情に鑑み創出されたもので、各種機器における可
動部からの塵埃の発生自体を阻止するものとして従来方
法の欠点を解消するのであり、特に、可動部における円
滑な作動を確保しながらも、可動部に生じる摩擦に起因
する金属粒子その他の発生を未然に防止し、しかも、メ
インテナンスも容易であるクリーンルーム用各種機器に
おける可動部の発塵防止方法及びその発塵防止装置を提
供することを目的とする。
た諸事情に鑑み創出されたもので、各種機器における可
動部からの塵埃の発生自体を阻止するものとして従来方
法の欠点を解消するのであり、特に、可動部における円
滑な作動を確保しながらも、可動部に生じる摩擦に起因
する金属粒子その他の発生を未然に防止し、しかも、メ
インテナンスも容易であるクリーンルーム用各種機器に
おける可動部の発塵防止方法及びその発塵防止装置を提
供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
ため、本発明にあっては、特に、可動部の固定面につい
ては、圧縮強度、硬度が高いこと、耐磨耗性があるこ
と、滑り性に優れること、破壊じん性に優れること、接
触面を鏡面仕上げにできること等の条件を充足する素
材、例えばセラミックス製のものとし、可動面について
は、摩擦係数、磨耗係数が非常に小さいこと、ある程度
の圧縮強度があること、ある程度の硬度を有すること等
の条件を充足する素材、例えば４ふっかエチレン樹脂製
のものとするのである。
ため、本発明にあっては、特に、可動部の固定面につい
ては、圧縮強度、硬度が高いこと、耐磨耗性があるこ
と、滑り性に優れること、破壊じん性に優れること、接
触面を鏡面仕上げにできること等の条件を充足する素
材、例えばセラミックス製のものとし、可動面について
は、摩擦係数、磨耗係数が非常に小さいこと、ある程度
の圧縮強度があること、ある程度の硬度を有すること等
の条件を充足する素材、例えば４ふっかエチレン樹脂製
のものとするのである。
【０００８】そして、本発明に係るクリーンルーム用各
種機器における可動部の発塵防止方法にあっては、クリ
ーンルームで使用される各種機器における可動部の当接
部位において、当接部位の一方の部材５に使用した自己
潤滑型の素材に対し、他方の部材３を当接させることを
特徴とし、更には、この他方の部材３としてはセラミッ
クス製の素材（６）で形成したことを特徴とする。
種機器における可動部の発塵防止方法にあっては、クリ
ーンルームで使用される各種機器における可動部の当接
部位において、当接部位の一方の部材５に使用した自己
潤滑型の素材に対し、他方の部材３を当接させることを
特徴とし、更には、この他方の部材３としてはセラミッ
クス製の素材（６）で形成したことを特徴とする。
【０００９】また、クリーンルーム用各種機器における
可動部の発塵防止装置にあっては、クリーンルームで使
用される各種機器における可動部の当接部位において、
当接部位の一方の部材５には自己潤滑型の素材を使用し
たことを特徴とし、更には、他方の部材３としてセラミ
ックス製の素材（６）で形成したことを特徴とする。
可動部の発塵防止装置にあっては、クリーンルームで使
用される各種機器における可動部の当接部位において、
当接部位の一方の部材５には自己潤滑型の素材を使用し
たことを特徴とし、更には、他方の部材３としてセラミ
ックス製の素材（６）で形成したことを特徴とする。
【００１０】可動部は軸受構造にし、自己潤滑型の軸受
筒５内に軸ピン材３を挿入して構成でき、必要があれ
ば、この軸ピン材３自体をセラミックス製とし、あるい
はその表面にセラミックスコーティング製の被装膜６を
形成することができる。
筒５内に軸ピン材３を挿入して構成でき、必要があれ
ば、この軸ピン材３自体をセラミックス製とし、あるい
はその表面にセラミックスコーティング製の被装膜６を
形成することができる。
【００１１】
【作用】本発明に係るクリーンルーム用各種機器におけ
る可動部の発塵防止方法及びその発塵防止装置にあっ
て、可動部における相互に当接する部位の一方の部材５
と他方の部材３との間に自己潤滑型の素材自体またはそ
の表面に形成された潤滑剤層が介在し、他方の部材３あ
るいはこれ３に形成した被装膜６表面との摩擦を解消さ
せる。
る可動部の発塵防止方法及びその発塵防止装置にあっ
て、可動部における相互に当接する部位の一方の部材５
と他方の部材３との間に自己潤滑型の素材自体またはそ
の表面に形成された潤滑剤層が介在し、他方の部材３あ
るいはこれ３に形成した被装膜６表面との摩擦を解消さ
せる。
【００１２】当接部位における摩擦の解消は、当接部位
相互間の摺接によっても、その間で金属粒子その他の細
かな塵埃の剥離、分離を生じさせず、クリーンルーム中
への浮遊塵埃を極めて少なくさせる。特に、潤滑剤の素
材は高い導電性を示すため、作動に伴なう摩擦で発生す
る静電気を帯電させるものとなり、摺接作動に伴ない発
生する金属粒子その他の細かな塵埃を吸着させる。
相互間の摺接によっても、その間で金属粒子その他の細
かな塵埃の剥離、分離を生じさせず、クリーンルーム中
への浮遊塵埃を極めて少なくさせる。特に、潤滑剤の素
材は高い導電性を示すため、作動に伴なう摩擦で発生す
る静電気を帯電させるものとなり、摺接作動に伴ない発
生する金属粒子その他の細かな塵埃を吸着させる。
【００１３】
【実施例】以下、例えばクリーンルーム内外に設置され
る出入口のドアを回転自在に支承させる蝶番に実施した
場合につき、図面を参照して本発明の実施例を説明する
に、図において示される符号１は、所定の建具枠Ｆに固
定される固定蝶番材であり、同じく２は、ドアＤ等に固
定される揺動蝶番材である。そして、固定蝶番材１ある
いは揺動蝶番材２のいずれか一方に突設した軸ピン材３
に、いずれか他方に凹設形成した軸支穴４が回転自在に
して嵌め込まれるようにしてあり、図示にあっては、固
定蝶番材１に軸ピン材３を突設し、揺動蝶番材２に軸支
穴４を形成してある。
る出入口のドアを回転自在に支承させる蝶番に実施した
場合につき、図面を参照して本発明の実施例を説明する
に、図において示される符号１は、所定の建具枠Ｆに固
定される固定蝶番材であり、同じく２は、ドアＤ等に固
定される揺動蝶番材である。そして、固定蝶番材１ある
いは揺動蝶番材２のいずれか一方に突設した軸ピン材３
に、いずれか他方に凹設形成した軸支穴４が回転自在に
して嵌め込まれるようにしてあり、図示にあっては、固
定蝶番材１に軸ピン材３を突設し、揺動蝶番材２に軸支
穴４を形成してある。
【００１４】この軸ピン材３と軸支穴４との当接部分に
おいて、軸支穴４内側面には、自己潤滑型の軸受筒５が
装着されており、軸ピン材３自体は、セラミックス製の
もの、例えばジルコニア（商品名）によって形成する。
あるいは、図示のように、軸ピン材３の外周面には、必
要に応じてセラミックスコーティング処理されることで
被装膜６が形成されているのであり、両者５，６間で生
じる摩擦時にはいずれもその表面から剥離、分離する金
属粒子等が発生しにくくしてある。
おいて、軸支穴４内側面には、自己潤滑型の軸受筒５が
装着されており、軸ピン材３自体は、セラミックス製の
もの、例えばジルコニア（商品名）によって形成する。
あるいは、図示のように、軸ピン材３の外周面には、必
要に応じてセラミックスコーティング処理されることで
被装膜６が形成されているのであり、両者５，６間で生
じる摩擦時にはいずれもその表面から剥離、分離する金
属粒子等が発生しにくくしてある。
【００１５】軸受筒５は、弗素を使用した特殊フィラー
入り４ふっかエチレン樹脂製のもので、その構造自体
は、図示のように、軸支穴４内周面に当接する有底筒状
の筒部本体の開口縁に、軸支穴４の開口端面に当接する
フランジを突設して成り、揺動蝶番材２の軸支穴４内に
強制的に圧入され、更に必要に応じ接着されるものとな
っている。この軸受筒５自体は、潤滑成分の揮発性が極
めて少ない非揮発性ものであり、例えば株式会社ニチア
ス製造販売の商品名エクセライドが使用される。特に、
弗素を利用した潤滑剤高い導電性を示すため、蝶番の回
動に伴なう摩擦で発生する静電気を帯電させられ、その
結果、回動摺接作動に伴ない金属粒子その他の細かな塵
埃が発生しても、これらを吸着させる。
入り４ふっかエチレン樹脂製のもので、その構造自体
は、図示のように、軸支穴４内周面に当接する有底筒状
の筒部本体の開口縁に、軸支穴４の開口端面に当接する
フランジを突設して成り、揺動蝶番材２の軸支穴４内に
強制的に圧入され、更に必要に応じ接着されるものとな
っている。この軸受筒５自体は、潤滑成分の揮発性が極
めて少ない非揮発性ものであり、例えば株式会社ニチア
ス製造販売の商品名エクセライドが使用される。特に、
弗素を利用した潤滑剤高い導電性を示すため、蝶番の回
動に伴なう摩擦で発生する静電気を帯電させられ、その
結果、回動摺接作動に伴ない金属粒子その他の細かな塵
埃が発生しても、これらを吸着させる。
【００１６】この軸受筒５は、高温下、定温下、真空下
でも潤滑性能を発揮し、低摩擦係数、対磨耗性、圧縮強
度を十分に維持し、各種の化学溶液にも浸蝕されず、注
油の必要がなく、騒音、振動を低減化させるものであ
る。
でも潤滑性能を発揮し、低摩擦係数、対磨耗性、圧縮強
度を十分に維持し、各種の化学溶液にも浸蝕されず、注
油の必要がなく、騒音、振動を低減化させるものであ
る。
【００１７】一方、被装膜６は、軸ピン材３自体を清浄
にし、下地処理を施し、乾燥させ、セラミックスコーテ
ィング処理した後に焼成して形成されるもので、次式の
セラミックスコーティング反応によって得られる。 また、一般式、Ｍ２Ｏ・ｍＳｉＯ２・ｎＨ２Ｏ （Ｍ＝
Ｌｉ，Ｎａ，Ｋ）で表わされる。
にし、下地処理を施し、乾燥させ、セラミックスコーテ
ィング処理した後に焼成して形成されるもので、次式の
セラミックスコーティング反応によって得られる。 また、一般式、Ｍ２Ｏ・ｍＳｉＯ２・ｎＨ２Ｏ （Ｍ＝
Ｌｉ，Ｎａ，Ｋ）で表わされる。
【００１８】この被装膜６自体は、耐食性、耐熱性、対
磨耗性、耐候性、親水性、装飾性に優れており、軸受筒
５内周面との接触によっても剥離、分離されないものと
なっている。
磨耗性、耐候性、親水性、装飾性に優れており、軸受筒
５内周面との接触によっても剥離、分離されないものと
なっている。
【００１９】また、図示のように、軸ピン材３と軸支穴
４との間に潤滑剤を供給する供給手段１０を設けること
もできる。図における供給手段１０は、揺動蝶番材２に
おける軸支穴４内部と揺動蝶番材２外部とを連通させる
小径の供給路を形成し、この供給路の入口を着脱自在な
蓋１１によって閉塞したものである。こうした潤滑剤の
供給手段１０は、軸受筒５と被装膜６との間に生じる摩
擦を一層低減化させ、これらの使用寿命を長期化するこ
とができる。
４との間に潤滑剤を供給する供給手段１０を設けること
もできる。図における供給手段１０は、揺動蝶番材２に
おける軸支穴４内部と揺動蝶番材２外部とを連通させる
小径の供給路を形成し、この供給路の入口を着脱自在な
蓋１１によって閉塞したものである。こうした潤滑剤の
供給手段１０は、軸受筒５と被装膜６との間に生じる摩
擦を一層低減化させ、これらの使用寿命を長期化するこ
とができる。
【００２０】今、ここで、クリーンルーム内外に設置さ
れる出入口にドアＤの蝶番その他として使用されると
き、軸ピン材３自体の表面あるいはこれ３の表面に被装
した被装膜６と軸支穴４内に配装した軸受筒５内周面と
の間では極めて滑らかな当接状態となる。すなわち、軸
受筒５自体の潤滑作用あるいはこれ５の内周面に形成さ
れる潤滑剤層が軸ピン材３自体あるいはこれ３に形成し
た被装膜６表面との摩擦を解消する。そのため、ドアＤ
の開閉に伴なう摺接によってもその間で金属粒子その他
の細かな塵埃が発生せず、クリーンルーム中に浮遊塵埃
を生じさせない。
れる出入口にドアＤの蝶番その他として使用されると
き、軸ピン材３自体の表面あるいはこれ３の表面に被装
した被装膜６と軸支穴４内に配装した軸受筒５内周面と
の間では極めて滑らかな当接状態となる。すなわち、軸
受筒５自体の潤滑作用あるいはこれ５の内周面に形成さ
れる潤滑剤層が軸ピン材３自体あるいはこれ３に形成し
た被装膜６表面との摩擦を解消する。そのため、ドアＤ
の開閉に伴なう摺接によってもその間で金属粒子その他
の細かな塵埃が発生せず、クリーンルーム中に浮遊塵埃
を生じさせない。
【００２１】もとより、本発明の実施例は、上述した蝶
番構造とする場合に限らず、医薬品、半導体装置、精密
機器等の製造に際し使用されるクリーンルーム内の各種
機器において、それらの作動部、作業工具その他に回
転、スライド等を行なわせる軸受、スライド部材その他
の可動部夫々に同様にして使用できるものである。この
とき、可動部の形状、構造によって、軸ピン材３自体の
形状、構造が変更されるのに対応して、自己潤滑型の素
材としての軸受筒５自体も、筒状に形成される場合に限
らず、リング状、シート状とされたり、ネジ構造、ギア
形状等とされたりする。
番構造とする場合に限らず、医薬品、半導体装置、精密
機器等の製造に際し使用されるクリーンルーム内の各種
機器において、それらの作動部、作業工具その他に回
転、スライド等を行なわせる軸受、スライド部材その他
の可動部夫々に同様にして使用できるものである。この
とき、可動部の形状、構造によって、軸ピン材３自体の
形状、構造が変更されるのに対応して、自己潤滑型の素
材としての軸受筒５自体も、筒状に形成される場合に限
らず、リング状、シート状とされたり、ネジ構造、ギア
形状等とされたりする。
【００２２】
【発明の効果】本発明は以上のように構成されており、
これがため、クリーンルームで使用される各種機器にお
ける可動部からの塵埃の発生自体を防止でき、特に、可
動部における円滑な作動を確保しながらも、可動部に生
じる摩擦、剥離に起因する金属粒子その他の細かな塵埃
の発生を未然に防止でき、また、発生しても、帯電され
た静電気によってこれらを吸着し、周囲に飛散させるこ
とがないのである。
これがため、クリーンルームで使用される各種機器にお
ける可動部からの塵埃の発生自体を防止でき、特に、可
動部における円滑な作動を確保しながらも、可動部に生
じる摩擦、剥離に起因する金属粒子その他の細かな塵埃
の発生を未然に防止でき、また、発生しても、帯電され
た静電気によってこれらを吸着し、周囲に飛散させるこ
とがないのである。
【００２３】しかも、当接部位相互間では、一方の自己
潤滑型の素材自体の潤滑作用あるいはこれの表面に形成
される潤滑剤層がセラミックス製の他方の部材あるいは
被装形成されたセラミックスコーティング製の被装膜６
に対して円滑に摺接させるから、特別な潤滑剤の補充回
数も少なくなり、メインテナンスも極めて容易にできる
ものである。
潤滑型の素材自体の潤滑作用あるいはこれの表面に形成
される潤滑剤層がセラミックス製の他方の部材あるいは
被装形成されたセラミックスコーティング製の被装膜６
に対して円滑に摺接させるから、特別な潤滑剤の補充回
数も少なくなり、メインテナンスも極めて容易にできる
ものである。
【００２４】したがって、本発明によれば、発塵自体を
防止するから、従来の如く、防塵のために各種機器にお
ける可動部を覆う等の面倒な方法を採用する必要がな
く、可動部を露出させたままでもよく、機器における各
作動部位の作動を大きく制約することもないのである。
また、クリーンルームに限らず、これに準ずる各種施設
での全ての可動部分に使用できるばかりでなく、下動部
における固定面、可動面については前記の条件を備えた
ものであれば、その材質の変更は可能である。
防止するから、従来の如く、防塵のために各種機器にお
ける可動部を覆う等の面倒な方法を採用する必要がな
く、可動部を露出させたままでもよく、機器における各
作動部位の作動を大きく制約することもないのである。
また、クリーンルームに限らず、これに準ずる各種施設
での全ての可動部分に使用できるばかりでなく、下動部
における固定面、可動面については前記の条件を備えた
ものであれば、その材質の変更は可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】ドア用の蝶番部材として実施した場合の縦断面
図である。
図である。
【図２】同じく横断面図である。
【符号の説明】 Ｄ ドア Ｆ 建具枠 １ 固定蝶番材 ２ 揺動蝶番材 ３ 軸ピン材 ４ 軸支穴 ５ 軸受筒 ６ 被装膜 １０ 供給手段 １１ 蓋
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 晴▲まき▼ 満 栃木県宇都宮市今宮３丁目−13−５ (72)発明者 竹迫 清之 神奈川県横浜市中区本牧満坂187−176
Claims (6)
- 【請求項１】 クリーンルームで使用される各種機器に
おける可動部の当接部位において、当接部位の一方の部
材に使用した自己潤滑型の素材に対し、他方の部材を当
接させることを特徴とするクリーンルーム用各種機器に
おける可動部の発塵防止方法。 - 【請求項２】 クリーンルームで使用される各種機器に
おける可動部の当接部位において、当接部位の一方の部
材に使用した自己潤滑型の素材に対し、他方の部材表面
に形成したセラミックスコーティング製の被装膜を当接
させることを特徴とするクリーンルーム用各種機器にお
ける可動部の発塵防止方法。 - 【請求項３】 クリーンルームで使用される各種機器に
おける可動部の当接部位において、当接部位の一方の部
材に自己潤滑型の素材を使用したことを特徴とするクリ
ーンルーム用各種機器における可動部の発塵防止装置。 - 【請求項４】 クリーンルームで使用される各種機器に
おける可動部の当接部位において、当接部位の一方の部
材には自己潤滑型の素材を使用し、他方の部材表面には
セラミックスコーティング製の被装膜を形成したことを
特徴とするクリーンルーム用各種機器における可動部の
発塵防止装置。 - 【請求項５】 可動部は軸受構造にし、自己潤滑型の軸
受筒内に軸ピン材を挿入してある請求項３記載のクリー
ンルーム用各種機器における可動部の発塵防止装置。 - 【請求項６】 可動部は軸受構造にし、自己潤滑型の軸
受筒内に、表面にセラミックスコーティング製の被装膜
を形成した軸ピン材を挿入してある請求項４記載のクリ
ーンルーム用各種機器における可動部の発塵防止装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4273328A JP2649883B2 (ja) | 1992-08-31 | 1992-08-31 | クリーンルーム用各種機器における軸受部の発塵防止構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4273328A JP2649883B2 (ja) | 1992-08-31 | 1992-08-31 | クリーンルーム用各種機器における軸受部の発塵防止構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0771459A true JPH0771459A (ja) | 1995-03-17 |
| JP2649883B2 JP2649883B2 (ja) | 1997-09-03 |
Family
ID=17526356
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4273328A Expired - Fee Related JP2649883B2 (ja) | 1992-08-31 | 1992-08-31 | クリーンルーム用各種機器における軸受部の発塵防止構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2649883B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009155798A (ja) * | 2007-12-25 | 2009-07-16 | Kitamura Tekkosho:Kk | 粉塵発生を防止する蝶番 |
| JP2014094652A (ja) * | 2012-11-08 | 2014-05-22 | Ashimori Ind Co Ltd | シェード装置 |
| KR102625482B1 (ko) * | 2023-04-03 | 2024-01-16 | 에스에이치도어텍주식회사 | 도어 힌지 구조 |
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| JPS56846A (en) * | 1979-06-18 | 1981-01-07 | Arai Pump Mfg Co Ltd | Material for sliding member |
| JPS6073114A (ja) * | 1983-09-30 | 1985-04-25 | Toshiba Corp | 回転接合体 |
| JPS60169426U (ja) * | 1984-04-20 | 1985-11-09 | トキコ株式会社 | 軸受構造 |
| JPS6429214A (en) * | 1987-07-25 | 1989-01-31 | Kokuyo Kk | Raising and falling apparatus of chair in extensible moving stand |
-
1992
- 1992-08-31 JP JP4273328A patent/JP2649883B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
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| KR102625482B1 (ko) * | 2023-04-03 | 2024-01-16 | 에스에이치도어텍주식회사 | 도어 힌지 구조 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2649883B2 (ja) | 1997-09-03 |
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