JPH0778569A - マグネトロン - Google Patents
マグネトロンInfo
- Publication number
- JPH0778569A JPH0778569A JP22457093A JP22457093A JPH0778569A JP H0778569 A JPH0778569 A JP H0778569A JP 22457093 A JP22457093 A JP 22457093A JP 22457093 A JP22457093 A JP 22457093A JP H0778569 A JPH0778569 A JP H0778569A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- getter material
- end shield
- magnetron
- cathode
- getter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Microwave Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 エンドシールドに被着されているゲッタ材の
剥離を防止する。 【構成】 陰極フィラメントを支持する一対のエンドシ
ールドのうちの少なくとも一方にゲッタ材が被着されて
いるマグネトロンにおいて、前記ゲッタ材は板材からな
り、かつエンドシールドと圧延によって一体化されてい
る。
剥離を防止する。 【構成】 陰極フィラメントを支持する一対のエンドシ
ールドのうちの少なくとも一方にゲッタ材が被着されて
いるマグネトロンにおいて、前記ゲッタ材は板材からな
り、かつエンドシールドと圧延によって一体化されてい
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、マグネトロンに係り、
特に、ゲッタ材を被着するエンドシールドの改良に関す
る。
特に、ゲッタ材を被着するエンドシールドの改良に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】マグネトロンは、その内部が減圧された
気密状態となっており、その真空度合いを向上させるた
めにいわゆるゲッタ材が配置されたものとなっている。
すなわち、該ゲッタ材は各構成部材から放出されるガス
の分子を吸収する機能をもち、たとえばその材料として
ジルコニゥム（Ｚｒ）等が用いられている。
気密状態となっており、その真空度合いを向上させるた
めにいわゆるゲッタ材が配置されたものとなっている。
すなわち、該ゲッタ材は各構成部材から放出されるガス
の分子を吸収する機能をもち、たとえばその材料として
ジルコニゥム（Ｚｒ）等が用いられている。
【０００３】そして、このようなゲッタ材は、その作用
を効果的なものとするために高温領域に配置するのが望
ましく、従来では、陰極フィラメントを支持するエンド
シールドに、板材からなるゲッタ材を抵抗溶接により固
着させていた。
を効果的なものとするために高温領域に配置するのが望
ましく、従来では、陰極フィラメントを支持するエンド
シールドに、板材からなるゲッタ材を抵抗溶接により固
着させていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成からなるマグネトロンは、その使用の段階にお
いて、ゲッタ材による弊害が生じることが指摘されるに
到った。
うな構成からなるマグネトロンは、その使用の段階にお
いて、ゲッタ材による弊害が生じることが指摘されるに
到った。
【０００５】すなわち、ゲッタ材は、ガスの吸収を行う
ことにより変形が生じることが知られており、このた
め、数点で抵抗溶接されたエンドシールドに対して周辺
が反り返ってしまい（剥離の一態様）、この反り返った
部分において電界の集中が生じてしまうことが判明し
た。
ことにより変形が生じることが知られており、このた
め、数点で抵抗溶接されたエンドシールドに対して周辺
が反り返ってしまい（剥離の一態様）、この反り返った
部分において電界の集中が生じてしまうことが判明し
た。
【０００６】また、最悪の状態では、ゲッタ材の反り返
りによって、エンドシールドから完全に剥離して脱落し
てしまい、その機能を有しなくなってしまうばかりでは
なく、他の構成部材に悪影響を及ぼすということがあっ
た。
りによって、エンドシールドから完全に剥離して脱落し
てしまい、その機能を有しなくなってしまうばかりでは
なく、他の構成部材に悪影響を及ぼすということがあっ
た。
【０００７】本発明は、このような事情に基づいてなさ
れたものであり、その目的とするところのものは、エン
ドシールドに被着されているゲッタ材の剥離を完全に防
止できるマグネトロンを提供することにある。
れたものであり、その目的とするところのものは、エン
ドシールドに被着されているゲッタ材の剥離を完全に防
止できるマグネトロンを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明は、基本的には、陰極フィラメントを
支持する一対のエンドシールドのうちの少なくとも一方
にゲッタ材が被着されているマグネトロンにおいて、前
記ゲッタ材は板材からなり、かつエンドシールと圧延に
よって一体化されたものとなっていることを特徴とする
ものである。
るために、本発明は、基本的には、陰極フィラメントを
支持する一対のエンドシールドのうちの少なくとも一方
にゲッタ材が被着されているマグネトロンにおいて、前
記ゲッタ材は板材からなり、かつエンドシールと圧延に
よって一体化されたものとなっていることを特徴とする
ものである。
【０００９】
【作用】このように構成されたマグネトロンによれば、
そのゲッタ材が板材からなり、かつエンドシールドと圧
延によって一体化されたものとなっていることにある。
そのゲッタ材が板材からなり、かつエンドシールドと圧
延によって一体化されたものとなっていることにある。
【００１０】このようになっていることにより、ゲッタ
材はエンドシールドとの間で分子結合をともなう強固な
接合がその境界面の全域に及んでなされることになる。
材はエンドシールドとの間で分子結合をともなう強固な
接合がその境界面の全域に及んでなされることになる。
【００１１】このため、ゲッタ材がガス分子の吸収によ
り反りが生じ易い性質を有していても、その端部がエン
ドシールドに対して反り返ってしまったり、さらにエン
ドシールドから完全に剥離して脱落してしまうことはな
くなる。
り反りが生じ易い性質を有していても、その端部がエン
ドシールドに対して反り返ってしまったり、さらにエン
ドシールドから完全に剥離して脱落してしまうことはな
くなる。
【００１２】このことから、エンドシールドに被着され
ているゲッタ材の剥離を完全に防止できるようになる。
ているゲッタ材の剥離を完全に防止できるようになる。
【００１３】
【実施例】図３は、本発明によるマグネトロンの一実施
例を示す断面図である。
例を示す断面図である。
【００１４】同図において、まず、陰極部１があり、こ
の陰極部１はアルミナセラミックからなる絶縁体２と、
この絶縁体２を貫通して設けられたたとえばモリブデン
等（高融点金属）からなる陰極サポート３、４と、この
陰極サポート３、４のそれぞれの先端部に取り付けられ
互いに対向して配置されるエンドシールド５、６と、こ
れら各エンドシールド５、６の間に支持される陰極フィ
ラメント７とから構成されている。
の陰極部１はアルミナセラミックからなる絶縁体２と、
この絶縁体２を貫通して設けられたたとえばモリブデン
等（高融点金属）からなる陰極サポート３、４と、この
陰極サポート３、４のそれぞれの先端部に取り付けられ
互いに対向して配置されるエンドシールド５、６と、こ
れら各エンドシールド５、６の間に支持される陰極フィ
ラメント７とから構成されている。
【００１５】陰極フィラメント７を中心としてその周囲
には、該中心から放射状に延在して配置されるベイン８
があり、このベイン８のそれぞれはその端面が陽極円筒
９の内壁面に固着されることによって保持されている。
これにより、これらベイン８と陽極円筒９とでいわゆる
空胴共振器を構成するようになっている。
には、該中心から放射状に延在して配置されるベイン８
があり、このベイン８のそれぞれはその端面が陽極円筒
９の内壁面に固着されることによって保持されている。
これにより、これらベイン８と陽極円筒９とでいわゆる
空胴共振器を構成するようになっている。
【００１６】また、この陽極円筒９の外周部にはこの陽
極円筒９に当接して冷却フィン１０が配置されている。
極円筒９に当接して冷却フィン１０が配置されている。
【００１７】陽極円筒９の両端面側には磁極１１が配置
され、この磁極１１は、前記陰極フィラメント７とベイ
ン８とによって形成される作用空間に、ヨーク１２、１
３と協同する磁石１４、１５からの磁束を導くことによ
って適度な磁界を形成するようになっている。
され、この磁極１１は、前記陰極フィラメント７とベイ
ン８とによって形成される作用空間に、ヨーク１２、１
３と協同する磁石１４、１５からの磁束を導くことによ
って適度な磁界を形成するようになっている。
【００１８】このようにして、陰極部分に発生したマイ
クロ波出力は、ベイン８のうちの一つに接続された出力
導体１６を通して出力部１７から外部に放射されるよう
になっている。
クロ波出力は、ベイン８のうちの一つに接続された出力
導体１６を通して出力部１７から外部に放射されるよう
になっている。
【００１９】なお、前記陰極サポート３、４は、金具１
８を介して絶縁体２の下面に気密にろう付け固着され、
該絶縁体２は、一端が陽極円筒９に溶接固着された封着
用金属体１９にろう付けされて気密が保持されるように
なっている。
８を介して絶縁体２の下面に気密にろう付け固着され、
該絶縁体２は、一端が陽極円筒９に溶接固着された封着
用金属体１９にろう付けされて気密が保持されるように
なっている。
【００２０】図２は、前記マグネトロンにおいてその陰
極部の詳細を示した構成図である。
極部の詳細を示した構成図である。
【００２１】コイル状をなす陰極フィラメント７の各端
部はそれそれエンドシールド５、６によって支持されて
いる。これらエンドシールド５、６はそれぞれ該陰極サ
ポート３、４に支持されて互いに対向して配置されてい
る。
部はそれそれエンドシールド５、６によって支持されて
いる。これらエンドシールド５、６はそれぞれ該陰極サ
ポート３、４に支持されて互いに対向して配置されてい
る。
【００２２】エンドシールド５は陰極サポート３の先端
部に固定され、また、エンドシールド６は該エンドシー
ルド５の中心部を貫通し（エンドシールド５と電気的に
絶縁され）、さらに陰極フィラメント７の中心軸を延在
する陰極サポート４の先端部に固定されている。
部に固定され、また、エンドシールド６は該エンドシー
ルド５の中心部を貫通し（エンドシールド５と電気的に
絶縁され）、さらに陰極フィラメント７の中心軸を延在
する陰極サポート４の先端部に固定されている。
【００２３】図１は、陰極サポート４の先端に取り付け
られたエンドシールド６の詳細を示した拡大図である。
られたエンドシールド６の詳細を示した拡大図である。
【００２４】同図におけるエンドシールド６は、陰極サ
ポート４に設けられたボス２２を介して該陰極サポート
４に取り付けられている。このエンドシールド６に対す
るボス２２への固着はたとえばレーザ溶接等によってな
されている。
ポート４に設けられたボス２２を介して該陰極サポート
４に取り付けられている。このエンドシールド６に対す
るボス２２への固着はたとえばレーザ溶接等によってな
されている。
【００２５】そして、このエンドシールド６は、板材を
プレスによって図示のような形状で構成されたものであ
り、この板材は陰極フィラメント７側に配置されるモリ
ブデン（Ｍｏ）材の上面にチタン（Ｔｉ）材を圧延によ
って互いに固着させた一体物となっている。この場合の
チタン（Ｔｉ）材はゲッタ材２１の機能を有するものと
なっている。
プレスによって図示のような形状で構成されたものであ
り、この板材は陰極フィラメント７側に配置されるモリ
ブデン（Ｍｏ）材の上面にチタン（Ｔｉ）材を圧延によ
って互いに固着させた一体物となっている。この場合の
チタン（Ｔｉ）材はゲッタ材２１の機能を有するものと
なっている。
【００２６】この場合、モリブデン（Ｍｏ）材の上面に
圧延によって固着させるゲッタ材２１はチタン（Ｔｉ）
に限定されることはなく、ジルコニゥム（Ｚｒ）、ある
いはタンタル（Ｔａ）であってもよいことはもちろんで
ある。
圧延によって固着させるゲッタ材２１はチタン（Ｔｉ）
に限定されることはなく、ジルコニゥム（Ｚｒ）、ある
いはタンタル（Ｔａ）であってもよいことはもちろんで
ある。
【００２７】このようにエンドシールド６とゲッタ材２
１との重畳された一体板材は、たとえばそれより大きな
一体板材を、打ち抜きプレスによって図示のように形成
するようになっている。
１との重畳された一体板材は、たとえばそれより大きな
一体板材を、打ち抜きプレスによって図示のように形成
するようになっている。
【００２８】この実施例のように構成されたマグネトロ
ンによれば、そのゲッタ材２１が板材からなり、かつエ
ンドシールド６と圧延によって一体化されたものとなっ
ていることにある。
ンによれば、そのゲッタ材２１が板材からなり、かつエ
ンドシールド６と圧延によって一体化されたものとなっ
ていることにある。
【００２９】このことから、ゲッタ材２１はエンドシー
ルド６との間で分子結合をともなう強固な接合がその境
界面の全域に及んでなされることになる。
ルド６との間で分子結合をともなう強固な接合がその境
界面の全域に及んでなされることになる。
【００３０】このため、ゲッタ材２１がガス分子の吸収
により反りが生じ易い性質を有していても、その端部が
エンドシールド６に対して反り返ってしまったり、さら
にエンドシールド６から完全に剥離して脱落してしまう
ことはなくなる。
により反りが生じ易い性質を有していても、その端部が
エンドシールド６に対して反り返ってしまったり、さら
にエンドシールド６から完全に剥離して脱落してしまう
ことはなくなる。
【００３１】したがって、エンドシールド６に被着され
ているゲッタ材２１の剥離を完全に防止できるようにな
る。
ているゲッタ材２１の剥離を完全に防止できるようにな
る。
【００３２】また、このようにすることにより、エンド
シールド６とゲッタ材２１とを同時に形成できることに
なることから、加工工数を大幅に低減できるという効果
をも奏する。
シールド６とゲッタ材２１とを同時に形成できることに
なることから、加工工数を大幅に低減できるという効果
をも奏する。
【００３３】さらに、ゲッタ材２１はエンドシールド６
に対して全面的に固着された構成となっていることか
ら、陰極フィラメント７からの熱がエンドシールド６を
介して前記ゲッタ材２１に効率よく伝導できる。このた
め、ゲッタ材２１のガス分子吸収能力を大幅に向上させ
ることができるようになる。
に対して全面的に固着された構成となっていることか
ら、陰極フィラメント７からの熱がエンドシールド６を
介して前記ゲッタ材２１に効率よく伝導できる。このた
め、ゲッタ材２１のガス分子吸収能力を大幅に向上させ
ることができるようになる。
【００３４】さらに、ゲッタ材２１の表面積は、エンド
シールド６のそれと同面積で構成できることから、従来
よりも大きくでき、この観点からしても、ゲッタ材２１
のガス分子吸収能力を従来よりも向上させることができ
るようになる。
シールド６のそれと同面積で構成できることから、従来
よりも大きくでき、この観点からしても、ゲッタ材２１
のガス分子吸収能力を従来よりも向上させることができ
るようになる。
【００３５】
【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明によるマグネトロンによれば、そのエンドシール
ドに被着されているゲッタ材の剥離を完全に防止できる
ようになる。
本発明によるマグネトロンによれば、そのエンドシール
ドに被着されているゲッタ材の剥離を完全に防止できる
ようになる。
【図１】本発明によるマグネトロンの一実施例を示した
ゲッタ材の近傍における構成図である。
ゲッタ材の近傍における構成図である。
【図２】本発明によるマグネトロンの一実施例を示した
陰極部の近傍における構成図である。
陰極部の近傍における構成図である。
【図３】本発明によるマグネトロンの一実施例を示した
全体構成図である。
全体構成図である。
３、４ 陰極サポート ５、６ エンドシールド ７ 陰極フィラメント ２１ ゲッタ材
Claims (1)
- 【請求項１】 陰極フィラメントを支持する一対のエン
ドシールドのうちの少なくとも一方にゲッタ材が被着さ
れているマグネトロンにおいて、前記ゲッタ材は板材か
らなり、かつエンドシールドと圧延によって一体化され
たものとなっていることを特徴とするマグネトロン。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22457093A JPH0778569A (ja) | 1993-09-09 | 1993-09-09 | マグネトロン |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22457093A JPH0778569A (ja) | 1993-09-09 | 1993-09-09 | マグネトロン |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0778569A true JPH0778569A (ja) | 1995-03-20 |
Family
ID=16815835
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22457093A Pending JPH0778569A (ja) | 1993-09-09 | 1993-09-09 | マグネトロン |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0778569A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006351350A (ja) * | 2005-06-16 | 2006-12-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | マグネトロン |
-
1993
- 1993-09-09 JP JP22457093A patent/JPH0778569A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006351350A (ja) * | 2005-06-16 | 2006-12-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | マグネトロン |
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