JPH02276136A - マグネトロン - Google Patents
マグネトロンInfo
- Publication number
- JPH02276136A JPH02276136A JP6094190A JP6094190A JPH02276136A JP H02276136 A JPH02276136 A JP H02276136A JP 6094190 A JP6094190 A JP 6094190A JP 6094190 A JP6094190 A JP 6094190A JP H02276136 A JPH02276136 A JP H02276136A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulator
- filament
- sealing surface
- magnetron
- sealing body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Microwave Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はマグネトロンに関するものである。
第３図は従来のマグネトロンの１例を示すもので、フィ
ラメント１の両端はエンドシールド２．３を介してフィ
ラメントサポート４，５に支持されており、フィラメン
トサポート４．５は真空容器を形成する絶縁物６を貫通
し金属ワッシャ７を介して絶縁物６にろう付けされてい
る。またフィラメント１の周囲には放射状に配列された
複数個のベイン８とこれらを保持する陽極円筒９などか
らなる陽極が配設されている。前記ベイン８はストラッ
プリング１０．１１により１枚おきに電気的に接続され
ている。そして、ベイン８の１つには出力導体１２が接
続されており１作用空間に発生したマイクロ波エネルギ
ーを出力放射窓１３を通して負荷回路に放射させるよう
になっている。
ラメント１の両端はエンドシールド２．３を介してフィ
ラメントサポート４，５に支持されており、フィラメン
トサポート４．５は真空容器を形成する絶縁物６を貫通
し金属ワッシャ７を介して絶縁物６にろう付けされてい
る。またフィラメント１の周囲には放射状に配列された
複数個のベイン８とこれらを保持する陽極円筒９などか
らなる陽極が配設されている。前記ベイン８はストラッ
プリング１０．１１により１枚おきに電気的に接続され
ている。そして、ベイン８の１つには出力導体１２が接
続されており１作用空間に発生したマイクロ波エネルギ
ーを出力放射窓１３を通して負荷回路に放射させるよう
になっている。
また陽極円筒９の上下端には作用空間に集束磁界を供給
するための磁極１４．１５が固着され、更に磁極１４．
１５はリング１６．１７を介してそれぞれ出力放射窓１
３、絶縁物６にろう付は封着され、真空容器を形成して
いる。
するための磁極１４．１５が固着され、更に磁極１４．
１５はリング１６．１７を介してそれぞれ出力放射窓１
３、絶縁物６にろう付は封着され、真空容器を形成して
いる。
以上のような従来例は１例えば特開昭５３−９０７５２
等に記載されている。
等に記載されている。
ところで、前記フィラメント１は安定した電子放射が得
られ易いことから表面層が炭化されたトリウム入りタン
グステンが使用されており、動作温度は１７００〜１８
００℃の高温である。従って、フィラメント１を支持す
るエンドシールド２．３およびフィラメントサポート４
．５も高い温度で使用できる素材からなることが必要で
あり、−般にモリブデン（Ｍｏ）が用いられている。ま
たＭｏよりなるフィラメントサポート４．５は高い信頼
性をもってセラミックよりなる絶縁物６にろう付は封着
することが困難であるので、前記金属ワッシャ７にはセ
ラミック絶縁物に近い膨張係数を有するコバール（Ｆｅ
−Ｎｉ−Ｃｏ合金）が用いられている。
られ易いことから表面層が炭化されたトリウム入りタン
グステンが使用されており、動作温度は１７００〜１８
００℃の高温である。従って、フィラメント１を支持す
るエンドシールド２．３およびフィラメントサポート４
．５も高い温度で使用できる素材からなることが必要で
あり、−般にモリブデン（Ｍｏ）が用いられている。ま
たＭｏよりなるフィラメントサポート４．５は高い信頼
性をもってセラミックよりなる絶縁物６にろう付は封着
することが困難であるので、前記金属ワッシャ７にはセ
ラミック絶縁物に近い膨張係数を有するコバール（Ｆｅ
−Ｎｉ−Ｃｏ合金）が用いられている。
このように、フィラメントサポート４．５は絶縁物６を
貫通して長く形成されているので、Ｍ。
貫通して長く形成されているので、Ｍ。
のような高価な高融点金属を多く必要とする。またＭｏ
は銀ろうとの濡れ性が悪く、信頼性の高いろう付けが困
難である。更にＭｏは脆い材質であるので、棒状あるい
は線状に加工する際、表面および内部に欠陥が生じ易く
、前記の如くフィラメントサポート４．５が真空容器内
外に貫通していると、前記欠陥により真空リークを生じ
易い、また金属ワッシャ７はＦｅ−Ｎ１−Ｇｏのような
高価で一般性のない金属を使用しなければならない。
は銀ろうとの濡れ性が悪く、信頼性の高いろう付けが困
難である。更にＭｏは脆い材質であるので、棒状あるい
は線状に加工する際、表面および内部に欠陥が生じ易く
、前記の如くフィラメントサポート４．５が真空容器内
外に貫通していると、前記欠陥により真空リークを生じ
易い、また金属ワッシャ７はＦｅ−Ｎ１−Ｇｏのような
高価で一般性のない金属を使用しなければならない。
更に絶縁物６とワッシャ７、ワッシャ７とフィラメント
サポート４．５をそれぞれ相互に銀ろう付けするので、
高価な銀ろう材を多量に必要とすると共に、封着構造が
複雑となり、真空リークを生じ易い、などの種々の欠点
を有する。
サポート４．５をそれぞれ相互に銀ろう付けするので、
高価な銀ろう材を多量に必要とすると共に、封着構造が
複雑となり、真空リークを生じ易い、などの種々の欠点
を有する。
従来技術のもう１つの問題点は、金属外囲器を構成する
リング１７と、絶縁物６との封着面と。
リング１７と、絶縁物６との封着面と。
フィラメントサポート４と絶縁物との封着面とが絶縁物
の異なった側に形成されているため、絶縁物に、封着の
ための前処理を施す工程が複雑になり、製造コストが増
大するという問題点があった。
の異なった側に形成されているため、絶縁物に、封着の
ための前処理を施す工程が複雑になり、製造コストが増
大するという問題点があった。
本発明は上記従来技術の欠点に鑑みなされたもので、経
済的で信頼性の高いマグネトロンを提供することを目的
とする。
済的で信頼性の高いマグネトロンを提供することを目的
とする。
ｔｉｍ１題を解決するための手段〕
第１のａｍである、フィラメントサポート４゜５と、絶
縁物６との封着部の信頼性の向上に対しては、補助封着
材を用いてフィラメントと接続し。
縁物６との封着部の信頼性の向上に対しては、補助封着
材を用いてフィラメントと接続し。
この補助封着材と絶縁物６とを封着することにより解決
することができる。
することができる。
第２の１１題である。封着面が、絶縁物６の両側に形成
されるため、絶縁物に対して行なう、金属と封着するた
めの前処理を、絶縁物の両側にしなくてはならないとい
う問題は、前記フィラメントサポート、又は、前記補助
封着体と絶縁物との封着面を、真空容器の内側に形成す
ることによって解決することができる。
されるため、絶縁物に対して行なう、金属と封着するた
めの前処理を、絶縁物の両側にしなくてはならないとい
う問題は、前記フィラメントサポート、又は、前記補助
封着体と絶縁物との封着面を、真空容器の内側に形成す
ることによって解決することができる。
第１の課題の解決のために用いる、補助封着体は、耐熱
金属材料には限定されないため、絶縁物と封着性の良い
材料を選定できるので、封着部の信頼性を上げることが
できる。
金属材料には限定されないため、絶縁物と封着性の良い
材料を選定できるので、封着部の信頼性を上げることが
できる。
゛第２の課題の解決のための前記の手段を用いれば、フ
ィラメントサポート、又は、補助封着体と、絶縁物との
封着面を、真空外囲器を構成する金属と、絶縁物との封
着面と、同一の側に形成することができる。
ィラメントサポート、又は、補助封着体と、絶縁物との
封着面を、真空外囲器を構成する金属と、絶縁物との封
着面と、同一の側に形成することができる。
以下１本発明を図示の実施例により説明する。
第１図は本発明になるマグネトロンの一実施例を示す断
面図である。なお、第３図と同じ′部材には同一符号を
付しその説明を省略する。フィラメントサポート２０．
２１はセラミック絶縁体６を貫通しない短い長さに形成
され、このフィラメントサポート２０．２１の端部に絶
縁体６を貫通したＦｅ材よりなる補助封着体２２がプラ
ズマ溶接、突当抵抗溶接などにより固着されている。前
記補助封着体２２にはフランジ部２２ａが形成され、更
にこのフランジ部２２ａには、絶縁体６に対応した面が
約０．４１程度の薄肉よりなるカップ状部２２ｂが一体
塑性加工により形成されている。
面図である。なお、第３図と同じ′部材には同一符号を
付しその説明を省略する。フィラメントサポート２０．
２１はセラミック絶縁体６を貫通しない短い長さに形成
され、このフィラメントサポート２０．２１の端部に絶
縁体６を貫通したＦｅ材よりなる補助封着体２２がプラ
ズマ溶接、突当抵抗溶接などにより固着されている。前
記補助封着体２２にはフランジ部２２ａが形成され、更
にこのフランジ部２２ａには、絶縁体６に対応した面が
約０．４１程度の薄肉よりなるカップ状部２２ｂが一体
塑性加工により形成されている。
そして、カップ状部２２ｂの先端はメタライズされたア
ルミナセラミック絶縁物６にろう付けされている。
ルミナセラミック絶縁物６にろう付けされている。
さて、フィラメント１の動作温度は高温であるが、フィ
ラメントサポート２０．２１は管外へ向って低下する温
度勾配を有しており、絶縁体６の近傍は十分低い温度で
あるので、補助封着体２２の材質としてＦｅなどの低い
融点の金属を用いることができる。またセラミック絶縁
体６とＦｅよりなる補助封着体２２とでは膨脹係数が異
なるが、補助封着体２２の封着部を薄肉のカップ状部２
２ｂとすることにより、塑性による応力緩和が行なえる
。
ラメントサポート２０．２１は管外へ向って低下する温
度勾配を有しており、絶縁体６の近傍は十分低い温度で
あるので、補助封着体２２の材質としてＦｅなどの低い
融点の金属を用いることができる。またセラミック絶縁
体６とＦｅよりなる補助封着体２２とでは膨脹係数が異
なるが、補助封着体２２の封着部を薄肉のカップ状部２
２ｂとすることにより、塑性による応力緩和が行なえる
。
このように、フィラメントサポート２０．２１は絶縁体
６を貫通しない短い長さよりなるので。
６を貫通しない短い長さよりなるので。
Ｍｏのような高価な高融点の金属の使用量を減らすこと
ができるゆまた補助封着体２２は安価な鉄よりなるので
、塑性加工が容易で封着し易い形状に一体加工すること
ができ、第１図における高価でかつ高融点のワッシャ７
を省略できると共に。
ができるゆまた補助封着体２２は安価な鉄よりなるので
、塑性加工が容易で封着し易い形状に一体加工すること
ができ、第１図における高価でかつ高融点のワッシャ７
を省略できると共に。
延性、展性などがＭＯよりも優れており、加工時に表面
および内部に欠陥を生じることがなく、真空封着の信頼
性が向上する。またフィラメントサポート２０．２１と
補助封着体２２は溶接などにより固着でき、その作業は
容易でかつ高価なろう材を必要としない。
および内部に欠陥を生じることがなく、真空封着の信頼
性が向上する。またフィラメントサポート２０．２１と
補助封着体２２は溶接などにより固着でき、その作業は
容易でかつ高価なろう材を必要としない。
第２図は本発明になるマグネトロンの第２の実施例を示
す要部断面図である。前記実施例は絶縁体６の外側で補
助封着体２２を封着したが１本実施例は内側で封着した
ものである。このようにすれば、補助封着体２２とリン
グ１７とを絶縁体６に対して同一の側に封着することが
可能になる。
す要部断面図である。前記実施例は絶縁体６の外側で補
助封着体２２を封着したが１本実施例は内側で封着した
ものである。このようにすれば、補助封着体２２とリン
グ１７とを絶縁体６に対して同一の側に封着することが
可能になる。
したがって、絶縁物６に対して行なう、絶縁物と金属を
封着するための前処理の工程を簡易にすることができる
。又、第２図に示すように、補助封着体２２と、リング
１７とを絶縁物に対して、同一平面上に形成すれば、前
記前処理工程を、更に、簡易にすることが出来る。
封着するための前処理の工程を簡易にすることができる
。又、第２図に示すように、補助封着体２２と、リング
１７とを絶縁物に対して、同一平面上に形成すれば、前
記前処理工程を、更に、簡易にすることが出来る。
以上は、補助封着体と、絶縁物とを封着するとして説明
したが、補助封着体を用いず、従来通り、フィラメント
サポートと、絶縁物とを封着する場合も、同様の効果を
有することは勿論である。
したが、補助封着体を用いず、従来通り、フィラメント
サポートと、絶縁物とを封着する場合も、同様の効果を
有することは勿論である。
なお、上記実施例においては補助封着体２２の材質がＦ
ｅの場合について説明したが、Ｍｏよりも低い融点の金
属で絶縁体６の周囲の温度に耐えるものであれば特に限
定されなく５例えばＦｅ−Ｎｉ合金でもよい、また補助
封着体２２と絶縁体６との膨脹係数が大きい場合は、前
記したように補助封着体２２に薄肉のカップ状部２２ｂ
を形成することにより封着が容易に行なえるが、補助封
着体２２にＦ ｅ −Ｎ ｉ合金を用いる場合は、特に
カップ状部２２ｂを設けなく、平らなフランジ部２２ａ
のみを形成し、このフランジ部２２ａを封着するように
してもよい、また上記実施例においては、フィラメント
１をエンドシールド２．３を介してフィラメントサポー
ト４，５で支持したがフィラメントサポートの先端部を
折曲げ、この折曲げ部で直接フィラメントを支持するよ
うにしてもよい。
ｅの場合について説明したが、Ｍｏよりも低い融点の金
属で絶縁体６の周囲の温度に耐えるものであれば特に限
定されなく５例えばＦｅ−Ｎｉ合金でもよい、また補助
封着体２２と絶縁体６との膨脹係数が大きい場合は、前
記したように補助封着体２２に薄肉のカップ状部２２ｂ
を形成することにより封着が容易に行なえるが、補助封
着体２２にＦ ｅ −Ｎ ｉ合金を用いる場合は、特に
カップ状部２２ｂを設けなく、平らなフランジ部２２ａ
のみを形成し、このフランジ部２２ａを封着するように
してもよい、また上記実施例においては、フィラメント
１をエンドシールド２．３を介してフィラメントサポー
ト４，５で支持したがフィラメントサポートの先端部を
折曲げ、この折曲げ部で直接フィラメントを支持するよ
うにしてもよい。
本願発明によれば、封止部の信頼性が高く、かつ、製造
コストの低いマグネトロンを製作することができる。
コストの低いマグネトロンを製作することができる。
第１図は本発明になるマグネトロンの一実施例を示す断
面図、第２図は本発明になるマグネトロンの他の実施例
を示す要部断面図、第３図は従来のマグネトロンの断面
図である。 １・・・フィラメント、２．３・・・エンドシールド、
６・・・絶縁体、１７・・・リング、２０．２１・・・
フィラメントサポート、２２・・・補助封着体、２２ａ
・・・フランジ部、２２ｂ・・第 図 第 図 第 図
面図、第２図は本発明になるマグネトロンの他の実施例
を示す要部断面図、第３図は従来のマグネトロンの断面
図である。 １・・・フィラメント、２．３・・・エンドシールド、
６・・・絶縁体、１７・・・リング、２０．２１・・・
フィラメントサポート、２２・・・補助封着体、２２ａ
・・・フランジ部、２２ｂ・・第 図 第 図 第 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、真空容器は少なくとも金属と、絶縁物から構成され
、前記絶縁物と金属層とは、第１の封着面において封着
され、陰極を構成するフィラメントの両端部はエンドシ
ールドを介して又は直接フィラメントサポートにより支
持されたマグネトロンにおいて、前記フィラメントサポ
ート又は、前記フィラメントサポートと接続された補助
封着体は、前記絶縁物と第２の封着面で封着されており
、前記第１の封着面と前記第２の封着面とは前記絶縁物
の同一の側に形成されていることを特徴とするマグネト
ロン。 ２、前記第１の封着面と、前記第２の封着面とは、前記
絶縁物の同一平面に形成されていることを特徴とする特
許請求の範囲第１項に記載のマグネトロン。 ３、前記第２の封着面は、真空容器の内側に形成されて
いることを特徴とする特許請求の範囲第１項および特許
請求の範囲第２項に記載のマグネトロン。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2060941A JPH0610959B2 (ja) | 1990-03-14 | 1990-03-14 | マグネトロン |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2060941A JPH0610959B2 (ja) | 1990-03-14 | 1990-03-14 | マグネトロン |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2680081A Division JPS57143247A (en) | 1981-02-27 | 1981-02-27 | Magnetron |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5156562A Division JP2761348B2 (ja) | 1993-06-28 | 1993-06-28 | マグネトロン |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02276136A true JPH02276136A (ja) | 1990-11-13 |
| JPH0610959B2 JPH0610959B2 (ja) | 1994-02-09 |
Family
ID=13156910
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2060941A Expired - Lifetime JPH0610959B2 (ja) | 1990-03-14 | 1990-03-14 | マグネトロン |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0610959B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5635798A (en) * | 1993-12-24 | 1997-06-03 | Hitachi, Ltd. | Magnetron with reduced dark current |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54160560U (ja) * | 1978-04-28 | 1979-11-09 |
-
1990
- 1990-03-14 JP JP2060941A patent/JPH0610959B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54160560U (ja) * | 1978-04-28 | 1979-11-09 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5635798A (en) * | 1993-12-24 | 1997-06-03 | Hitachi, Ltd. | Magnetron with reduced dark current |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0610959B2 (ja) | 1994-02-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR900001742B1 (ko) | 마그네트론 | |
| JPH11167887A (ja) | Ｘ線管 | |
| KR20040043960A (ko) | 마그네트론 및 마그네트론 부재 간 접합 방법 | |
| JP2690901B2 (ja) | マグネトロン | |
| US4019080A (en) | Vacuum-tight seals between ceramic and aluminium components, evacuated envelopes incorporating the components sealed by said method, and vacuum tubes incorporating said envelopes | |
| US2402029A (en) | Electron device and method of manufacture | |
| JPS5813513B2 (ja) | 金属部品と絶縁部材との封着方法 | |
| JPH02276136A (ja) | マグネトロン | |
| JPH0419659B2 (ja) | ||
| JP2761348B2 (ja) | マグネトロン | |
| US3204140A (en) | Hot cathode electron tube | |
| JPS6298537A (ja) | 電子レンジ用マグネトロン | |
| JPS58910Y2 (ja) | マグネトロン | |
| US3524098A (en) | Aluminum anode power tube | |
| JPH0636691A (ja) | 電子レンジ用マグネトロン | |
| JP3039956B2 (ja) | マグネトロン陰極構体 | |
| JP2590750B2 (ja) | 含浸型陰極構体 | |
| JPH0432133A (ja) | マグネトロンの陰極支持構体 | |
| JPH0778569A (ja) | マグネトロン | |
| US3211939A (en) | Electron tube having close spaced electrodes and a bimetallic cathode | |
| JPS62115627A (ja) | マグネトロンの製造方法 | |
| JPS6129156Y2 (ja) | ||
| JPH0330988Y2 (ja) | ||
| JPH065197A (ja) | マグネトロン | |
| JP2708534B2 (ja) | マグネトロンの組立方法 |