JPH0781554B2 - 熱シールド板付クライオポンプ - Google Patents
熱シールド板付クライオポンプInfo
- Publication number
- JPH0781554B2 JPH0781554B2 JP1009757A JP975789A JPH0781554B2 JP H0781554 B2 JPH0781554 B2 JP H0781554B2 JP 1009757 A JP1009757 A JP 1009757A JP 975789 A JP975789 A JP 975789A JP H0781554 B2 JPH0781554 B2 JP H0781554B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat shield
- cryopanel
- shield plate
- cryopump
- main
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
- F04B37/08—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、極低温に冷却したクライパネル面に、ガス分
子を凝縮，吸着して高速で排気するクライオポンプに関
する。
子を凝縮，吸着して高速で排気するクライオポンプに関
する。
従来の装置は、特開昭61−169682号公報に記載のよう
に、液体ヘリウム等で極低温に冷却した単一平坦面のク
ライオパネルを、ガス流入口の面に対してほぼ直角に、
かつ、一定間隔で複数枚配置している。このクライオパ
ネルがポンプ外の高温部から加熱されない様に、ガス流
入口面上でクライオパネルの前方の箇所に液体窒素等で
低温に冷却した前面熱シールド板を置き、クライオパネ
ルの両側面部には、同じく液体窒素で冷却したルーバブ
ラインド形の熱シールド板を配置している。また、クラ
イオパネルの奥方向、すなわち、クライオパネルの後側
にも液体窒素で冷却した後面熱シールド板を設けてい
る。ガス分子は、このルーバのすき間を通り、極低温の
クライオパネルに衝突し、そこで凝固，吸着される。
に、液体ヘリウム等で極低温に冷却した単一平坦面のク
ライオパネルを、ガス流入口の面に対してほぼ直角に、
かつ、一定間隔で複数枚配置している。このクライオパ
ネルがポンプ外の高温部から加熱されない様に、ガス流
入口面上でクライオパネルの前方の箇所に液体窒素等で
低温に冷却した前面熱シールド板を置き、クライオパネ
ルの両側面部には、同じく液体窒素で冷却したルーバブ
ラインド形の熱シールド板を配置している。また、クラ
イオパネルの奥方向、すなわち、クライオパネルの後側
にも液体窒素で冷却した後面熱シールド板を設けてい
る。ガス分子は、このルーバのすき間を通り、極低温の
クライオパネルに衝突し、そこで凝固，吸着される。
前面熱シールド板の裏面、後面熱シール板、および、ル
ーバの表面は、ふく射熱を吸収する様に黒色に表面処理
しており、外部の光線はこれらの熱シールド板に少なく
とも一度衝突したのち、クライオパネルに到達する様に
設計されている。
ーバの表面は、ふく射熱を吸収する様に黒色に表面処理
しており、外部の光線はこれらの熱シールド板に少なく
とも一度衝突したのち、クライオパネルに到達する様に
設計されている。
排気するガス分子は、ポンプ前方に隣設された前面熱シ
ールド板間のガス流入口からクライオポンプ内に流入す
る。ガス分子はルーバ、または、後面熱シールド板に一
回もしくは数回衝突を繰返しながら、あるガス分子は流
入口から流出し、あるガス分子はクライオパネルに到達
して凝固，吸着される。この凝固，吸着されるガス分子
の割合を高めれば、クライオポンプの排気速度を大きく
できる。
ールド板間のガス流入口からクライオポンプ内に流入す
る。ガス分子はルーバ、または、後面熱シールド板に一
回もしくは数回衝突を繰返しながら、あるガス分子は流
入口から流出し、あるガス分子はクライオパネルに到達
して凝固，吸着される。この凝固，吸着されるガス分子
の割合を高めれば、クライオポンプの排気速度を大きく
できる。
従来のクライオポンプでは、ルーバが、クライオパネル
に対してある角度αの傾きをもつて多段に配置されてい
る。いま、ガス分子が、ガス流入口に対面する面、Ａ面
に衝突して反射し、再び、他のルーバのＡ面の流面,B面
に衝突して反射し、再び、他のルーバのＡ面の裏面,B面
に衝突して反射した後、数回熱シールド板に衝突してガ
ス流入口からポンプ外に流出するケースが生じる。これ
によつて流入ガス分子数に対する流出するガス分子数の
割合が増加し、ガス分子の通過確率が小さくなり排気速
度が低下するという問題があつた。
に対してある角度αの傾きをもつて多段に配置されてい
る。いま、ガス分子が、ガス流入口に対面する面、Ａ面
に衝突して反射し、再び、他のルーバのＡ面の流面,B面
に衝突して反射し、再び、他のルーバのＡ面の裏面,B面
に衝突して反射した後、数回熱シールド板に衝突してガ
ス流入口からポンプ外に流出するケースが生じる。これ
によつて流入ガス分子数に対する流出するガス分子数の
割合が増加し、ガス分子の通過確率が小さくなり排気速
度が低下するという問題があつた。
本発明の目的は、クライオポンプのガス分子の通過確率
を大きくして、排気速度を高めることにある。
を大きくして、排気速度を高めることにある。
上記目的を達成するために、本発明の熱シールド板付ク
ライオポンプは、ガス分子流入面に対してほぼ直角に配
置され、ガス分子を凝固または吸着するために極低温に
冷却した主クライオパネルと、該主クライオパネルを高
温のふく射熱から保護するために低温に冷却した熱シー
ルド板とを備えたクライオポンプにおいて、前記主クラ
イオパネルから多段の副クライオパネルを枝状に延ば
し、該各副クライオパネルのガス分子流入面側に低温熱
シールド板を多段に配置したことを特徴とするものであ
る。
ライオポンプは、ガス分子流入面に対してほぼ直角に配
置され、ガス分子を凝固または吸着するために極低温に
冷却した主クライオパネルと、該主クライオパネルを高
温のふく射熱から保護するために低温に冷却した熱シー
ルド板とを備えたクライオポンプにおいて、前記主クラ
イオパネルから多段の副クライオパネルを枝状に延ば
し、該各副クライオパネルのガス分子流入面側に低温熱
シールド板を多段に配置したことを特徴とするものであ
る。
ルーバのＢ面側に衝立板を配置することによつて、ルー
バのＡ面に衝突して反射し、再び、他のルーバのＢ面に
衝突しようとするガス分子をこの衝立板で全数凝固，吸
着できる。それによつて、ガス分子の通過確率が大きく
なる。
バのＡ面に衝突して反射し、再び、他のルーバのＢ面に
衝突しようとするガス分子をこの衝立板で全数凝固，吸
着できる。それによつて、ガス分子の通過確率が大きく
なる。
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。クラ
イオポンプの前面に配置した低温の前面熱シールド板１
の間から破線矢印方向に排気すべきガス分子がクライオ
ポンプ内に流入する。極低温の主クライオパネル２を、
クライオポンプガス分子流入口面に対してほぼ直角に、
前面熱シールド板１の背後に配置し、その左右側面に、
角度α傾けた低温のルーバ３群を設けている。ルーバの
Ｂ面側には、ルーバ３とわずかなすき間を隔てて、角度
α傾けた衝立板４を主クライオパネル２と熱的に一体化
して設け、これを極低温に冷却している。前面熱シール
ド板１の背後にも、主クライオパネル２と一体化した衝
立板５も配置している。また、ポンプ奥行き方向の背後
には、低温の後面熱シールド板６を設けている。
イオポンプの前面に配置した低温の前面熱シールド板１
の間から破線矢印方向に排気すべきガス分子がクライオ
ポンプ内に流入する。極低温の主クライオパネル２を、
クライオポンプガス分子流入口面に対してほぼ直角に、
前面熱シールド板１の背後に配置し、その左右側面に、
角度α傾けた低温のルーバ３群を設けている。ルーバの
Ｂ面側には、ルーバ３とわずかなすき間を隔てて、角度
α傾けた衝立板４を主クライオパネル２と熱的に一体化
して設け、これを極低温に冷却している。前面熱シール
ド板１の背後にも、主クライオパネル２と一体化した衝
立板５も配置している。また、ポンプ奥行き方向の背後
には、低温の後面熱シールド板６を設けている。
極低温の主クライオパネル２、衝立板４及び衝立板５
は、クライオポンプ流入口方向からは直接見えないよう
に、配置されている。流入口からクライオポンプ内に流
入したガス分子は、ルーバ３、後面熱シールド板に衝突
を繰返しながら、あるガス分子は後面熱シールド板、ま
たは、ルーバＡ面に衝突した後、流入口から直接流出す
るものもあるが、衝立板を設けることにより、従来ルー
バＢ面、及び、前面熱シールド板の裏面に衝突，反射し
ようとしていたガス分子は、確実に衝立板4,5で凝固，
吸着することができ、流出するガス分子の割合を低減で
きる。したがつて、本実施例によれば、ガスの排気速度
を従来のルーバラインド形クライオポンプに比べて、大
きくすることができる。
は、クライオポンプ流入口方向からは直接見えないよう
に、配置されている。流入口からクライオポンプ内に流
入したガス分子は、ルーバ３、後面熱シールド板に衝突
を繰返しながら、あるガス分子は後面熱シールド板、ま
たは、ルーバＡ面に衝突した後、流入口から直接流出す
るものもあるが、衝立板を設けることにより、従来ルー
バＢ面、及び、前面熱シールド板の裏面に衝突，反射し
ようとしていたガス分子は、確実に衝立板4,5で凝固，
吸着することができ、流出するガス分子の割合を低減で
きる。したがつて、本実施例によれば、ガスの排気速度
を従来のルーバラインド形クライオポンプに比べて、大
きくすることができる。
第２図は、本発明の他の実施例を示すもので、主クライ
オパネル２は、破線矢印方向のガス流入口で、シエブロ
ン形の熱シールド板７によつて、外部のふく射熱から保
護されている。熱シールド板７の屈曲部の背後には、主
クライオパネル２と一体化した衝立板８を配置してい
る。
オパネル２は、破線矢印方向のガス流入口で、シエブロ
ン形の熱シールド板７によつて、外部のふく射熱から保
護されている。熱シールド板７の屈曲部の背後には、主
クライオパネル２と一体化した衝立板８を配置してい
る。
本実施例においても、従来、屈曲面で反射して流入口に
逆流して流出していたガス分子を衝立板８で確実に排気
できるので、従来のシエブロン形クライオポンプに比べ
排気速度を大きくとることができる。本実施例では、第
１図のルーバラインド形クライオポンプに比べ、ポンプ
奥行き深さを小さくできる利点も有している。
逆流して流出していたガス分子を衝立板８で確実に排気
できるので、従来のシエブロン形クライオポンプに比べ
排気速度を大きくとることができる。本実施例では、第
１図のルーバラインド形クライオポンプに比べ、ポンプ
奥行き深さを小さくできる利点も有している。
第３図は本発明になる他の実施例を示すもので、第１図
と異なる点は、ルーバ３の傾きαをほぼ零とし、衝立板
４も、その背後に、ルーバ３に平行に配置し、主クライ
オパネル２側のルーバ３に熱シールド板７を一体化して
いる。熱シールド板７で、主クライオパネル２を熱的に
保護している。本実施例によれば、ルーバ３の傾きαが
ほぼ零なので、ルーバ３に衝突したガス分子は、直接、
又は、熱シールド板７で反射した後、衝立板４に到達す
る確率が、第１図の場合に比べて、さらに増加する効果
がある。
と異なる点は、ルーバ３の傾きαをほぼ零とし、衝立板
４も、その背後に、ルーバ３に平行に配置し、主クライ
オパネル２側のルーバ３に熱シールド板７を一体化して
いる。熱シールド板７で、主クライオパネル２を熱的に
保護している。本実施例によれば、ルーバ３の傾きαが
ほぼ零なので、ルーバ３に衝突したガス分子は、直接、
又は、熱シールド板７で反射した後、衝立板４に到達す
る確率が、第１図の場合に比べて、さらに増加する効果
がある。
本発明によれば、ルーバ及び前面熱シールド板の背面
に、主クライオパネルと同温度に冷却した極低温の副ク
ライオパネル（衝立板）を設けることができるので、流
入したガス分子は、熱シールド板に衝突して反射した
後、主クライオポンプから多段の副クライオパネルに到
達する確率が大きくなり、ガスの排気速度を大きくする
ことができる。
に、主クライオパネルと同温度に冷却した極低温の副ク
ライオパネル（衝立板）を設けることができるので、流
入したガス分子は、熱シールド板に衝突して反射した
後、主クライオポンプから多段の副クライオパネルに到
達する確率が大きくなり、ガスの排気速度を大きくする
ことができる。
【図面の簡単な説明】 第１図は、本発明の一実施例を説明するクライオポンプ
のパネル配置断面図、第２図は他の例に係るパネル配置
の部分断面図、第３図は更に他の例に係るクライオポン
プのパネル配置断面図である。 １……前面熱シールド板、２……主クライオパネル、３
……ルーバ、４……衝立板、５……衝立板。
のパネル配置断面図、第２図は他の例に係るパネル配置
の部分断面図、第３図は更に他の例に係るクライオポン
プのパネル配置断面図である。 １……前面熱シールド板、２……主クライオパネル、３
……ルーバ、４……衝立板、５……衝立板。
Claims (1)
- 【請求項１】ガス分子流入面に対してほぼ直角に配置さ
れ、ガス分子を凝固または吸着するために極低温に冷却
した主クライオパネルと、該主クライオパネルを高温の
ふく射熱から保護するために低温に冷却した熱シールド
板とを備えたクライオポンプにおいて、前記主クライオ
パネルから多段の副クライオパネルを板状に延ばし、該
各副クライオパネルのガス分子流入面側に低温熱シール
ド板を多段に配置したことを特徴とする熱シールド板付
クライオポンプ。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1009757A JPH0781554B2 (ja) | 1989-01-20 | 1989-01-20 | 熱シールド板付クライオポンプ |
| US07/466,633 US5083445A (en) | 1989-01-20 | 1990-01-17 | Cryopump |
| EP90101089A EP0379992B1 (en) | 1989-01-20 | 1990-01-19 | Cryopump |
| DE69018278T DE69018278T2 (de) | 1989-01-20 | 1990-01-19 | Kryopumpe. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1009757A JPH0781554B2 (ja) | 1989-01-20 | 1989-01-20 | 熱シールド板付クライオポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02191876A JPH02191876A (ja) | 1990-07-27 |
| JPH0781554B2 true JPH0781554B2 (ja) | 1995-08-30 |
Family
ID=11729157
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1009757A Expired - Fee Related JPH0781554B2 (ja) | 1989-01-20 | 1989-01-20 | 熱シールド板付クライオポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0781554B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2596832A (en) | 2020-07-08 | 2022-01-12 | Edwards Vacuum Llc | Cryopump |
| GB2596831A (en) | 2020-07-08 | 2022-01-12 | Edwards Vacuum Llc | Cryopump |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59117891U (ja) * | 1983-01-31 | 1984-08-09 | 日本電子株式会社 | クライオポンプの接続装置 |
-
1989
- 1989-01-20 JP JP1009757A patent/JPH0781554B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02191876A (ja) | 1990-07-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |