JPH0794973B2 - 半田付状態の外観検査方法 - Google Patents

半田付状態の外観検査方法

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JPH0794973B2
JPH0794973B2 JP1330754A JP33075489A JPH0794973B2 JP H0794973 B2 JPH0794973 B2 JP H0794973B2 JP 1330754 A JP1330754 A JP 1330754A JP 33075489 A JP33075489 A JP 33075489A JP H0794973 B2 JPH0794973 B2 JP H0794973B2
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暢史 戸倉
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Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、半田付状態の外観検査方法に関するものであ
る。
(従来の技術) レーザ光による半田付状態の外観検査手段については、
従来、種々のものが提案されている(例えば特開昭63−
177042,177045号公報)。
(発明が解決しようとする課題) ところが上記従来手段は、何れも、以下に述べるような
レーザ光の照射による半田付状態の外観検査にとって重
要な技術課題は未解決のままであった。
すなわち半田付状態のうち、特に重要なのは、リードの
先端部に形成された半田フィレットの形状であって、半
田付状態の合否は、半田フィレットの形状の良否に大き
く左右されるものである。したがって半田付状態の合否
を判断するためには、当然の事ながら、レーザ光を計測
対象である半田フィレットに確実に照射せねばならな
い。ところが基板に実装された電子部品は、設計位置若
しくは理想位置に対して位置ずれや寸法誤差等を有して
いることから、設計位置を予めティーチングしておき、
この設計位置に向ってレーザ光を照射しても、レーザ光
が半田フィレットに当るとは限らない。殊に近年は、高
密度高集積化の要請から、リードのピッチは極小化する
傾向にあって、0.3mm以下の小ピッチのものもあり、こ
のようなものは、わずかな位置ずれがあるとティーチン
グした位置に向ってレーザ光を照射しても、レーザ光は
計測対象である半田フィレット以外の地点に照射されて
しまい、誤った計測結果が入手されることとなる。
また半田フィレットは、錫や鉛等の光沢のある金属であ
ることから、その表面は鏡面性を有する断面略山形状で
あり、レーザ光の照射方向や、受光手段の受光位置を工
夫しないと、反射光を確実に受光できず、ひいては計測
結果に狂いを生じることとなる。以上のように、レーザ
光を確実に半田フィレットに照射するための手段と、半
田フィレットに反射されたレーザ光を確実に受光するた
めの手段は未だ確立されていない実情にあった。
そこで本発明は、上記のような半田付状態の外観検査に
特有の技術課題を解決するための手段、すなわちレーザ
光を確実に検査対象である半田フィレットに照射でき、
またその反射光を確実に受光できる手段を提供すること
を目的とする。
(課題を解決するための手段) このために本発明は、基板に搭載された電子部品のモー
ルド体から延出するリードの側方に第1のスタート点を
設定し、この第1のスタート点からリードを横切る方向
にレーザ光を掃引照射して、このリードに反射されたレ
ーザ光を受光することにより、このリードのセンターを
検出し、次いでこのセンターを通るリードの延出方向の
線上に第2のスタート点を設定し、この第2のスタート
点からリードの延出方向にレーザ光を掃引照射し、その
反射光を上記リードの延出方向に対して直交する方向の
斜上方に設けられた受光手段により受光して、リードの
先端部に形成された半田フィレットの形状を計測する。
(作用) 上記構成において、リードに対して、このリードを横切
る方向にレーザ光を掃引照射して、このリードに反射さ
れたレーザ光を受光することにより、このリードのセン
ターを検出する。次いでこのセンターを通るリードの延
出方向にレーザ光を掃引照射することにより、検査対象
である半田フィレットにレーザ光を照射する。またその
反射光を、上記リードの延出方向に対して直交する方向
の斜上方に設けられた受光手段により受光して、半田フ
ィレットの形状を計測する。
(実施例) 次に、図面を参照しながら本発明の実施例を説明する。
第1図は半田付状態の外観検査装置の斜視図であって、
1は基板であり、その上面に電子部品(以下「チップ」
という)2が搭載されている。3はチップ2のモールド
体2aから側方へ多数本延出するリード、4はリード3の
先端部に形成された半田フィレットである。
5はレーザ装置であって、これから照射されたレーザス
ポット光は、ミラー6に反射されて半田フィレット4に
照射され、その反射光は受光手段7に入射する。その
際、ミラー6を2方向に回転させることにより、レーザ
光をXY方向に掃引照射する。8は集光素子、9はPSDの
ような位置検出素子である。図中、レーザ光は破線矢印
にて示している。
第2図及び第3図に示すように、ミラー6に反射された
レーザ光は、リード3や半田フィレット4の上方から照
射される。また受光手段7は、リード3の延出方向(Y
方向)に直交するX方向の斜上方に配設されている。こ
のようにレーザ光の照射方向や受光手段7の配設位置を
設定することにより、鏡面性を有する断面山形状の半田
フィレット4に反射されたレーザ光を、安定して確実に
受光することができる。第1図において、10は基板1に
形成された回路パターンのランド、Qは基板1の適所に
形成された位置基準マークであり、このマークQに対す
る各ランド10の座標位置は既知である。
本装置は上記のような構成より成り、次に半田付状態の
外観検査方法を説明する。
第3図及び第4図において、まずリード3の側方にスタ
ート点Aを設定し、ここからリード3を横切るX1方向に
レーザ光を掃引照射し、その反射光を受光手段7により
受光して、リード3のセンターBを検出する。このセン
ターBの検出は、各リード3毎にそれぞれ行われる。こ
のスタート点Aは、上述したように基板1の位置基準マ
ークQに対して既知の位置である各ランド10の側方に設
定される。次いでこのセンターBを通るY方向線上にス
タート点Cを設定し、リード3の延出方向(Y1方向)に
レーザ光を掃引照射し、半田フィレット4の形状を計測
する。
このように本方法は、まずリード3のセンターBを検出
し、次いでこのセンターBを通るリード3の延出方向に
レーザ光を照射するようにしているので、チップ2にX
方向の位置ずれがあっても、レーザ光を確実に半田フィ
レット4に照射することができる。またリード3の延出
方向に対して直交する斜上方に受光手段7を設けている
ので、上方から半田フィレット4に照射されて、この半
田フィレット4に反射された光を、確実にかつ安定して
受光手段7に受光することができる。
ところで、チップの中には、例えば第8図に示すミニト
ランジスタ2のように、リード3がモールド体2aの側壁
に沿って急勾配で屈曲しているものがある。このような
ものに、予め定められたY方向の計測エリアaに沿って
レーザ光を掃引照射して、半田フィレット4の形状を計
測する場合、チップ2がY方向に距離l位置ずれしてい
ると、レーザ光はリード3の肩部3aに反射され、この肩
部3aの高さを半田フィレット4の最大高さと誤認してし
まう。図中、鎖線は位置ずれのないチップを示してい
る。このような誤判断は、ミニトランジスタ以外にも、
タンタルコンデンサやコイルなどの急勾配のリードを有
するチップ、更にはQFPやSOPなどの側方に長く延出する
リードを有するチップにも生じやすいものである。そこ
で次に、このようにY方向の位置ずれがあっても、レー
ザ光を半田フィレットに確実に照射できる手段を説明す
る。
第5図において、チップ2にかなりのY方向の位置ずれ
があっても、モールド体2aの上面若しくはリード3の基
端部3aの上面から半田フィレット4の先端部まで十分に
カバーできる計測エリアa1を設定し、このエリアa1に沿
って、第1回目のレーザ光の掃引照射を行うことによ
り、このエリアa1におけるチップ2の外観を計測する。
N1は掃引ラインである。
第6図はその結果を示すものである。図中、HMAXはチッ
プ2の上面の高さであり、この高さHMAXに対して、所定
比(例えば0.7)の高さ0.7HMAXの地点Sを検出する。次
いでこの地点Sから半田フィレット4の先端部へ向って
所定のオフセット距離eの位置にオフセット点Soffset
を設定する。次いでこのオフセット点Soffsetから半田
フィレット4の先端部側へ向って、第2回目の計測エリ
アa2を設定し、破線矢印N2で示すように、このオフセッ
ト点Soffsetを第2回目の計測のスタート点としてレー
ザ光を掃比照射し、半田フィレット4の形状を詳細に計
測する。第7図はその計測結果を示すものである。
このように本方法によれば、チップ2にY方向の位置ず
れがあっても、半田付状態の合否判断にきわめて重要な
半田フィレット(リードの先端部から下り勾配で延出す
る部分)に確実にレーザ光を照射して、その形状を確実
に計測することができる。上記0.7,eなどの数値は、チ
ップの品種や要求される形状精度に応じて予め定められ
る。
また半田付状態の外観検査は、できるだけ高速、広範囲
にて行うことが望ましいが、本方法はレーザ光の掃引照
射を2回行わねばならないため、時間を要する難点があ
る。したがって第2回目の計測エリアa2のスタート点を
決定するために行われる第1回目の掃引照射は粗に行い
(例えば2mm/100ポイント)、半田フィレットの形状を
詳細に計測するために行われる第2回目の掃引照射は、
密に(例えば0.5mm/100ポイント)行えば、検査速度を
上げることができる。
(発明の効果) 以上説明したように、本発明によれば、電子部品にX方
向やY方向の位置ずれがあっても、半田フィレットに確
実にレーザ光を掃引照射し、且つその反射光を確実に受
光して、半田フィレットの形状を精密に計測できる。
【図面の簡単な説明】
図は本考案の実施例を示すものであって、第1図は半田
付状態の外観検査装置の斜視図、第2図は計測中の正面
図、第3図は同部分斜視図、第4図は同平面図、第5図
は側面図、第6図及び第7図は計測結果を示すグラフ
図、第8図は側面図である。 1……基板 2……電子部品 2a……モールド体 3……リード 3a……リードの基端部 4……半田フィレット 5……レーザ照射手段 7……受光手段 B……リードのセンター e……オフセット距離 Soffset……オフセット点

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】基板に搭載された電子部品のモールド体か
    ら延出するリードの側方に第1のスタート点を設定し、
    この第1のスタート点からリードを横切る方向にレーザ
    光を掃引照射して、このリードに反射されたレーザ光を
    受光することにより、このリードのセンターを検出し、
    次いでこのセンターを通るリードの延出方向の線上に第
    2のスタート点を設定し、この第2のスタート点からリ
    ードの延出方向にレーザ光を掃引照射し、その反射光を
    上記リードの延出方向に対して直交する方向の斜上方に
    設けられた受光手段により受光して、リードの先端部に
    形成された半田フィレットの形状を計測することを特徴
    とする半田付状態の外観検査方法。
  2. 【請求項2】半田フィレットに向ってレーザ光を掃引照
    射し、その反射光を受光手段により検出するようにした
    半田付状態の外観検査方法において、電子部分のモール
    ド体の上面、若しくはリードの基端部の上面から半田フ
    ィレットの先端部へ向ってレーザ光を掃引照射して、こ
    の電子部品の高さに対して、所定比の高さを有する地点
    を検出するとともに、この地点から半田フィレットの先
    端部へ向って所定のオフセット距離の位置にオフセット
    点を設定し、次いでこのオフセット点をスタート点とし
    て、半田フィレットの先端部へ向って再度レーザ光を掃
    引照射することにより、半田フィレットの形状を計測す
    るようにしたことを特徴とする半田付状態の外観検査方
    法。
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