JPH0213802A - 回路部品実装状態検査装置 - Google Patents
回路部品実装状態検査装置Info
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- JPH0213802A JPH0213802A JP16551988A JP16551988A JPH0213802A JP H0213802 A JPH0213802 A JP H0213802A JP 16551988 A JP16551988 A JP 16551988A JP 16551988 A JP16551988 A JP 16551988A JP H0213802 A JPH0213802 A JP H0213802A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「目次コ
概要
産業上の利用分野
従来の技術
発明が解決しようとす石課題
課題を解決するための手段(第1図)
作用
実施例
第1実施例(第2〜7図)
第2実施例(第8A、8B図)
拡張
我 発明の効果
[概要]
と プリント配線板上に実装された回路部品の実装
置 状態を検査する回路部品実装状態検査装置に関し
、半田付着量の観点から回路部品実装状態の良否判定を
より正確に行うことを目的とし、回路部品実装済プリン
ト配線板の表面に照射された光の反射光を受光して該表
面の輝度を検出する輝度検出手段と、検出された該輝度
から回路部品とプリント配線板とに溶着された半田部の
、該プリント配線板上から見た平面領域を判定する半田
領域判定手段と、該プリント配線板上の表面高さを検出
する表面高さ検出手段と、検出された該表面高さデータ
のうち該半田部平面領域に属する高さデータのみを抽出
する高さデータ抽出手段と、回路部品のサイズデータが
書き込まれた部品サイズデータ記憶手段と、抽出された
該高さデータ及び書き込まれている部品サイズデータを
用いて半田部の所定領域の体積を求める半田体積演算手
段と、半田部の該所定領域の体積の規定範囲が書き込ま
れた規定体積記憶手段と、求められた半田部の所定領域
の該体積とこれに対応する該規定範囲とを比較して半田
付着状態の良否を判定する半田付着良否判定手段と、該
良否判定結果を出力する判定結果出力手段と、を備えて
構成する。
置 状態を検査する回路部品実装状態検査装置に関し
、半田付着量の観点から回路部品実装状態の良否判定を
より正確に行うことを目的とし、回路部品実装済プリン
ト配線板の表面に照射された光の反射光を受光して該表
面の輝度を検出する輝度検出手段と、検出された該輝度
から回路部品とプリント配線板とに溶着された半田部の
、該プリント配線板上から見た平面領域を判定する半田
領域判定手段と、該プリント配線板上の表面高さを検出
する表面高さ検出手段と、検出された該表面高さデータ
のうち該半田部平面領域に属する高さデータのみを抽出
する高さデータ抽出手段と、回路部品のサイズデータが
書き込まれた部品サイズデータ記憶手段と、抽出された
該高さデータ及び書き込まれている部品サイズデータを
用いて半田部の所定領域の体積を求める半田体積演算手
段と、半田部の該所定領域の体積の規定範囲が書き込ま
れた規定体積記憶手段と、求められた半田部の所定領域
の該体積とこれに対応する該規定範囲とを比較して半田
付着状態の良否を判定する半田付着良否判定手段と、該
良否判定結果を出力する判定結果出力手段と、を備えて
構成する。
[産業上の利用分野]
本発明は、プリント配線板上に実装された回路部品の実
装状態を半田付着量の観点から検査する回路部品実装状
態検査装置に関する。
装状態を半田付着量の観点から検査する回路部品実装状
態検査装置に関する。
[従来の技術]
この種の回路部品実装状態検査装置では、従来、イメー
ジセンナを用いて輝度データを読み取り、これを2値化
して明部を半田付着領域と判定し、基準パターンと比較
することにより回路部品実装状態の良否を判定していた
。
ジセンナを用いて輝度データを読み取り、これを2値化
して明部を半田付着領域と判定し、基準パターンと比較
することにより回路部品実装状態の良否を判定していた
。
[発明が解決しようとする課題]
しかし、平面的に検査を行っているため、半田付着量が
不足していたり、逆に過多であったり、あるいは半田付
着量の分布が不均一で偏りがあっても、平面分布が正常
であれば良と判定し、回路部品実装状態の良否を誤判定
することがあった。
不足していたり、逆に過多であったり、あるいは半田付
着量の分布が不均一で偏りがあっても、平面分布が正常
であれば良と判定し、回路部品実装状態の良否を誤判定
することがあった。
本発明の目的は、上記問題点に鑑み、半田付着量の観点
から回路部品実装状態の良否判定をより正確に行うこと
ができる回路部品実装状態検査装置を提供することにあ
る。
から回路部品実装状態の良否判定をより正確に行うこと
ができる回路部品実装状態検査装置を提供することにあ
る。
[課題を解決するための手段]
第1図は本発明の原理図である。
図中、lは輝度検出手段であり、回路部品実装済プリン
ト配線板の表面に照射された光の反射光を受光して該表
面の輝度を検出する。
ト配線板の表面に照射された光の反射光を受光して該表
面の輝度を検出する。
2は半田領域判定手段であり、検出された該輝度から、
回路部品とプリント配線板とに溶着された半田部の、該
プリント配線板上から見た平面領域を判定する。
回路部品とプリント配線板とに溶着された半田部の、該
プリント配線板上から見た平面領域を判定する。
3は表面高さ検出手段であり、該プリント配線板上の表
面高さを検出する。
面高さを検出する。
4は高さデータ抽出手段であり、検出された該表面高さ
データのうち、該半田部平面領域に属する高さデータの
みを抽出する。
データのうち、該半田部平面領域に属する高さデータの
みを抽出する。
5は部品サイズデータ記憶手段であり、回路部品のサイ
ズデータが書き込まれている。
ズデータが書き込まれている。
6は半田体積演算手段であり、抽出された該高さデータ
及び書き込まれている部品サイズデータを用いて、半田
部の所定領域の体積を求める。
及び書き込まれている部品サイズデータを用いて、半田
部の所定領域の体積を求める。
7は規定体積記憶手段であり、半田部の該所定領域の体
積の規定範囲が書き込まれている。
積の規定範囲が書き込まれている。
8は半田付着良否判定手段であり、求められた半田部の
所定領域の該体積と、これに対応する該規定範囲とを比
較して、半田付着状態の良否を判定する。
所定領域の該体積と、これに対応する該規定範囲とを比
較して、半田付着状態の良否を判定する。
9は判定結果出力手段であり、判定結果を出力する。
上記輝度検出手段!及び表面高さ検出手段3は、例えば
、光位置検出器(PSD)を用いて構成される。
、光位置検出器(PSD)を用いて構成される。
また、上尺半田領域判定手段2は、例えば、検出された
面記輝度を2値化して明部と暗部とに分け、互いに接近
する明部を接続した領域を半田部平面領域と判定する。
面記輝度を2値化して明部と暗部とに分け、互いに接近
する明部を接続した領域を半田部平面領域と判定する。
さらに、半田部の上記所定領域は、例えば、連続する1
つの半田領域、または、連続する1つの半田領域を分割
した各領域である。
つの半田領域、または、連続する1つの半田領域を分割
した各領域である。
[作用]
輝度データにより半田領域が平面的に判定される。この
輝度データによれば、半田の高さによらず、半田部と配
線板部とを明瞭に区別することができる。
輝度データによれば、半田の高さによらず、半田部と配
線板部とを明瞭に区別することができる。
したがって、極めて低い半田部であっても、正確にその
領域を判定できる。
領域を判定できる。
高さデータのうち、この半田領域の高さデータのみが抽
出され、予め記憶されている部品サイズデータを用いて
半田のみの所定領域の体積が演算され、予め記憶されて
いる規定体積と比較され、半田付着良否が判定される。
出され、予め記憶されている部品サイズデータを用いて
半田のみの所定領域の体積が演算され、予め記憶されて
いる規定体積と比較され、半田付着良否が判定される。
したがって、3次元的に半田付着状態の良否を判定でき
、輝度信号のみによる平面的な半田付着状態の検査では
検出不可能な半田付着不良を検出できる。
、輝度信号のみによる平面的な半田付着状態の検査では
検出不可能な半田付着不良を検出できる。
[実施例]
以下、図面に基づいて本発明の詳細な説明する。
(+)第1実施例
第2図は回路部品実装状態検査装置の光学系の基本構成
を示す。
を示す。
x−YステージlO上に載置されたプリント配線板12
上には、回路部品としてのチップ部品14が半田16A
、16Bにより多数実装されている。
上には、回路部品としてのチップ部品14が半田16A
、16Bにより多数実装されている。
一方、x−yステージIOの上方にはポリゴンミラー1
8が配設され、ポリゴンミラー18の側方には半導体レ
ーザ20がその先軸をポリゴンミラー18へ向けて配設
され、ポリゴンミラー18と半導体レーザ20との間に
はコリメートレンズ22がその先軸を半導体レーザ20
の光軸に一致させて配設されている。また、この先軸と
略直交する方向の、ポリゴンミラー18の側方には、「
θレンズ24を介してミラー25が配設され、ミラー2
5の側方には光センサ26がその先軸、をポリゴンミラ
ー18へ向けて配設されている。ポリゴンミラー18の
回転軸にはステッピングモータ18λが連結され、ステ
ッピングモータ18aの回転軸にはパルスジェネレータ
18bが連結されている。
8が配設され、ポリゴンミラー18の側方には半導体レ
ーザ20がその先軸をポリゴンミラー18へ向けて配設
され、ポリゴンミラー18と半導体レーザ20との間に
はコリメートレンズ22がその先軸を半導体レーザ20
の光軸に一致させて配設されている。また、この先軸と
略直交する方向の、ポリゴンミラー18の側方には、「
θレンズ24を介してミラー25が配設され、ミラー2
5の側方には光センサ26がその先軸、をポリゴンミラ
ー18へ向けて配設されている。ポリゴンミラー18の
回転軸にはステッピングモータ18λが連結され、ステ
ッピングモータ18aの回転軸にはパルスジェネレータ
18bが連結されている。
したがって、半導体レーザ20から射出されたレーザビ
ームは、コリメートレンズ22で平行化され、ポリゴン
ミラーI8の一面で反射され、fθレンズ24を通り、
次いで、ミラー25で下方に反射されてプリント配線板
12の表面を照射し、光スポットを形成する。ステッピ
ングモータ18aによりポリゴンミラー!8を回転させ
ると、レーザビームLBが第2図X方向に周期的に振ら
れ、各周期におけるポリゴンミラー18の所定回転角で
レーザビームLBが光センサ26により検出され、ポリ
ゴンミラー18の回転速度に応じた周期的な同期パルス
S、が光センサ26から出力される。(第5図参照)ま
た、ポリゴンミラー18が一定微少角回転する毎にパル
スジェネレータ18bから1個の回転パルスS+が出力
される(第5図参照)。
ームは、コリメートレンズ22で平行化され、ポリゴン
ミラーI8の一面で反射され、fθレンズ24を通り、
次いで、ミラー25で下方に反射されてプリント配線板
12の表面を照射し、光スポットを形成する。ステッピ
ングモータ18aによりポリゴンミラー!8を回転させ
ると、レーザビームLBが第2図X方向に周期的に振ら
れ、各周期におけるポリゴンミラー18の所定回転角で
レーザビームLBが光センサ26により検出され、ポリ
ゴンミラー18の回転速度に応じた周期的な同期パルス
S、が光センサ26から出力される。(第5図参照)ま
た、ポリゴンミラー18が一定微少角回転する毎にパル
スジェネレータ18bから1個の回転パルスS+が出力
される(第5図参照)。
プリント配線板12上の上記光スポットのx−Y平面位
置座標は次のようにして得られる。
置座標は次のようにして得られる。
すなわち、ポリゴンミラー18が静止し、x−Yステー
ジ!Oが移動している場合には、x−Yステージ18か
ら構成される装置座標(X、Y)を光スポットの位置座
標とすることができる。ここに、X軸方向は光スポット
の走査方向に平行であり、Y軸方向は光スポットの走査
方向に垂直であるとする。
ジ!Oが移動している場合には、x−Yステージ18か
ら構成される装置座標(X、Y)を光スポットの位置座
標とすることができる。ここに、X軸方向は光スポット
の走査方向に平行であり、Y軸方向は光スポットの走査
方向に垂直であるとする。
実際にはポリゴンミラー18が例えば第2図矢印A方向
に回転し、光スポットがプリント配線板!2上を一走査
する毎にx−Yステージ!0がY軸方向へ!ステップ、
例えば10μ■移動する。したがって、x−Yステージ
位置座標(X、Y)の座標値Xを、第5図に示す如く回
転パルスSIのうち同期パルスS、の前後の所定数のパ
ルスを無視した走査パルスS、の計数値Cxで置き換え
ることにより、光スポットの位置座標を得る。この計数
値Cxは、同期パルスS、でクリアされる。
に回転し、光スポットがプリント配線板!2上を一走査
する毎にx−Yステージ!0がY軸方向へ!ステップ、
例えば10μ■移動する。したがって、x−Yステージ
位置座標(X、Y)の座標値Xを、第5図に示す如く回
転パルスSIのうち同期パルスS、の前後の所定数のパ
ルスを無視した走査パルスS、の計数値Cxで置き換え
ることにより、光スポットの位置座標を得る。この計数
値Cxは、同期パルスS、でクリアされる。
光スポットの一走査におけるデータサンプリング範囲が
プリント配線板12のX方向幅より小さい場合には、x
−YステージIOをX方向へ一定距離ブロック移動させ
る必要があり、x−YステージIOの座標値Xと上記計
数値Cxとを組み合わせて光スポットのX座標を得る。
プリント配線板12のX方向幅より小さい場合には、x
−YステージIOをX方向へ一定距離ブロック移動させ
る必要があり、x−YステージIOの座標値Xと上記計
数値Cxとを組み合わせて光スポットのX座標を得る。
次に、光スポットのZ方向(X−Y面に直交する方向)
位置及び光スポツト面の輝度について説明する。
位置及び光スポツト面の輝度について説明する。
X−Yステージ10の斜め上方には結像レンズ28を介
して光位置検出器(PSD)30が配設されている。第
4A図に示す如く、光位置検出器30の出力端子30a
、30bから取り出される電流値を11、ifとすると
、プリント配線板12の表面に照射されたレーザビーム
LBの光スポツト位置が(t + −if)/(t 、
+ t t)に対応し、光スポツト面の輝度が(+++
i*)に対応する。
して光位置検出器(PSD)30が配設されている。第
4A図に示す如く、光位置検出器30の出力端子30a
、30bから取り出される電流値を11、ifとすると
、プリント配線板12の表面に照射されたレーザビーム
LBの光スポツト位置が(t + −if)/(t 、
+ t t)に対応し、光スポツト面の輝度が(+++
i*)に対応する。
基板I4上の光スポットA%B、Cは、それぞれ光位置
検出器30の受光面上の位置A°、Bo、C゛に結、像
される。したがって、両者の対応関係から光スポットの
Z方向位置を知得することができる。
検出器30の受光面上の位置A°、Bo、C゛に結、像
される。したがって、両者の対応関係から光スポットの
Z方向位置を知得することができる。
第4B図は、これらの位置と
(i + −i *)/(i t+ i *)との関係
を示す。
を示す。
なお、本実施例では簡略化のために光位置検出器30を
1個配設した場合を説明するが、第2図において光位置
検出器を左右対象に配設し、雨検出器の出力信号を切り
換えて取得する構成であってもよい。
1個配設した場合を説明するが、第2図において光位置
検出器を左右対象に配設し、雨検出器の出力信号を切り
換えて取得する構成であってもよい。
次に、第3図に基づいて回路部品実装状態検査装置全体
のハードウェア構成を説明する。
のハードウェア構成を説明する。
光位置検出器30の2つの出力端子から取り出される電
流+1sllは、それぞれアンプ32.34により増幅
されて1..11となり、これらが加算器36、減算器
38へ供給されて、それぞれ■1+■2、I+ Ig
が作成される。I++Inは光スポツト面の輝度に対応
しており、A/D変換器40によりデジタル変換され、
DMA制御により輝度メモリ42の所定アドレスへ書き
込まれる。このアドレスは、上述した光スポットのX−
Y平面位置座標に等しく、後述するアドレス作成回路4
3により指定される。
流+1sllは、それぞれアンプ32.34により増幅
されて1..11となり、これらが加算器36、減算器
38へ供給されて、それぞれ■1+■2、I+ Ig
が作成される。I++Inは光スポツト面の輝度に対応
しており、A/D変換器40によりデジタル変換され、
DMA制御により輝度メモリ42の所定アドレスへ書き
込まれる。このアドレスは、上述した光スポットのX−
Y平面位置座標に等しく、後述するアドレス作成回路4
3により指定される。
一方、加算器36及び減算器38の出力が除算器44へ
供給されて(I I−11) /(I 、+ I t)
が作成される。この値は、光位置検出器30の受光面に
結像された光位置に対応しており、A/D変換器45で
デジタル変換され、高さメモリ46の上記指定アドレス
に書き込まれる。
供給されて(I I−11) /(I 、+ I t)
が作成される。この値は、光位置検出器30の受光面に
結像された光位置に対応しており、A/D変換器45で
デジタル変換され、高さメモリ46の上記指定アドレス
に書き込まれる。
輝度メモリ42及び高さメモリ46はパス48に接続さ
れている。このバス48にはさらに、MPU50、プロ
グラムメモリ52、部品データメモリ54、規定値メモ
リ55、作業メモリ56、不良位置出カメモリ58及び
出力ポートロ0が接続されている。これら各種メモリは
実際にはメモリの所定エリアに対応しているが、説明の
都合上、第3図では別々のものとして示している。部品
データメモリ54には、プリント配線板12上に実装さ
れた各部品の中心点位置座標、部品の配置方向、部品の
種類及び各種部品のサイズデータが書き込まれている。
れている。このバス48にはさらに、MPU50、プロ
グラムメモリ52、部品データメモリ54、規定値メモ
リ55、作業メモリ56、不良位置出カメモリ58及び
出力ポートロ0が接続されている。これら各種メモリは
実際にはメモリの所定エリアに対応しているが、説明の
都合上、第3図では別々のものとして示している。部品
データメモリ54には、プリント配線板12上に実装さ
れた各部品の中心点位置座標、部品の配置方向、部品の
種類及び各種部品のサイズデータが書き込まれている。
これらのデータは、部品自動実装装置に用いられるデー
タに等しく、回路部品実装状態検査装置用に特別に作成
する必要がない。
タに等しく、回路部品実装状態検査装置用に特別に作成
する必要がない。
プログラムメモリ52に格納されたプログラムに従い、
MPU50から出力ポートロ0を介しドライバ62へ回
転制御パルスが供給されると、ドライバ62からポリゴ
ンミラー18の回転駆動用ステッピングモータ18aへ
駆動パルスが供給され、ポリゴンミラー18が回転して
パルスジェネレータ18bから第5図に示すような回転
パルスS1がアドレス作成回路43へ供給される。また
、光センサ26からアドレス作成回路43へ第5図に示
すような同期パルスStが供給される。
MPU50から出力ポートロ0を介しドライバ62へ回
転制御パルスが供給されると、ドライバ62からポリゴ
ンミラー18の回転駆動用ステッピングモータ18aへ
駆動パルスが供給され、ポリゴンミラー18が回転して
パルスジェネレータ18bから第5図に示すような回転
パルスS1がアドレス作成回路43へ供給される。また
、光センサ26からアドレス作成回路43へ第5図に示
すような同期パルスStが供給される。
アドレス作成回路43は、これらのパルス5lxS、を
用いて上述の如くサンプリングパルスS、を作成し、こ
のサンプリングパルスS、及びX−YステージIOから
構成される装置座標を用いて、上述の如く光スポットの
X−Y平面位置座標を作成し、これをアドレスとして出
力する。
用いて上述の如くサンプリングパルスS、を作成し、こ
のサンプリングパルスS、及びX−YステージIOから
構成される装置座標を用いて、上述の如く光スポットの
X−Y平面位置座標を作成し、これをアドレスとして出
力する。
また、アドレス作成回路43は、A/D変換器40.4
4ヘサンプリングパルスS3を供給してデータサンプリ
ング及びデジタル変換のタイミングを制御する。
4ヘサンプリングパルスS3を供給してデータサンプリ
ング及びデジタル変換のタイミングを制御する。
X−Y7. データIOは、MPU50から出力ポート
ロ0を介しドライバ64へ供給される移動制御パルスに
基づき、光センサ26から供給される同期パルスS、に
同期してY軸方向へステップ駆動され、Uターン時にX
軸方向へブロック駆動される。
ロ0を介しドライバ64へ供給される移動制御パルスに
基づき、光センサ26から供給される同期パルスS、に
同期してY軸方向へステップ駆動され、Uターン時にX
軸方向へブロック駆動される。
また、不良位置出カメモリ58に半田付着不良が書き込
まれている場合には、出力ポートロ0を介し不良位置出
力装置66へ不良位置及び不良の種類が出力される。こ
の不良位置出力装置66は例えばX−Yプロッタであり
、透明シートに不良位置を記入する。
まれている場合には、出力ポートロ0を介し不良位置出
力装置66へ不良位置及び不良の種類が出力される。こ
の不良位置出力装置66は例えばX−Yプロッタであり
、透明シートに不良位置を記入する。
次に、DMA制御により輝度メモリ42及び高さメモリ
46へ書き込まれたデータの処理手順を第6図に基づい
て説明する。
46へ書き込まれたデータの処理手順を第6図に基づい
て説明する。
(10G)輝度メモリ42内において、各回路部品に対
応し、第7図(A)に示す如く、ウィンド68を設定す
る。そして、ウィンド68内の輝度データを2値化する
。2値化の閾値は、例えば輝度データのヒストグラムを
作成し、その複数のピークのうち、最も輝度の大きいピ
ークと最も輝度の小さいピークの中点の輝度とする。こ
の2値化処理により、第7図(A)に示す如く、接近し
た明部70A、70B及び明部72A、72Bが得られ
る。明部70A、70g間及び明部72A、72B間の
暗部は、第2図に示す半田16A、16Bの急斜面部に
対応している。明部には“l”が書き込まれており、暗
部には“0°が書き込まれている。
応し、第7図(A)に示す如く、ウィンド68を設定す
る。そして、ウィンド68内の輝度データを2値化する
。2値化の閾値は、例えば輝度データのヒストグラムを
作成し、その複数のピークのうち、最も輝度の大きいピ
ークと最も輝度の小さいピークの中点の輝度とする。こ
の2値化処理により、第7図(A)に示す如く、接近し
た明部70A、70B及び明部72A、72Bが得られ
る。明部70A、70g間及び明部72A、72B間の
暗部は、第2図に示す半田16A、16Bの急斜面部に
対応している。明部には“l”が書き込まれており、暗
部には“0°が書き込まれている。
(102)次に、一定距離以内で互いに接近した明部7
0Aと70Bとの間のデータを反転して両者を接続し、
明部72Aと72Bとの間のデータを反転して接続し、
第7図(B)に示す如く、これらの領域を半田部70G
、72Gとする。
0Aと70Bとの間のデータを反転して両者を接続し、
明部72Aと72Bとの間のデータを反転して接続し、
第7図(B)に示す如く、これらの領域を半田部70G
、72Gとする。
(104)ここで、プリント配線板12は、その面積が
広い場合、例えば50(lsmX600mmである場合
には、最大±2mm程度の緩やかな反りがあり、一方、
チップ部品14の高さの最小値は0.5am程度である
。
広い場合、例えば50(lsmX600mmである場合
には、最大±2mm程度の緩やかな反りがあり、一方、
チップ部品14の高さの最小値は0.5am程度である
。
したがって、ウィンド設定毎にプリント配線板12の高
さを求める必要がある。そこで、高さメモリ46内にお
いて、ウィンド68に対応したウィンド74を設定し、
第7図(C)に示す如く、ウィンド74内かつ半田部7
0Cと半田部72Cとを接続した領域以外のプリント配
線板部76の高。
さを求める必要がある。そこで、高さメモリ46内にお
いて、ウィンド68に対応したウィンド74を設定し、
第7図(C)に示す如く、ウィンド74内かつ半田部7
0Cと半田部72Cとを接続した領域以外のプリント配
線板部76の高。
さデータから基板高さを求める。
(106)次に、第7図(B)に示す輝度2値データと
同図(C)に示す高さデータについて、対応するアドレ
ス毎に論理積を取る。これにより、第7図(D)に示す
如く、ウィンド74内は有効部70.72以外のデータ
が“0”になる。即ち、半田部のみの高さデータが抽出
される。
同図(C)に示す高さデータについて、対応するアドレ
ス毎に論理積を取る。これにより、第7図(D)に示す
如く、ウィンド74内は有効部70.72以外のデータ
が“0”になる。即ち、半田部のみの高さデータが抽出
される。
(10g)ここで、第7図(E)には、同図(D)の−
点鎖線78上の高さデータが示されている。有効部70
.72の高さデータには、ステップ1゜4で求めた基板
高さ及びチップ部品14自体の高さが含まれている。そ
こで、これらの高さを半田部の高さから引いて、第7図
(F)に示す如く、半田部のみの高さを算出する。チッ
プ部品14の高さは、ウィンド74の位置をインデック
スとして部品データメモリ54内のテーブルを参照する
ことにより得られる。
点鎖線78上の高さデータが示されている。有効部70
.72の高さデータには、ステップ1゜4で求めた基板
高さ及びチップ部品14自体の高さが含まれている。そ
こで、これらの高さを半田部の高さから引いて、第7図
(F)に示す如く、半田部のみの高さを算出する。チッ
プ部品14の高さは、ウィンド74の位置をインデック
スとして部品データメモリ54内のテーブルを参照する
ことにより得られる。
(110)次に、第7図(F)に示す両側の各々の半田
部縦断面積を求め、同図(D)に示す一点鎖線78に直
交する方向の距離で該断面積を積分することにより半田
16A、16Bの各々の体積Vを算出する。この半田体
積Vは、有効部70.72内のデータをそれぞれ単に加
算することにより得られる。
部縦断面積を求め、同図(D)に示す一点鎖線78に直
交する方向の距離で該断面積を積分することにより半田
16A、16Bの各々の体積Vを算出する。この半田体
積Vは、有効部70.72内のデータをそれぞれ単に加
算することにより得られる。
(112) V < V ml 11であれば半田不足
と判定し、(114)半田不足を示すデータ及びこのチ
ップ部品I4の位置データを対にして不良位置出カメモ
リ58へ書き込む。
と判定し、(114)半田不足を示すデータ及びこのチ
ップ部品I4の位置データを対にして不良位置出カメモ
リ58へ書き込む。
(116)V > V waxであれば半田過多と判定
し、(11g)半田過多を示すデータ及びこのチップ部
品14の位置データを対にして不良位置出カメモリ58
へ書き込む。
し、(11g)半田過多を示すデータ及びこのチップ部
品14の位置データを対にして不良位置出カメモリ58
へ書き込む。
(120)全回路部品について処理を終了していなけれ
ば、ステップ100へ戻り上記処理を繰り返す。
ば、ステップ100へ戻り上記処理を繰り返す。
全部品について処理を終了した場合には、(122)不
良位置出カメモリ58に格納されたデータを出力ポート
ロ0を介し出力装置66へ出力する。
良位置出カメモリ58に格納されたデータを出力ポート
ロ0を介し出力装置66へ出力する。
なお、輝度メモリ42に格納されたデータを用いて、従
来の平面的なパターンチエツクも行われ、その不良も不
良位置出カメモリ58に書き込まれ、出力装置66へ出
力される。
来の平面的なパターンチエツクも行われ、その不良も不
良位置出カメモリ58に書き込まれ、出力装置66へ出
力される。
(2)第2実施例
次に本発明の第2実施例を第8A図及び第8B図に基づ
いて説明する。
いて説明する。
第8A図はプリント配線板12上に実装されたチップ部
品I4の平面図であり、第8B図は第8A図のB−B線
断面図である。
品I4の平面図であり、第8B図は第8A図のB−B線
断面図である。
上記第1実施例では、半田16A、16Bの各々につい
て半田体積が規定範囲内に有るかどうかを判定したが、
第8A図及び第8B図に示す如く、半田付着量の分布に
偏りがある場合には、全半田体積が規定範囲内であって
も半田付は不良と判定すべきものもある。
て半田体積が規定範囲内に有るかどうかを判定したが、
第8A図及び第8B図に示す如く、半田付着量の分布に
偏りがある場合には、全半田体積が規定範囲内であって
も半田付は不良と判定すべきものもある。
そこで、この第2実施例では、チップ部品14の端面を
通る分割面80の両側の半田部16a116bの各々に
ついて半田体積を求め、規定値と比較する。第2図に示
す半田16Bについても同様である。
通る分割面80の両側の半田部16a116bの各々に
ついて半田体積を求め、規定値と比較する。第2図に示
す半田16Bについても同様である。
データ処理手順は第1実施例の説明から明らかであるの
で省脱する。
で省脱する。
(3)拡張
なお、本発明には外にも種々の変形例が含まれる。
例えば、上記実施例では光位置検出器を用いて輝度検出
手段及び表面高さ検出手段を構成した場合を説明したが
、光位置検出器の代わりにイメージセンサを用いて構成
してもよい。
手段及び表面高さ検出手段を構成した場合を説明したが
、光位置検出器の代わりにイメージセンサを用いて構成
してもよい。
また、輝度データをメモリに書き込む前に比較器で輝度
を2値化しておけば、輝度メモリの容量を小さくするこ
とができる。
を2値化しておけば、輝度メモリの容量を小さくするこ
とができる。
さらに、光位置検出器を複数配設して半田急傾斜部から
の反射光をも充分受光できる工うにし・、各光位置検出
器の輝度出力を比較器で2値化し、いずれかの比較器が
明部であると判定した場合のみ、高さデータを累積加算
して半田体積をリアルタイムで求めるようにすれば、輝
度メモリ及び高さメモリが不要になる。
の反射光をも充分受光できる工うにし・、各光位置検出
器の輝度出力を比較器で2値化し、いずれかの比較器が
明部であると判定した場合のみ、高さデータを累積加算
して半田体積をリアルタイムで求めるようにすれば、輝
度メモリ及び高さメモリが不要になる。
また、回路部品に記入されたパターンを輝度データの集
合から読み取って回路部品の種類を判定すれば、部品サ
イズデータ記憶手段には部品の種類とサイズのみを書き
込んでおけばよく、汎用性がある。
合から読み取って回路部品の種類を判定すれば、部品サ
イズデータ記憶手段には部品の種類とサイズのみを書き
込んでおけばよく、汎用性がある。
[発明の効果]
以上説明したように、本発明によれば、輝度データによ
り半田領域を平面的に判定し、検出された高さデータの
うち、この半田領域の高さデータのみを抽出し、予め記
憶されている部品サイズデータを用いて半田のみの所定
領域の体積を演算し、予め記憶されている規定体積と比
較して半田付着良否を判定するので、3次元的に半田付
着状態の良否が判定され、平面的には正常であるが半田
付着量が不足していたり、逆に過多であったりしても、
半田付着状態の良否を判定することができ、したがって
、回路部品実装状態の良否判定をより正確に行うことが
可能になるという優れた効果を奏し、電子回路の信頼性
の向上に寄与するところが大きい。
り半田領域を平面的に判定し、検出された高さデータの
うち、この半田領域の高さデータのみを抽出し、予め記
憶されている部品サイズデータを用いて半田のみの所定
領域の体積を演算し、予め記憶されている規定体積と比
較して半田付着良否を判定するので、3次元的に半田付
着状態の良否が判定され、平面的には正常であるが半田
付着量が不足していたり、逆に過多であったりしても、
半田付着状態の良否を判定することができ、したがって
、回路部品実装状態の良否判定をより正確に行うことが
可能になるという優れた効果を奏し、電子回路の信頼性
の向上に寄与するところが大きい。
そのうえ、輝度データにより半田領域を平面的に判定す
るので、半田の高さによらず、半田部と配線板部とを明
瞭に区別することができ、極めて低い半田部であっても
正確にその領域を判定でき、したがって、半田体積を正
確に測定して正確な半田付着状態の良否を判定すること
ができるという優れた効果も奏する。
るので、半田の高さによらず、半田部と配線板部とを明
瞭に区別することができ、極めて低い半田部であっても
正確にその領域を判定でき、したがって、半田体積を正
確に測定して正確な半田付着状態の良否を判定すること
ができるという優れた効果も奏する。
輝度検出手段および表面高さ検出手段として光位置検出
器を用いた場合には、処理データ量が少なくて済み、処
理速度を高速化でき、しかも装置の構成を簡単化するこ
とができるという効果を奏する。
器を用いた場合には、処理データ量が少なくて済み、処
理速度を高速化でき、しかも装置の構成を簡単化するこ
とができるという効果を奏する。
また、連続する1つの半田領域を分割して各部分につき
上記良否判定を行うようにすれば、半田付着量の不均一
分布による不良をも判定することができるという効果も
奏する。
上記良否判定を行うようにすれば、半田付着量の不均一
分布による不良をも判定することができるという効果も
奏する。
第1図は本発明の原理構成を示すブロック図、第2図は
本発明の第1実施例の回路部品実装状態検査装置の光学
系配置図、 第3図は第1実施例の回路部品実装状態検査装置の全体
構成を示すブロック図、 第4A図及び第4B図は高さ検出説明図、第5図は光ス
ポットの平面位置座標説明図、第6図は輝度データ及び
高さデータの処理手順を示すフローチャート、 第7図(A)〜(F)はデータ処理手順説明図、第8A
図は第2実施例の説明に供するチップ部品14の部分平
面図、 第8B図は第8A図のB−B線断面図である。 図中、 IOはX−Yステージ 】2はプリント配線板 14はチップ部品 +6A、16Bは半田 18はポリゴンミラー 20は半導体レーザ 22はコリメートレンズ 24はrθレンズ 26は光センサ 28は結像レンズ 30は光位置検出器 80は分割面 回路部品実装状態検査装置の光学系 第2図 高さ検出説明図 第4A図 第4B図 輝度データ及び高さデータの処理手順 第6図 (E) (F)第7図
本発明の第1実施例の回路部品実装状態検査装置の光学
系配置図、 第3図は第1実施例の回路部品実装状態検査装置の全体
構成を示すブロック図、 第4A図及び第4B図は高さ検出説明図、第5図は光ス
ポットの平面位置座標説明図、第6図は輝度データ及び
高さデータの処理手順を示すフローチャート、 第7図(A)〜(F)はデータ処理手順説明図、第8A
図は第2実施例の説明に供するチップ部品14の部分平
面図、 第8B図は第8A図のB−B線断面図である。 図中、 IOはX−Yステージ 】2はプリント配線板 14はチップ部品 +6A、16Bは半田 18はポリゴンミラー 20は半導体レーザ 22はコリメートレンズ 24はrθレンズ 26は光センサ 28は結像レンズ 30は光位置検出器 80は分割面 回路部品実装状態検査装置の光学系 第2図 高さ検出説明図 第4A図 第4B図 輝度データ及び高さデータの処理手順 第6図 (E) (F)第7図
Claims (1)
- (1)、回路部品実装済プリント配線板の表面に照射さ
れた光の反射光を受光して該表面の輝度を検出する輝度
検出手段(1)と、 検出された該輝度から、回路部品とプリント配線板とに
溶着された半田部の、該プリント配線板上から見た平面
領域を判定する半田領域判定手段(2)と、 該プリント配線板上の表面高さを検出する表面高さ検出
手段(3)と、 検出された該表面高さデータのうち、該半田部平面領域
に属する高さデータのみを抽出する高さデータ抽出手段
(4)と、 回路部品のサイズデータが書き込まれた部品サイズデー
タ記憶手段(5)と、 抽出された該高さデータ及び書き込まれている部品サイ
ズデータを用いて、半田部の所定領域の体積を求める半
田体積演算手段(6)と、 半田部の該所定領域の体積の規定範囲が書き込まれた規
定体積記憶手段(7)と、 求められた半田部の所定領域の該体積と、これに対応す
る該規定範囲とを比較して、半田付着状態の良否を判定
する半田付着良否判定手段(8)と、該良否判定結果を
出力する判定結果出力手段(9)と、 を有することを特徴とする回路部品実装状態検査装置。 2)、光位置検出器(30)を用いて前記輝度検出手段
(1)及び前記表面高さ検出手段(2)を構成したこと
を特徴とする請求項1記載の回路部品実装状態検査装置
。 3)、前記半田領域判定手段(2)は、検出された前記
輝度を2値化して明部と暗部とに分け(100)、互い
に接近する明部を接続した領域を半田部平面領域と判定
する(102)ことを特徴とする請求項1又は2記載の
回路部品実装状態検査装置。 4)、半田部の前記所定領域は、連続する1つの半田領
域(16A、16B)であることを特徴とする請求項1
記載の回路部品実装状態検査装置。 5)、半田部の前記所定領域は、連続する1つの半田領
域を分割した各領域(16a、16b)であることを特
徴とする請求項1記載の回路部品実装状態検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16551988A JPH0213802A (ja) | 1988-07-01 | 1988-07-01 | 回路部品実装状態検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16551988A JPH0213802A (ja) | 1988-07-01 | 1988-07-01 | 回路部品実装状態検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0213802A true JPH0213802A (ja) | 1990-01-18 |
Family
ID=15813935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16551988A Pending JPH0213802A (ja) | 1988-07-01 | 1988-07-01 | 回路部品実装状態検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0213802A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0447210A (ja) * | 1990-06-13 | 1992-02-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザスポット光による高さ計測装置 |
| JPH0510731A (ja) * | 1991-02-15 | 1993-01-19 | Matsushita Electric Works Ltd | 半田付け検査方法 |
| US5740729A (en) * | 1993-05-21 | 1998-04-21 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Printing apparatus and method for inspecting printed materials |
| US8644590B2 (en) | 2009-05-13 | 2014-02-04 | Koh Young Technology Inc. | Method of measuring measurement target |
| JP2015001404A (ja) * | 2013-06-13 | 2015-01-05 | 富士通株式会社 | 検査装置、検査方法および検査プログラム |
-
1988
- 1988-07-01 JP JP16551988A patent/JPH0213802A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0447210A (ja) * | 1990-06-13 | 1992-02-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザスポット光による高さ計測装置 |
| JPH0510731A (ja) * | 1991-02-15 | 1993-01-19 | Matsushita Electric Works Ltd | 半田付け検査方法 |
| US5740729A (en) * | 1993-05-21 | 1998-04-21 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Printing apparatus and method for inspecting printed materials |
| US8644590B2 (en) | 2009-05-13 | 2014-02-04 | Koh Young Technology Inc. | Method of measuring measurement target |
| US9256912B2 (en) | 2009-05-13 | 2016-02-09 | Koh Young Technology Inc. | Method of measuring measurement target |
| JP2015001404A (ja) * | 2013-06-13 | 2015-01-05 | 富士通株式会社 | 検査装置、検査方法および検査プログラム |
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