JPH0797683A - 成膜装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 装置内の掃除が簡単で、かつ、成膜に使用さ
れた材料の回収が簡単なものとなる技術を提供すること
である。 【構成】 真空槽と、この真空槽内に配置された蒸発源
と、この蒸発源から蒸発した蒸発粒子が付着する支持体
と、前記真空槽内の壁に付着した粒子を除去する液体を
前記壁面に供給する液体供給手段とを具備する成膜装
置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば磁気記録媒体の
製造装置に関するものである。

【０００２】

【発明の背景】磁気テープ等の磁気記録媒体において
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されている。すなわち、真空蒸着、スパッタリング
あるいはイオンプレーティングといった乾式メッキ手段
により磁性層を構成した磁気記録媒体が提案されている
ことは周知の通りである。そして、この種の磁気記録媒
体は磁性体の充填密度が高いことから、高密度記録に適
したものである。

【０００３】このような乾式メッキ手段による磁気記録
媒体の製造装置は、図３のように構成されているものが
一般的である。尚、図３中、２１は冷却キャン、２２ａ
はポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム２３
の供給側ロール、２２ｂはＰＥＴフィルム２３の巻取側
ロール、２４はルツボ、２５は磁性金属、２６は真空槽
である。そして、真空槽２６内を所定の真空度のものに
排気した後、電子銃を作動させてルツボ２４内の磁性金
属２５を蒸発させ、ＰＥＴフィルム２３に対して磁性金
属２５の蒸発粒子を堆積（蒸着）させることによって磁
気記録媒体が製造されている。

【０００４】しかしながら、ルツボ２４から蒸発した磁
性金属２５の蒸発粒子はＰＥＴフィルム２３以外の部
分、例えば真空槽２６の内壁面などに堆積する量が多
く、この為装置の全般的な掃除が頻繁に必要となってい
る。例えば、ＰＥＴフィルム２３にはルツボ２４から蒸
発した磁性金属２５の蒸発粒子のうちの１／１０以下の
程度しか堆積しておらず、蒸発粒子の大部分は目的とし
た以外の部分に付着している為、装置の全般的な掃除が
頻繁に必要である。

【０００５】又、ルツボ２４から蒸発した磁性金属２５
の蒸発粒子のうちの１／１０以下の程度しかＰＥＴフィ
ルム２３に堆積していないことは、資源（磁性金属２
５）の有効利用が図られていないことである。そして、
ＰＥＴフィルム２３以外の部分に付着した磁性金属を再
利用に供しようとしても、例えば真空槽２６の内壁面と
いったように広範囲にわたって付着しているものである
から、磁性金属２５の回収も困難で、再利用に供し難
い。

【０００６】

【発明の開示】本発明の第１の目的は、成膜装置におけ
る装置内の掃除が簡単なものとなる技術を提供すること
である。本発明の第２の目的は、成膜に使用された材料
の回収が簡単なものとなる技術を提供することである。

【０００７】この本発明の目的は、真空槽と、この真空
槽内に配置された蒸発源と、この蒸発源から蒸発した蒸
発粒子が付着する支持体と、前記真空槽内の壁に付着し
た粒子を除去する液体を前記壁面に供給する液体供給手
段とを具備することを特徴とする成膜装置によって達成
される。尚、この成膜装置には、液体供給手段から真空
槽内に供給された液体を回収する回収手段と、液体を濾
過する濾過手段とを具備することが好ましい。

【０００８】すなわち、成膜装置を所定時間作動させ、
支持体上に、例えば磁性粒子を堆積（蒸着）させると、
装置の内壁面にも磁性粒子が蒸着することになってしま
う。この内壁面への磁性粒子の蒸着は、諸々の問題を引
き起こす。例えば、磁性金属に電子銃からの電子ビーム
を当てて蒸発させている訳であるが、この電子ビームが
堆積磁性粒子からの影響を受けて狙っていたポイントか
らずれてしまい、蒸発が起きないのみか、電子ビーム照
射部分が損壊してしまうといった事故が起きる。従っ
て、真空槽内の壁に付着した磁性粒子を除去することは
極めて大事なことである。

【０００９】ところで、壁に付着した磁性粒子を除去す
ることは簡単ではあるとも言えるが、掃除に際して粉塵
が舞い上がったりし、健康を阻害する恐れが高く、又、
舞い上がった粉塵が色々な部分に付着したりもするか
ら、健康に問題がなく、かつ、綺麗に取り除くことは決
して簡単なものではない。このような点に鑑み、検討が
鋭意押し進められて行った結果、液を降り注ぎ、堆積し
ている面と堆積粒子との間に液を浸透させれば、堆積粒
子の剥離が簡単なものとなり、かつ、剥離させた際に含
液性のものとなっているから舞い上がるといった現象も
解決でき、掃除に際して起きていた健康面の問題や、隅
々にまで粉塵が侵入するといった問題が大幅に解決出来
るとの知見が得られ、実際にもそのような特長が奏され
たのである。

【００１０】しかも、液が注入されると、この液によっ
て装置内の温度低下がもたらされることになり、装置を
大気下に開放することが迅速に出来るようになり、掃除
のスピードを上げることができ、作業の開始を迅速なも
のと出来る。尚、装置内の温度が高いまま装置を大気下
に開放すると、蒸発源の溶融金属が酸化されることにも
なり、この為にも温度が低下してからでなければ、開放
することは出来ない。ところで、本発明によれば、液が
装置内に注入されることになるから、気化熱によって系
内の温度低下が迅速にもたらされ、作業性が高まるもの
となった。

【００１１】そして、液が注入され、壁に付着した磁性
粒子の除去が行われた後、これを回収、そして濾過すれ
ば、液は再利用することが出来、又、高価な磁性粒子の
回収が簡単で効率良く行われ、資源の無駄遣いもなくな
る。本発明で使用できる液体としては不活性液体を用い
ることが好ましい。例えば、３Ｍ社のフロリナート等が
ある。尚、フロリナートは、２００℃以上の高温では分
解し、フッ酸に変わる恐れがあるから、フロリナートを
使用する場合には、２００℃より低い温度になってから
注入することが好ましい。この温度低下速度は、蒸着終
了後の初期段階では速く、ある程度降下した後５０〜４
０℃程度の温度に降下するのに時間がかかるに過ぎず、
従ってフロリナートを使用する場合でも問題はない。

【００１２】

【実施例】図１は、本発明に係る成膜装置（磁気記録媒
体の製造装置）の一実施例を示す概略図である。各図
中、１は真空槽、２ａは非磁性の支持体３の供給側ロー
ル、２ｂは支持体３の巻取側ロール、４は冷却キャン、
５はルツボ、６は磁性金属であり、これらの部分の構成
は従来からのものと略同様な構成のものである。

【００１３】尚、支持体３は、例えばＰＥＴ等のポリエ
ステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリスルフォン、ポ
リカーボネート、ポリプロピレン等のオレフィン系の樹
脂、セルロース系の樹脂、塩化ビニル系の樹脂といった
高分子材料で構成されている。又、磁性金属６の材料と
しては、例えばＣｏ−Ｎｉ合金、Ｃｏ−Ｐｔ合金、Ｃｏ
−Ｎｉ−Ｐｔ合金、Ｆｅ−Ｃｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金、
Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎ
ｉ−Ｆｅ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｃｒ合金などが用いられる。
又、磁性膜ではなく、バックコート膜を構成する場合に
は、磁性金属６の代わりに、例えばＣｕ−Ａｌ−Ｍｎ合
金、Ｃｕ−Ａｌ−Ｆｅ合金、Ｃｕ−Ａｌ−Ｎｉ合金、Ａ
ｌ−Ｓｉ合金などが用いられる。

【００１４】７は遮蔽板であり、この遮蔽板７に沿って
パイプ８が取り付けられている。パイプ８は液体タンク
９に接続されており、弁を開き、ポンプ１０を作動させ
ることによって、液体タンク９内の不活性液体がパイプ
８に設けてある孔から真空槽１内に吐出され、遮蔽板や
内壁を伝わって下方に流れ落ちて行くよう構成されてい
る。

【００１５】１１は遮蔽板や内壁を伝わって下方に流れ
落ちて来た不活性液体を濾過する為の濾過手段であり、
この濾過手段１１で遮蔽板や内壁に付着していた磁性粒
子を回収するよう構成されている。尚、１２は系内の圧
力調節弁、１３はスライド式のシャッターである。次
に、上記のように構成させた装置を用いての磁気記録媒
体の製造方法について説明する。

【００１６】真空槽１内を１０^-4〜１０^-6Ｔｏｒｒ程度
の真空度のものに排気した後、電子ビーム加熱によりル
ツボ５内の磁性金属（８０％Ｃｏ−２０％Ｎｉ）を蒸発
させ、支持体３に対して０．０４〜１μｍ、例えば０．
１５μｍ厚さ磁性合金を蒸着させることによって金属薄
膜型の磁性膜が設けられる。尚、磁性合金薄膜の形成に
際して、蒸着部分には酸素ガスが供給されている。

【００１７】上記のようにして磁気記録媒体の製造が繰
り返し行われていると、真空槽１にはいたる所に磁性粒
子が付着・堆積し、電子ビームの照射ポイントがずれた
りするようにもなるので、真空槽１内の全面的掃除を必
要とするようになる。この時には、パイプ８の弁を開
き、ポンプ１０を作動させると、液体タンク９内の不活
性液体がパイプ８に設けてある孔から真空槽１内に吐出
され、遮蔽板や内壁を伝わって下方に流れ落ちて行くよ
うになる。これによって、付着している面（内壁面）と
付着粒子との間に不活性液体が浸透して行き、時間の経
過につれて付着・堆積した粒子の塊が自然に剥離して行
く。又、不活性液体の注入によって系内の温度も迅速に
低下して行く。

【００１８】そこで、温度が充分に低下した後、系内を
大気下に開放し、真空槽１の壁面に依然として付着して
いる塊などに力を作用させると、付着していても不活性
液体が浸透していることから、簡単に剥離させることが
出来、掃除効率は格段に高いものであった。そして、真
空槽１内の掃除が綺麗に行われることから、磁性膜の堆
積作業も効率良く行われるようになった。

【００１９】又、従来のように粉塵が舞い上がると言っ
たこともなく、健康面での問題も小さいものとなってい
た。そして、不活性液体や磁性金属の回収が簡単に行わ
れ、再利用に供することが出来るから、極めて経済的な
ものである。図２は、本発明に係る成膜装置の他の実施
例を示す概略図である。

【００２０】本実施例は、一般的な基板（支持体）に粒
子を付着・堆積させる為のものであり、その基本構成は
前記実施例のものと同じであるから、詳細な説明は省略
する。

【００２１】

【効果】真空槽内の掃除を簡単に、かつ、効率良く行え
る。特に、作業に際して、粉塵が舞い上がるといった現
象が解決され、掃除に際して起きていた健康面の問題
や、隅々にまで粉塵が侵入するといった問題を大幅に解
決出来る。しかも、液が注入されると、この液によって
装置内の温度低下がもたらされることになり、装置を大
気下に開放することが迅速に出来るようになり、掃除の
スピードを上げることができ、作業の開始を迅速なもの
と出来る。

【００２２】又、液や高価な磁性粒子の回収が簡単で効
率良く行われ、資源の有効利用が図れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る成膜装置の第１実施例の概略図

【図２】本発明に係る成膜装置の第２実施例の概略図

【図３】従来の磁気記録媒体製造装置の概略図

【符号の説明】

１ 真空槽 ３ 支持体 ４ 冷却キャン ５ ルツボ ６ 磁性金属 ７ 遮蔽板 ８ パイプ ９ 液体タンク １０ ポンプ １１ 濾過手段 １２ 圧力調節弁

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 志賀 章 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空槽と、この真空槽内に配置された蒸
   発源と、この蒸発源から蒸発した蒸発粒子が付着する支
   持体と、前記真空槽内の壁に付着した粒子を除去する液
   体を前記壁面に供給する液体供給手段とを具備すること
   を特徴とする成膜装置。
2. 【請求項２】 液体供給手段から真空槽内に供給された
   液体を回収する回収手段と、液体を濾過する濾過手段と
   を具備することを特徴とする請求項１の成膜装置。