JPH0765370A

JPH0765370A - 磁気記録媒体の製造装置

Info

Publication number: JPH0765370A
Application number: JP21249593A
Authority: JP
Inventors: Noriyuki Kitaori; 典之北折; Osamu Yoshida; 修吉田; Hirohide Mizunoya; 博英水野谷; Akira Shiga; 章志賀
Original assignee: Kao Corp
Current assignee: Kao Corp
Priority date: 1993-08-27
Filing date: 1993-08-27
Publication date: 1995-03-10

Abstract

(57)【要約】【目的】金属薄膜型の磁気記録媒体の製造に際して装
置内の蒸発磁性粒子による汚染を効果的に防ぐことが出
来、従って磁気記録媒体の製造能率が高く、又、磁性金
属の蒸発条件が突発的に変化するといったことも防止で
き、磁性粒子の蒸着量が均一で、高性能な磁気記録媒体
を提供できる技術を提案することである。【構成】磁性材料を入れる容器と、この容器内に入れ
られた磁性材料を蒸発させる蒸発手段と、この蒸発手段
により蒸発させられた磁性粒子が堆積する支持体と、前
記容器と支持体との間に配設された防着材とを具備して
なる磁気記録媒体の製造装置であって、前記防着材が積
層状の複数枚の板であり、各々の板が回動可能に構成さ
れてなる磁気記録媒体の製造装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体の製造装
置に関するものである。

【０００２】

【発明の背景】磁気テープ等の磁気記録媒体において
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されている。すなわち、真空蒸着、スパッタリング
あるいはイオンプレーティングといった乾式メッキ手段
により磁性層を構成した磁気記録媒体が提案されている
ことは周知の通りである。そして、この種の磁気記録媒
体は磁性体の充填密度が高いことから、高密度記録に適
したものである。

【０００３】このような乾式メッキ手段による磁気記録
媒体の製造装置は、図３のように構成されているものが
一般的である。尚、図３中、２１は冷却キャン、２２ａ
はポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム２３
の供給側ロール、２２ｂはＰＥＴフィルム２３の巻取側
ロール、２４はルツボ、２５は磁性金属、２６は真空容
器である。そして、真空容器２６内を所定の真空度のも
のに排気した後、電子銃を作動させてルツボ２４内の磁
性金属２５を蒸発させ、ＰＥＴフィルム２３に対して磁
性金属２５の蒸発粒子を堆積（蒸着）させることによっ
て磁気記録媒体が製造されている。

【０００４】ところで、このようにして蒸発する磁性粒
子のうちＰＥＴフィルム２３に蒸着せず、周囲に付着・
堆積するものもあり、これは装置の汚染を引き起こすこ
とになり、決して好ましいものではない。この為、目的
とするＰＥＴフィルム２３以外の方向に飛散する磁性粒
子を積極的に付着させ、装置の汚染を防ぐ防着材２７が
設けられている。

【０００５】しかしながら、防着材２７を設けたものに
あっては、これによる新たな問題が起きることも有っ
た。すなわち、蒸発する磁性粒子を防着材２７に積極的
に付着させ、その周囲が出来るだけ汚染され難いように
したことによって、防着材２７には蒸発磁性粒子の堆積
が進むようになってしまったのである。そして、堆積が
進み過ぎ、重くなり過ぎると、これが崩落してしまい、
落下時の衝撃によって磁性粒子の粉が舞い上がり、装置
内が広範囲にわたって汚染されてしまうことが有った。

【０００６】かつ、崩落磁性粒子がルツボ２５内にも落
下し、ルツボ２５内の温度などの条件が一時的に大きく
変化し、蒸発状態が大きく変化してしまい、ＰＥＴフィ
ルム２３への蒸着具合が一時的に大きく変化し、均一な
磁性膜が構成されず、不良品が形成されてしまうといっ
た致命的な欠陥も引き起こされることの有ることが判っ
て来た。

【０００７】又、ルツボ２４内の磁性粒子を蒸発させる
電子銃の部分に入り込んでしまうと、電子ビームが遮ら
れることもあり、ルツボ２４内の条件が一時的に大きく
変化し、蒸発状態が大きく変化してしまい、均一な磁性
膜が構成されず、不良品が形成されてしまうといった致
命的な欠陥も引き起こされることの有ることも判って来
た。

【０００８】

【発明の開示】前記の問題点に対する研究が鋭意押し進
められて行った結果、すなわち防着材は周囲の汚染対策
上から欠くことが出来ないものであることの観点から検
討を鋭意押し進めて行った結果、新しい防着材を次々に
セッティングできるように構成、つまり一定量以上の磁
性粒子が防着材に堆積したならば新たな防着材がセッテ
ィングされるようにしておけば、磁性粒子の過度な堆積
はなくなり、堆積磁性粒子の崩壊はなくなって、堆積磁
性粒子の落下による粉の舞い上がりで装置内が広範囲に
わたって汚染されてしまうといった欠点をなくすことが
出来、かつ、堆積磁性粒子がルツボ内に落下し、ルツボ
内の温度などの条件が一時的に大きく変化し、蒸発状態
が大きく変化してしまうといった欠点をなくすことが出
来、かつ、電子銃の部分に入り込むといったこともなく
すことが出来、磁性薄膜の形成が綺麗に出来、高性能な
磁気記録媒体を歩留り良く製造できることに気付いたの
である。

【０００９】このような知見を基にして本発明が達成さ
れたものであり、本発明の目的は、金属薄膜型の磁気記
録媒体の製造に際して装置内の蒸発磁性粒子による汚染
を効果的に防ぐことが出来、従って磁気記録媒体の製造
能率が高く、又、磁性金属の蒸発条件が突発的に変化す
るといったことも防止でき、磁性粒子の蒸着量が均一
で、高性能な磁気記録媒体を提供できる技術を提案する
ことである。

【００１０】この本発明の目的は、磁性材料を入れる容
器と、この容器内に入れられた磁性材料を蒸発させる蒸
発手段と、この蒸発手段により蒸発させられた磁性粒子
が堆積する支持体と、前記容器と支持体との間に配設さ
れた防着材とを具備してなる磁気記録媒体の製造装置で
あって、前記防着材が積層状の複数枚の板であり、各々
の板が回動可能に構成されてなることを特徴とする磁気
記録媒体の製造装置によって達成される。

【００１１】すなわち、飛散する蒸発磁性粒子が目的と
しない部分に付着・堆積することを防止する為に設けら
れた複数枚の防着板を回転出来るようにしておくことに
より、堆積した磁性粒子が落下する限度前の段階で下層
にある防着板を所定量移動させ、磁性粒子が堆積してい
ない新しい防着板が容器（磁性材料充填容器）に対応し
て位置するようにさせれば、周囲への汚染を防止する為
に設けた防着板に限度以上の磁性粒子が堆積し、これが
重みに耐えかねて落下するといった問題を解決できるこ
とになる。そして、装置内が磁性粒子によって汚染され
ることを効果的に防ぐことが出来、又、磁性金属の蒸発
条件が突発的に変化するといったことも防止でき、磁性
粒子の蒸着量が均一で、高性能な磁気記録媒体を能率良
く製造できるようになる。

【００１２】又、防着板に堆積する磁性粒子の検出手段
を設けておき、この検出手段からの信号によって堆積磁
性粒子が限度を越えることが予測されると、下層の防着
板を移動させる駆動手段が作動するように構成させてお
けば、自動制御が可能となり、極めて好都合である。例
えば、防着板に堆積する磁性粒子の検出手段と、比較手
段を設けておき、検出手段からの信号が比較手段におい
て基準値と比較され、検出手段からの信号が基準値を越
えると防着板の駆動手段が作動するように構成すること
が考えられる。

【００１３】尚、装置に設けられる全ての防着材を本発
明の如くに構成しなくとも済むものである。すなわち、
蒸発した磁性粒子の堆積が少ない部分には、装置が長時
間にわたって連続運転されても、堆積物が崩落するとい
った恐れはないから、このような部分の防着材は本発明
の如くに構成しなくとも良い。以下、具体的な実施例を
挙げて説明する。

【００１４】

【実施例】

〔実施例１〕図１及び図２は本発明になる磁気記録媒体
の製造装置の一実施例を示すもので、図１は全体の概略
図、図２は要部の概略図である。同図中、１は冷却キャ
ン、２ａは支持体３の供給側ロール、２ｂは支持体３の
巻取側ロール、４は回転板からなる防着板、５はルツ
ボ、６は磁性金属、７は真空容器である。尚、防着板４
は、ルツボ５の真上に対応して設けられたものである。

【００１５】支持体３は非磁性のものであり、この支持
体３はＰＥＴ等のポリエステル、ポリアミド、ポリイミ
ド、ポリスルフォン、ポリカーボネート、ポリプロピレ
ン等のオレフィン系の樹脂、セルロース系の樹脂、塩化
ビニル系の樹脂といった高分子材料、ガラスやセラミッ
ク等の無機系材料、アルミニウム合金などの金属材料が
用いられる。そして、支持体３面上には、必要に応じて
磁性層（磁性薄膜）の密着性を向上させる為のアンダー
コート層が設けられている。すなわち、表面の粗さを適
度に粗すことにより、例えば斜め蒸着法により構成され
る磁性薄膜の密着性を向上させ、さらに磁気記録媒体表
面の表面粗さを適度なものとして走行性を改善する為、
例えばＳｉＯ₂等の粒子を含有させた厚さが０．００５
〜０．１μｍの塗膜を設けることによってアンダーコー
ト層が構成されている。

【００１６】ルツボ５に充填される磁性金属としては、
例えばＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の金属の他に、Ｃｏ−Ｎｉ合
金、Ｃｏ−Ｐｔ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ合金、Ｆｅ−Ｃ
ｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｆｅ
−Ｃｏ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｃ
ｒ合金、あるいはこれらにＡｌ等の金属を含有させたも
の等が挙げられる。

【００１７】防着板４は、図２に示す如く、軸芯に配設
された複数枚の板４ａ，４ｂ，４ｃ……からなり、先
ず、一番上の板４ａを所定の位置に位置させ、この板４
ａのみを防着板として作用させ、そして板４ａに一定量
の磁性粒子が堆積したならば、その下にある板４ｂを所
定の位置に位置させ、この板４ｂを防着板として作用さ
せ、そして板４ｂに一定量の磁性粒子が堆積したなら
ば、その下にある板４ｃを所定の位置に位置させ、この
板４ｃを防着板として作用させといった如くにするもの
である。すなわち、防着板が積層状の複数枚の板からな
り、各々の板を回動可能に構成させたものである。

【００１８】上記のように構成させた装置において、真
空容器７内を１０^-4〜１０^-6Ｔｏｒｒ程度の真空度のも
のに排気した後、抵抗加熱、高周波加熱、電子ビーム加
熱などによりルツボ５内の磁性金属６を蒸発させ、ＰＥ
Ｔフィルム等の支持体３に対して０．０４〜１μｍ厚さ
磁性金属６を蒸着させることによって金属薄膜型の磁気
記録媒体が製造される。尚、磁性薄膜の形成に際して、
蒸着部分に酸素を供給し、強制酸化させることによって
磁性薄膜の表層部分を酸化させ、酸化膜による保護層を
形成するようにすることが好ましい。尚、この酸化膜か
ら構成される保護層の厚さは数十Å程度のものであり、
この程度の厚さの酸化膜は自然酸化で構成される場合も
あり、このような時には強制酸化の手段を講じなくても
良い場合がある。

【００１９】ところで、蒸着工程（成膜工程）におい
て、磁性粒子の蒸発流は支持体３側のみでなく、その他
の方向にも拡がるのであるが、この拡がった蒸発磁性粒
子は防着板４ａに付着することになる。そして、支持体
３は停止しているのではなく、走行しているから、一定
量以上の付着・堆積はないものの、防着板４ａは停止し
ていることから、そのままの状態が続くと堆積量は増え
る一方である。

【００２０】ここで、防着板４ａへの堆積量が限度を越
えると、重みに耐えかねて堆積磁性粒子は落下する。そ
して、従来にあっては、この為に種々の問題が引き起こ
されていたのである。しかしながら、本発明にあって
は、防着板４ａへの堆積量が限度を越えることが観察さ
れると、次の防着板４ｂを所定の角度だけ回転させ、磁
性粒子が堆積した防着板４ａの真下の位置に防着板４ｂ
をセットする。つまり、図示していないステッピングモ
ータをオンにし、防着板４ｂを所定の角度だけ回転させ
るようにしているのである。従って、磁性粒子が限度を
越えて防着板４ａに厚く堆積することがなくなるから、
これが崩落するといった事故は起きず、真空容器７内が
磁性粒子によって汚染されることを効果的に防ぐことが
出来、又、堆積物がルツボ５内に落ち、磁性金属の蒸発
条件が突発的に変化するといったことも防止でき、磁性
粒子の蒸着量が均一で、高性能な磁気記録媒体を能率良
く製造できるようになる。

【００２１】防着板４ｂへの堆積量が限度を越えること
が観察されると、次の防着板４ｃを所定の角度だけ回転
させ、磁性粒子が堆積した防着板４ｂの真下の位置に防
着板４ｃをセットする。以下、同様に行う。ところで、
防着板４ｂ……の回転動作は、真空容器７の周囲に居る
作業者が防着板への堆積量を時々観察し、基準量をオー
バーするようになると、作業者がステッピングモータの
スイッチをオンとするようにしても良い。

【００２２】しかしながら、このような構成では作業性
が劣ることから、防着板に付着・堆積した磁性粒子の厚
さを検出する、例えば発光・受光素子からなる検出手段
（図示せず）を設けておくことが好ましい。すなわち、
検出手段により防着板４ａ，４ｂ……に付着・堆積した
磁性粒子の量が検出されると、これによって堆積磁性粒
子が崩落するか否かを予測し、これに基づいてステッピ
ングモータのスイッチをオンとするようにしておけば極
めて便利である。

【００２３】さらには、検出手段のみではなく、例えば
差分回路からなる比較手段（図示せず）を設けておき、
検出手段により防着板４ａ，４ｂ……に付着・堆積した
磁性粒子の量が検出されると、この検出信号を比較手段
に入力し、比較手段に記憶させている基準値と比較し
て、基準値よりも小さい場合にはそのまま、基準値と等
しい場合、あるいは基準値よりも大きい場合には、ステ
ッピングモータのスイッチをオンとするようにしておけ
ば極めて便利である。

【００２４】この後、巻取側ロール２ｂを取り出し、そ
して平均粒径２０ｎｍのカーボンブラック及び塩化ビニ
ル系樹脂とウレタンプレポリマーとからなるバインダ樹
脂を分散させてなるバックコート用の塗料をダイレクト
グラビア法により磁性層とは反対側の支持体３に塗布
し、乾燥厚さが０．５μｍのバックコート層を設ける。
そして、フッ素パーフルオロポリエーテル（グレード：
ＦＯＭＢＬＩＮＺＤＩＡＣカルボキシル基変性、日
本モンテジソン社製）をフッ素不活性液体（フロリナー
ト、ＦＣ−８４、住友スリーエム社製）に０．１％とな
るよう希釈・分散させた塗料をダイ塗工方式により乾燥
後の厚さが２０Å程度となるよう磁性面に塗布し、７０
℃で乾燥させる。

【００２５】この後、所定の幅にスリットし、磁気テー
プなどにする。尚、８も防着板であるが、この防着板８
は蒸発した磁性粒子の堆積が少ない部分に設けられてい
るものであるから、防着板８は、従来と同様なものであ
る。

【００２６】

【効果】本発明によれば、均一な膜厚の磁性層を歩留り
良く製造できる。特に、目的とする支持体以外の方向に
飛散する磁性粒子を付着・堆積させ、装置内の汚染を防
止する為に設けた防着板から、堆積磁性粒子が崩落し、
これによる装置内の汚染、磁性金属の蒸発量の変動、引
いては磁性膜の厚さの変動といった事故をなくすことが
出来、高性能な磁気記録媒体を低コストで提供できるよ
うになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明になる磁気記録媒体の製造装置の実施例
の全体概略説明図

【図２】本発明になる磁気記録媒体の製造装置の実施例
の要部概略説明図

【図３】従来の磁気記録媒体の製造装置の概略説明図

【符号の説明】

１冷却キャン２ａ供給側ロール２ｂ巻取側ロール３支持体４ａ，４ｂ，４ｃ防着板（積層状の複数枚の板）５ルツボ６磁性金属７真空容器

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者志賀章栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株式会社情報科学研究所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】磁性材料を入れる容器と、この容器内に
入れられた磁性材料を蒸発させる蒸発手段と、この蒸発
手段により蒸発させられた磁性粒子が堆積する支持体
と、前記容器と支持体との間に配設された防着材とを具
備してなる磁気記録媒体の製造装置であって、前記防着
材が積層状の複数枚の板であり、各々の板が回動可能に
構成されてなることを特徴とする磁気記録媒体の製造装
置。
【請求項２】板に堆積する磁性粒子の検出手段が設け
られてなり、この検出手段の信号により板の駆動手段が
作動するように構成されてなることを特徴とする請求項
１の磁気記録媒体の製造装置。
【請求項３】板に堆積する磁性粒子の検出手段と、比
較手段が設けられてなり、前記検出手段からの信号が比
較手段において基準値と比較され、検出手段からの信号
が基準値と同じ、又は基準値を越えると、板の駆動手段
が作動するように構成されてなることを特徴とする請求
項１の磁気記録媒体の製造装置。