JPH0799228A

JPH0799228A - ペレット突き上げ装置

Info

Publication number: JPH0799228A
Application number: JP5292508A
Authority: JP
Inventors: Hisaya Suzuki; 久彌鈴木
Original assignee: Toshiba Seiki Co Ltd
Current assignee: Toshiba Mechatronics Co Ltd
Priority date: 1993-10-29
Filing date: 1993-10-29
Publication date: 1995-04-11
Anticipated expiration: 2011-01-10
Also published as: JPH081925B2

Abstract

(57)【要約】【目的】寸法、形状の異なるペレットをシートから確
実に剥離すること。【構成】ペレット突き上げ装置２５において、ニード
ル４９の突き上げストローク、突き上げ速度、突き上げ
回数の少なくとも一つの動作状態を設定する寸法・形状
入力部５２と、この寸法・形状入力部５２に設定された
動作状態に基づいて突き上げ駆動部３３、３４を駆動制
御する突き上げ制御部５１と、を有するもの。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ペレット突き上げ装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、例えば、半導体等の素子群をその
表面に配置し、形成してなるウエハは、素子片としての
各ペレットに分割され、更に、分割された各ペレット
は、例えば特開昭 60-167337号公報に記載されるペレッ
ト摘出装置により摘出される。摘出される各ペレット
は、例えば粘着シート等の上面に貼着される状態でペレ
ット摘出装置に供給される。即ち、各ペレットは、粘着
シートに貼着されたウエハを各素子片に破折し、分割す
る状態で形成される。更に分割された各ペレットの間に
は、シートを引伸ばすことにより隙間が形成され、ペレ
ット摘出装置は分割された各ペレットを１個ずつ順次摘
出するようにしている。

【０００３】従来、シートに貼着されたペレットを摘出
する場合、該ペレットをシートから確実に剥離すること
が必要とされた。ペレットの剥離には、例えば特開昭59
-88844号公報や特開昭 60-102754号公報に記載されるペ
レット突き上げ装置が用いられる。このペレット突き上
げ装置は、突き上げ駆動部によって進退動されるニード
ルにより、シート上に貼着されるペレットをシートの裏
面から突き上げ、ペレットを該シートから剥離するよう
にしている。ここで突き上げ駆動部は、モータ等により
回転されるカムから構成され、該カムはその回転作動に
よりニードルを上下に進退動可能としている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、最近のペレ
ットは、ペレットにより製造されるＩＣ、ＬＳＩの多様
化により様々な寸法、形状のものが提供される。然しな
がら、これら様々な寸法、形状のペレットを粘着シート
から剥離する場合に、ニードルの突き上げ速度、突き上
げストローク、突き上げ回数を従来の標準的な寸法、形
状のペレットの場合と同じ状態で行なうと、ペレットが
うまくシートから剥離されなかったり、またペレットが
シートから剥離する際、該ペレットが飛散する不具合が
ある。特に最近、小さなペレットの場合には、粘着シー
トの粘着力を高めることで、シートを引伸す際に各ペレ
ットがばらばらに飛散しないようにしているため、この
種のペレットは、シートから剥離しにくいものとされて
いた。

【０００５】本発明は、寸法、形状の異なるペレットを
シートから確実に剥離することを目的としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の本発明
は、突き上げ駆動部によって進退動されるニードルによ
り、シート上に貼着されるペレットをシートの裏面から
突き上げ、剥離するペレット突き上げ装置において、前
記ニードルの突き上げストローク、突き上げ速度、突き
上げ回数の少なくとも一つの動作状態を設定する設定部
と、この設定部に設定された動作状態に基づいて前記突
き上げ駆動部を駆動制御する突き上げ制御部と、を有す
るようにしたものである。

【０００７】請求項２に記載の本発明は、請求項１記載
の本発明において更に、前記突き上げ駆動部はカムとモ
ータを有し、前記突き上げ制御部は、前記設定部に設定
された動作状態に基づいて前記モータによる前記カムの
回転角度を駆動制御するようにしたものである。

【０００８】

【作用】本発明によれば、シートに貼着されているペレ
ットの寸法、形状等に応じて設定部に設定された、ニー
ドルの突き上げストローク、突き上げ速度もしくは突き
上げ回数の少なくとも一つの動作状態に基づいて、制御
部が突き上げ駆動部を駆動制御することにより、シート
からのペレットの剥離を確実に行なうことを可能として
いる。これにより、寸法、形状の異なるペレットをシー
トから確実に剥離することが可能となる。

【０００９】

【実施例】図１は本発明の一実施例に係るペレット突き
上げ装置を備えるペレット摘出装置の断面図、図２は図
１のII-II 線に沿う矢視図、図３はペレットの突き上げ
前の状態を示す断面図、図４はペレットの突き上げ状態
を示す断面図である。

【００１０】ペレット装着装置１０は、基台１１を備
え、該基台１１には、平面ＸＹ方向に駆動可能なＸＹテ
ーブル１２が支持されている。ＸＹテーブル１２の上面
には、カセットリングの支持フレーム１３が、ボルト１
４によって固着されている。カセットリングの支持フレ
ーム１３には、カセットリング１５が着脱自在とされて
いる。このカセットリング１５には、ウエハ１６の被着
された粘着シート１７が、ゴムバンド１８を介して取着
されている。粘着シート１７上のウエハ１６は、円形状
とされ、更に、ウエハ１６は、素子片としての各チップ
状のペレット１９に分割され、且つ各ペレット１９間に
はシート１７を引伸ばす状態で間隔が形成されている。
即ち、各ペレット１９は、粘着シート１７上でＸＹテー
ブル１２のＸＹ方向に沿って複数行、複数列に整列され
る状態とされ、該粘着シート１７上の所定位置をペレッ
ト摘出位置２０としている。

【００１１】ＸＹテーブル１２の上方には、ペレット摘
出位置２０の上方と、不図示のペレット移送部の間を往
復移動するコレット２１が配設される。即ち、コレット
２１は、ペレット摘出位置２０とペレット移送部の間を
矢示Ｘ方向に往復動可能とされ、該コレット２１は、移
動アーム２２に上下動自在に支持されてなる。上下動自
在とされるコレット２１は、ペレット摘出位置２０に移
動された状態で下降端位置２３に移動される。この状態
で該コレット２１は吸引作動され、ペレット摘出位置２
０に位置決めされるペレット１９を摘出し、保持可能と
している。上記のようにしてペレット１９を保持するコ
レット２１は上昇端位置２４に移動され、更に該コレッ
ト２１は移動アーム２２の駆動によりペレット移送部に
移動される。ペレット移送部に移動されたコレット２１
は該移送部で下降端位置２３に移動され、次いで吸引作
動が停止される。この結果、コレット２１に保持された
ペレット１９がペレット移送部に解放され、ペレット１
９を解放したコレット２１は再び上昇端位置２４に移動
される。これにより１つのペレット１９の移送が完了さ
れることとなる。ここでコレット２１の上下動は不図示
の昇降手段により行なわれる。ペレット１９の移送を完
了したコレット２１は、再びペレット摘出位置２０に移
動され、上記と同じコレット２１の作動順序で次に移送
するペレット１９を保持することとなる。この際、ペレ
ット摘出位置２０には、ＸＹテーブル１２の駆動によ
り、次に摘出されるペレット１９が位置決めされること
となる。このようにして、ＸＹ方向に整列されるペレッ
ト１９がＸＹテーブル１２の駆動により、順次ペレット
摘出位置２０に位置決めされ、該ペレット１９はコレッ
ト２１の作動により順次ペレット移送部に移送されるこ
ととなる。

【００１２】支持フレーム１３の下方には、基台１１に
支持される状態でペレット突き上げ装置２５が配設され
る。ペレット突き上げ装置２５は、ペレット摘出位置２
０に位置決めされ、且つコレット２１により吸着される
ペレット１９を予め粘着シート１７から剥離可能として
いる。ペレット突き上げ装置２５は、基台１１上に配設
される固定フレーム２６を備えてなり、該固定フレーム
２６には昇降軸保持部２７が配設される。昇降軸保持部
２７には、間にブッシュ２８を介装する状態で昇降軸２
９が上下動可能に支持されてなる。昇降軸２９には係合
ピン３０が突出形成されてなり、該係合ピン３０には係
合凹部３１が係合される。係合凹部３１は、中心部を固
定フレーム２６に軸支する揺動ロッド３２の一端部に形
成されてなる。即ち、揺動ロッド３２は両端部を矢示Ａ
方向に揺動可能としてなり、該揺動ロッド３２の揺動に
より昇降軸２９を上下方向［Ｚ方向］に昇降させること
が可能となる。揺動ロッド３２の矢示Ａ方向の揺動は、
カム３３の回動により行なわれる。このカム３３は、図
２に示すようにステッピングモータ３４の原動軸３５に
支持され、矢示Ｂ方向に回動可能とされる。このカム３
３のカム面３６にはカムフォロア３７が当接され、該カ
ムフォロア３７は揺動ロッド３２の他端部に支持されて
なる。揺動ロッド３２の他端部と固定フレーム２６の間
には引張りスプリング３８が介装され、該引張りスプリ
ング３８は、カムフォロア３７を常時カム面３６に当接
可能としている。この結果、モータ３４を駆動し、カム
３３を回転させることで昇降軸２９を矢示Ｚ方向に昇降
させることが可能となる。

【００１３】一方、昇降軸保持部２７の上方には、同じ
く固定フレーム２６に支持される状態で筒状体保持部３
９が配設される。筒状体保持部３９には、筒状体４０の
下端部が固定ねじ４１の締付けにより支持されてなる。
保持部３９に支持される筒状体４０は、カセットリング
１５の下方へと延設され、延設される筒状体４０の内部
にはニードル支持軸４２が挿入されてなる。ニードル支
持軸４２は、固定ねじ４３の締付けにより、下端部を昇
降軸２９の上部に連結させてなる。

【００１４】筒状体４０の内部におけるニードル支持軸
４２の下方は、間にシール部材兼用のブッシュ４４を介
装させる状態で筒状体４０の内壁に支持させてなる。更
にニードル支持軸４２の上方は、間にブッシュ４５を介
装させる状態で筒状体４０の内壁に支持させてなる。ニ
ードル支持軸４２が挿入される筒状体４０の内部は、筒
状体４０の内壁とニードル支持軸４２の外周間に空隙４
６を備えてなる。空隙４６は、シール部材兼用のブッシ
ュ４４の上端面から、ブッシュ４５の軸方向に貫通して
いる連通部（不図示）を経て筒状体４０の上方端位置ま
で延設され、筒状体４０の上方にはシート吸着ノズル４
７が取着される。筒状体４０には真空配管４８が接続さ
れ、該真空配管４８は筒状体４０の内部の空隙４６から
エアを吸引可能としている。空隙４６内のエアが吸引さ
れると、該空隙４６の内部が負圧となり、これによりシ
ート吸着ノズル４７に対向位置する粘着シート１７の裏
面が該ノズル４７により吸着保持されることとなる。

【００１５】ニードル支持軸４２の上方には、ニードル
４９が取着される。ニードル４９は先端部を尖鋭状とさ
れ、該ニードル４９は、シート１７の裏面に対し進退動
可能とされる。ニードル４９の進退動は、ニードル支持
軸４２を上下動することにより行なわれ、該支持軸４２
の上下動は昇降軸２９を上下動することにより行なわれ
る。即ち、カム３３の回転により昇降軸２９が上下動さ
れると、これに連動してニードル４９の先端部がシート
１７の裏面に対し、上下動されることとなる。シート吸
着ノズル４７には、図３、図４に示されるように、ニー
ドル挿通孔５０が備えられる。また、ニードル４９は、
ペレット摘出位置２０と鉛直方向に対応位置決めされ
る。ニードル４９の先端部はニードル４９の前進状態で
挿通孔５０から突出され、これによりペレット摘出位置
２０に位置決めされるペレット１９をシート１７の裏面
から突き上げ可能としている。この際、シート１７は、
シート吸着ノズル４７により吸着保持される。これによ
り、該ペレット１９は、粘着シート１７の表面から剥離
可能とされる（図４参照）。一方、ニードル４９の先端
部はニードル４９の後退状態で挿通孔５０内に没入可能
とされる（図３参照）。

【００１６】ニードル４９の突き上げ速度、突き上げス
トローク、更に突き上げ回数等は、ステッピングモータ
３４の駆動速度、駆動量等を変化させることにより調整
可能とされる。これらステッピングモータ３４の駆動状
態の変化は、突き上げ制御部５１の指令に基づいて行な
われる。ここで、上記ニードル４９の突き上げストロー
ク、突き上げ速度、突き上げ回数等の動作状態は、寸法
・形状入力部５２（設定部）にて設定される。即ち、突
き上げ制御部５１は、寸法・形状入力部５２に入力され
る粘着シート１７に貼着されるペレット１９に関する寸
法、形状等のデータに応じて設定されたニードル４９の
突き上げストローク、突き上げ速度、突き上げ回数等の
動作状態に基づき、モータ３４の駆動状態を可変に調整
可能としている。

【００１７】突き上げ制御部５１は、例えばニードル４
９により突き上げられるペレット１９が小さいものとさ
れる場合、該ペレット１９がシート１７から確実に剥離
されるように突き上げ速度を速く設定し、且つ図４に示
す突き上げストロークＬを小さな値に設定調整するよう
にしている。

【００１８】突き上げ速度の調整はステッピングモータ
３４の回転速度を速く設定することにより可能とされ
る。

【００１９】一方、突き上げストロークＬの調整は、カ
ム３３の回転角度量を調整することにより可能とされ
る。カム３３の回転角度は、カム３３の対向位置に配設
される回転角度検出センサ５３からカム回転角度検出部
５４に入力される。即ち、カム回転角度検出部５４は、
検出される回転角度を突き上げ制御部５１にフィードバ
ックし、突き上げ制御部５１はフィードバックされる回
転角度に基づき、カム３３の回転領域を所定の角度領域
の間で行なうことを可能にしている。この結果、ニード
ル４９の突き上げストロークＬを所定の値に調整するこ
とが可能となる。

【００２０】これに対し、ニードル４９により突き上げ
られるペレット１９が大きいものとされる場合、該ペレ
ット１９がシート１７から確実に剥離されるように突き
上げ速度を遅く設定し、且つ突き上げストロークＬを大
きく設定調整する必要がある。この場合、突き上げ制御
部５１は、モータ３４の回転速度を遅く設定し、且つカ
ム３３の回転角度領域を大きな値に調整するようにして
いる。

【００２１】更に、大きなサイズのペレット１９によっ
ては、ニードル４９の突き上げ回数を２回あるいは３回
とすることが必要とされる。この場合、カム３３が所定
の角度領域を２または３回往復動されるように突き上げ
制御部５１は、モータ３４を駆動制御可能としている。

【００２２】尚、本実施例において突き上げ制御部５１
は、ニードル４９の突き上げ速度、突き上げストローク
Ｌ、突き上げ回数を全て制御するようにしているが、こ
れら全ての要素の１つを調整することによってもペレッ
ト１９の剥離を確実に行なうことが可能となる。

【００２３】次に、上記ペレット装着装置１０の作動を
説明する。ＸＹテーブル１２の移動によりペレット摘出
位置２０に摘出されるべきペレット１９が位置決めされ
るとコレット２１が図３に示す状態から下降端位置２３
まで下降され、この状態でコレット２１の吸引作動が開
始される。これとともに真空配管４８の吸引作動が開始
され、シート吸着ノズル４７に粘着シート１７の裏面が
吸着される（図４参照）。これにより、シート１７が固
定状態で該ノズル４７に保持されることとなる。

【００２４】シート１７の裏面がシート吸着ノズル４７
に保持されると、次に、ニードル４９が図３に示す没入
状態から図４に示す前進状態に突き上げ駆動される。こ
の結果、ペレット１９がシート１７の表面から剥離さ
れ、次いでニードル４９により、ペレット１９が図４に
示す状態で突き上げられることとなる。この際、コレッ
ト２１はニードル４９の突き上げ駆動とともに上昇移動
される。この状態でシート１７の表面から剥離されたペ
レット１９がコレット２１により摘出保持されることと
なる。次いでペレット１９を保持するコレット２１は、
上昇端位置２４まで上昇され、該ペレット１９は次いで
ペレット移送部へ移送されることとなる。これととも
に、突き上げ状態とされていたニードル４９は再び後退
駆動され、また真空配管４８の吸引作動が停止されるこ
ととなる。これにより、シート吸着ノズル４７によるシ
ート１７の吸着状態が解除される。シート１７の吸着状
態が解除されるとＸＹテーブル１２の移動を介して、ペ
レット摘出位置２０に次に摘出されるべきペレット１９
が位置決めされることとなる。このようにして、ＸＹ方
向に整列されるペレット１９がニードル４９の突き上げ
作動により順次粘着シート１７から剥離され、該ペレッ
ト１９がコレット２１により順次摘出され、移送される
こととなる。

【００２５】次に、上記実施例の作用を説明する。上記
実施例に係るペレット突き上げ装置２５によれば、突き
上げ制御部５１により、粘着シート１７に貼着されるペ
レット１９の寸法、形状に応じてニードル４９の突き上
げ速度、突き上げストロークＬもしくは突き上げ回数等
の突き上げ状態の全てまたは少なくとも一つの要素を最
適化し、シート１７からのペレット１９の剥離を確実に
行なうこととしている。これにより、寸法、形状の異な
るペレット１９を粘着シートから確実に剥離することが
可能となる。

【００２６】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、寸法、形
状の異なるペレットをシートから確実に剥離することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本発明の一実施例に係るペレット突き上
げ装置を備えるペレット摘出装置の断面図である。

【図２】図２は図１の II-II線に沿う矢視図である。

【図３】図３はペレットの突き上げ前の状態を示す断面
図である。

【図４】図４はペレットの突き上げ状態を示す断面図で
ある。

【符号の説明】

１７粘着シート１９ペレット２５ペレット突き上げ装置３３カム（突き上げ駆動部）３４ステッピングモータ（突き上げ駆動部）４９ニードル５１突き上げ制御部５２寸法・形状入力部（設定部）

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成５年１１月２９日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】特許請求の範囲

【補正方法】変更

【補正内容】

【特許請求の範囲】

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】発明の詳細な説明

【補正方法】変更

【補正内容】

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【０００２】

【従来の技術】従来、例えば、半導体等の素子群をその
表面に配置し、形成してなるウエハは、素子片としての
各ペレットに分割され、更に、分割された各ペレット
は、例えば特開昭６０−１６７３３７号公報に記載され
るペレット摘出装置により摘出される。摘出される各ペ
レットは、例えば粘着シート等の上面に貼着される状態
でペレット摘出装置に供給される。即ち、各ペレット
は、粘着シートに貼着されたウエハを各素子片に破折
し、分割する状態で形成される。更に分割された各ペレ
ットの間には、シートを引伸ばすことにより隙間が形成
され、ペレット摘出装置は分割された各ペレットを１個
ずつ順次摘出するようにしている。

【０００３】従来、シートに貼着されたペレットを摘出
する場合、該ペレットをシートから確実に剥離すること
が必要とされた。ペレットの剥離には、例えば特開昭５
９−８８８４４号公報や特開昭６０−１０２７５４号公
報に記載されるペレット突き上げ装置が用いられる。こ
のペレット突き上げ装置は、突き上げ駆動部によって進
退動されるニードルにより、シート上に貼着されるペレ
ットをシートの裏面から突き上げ、ペレットを該シート
から剥離するようにしている。ここで突き上げ駆動部
は、モータ等により回転されるカムから構成され、該カ
ムはその回転作動によりニードルを上下に進退動可能と
している。

【０００４】

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、突き上げ駆動
部によって進退動されるニードルにより、シート上に貼
着されるペレットをシートの裏面から突き上げ、剥離す
るペレット突き上げ装置において、ペレットに応した前
記ニードルの突き上げストローク、突き上げ速度、突き
上げ回数の少なくとも一つの動作状態を任意に設定する
入力部を有する設定部と、この設定部に設定された動作
状態に基づいて前記突き上げ駆動部を駆動制御する突き
上げ制御部と、を有するようにしたものである。

【０００７】

【０００８】

【実施例】図１は本発明の一実施例に係るペレット突き
上げ装置を備えるペレット摘出装置の断面図、図２は図
１のＩＩ−ＩＩ線に沿う矢視図、図３はペレットの突き
上げ前の状態を示す断面図、図４はペレットの突き上げ
状態を示す断面図である。

【０００９】ペレット装着装置１０は、基台１１を備
え、該基台１１には、平面ＸＹ方向に駆動可能なＸＹテ
ーブル１２が支持されている。ＸＹテーブル１２の上面
には、カセットリングの支持フレーム１３が、ボルト１
４によって固着されている。カセットリングの支持フレ
ーム１３には、カセットリング１５が着脱自在とされて
いる。このカセットリング１５には、ウエハ１６の被着
された粘着シート１７が、ゴムバンド１８を介して取着
されている。粘着シート１７上のウエハ１６は、円形状
とされ、更に、ウェハ１６は、素子片としての各チップ
状のペレット１９に分割され、且つ各ペレット１９間に
はシート１７を引伸ばす状態で間隔が形成されている。
即ち、各ペレット１９は、粘着シート１７上でＸＹテー
ブル１２のＸＹ方向に沿って複数行、複数列に整列され
る状態とされ、該粘着シート１７上の所定位置をペレッ
ト摘出位置２０としている。

【００１０】ＸＹテーブル１２の上方には、ペレット摘
出位置２０の上方と、不図示のペレット移送部の間を往
復移動するコレット２１が配設される。即ち、コレット
２１は、ペレット摘出位置２０とペレット移送部の間を
矢示Ｘ方向に往復動可能とされ、該コレット２１は、移
動アーム２２に上下動自在に支持されてなる。上下動自
在とされるコレット２１は、ペレット摘出位置２０に移
動された状態で下降端位置２３に移動される。この状態
で該コレット２１は吸引作動され、ペレット摘出位置２
０に位置決めされるペレット１９を摘出し、保持可能と
している。上記のようにしてペレット１９を保持するコ
レット２１は上昇端位置２４に移動され、更に該コレッ
ト２１は移動アーム２２の駆動によりペレット移送部に
移動される。ペレット移送部に移動されたコレット２１
は該移送部で下降端位置２３に移動され、次いで吸引作
動が停止される。この結果、コレット２１に保持された
ペレット１９がペレット移送部に解放され、ペレット１
９を解放したコレット２１は再び上昇端位置２４に移動
される。これにより１つのペレット１９の移送が完了さ
れることとなる。ここでコレット２１の上下動は不図示
の昇降手段により行なわれる。ペレット１９の移送を完
了したコレット２１は、再びペレット摘出位置２０に移
動され、上記と同じコレット２１の作動順序で次に移送
するペレット１９を保持することとなる。この際、ペレ
ット摘出位置２０には、ＸＹテーブル１２の駆動によ
り、次に摘出されるペレット１９が位置決めされること
となる。このようにして、ＸＹ方向に整列されるペレッ
ト１９がＸＹテーブル１２の駆動により、順次ペレット
摘出位置２０に位置決めされ、該ペレット１９はコレッ
ト２１の作動により順次ペレット移送部に移送されるこ
ととなる。

【００１１】支持フレーム１３の下方には、基台１１に
支持される状態でペレット突き上げ装置２５が配設され
る。ペレット突き上げ装置２５は、ペレット摘出位置２
０に位置決めされ、且つコレット２１により吸着される
ペレット１９を予め粘着シート１７から剥離可能として
いる。ペレット突き上げ装置２５は、基台１１上に配設
される固定フレーム２６を備えてなり、該固定フレーム
２６には昇降軸保持部２７が配設される。昇降軸保持部
２７には、間にブッシュ２８を介装する状態で昇降軸２
９が上下動可能に支持されてなる。昇降軸２９には係合
ピン３０が突出形成されてなり、該係合ピン３０には係
合凹部３１が係合される。係合凹部３１は、中心部を固
定フレーム２６に軸支する揺動ロッド３２の一端部に形
成されてなる。即ち、揺動ロッド３２は両端部を矢示Ａ
方向に揺動可能としてなり、該揺動ロッド３２の揺動に
より昇降軸２９を上下方向［Ｚ方向］に昇降させること
が可能となる。揺動ロッド３２の矢示Ａ方向の揺動は、
カム３３の回動により行なわれる。このカム３３は、図
２に示すようにステッピングモータ３４の原動軸３５に
支持され、矢示Ｂ方向に回動可能とされる。このカム３
３のカム面３６にはカムフォロア３７が当接され、該カ
ムフォロア３７は揺動ロッド３２の他端部に支持されて
なる。揺動ロッド３２の他端部と固定フレーム２６の間
には引張りスプリング３８が介装され、該引張りスプリ
ング３８は、カムフォロア３７を常時カム面３６に当接
可能としている。この結果、モータ３４を駆動し、カム
３３を回転させることで昇降軸２９を矢示Ｚ方向に昇降
させることが可能となる。

【００１２】一方、昇降軸保持部２７の上方には、同じ
く固定フレーム２６に支持される状態で筒状体保持部３
９が配設される。筒状体保持部３９には、筒状体４０の
下端部が固定ねじ４１の締付けにより支持されてなる。
保持部３９に支持される筒状体４０は、カセットリング
１５の下方へと延設され、延設される筒状体４０の内部
にはニードル支持軸４２が挿入されてなる。ニードル支
持軸４２は、固定ねじ４３の締付けにより、下端部を昇
降軸２９の上部に連結させてなる。

【００１３】筒状体４０の内部におけるニードル支持軸
４２の下方は、間にシール部材兼用のブッシュ４４を介
装させる状態で筒状体４０の内壁に支持させてなる。更
にニードル支持軸４２の上方は、間にブッシュ４５を介
装させる状態で筒状体４０の内壁に支持させてなる。ニ
ードル支持軸４２が挿入される筒状体４０の内部は、筒
状体４０の内壁とニードル支持軸４２の外周間に空隙４
６を備えてなる。空隙４６は、シール部材兼用のブッシ
ュ４４の上端面から、ブッシュ４５の軸方向に貫通して
いる連通部（不図示）を経て筒状体４０の上方端位置ま
で延設され、筒状体４０の上方にはシート吸着ノズル４
７が取着される。筒状体４０には真空配管４８が接続さ
れ、該真空配管４８は筒状体４０の内部の空隙４６から
エアを吸引可能としている。空隙４６内のエアが吸引さ
れると、該空隙４６の内部が負圧となり、これによりシ
ート吸着ノズル４７に対向位置する粘着シート１７の裏
面が該ノズル４７により吸着保持されることとなる。

【００１４】ニードル支持軸４２の上方には、ニードル
４９が取着される。ニードル４９は先端部を尖鋭状とさ
れ、該ニードル４９は、シート１７の裏面に対し進退動
可能とされる。ニードル４９の進退動は、ニードル支持
軸４２を上下動することにより行なわれ、該支持軸４２
の上下動は昇降軸２９を上下動することにより行なわれ
る。即ち、カム３３の回転により昇降軸２９が上下動さ
れると、これに連動してニードル４９の先端部がシート
１７の裏面に対し、上下動されることとなる。シート吸
着ノズル４７には、図３、図４に示されるように、ニー
ドル挿通孔５０が備えられる。また、ニードル４９は、
ペレット摘出位置２０と鉛直方向に対応位置決めされ
る。ニードル４９の先端部はニードル４９の前進状態で
挿通孔５０から突出され、これによりペレット摘出位置
２０に位置決めされるペレット１９をシート１７の裏面
から突き上げ可能としている。この際、シート１７は、
シート吸着ノズル４７により吸着保持される。これによ
り、該ペレット１９は、粘着シート１７の表面から剥離
可能とされる（図４参照）。一方、ニードル４９の先端
部はニードル４９の後退状態で挿通孔５０内に没入可能
とされる（図３参照）。

【００１５】ニードル４９の突き上げ速度、突き上げス
トローク、更に突き上げ回数等は、ステッピングモータ
３４の駆動速度、駆動量等を変化させることにより調整
可能とされる。これらステッピングモータ３４の駆動状
態の変化は、突き上げ制御部５１の指令に基づいて行な
われる。ここで、上記ニードル４９の突き上げストロー
ク、突き上げ速度、突き上げ回数等の動作状態は、寸法
・形状入力部５２（設定部）にて設定される。即ち、突
き上げ制御部５１は、寸法・形状入力部５２に入力され
る粘着シート１７に貼着されるペレット１９に関する寸
法、形状等のデータに応して設定されたニードル４９の
突き上げストローク、突き上げ速度、突き上げ回数等の
動作状態に基づき、モータ３４の駆動状態を可変に調整
可能としている。

【００１６】突き上げ制御部５１は、例えばニードル４
９により突き上げられるペレット１９が小さいものとさ
れる場合、該ペレット１９がシート１７から確実に剥離
されるように突き上げ速度を速く設定し、且つ図４に示
す突き上げストロークＬを小さな値に設定調整するよう
にしている。

【００１７】突き上げ速度の調整はステッピングモータ
３４の回転速度を速く設定することにより可能とされ
る。

【００１８】一方、突き上げストロークＬの調整は、カ
ム３３の回転角度量を調整することにより可能とされ
る。カム３３の回転角度は、カム３３の対向位置に配設
される回転角度検出センサ５３からカム回転角度検出部
５４に入力される。即ち、カム回転角度検出部５４は、
検出される回転角度を突き上げ制御部５１にフィードバ
ックし、突き上げ制御部５１はフィードバックされる回
転角度に基づき、カム３３の回転領域を所定の角度領域
の間で行なうことを可能にしている。この結果、ニード
ル４９の突き上げストロークＬを所定の値に調整するこ
とが可能となる。

【００１９】これに対し、ニードル４９により突き上げ
られるペレット１９が大きいものとされる場合、該ペレ
ット１９がシート１７から確実に剥離されるように突き
上げ速度を遅く設定し、且つ突き上げストロークＬを大
きく設定調整する必要がある。この場合、突き上げ制御
部５１は、モータ３４の回転速度を遅く設定し、且つカ
ム３３の回転角度領域を大きな値に調整するようにして
いる。

【００２０】更に、大きなサイズのペレット１９によっ
ては、ニードル４９の突き上げ回数を２回あるいは３回
とすることが必要とされる。この場合、カム３３が所定
の角度領域を２または３回往復動されるように突き上げ
制御部５１は、モータ３４を駆動制御可能としている。

【００２１】尚、本実施例において突き上げ制御部５１
は、ニードル４９の突き上げ速度、突き上げストローク
Ｌ、突き上げ回数を全て制御するようにしているが、こ
れら全ての要素の１つを調整することによってもペレッ
ト１９の剥離を確実に行なうことが可能となる。

【００２２】次に、上記ペレット装着装置１０の作動を
説明する。ＸＹテーブル１２の移動によりペレット摘出
位置２０に摘出されるべきペレット１９が位置決めされ
るとコレット２１が図３に示す状態から下降端位置２３
まで下降され、この状態でコレット２１の吸引作動が開
始される。これとともに真空配管４８の吸引作動が開始
され、シート吸着ノズル４７に粘着シート１７の裏面が
吸着される（図４参照）。これにより、シート１７が固
定状態で該ノズル４７に保持されることとなる。

【００２３】シート１７の裏面がシート吸着ノズル４７
に保持されると、次に、ニードル４９が図３に示す没入
状態から図４に示す前進状態に突き上げ駆動される。こ
の結果、ペレット１９がシート１７の表面から剥離さ
れ、次いでニードル４９により、ペレット１９が図４に
示す状態で突き上げられることとなる。この際、コレッ
ト２１はニードル４９の突き上げ駆動とともに上昇移動
される。この状態でシート１７の表面から剥離されたペ
レット１９がコレット２１により摘出保持されることと
なる。次いでペレット１９を保持するコレット２１は、
上昇端位置２４まで上昇され、該ペレット１９は次いで
ペレット移送部へ移送されることとなる。これととも
に、突き上げ状態とされていたニードル４９は再び後退
駆動され、また真空配管４８の吸引作動が停止されるこ
ととなる。これにより、シート吸着ノズル４７によるシ
ート１７の吸着状態が解除される。シート１７の吸着状
態が解除されるとＸＹテーブル１２の移動を介して、ペ
レット摘出位置２０に次に摘出されるべきペレット１９
が位置決めされることとなる。このようにして、ＸＹ方
向に整列されるペレット１９がニードル４９の突き上げ
作動により順次粘着シート１７から剥離され、該ペレッ
ト１９がコレット２１により順次摘出され、移送される
こととなる。

【００２４】次に、上記実施例の作用を説明する。上記
実施例に係るペレット突き上げ装置２５によれば、突き
上げ制御部５１により、粘着シート１７に貼着されるペ
レット１９の寸法、形状に応じてニードル４９の突き上
げ速度、突き上げストロークＬもしくは突き上げ回数等
の突き上げ状態の全てまたは少なくとも一つの要素を最
適化し、シート１７からのペレット１９の剥離を確実に
行なうこととしている。これにより、寸法、形状の異な
るペレット１９を粘着シートから確実に剥離することが
可能となる。

【００２５】

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】突き上げ駆動部によって進退動されるニ
ードルにより、シート上に貼着されるペレットをシート
の裏面から突き上げ、剥離するペレット突き上げ装置に
おいて、前記ニードルの突き上げストローク、突き上げ
速度、突き上げ回数の少なくとも一つの動作状態を設定
する設定部と、この設定部に設定された動作状態に基づ
いて前記突き上げ駆動部を駆動制御する突き上げ制御部
と、を有することを特徴とするペレット突き上げ装置。
【請求項２】前記突き上げ駆動部はカムとモータを有
し、前記突き上げ制御部は、前記設定部に設定された動
作状態に基づいて前記モータによる前記カムの回転角度
を駆動制御することを特徴とする請求項１記載のペレッ
ト突き上げ装置。