JPH0719828B2 - ペレット突き上げ方法 - Google Patents
ペレット突き上げ方法Info
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- JPH0719828B2 JPH0719828B2 JP5504586A JP5504586A JPH0719828B2 JP H0719828 B2 JPH0719828 B2 JP H0719828B2 JP 5504586 A JP5504586 A JP 5504586A JP 5504586 A JP5504586 A JP 5504586A JP H0719828 B2 JPH0719828 B2 JP H0719828B2
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- sheet
- cam
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/70—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping
- H10P72/74—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
- H10P72/7412—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support the auxiliary support including means facilitating the separation of a device or wafer from the auxiliary support
- H10P72/7414—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support the auxiliary support including means facilitating the separation of a device or wafer from the auxiliary support the auxiliary support including means facilitating the selective separation of some of a plurality of devices from the auxiliary support
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- Dicing (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、ペレット突き上げ方法に関する。
［従来の技術］ 従来、例えば、半導体等の素子群をその表面に配置し、
形成してなるウエハは、素子片としての各ペレットに分
割され、さらに、分割された各ペレットは、例えば特開
昭60-167337号公報に記載されるペレット摘出装置によ
り摘出される。摘出される各ペレットは、例えば粘着シ
ート等の上面に貼着される状態でペレット摘出装置に供
給される。すなわち、各ペレットは、粘着シートに貼着
されたウエハを各素子片に破折し、分割する状態で形成
される。さらに分割された各ペレットの間には、シート
を引伸ばすことにより隙間が形成され、ペレット摘出装
置は分割された各ペレットを１個ずつ順次摘出するよう
にしている。
形成してなるウエハは、素子片としての各ペレットに分
割され、さらに、分割された各ペレットは、例えば特開
昭60-167337号公報に記載されるペレット摘出装置によ
り摘出される。摘出される各ペレットは、例えば粘着シ
ート等の上面に貼着される状態でペレット摘出装置に供
給される。すなわち、各ペレットは、粘着シートに貼着
されたウエハを各素子片に破折し、分割する状態で形成
される。さらに分割された各ペレットの間には、シート
を引伸ばすことにより隙間が形成され、ペレット摘出装
置は分割された各ペレットを１個ずつ順次摘出するよう
にしている。
従来、シートに貼着されたペレットを摘出する場合、該
ペレットをシートから確実に剥離することが必要とされ
た。ペレットの剥離には、例えば特開昭59-88844号公報
や特開昭60-102754号公報に記載されるペレット突き上
げ装置が用いられる。このペレット突き上げ装置は、突
き上げ駆動部によって進退動されるニードルにより、シ
ート上に貼着されるペレットをシートの裏面から突き上
げ、ペレットを該シートから剥離するようにしている。
ここで突き上げ駆動部は、モータ等により回転されるカ
ムから構成され、該カムはその回転作動によりニードル
を上下に進退動可能としている。
ペレットをシートから確実に剥離することが必要とされ
た。ペレットの剥離には、例えば特開昭59-88844号公報
や特開昭60-102754号公報に記載されるペレット突き上
げ装置が用いられる。このペレット突き上げ装置は、突
き上げ駆動部によって進退動されるニードルにより、シ
ート上に貼着されるペレットをシートの裏面から突き上
げ、ペレットを該シートから剥離するようにしている。
ここで突き上げ駆動部は、モータ等により回転されるカ
ムから構成され、該カムはその回転作動によりニードル
を上下に進退動可能としている。
［発明が解決しようとする問題点］ ところで、最近のペレットは、ペレットにより製造され
るIC、LSIの多様化により様々な寸法、形状のものが提
供される。しかしながら、これら様々な寸法、形状のペ
レットを粘着シートから剥離する場合に、ニードルの突
き上げ速度、突き上げストローク、突き上げ回数を従来
の標準的な寸法、形状のペレットの場合と同じ状態で行
うと、ペレットがうまくシートから剥離されなかった
り、またペレットがシートから剥離する際、該ペレット
が飛散する不具合がある。特に最近、小さなペレットの
場合には、粘着シートの粘着力を高めることで、シート
を引伸ばす際に各ペレットがばらばらに飛散しないよう
にしているため、この種のペレットは、シートから剥離
しにくいものとされていた。
るIC、LSIの多様化により様々な寸法、形状のものが提
供される。しかしながら、これら様々な寸法、形状のペ
レットを粘着シートから剥離する場合に、ニードルの突
き上げ速度、突き上げストローク、突き上げ回数を従来
の標準的な寸法、形状のペレットの場合と同じ状態で行
うと、ペレットがうまくシートから剥離されなかった
り、またペレットがシートから剥離する際、該ペレット
が飛散する不具合がある。特に最近、小さなペレットの
場合には、粘着シートの粘着力を高めることで、シート
を引伸ばす際に各ペレットがばらばらに飛散しないよう
にしているため、この種のペレットは、シートから剥離
しにくいものとされていた。
本発明は、シートに貼着されているペレットの寸法、形
状等に応じて最適の条件での突き上げ動作を達成し、シ
ートからのペレットの剥離を確実に行なうことを目的と
する。
状等に応じて最適の条件での突き上げ動作を達成し、シ
ートからのペレットの剥離を確実に行なうことを目的と
する。
［課題を解決するための手段］ 本発明は、モータにより回転駆動されるカムによって進
退動されるニードルにより、シート上に貼着されるペレ
ットをシートの裏面から突き上げ、剥離するペレット突
き上げ方法において、前記ニードルの突き上げストロー
ク、突き上げ速度、突き上げ回数の少なくとも一つの動
作条件を設定部に設定するとともに、前記設定部に前記
ニードルの突き上げストロークが設定された場合には、
その設定された突き上げストロークに応じて前記モータ
による前記カムの回転角度量の設定を行ない、その設定
された突き上げストロークを実行し、前記設定部に前記
ニードルの突き上げ速度が設定された場合には、その設
定された突き上げ速度に応じて前記モータによる前記カ
ムの回転速度の設定を行ない、その設定された突き上げ
速度を実行し、前記設定部に前記ニードルの突き上げ回
数が設定された場合には、その設定された突き上げ回数
に応じて前記モータによる前記カムの往復動回数の設定
を行ない、その設定された突き上げ回数を実行するよう
にしたものである。
退動されるニードルにより、シート上に貼着されるペレ
ットをシートの裏面から突き上げ、剥離するペレット突
き上げ方法において、前記ニードルの突き上げストロー
ク、突き上げ速度、突き上げ回数の少なくとも一つの動
作条件を設定部に設定するとともに、前記設定部に前記
ニードルの突き上げストロークが設定された場合には、
その設定された突き上げストロークに応じて前記モータ
による前記カムの回転角度量の設定を行ない、その設定
された突き上げストロークを実行し、前記設定部に前記
ニードルの突き上げ速度が設定された場合には、その設
定された突き上げ速度に応じて前記モータによる前記カ
ムの回転速度の設定を行ない、その設定された突き上げ
速度を実行し、前記設定部に前記ニードルの突き上げ回
数が設定された場合には、その設定された突き上げ回数
に応じて前記モータによる前記カムの往復動回数の設定
を行ない、その設定された突き上げ回数を実行するよう
にしたものである。
［作用］ 本発明によれば、ニードルの突き上げストローク、突き
上げ速度、突き上げ回数の少なくとも一つの動作条件を
設定部に設定すれば、それに応じて、カムの回転角度
量、回転速度、あるいは往復動回数の設定調整が行なわ
れ、設定部に設定された動作条件に設定される。従っ
て、本発明においては、ニードルの突き上げストロー
ク、突き上げ速度、突き上げ回数の少なくとも一つの動
作条件に自由に設定調整できるため、シートに貼着され
ているペレットの寸法、形状等に応じて最適の条件での
突き上げ動作が達成でき、シートからのペレットの剥離
を確実に行なうことが可能となる。
上げ速度、突き上げ回数の少なくとも一つの動作条件を
設定部に設定すれば、それに応じて、カムの回転角度
量、回転速度、あるいは往復動回数の設定調整が行なわ
れ、設定部に設定された動作条件に設定される。従っ
て、本発明においては、ニードルの突き上げストロー
ク、突き上げ速度、突き上げ回数の少なくとも一つの動
作条件に自由に設定調整できるため、シートに貼着され
ているペレットの寸法、形状等に応じて最適の条件での
突き上げ動作が達成でき、シートからのペレットの剥離
を確実に行なうことが可能となる。
［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例に係るペレット突き上げ装置
を備えるペレット摘出装置の断面図、第２図は第１図の
II−II線に沿う矢視図、第３図はペレットの突き上げ前
の状態を示す断面図、第４図はペレットの突き上げ状態
を示す断面図である。
を備えるペレット摘出装置の断面図、第２図は第１図の
II−II線に沿う矢視図、第３図はペレットの突き上げ前
の状態を示す断面図、第４図はペレットの突き上げ状態
を示す断面図である。
ペレット装着装置10は、基台11を備え、該基台11には、
平面XY方向に駆動可能なXYテーブル12が支持されてい
る。XYテーブル12の上面には、カセットリングの支持フ
レーム13が、ボルト14によって固着されている。カセッ
トリングの支持フレーム13には、カセットリング15が着
脱自在とされている。このカセットリング15には、ウエ
ハ16の被着された粘着シート17が、ゴムバンド18を介し
て取着されている。貼着シート17上のウエハ16は、円形
状とされ、さらに、ウエハ16は、素子片としての各チッ
プ状のペレット19に分割され、かつ各ペレット19間には
シート17を引伸ばす状態で間隔が形成されている。すな
わち、各ペレット19は、粘着シート17上でXYテーブル12
のXY方向に沿って複数行、複数列に整列される状態とさ
れ、該粘着シート17上の所定位置をペレット摘出位置20
としている。
平面XY方向に駆動可能なXYテーブル12が支持されてい
る。XYテーブル12の上面には、カセットリングの支持フ
レーム13が、ボルト14によって固着されている。カセッ
トリングの支持フレーム13には、カセットリング15が着
脱自在とされている。このカセットリング15には、ウエ
ハ16の被着された粘着シート17が、ゴムバンド18を介し
て取着されている。貼着シート17上のウエハ16は、円形
状とされ、さらに、ウエハ16は、素子片としての各チッ
プ状のペレット19に分割され、かつ各ペレット19間には
シート17を引伸ばす状態で間隔が形成されている。すな
わち、各ペレット19は、粘着シート17上でXYテーブル12
のXY方向に沿って複数行、複数列に整列される状態とさ
れ、該粘着シート17上の所定位置をペレット摘出位置20
としている。
XYテーブル12の上方には、ペレット摘出位置20の上方
と、不図示のペレット移送部の間を往復移動するコレッ
ト21が配設される。すなわち、コレット21は、ペレット
摘出位置20とペレット移送部の間を矢示Ｘ方向に往復動
可能とされ、該コレット21は、移動アーム22に上下動自
在に支持されてなる。上下動自在とされるコレット21
は、ペレット摘出位置20に移動された状態で下降端位置
23に移動される。この状態で該コレット21は吸引作動さ
れ、ペレット摘出位置20に位置決めされるペレット19を
摘出し、保持可能としている。上記のようにしてペレッ
ト19を保持するコレット21は上昇端位置24に移動され、
さらに該コレット21は移動アーム22の駆動によりペレッ
ト移送部に移動される。ペレット移送部に移動されたコ
レット21は該移送部で下降端位置23に移動され、次いで
吸引作動が停止される。この結果、コレット21に保持さ
れたペレット19がペレット移送部に解放され、ペレット
19を解放したコレット21は再び上昇端位置24に移動され
る。これにより１つのペレット19の移送が完了されるこ
ととなる。ここでコレット21の上下動は不図示の昇降手
段により行われる。ペレット19の移送を完了したコレッ
ト21は、再びペレット摘出位置20に移動され、上記と同
じコレット21の作動順序で次に移送するペレット19を保
持することとなる。この際、ペレット摘出位置20には、
XYテーブル12の駆動により、次に摘出されるペレット19
が位置決めされることとなる。このようにして、XY方向
に整列されるペレット19がXYテーブル12の駆動により、
順次ペレット摘出位置20に位置決めされ、、該ペレット
19はコレット21の作動により順次ペレット移送部に移送
されることとなる。
と、不図示のペレット移送部の間を往復移動するコレッ
ト21が配設される。すなわち、コレット21は、ペレット
摘出位置20とペレット移送部の間を矢示Ｘ方向に往復動
可能とされ、該コレット21は、移動アーム22に上下動自
在に支持されてなる。上下動自在とされるコレット21
は、ペレット摘出位置20に移動された状態で下降端位置
23に移動される。この状態で該コレット21は吸引作動さ
れ、ペレット摘出位置20に位置決めされるペレット19を
摘出し、保持可能としている。上記のようにしてペレッ
ト19を保持するコレット21は上昇端位置24に移動され、
さらに該コレット21は移動アーム22の駆動によりペレッ
ト移送部に移動される。ペレット移送部に移動されたコ
レット21は該移送部で下降端位置23に移動され、次いで
吸引作動が停止される。この結果、コレット21に保持さ
れたペレット19がペレット移送部に解放され、ペレット
19を解放したコレット21は再び上昇端位置24に移動され
る。これにより１つのペレット19の移送が完了されるこ
ととなる。ここでコレット21の上下動は不図示の昇降手
段により行われる。ペレット19の移送を完了したコレッ
ト21は、再びペレット摘出位置20に移動され、上記と同
じコレット21の作動順序で次に移送するペレット19を保
持することとなる。この際、ペレット摘出位置20には、
XYテーブル12の駆動により、次に摘出されるペレット19
が位置決めされることとなる。このようにして、XY方向
に整列されるペレット19がXYテーブル12の駆動により、
順次ペレット摘出位置20に位置決めされ、、該ペレット
19はコレット21の作動により順次ペレット移送部に移送
されることとなる。
支持フレーム13の下方には、基台11に支持される状態で
ペレット突き上げ装置25が配設される。ペレット突き上
げ装置25は、ペレット摘出位置20に位置決めされ、かつ
コレット21により吸着されるペレット19を予め粘着シー
ト17から剥離可能としている。ペレット突き上げ装置25
は、基台11上に配設される固定フレーム26を備えてな
り、該固定フレーム26には昇降軸保持部27が配設され
る。昇降軸保持部27には、間にブッシュ28を介装する状
態で昇降軸29が上下動可能に支持されてなる。昇降軸29
には係合ピン30が突出形成されてなり、該係合ピン30に
は係合凹部31が係合される。係合凹部31は、中心部を固
定フレーム26に軸支する揺動ロッド32の一端部に形成さ
れてなる。すなわち、揺動ロッド32は両端部を矢示Ａ方
向に揺動可能としてなり、該揺動ロッド32の揺動により
昇降軸29を上下方向［Ｚ方向］に昇降させることが可能
となる。揺動ロッド32の矢示Ａ方向の揺動は、カム33の
回動により行われる。このカム33は、第２図に示すよう
にステッピングモータ34の原動軸35に支持され、矢示Ｂ
方向に回動可能とされる。このカム33のカム面36にはカ
ムフォロア37が当接され、該カムフォロア37は揺動ロッ
ド32の他端部に支持されてなる。揺動ロッド32の他端部
と固定フレーム26の間には引張りスプリング38が介装さ
れ、該引張りスプリング38は、カムフォロア37を常時カ
ム面36に当接可能としている。この結果、モータ34を駆
動し、カム33を回転させることで昇降軸29を矢示Ｚ方向
に昇降させることが可能となる。
ペレット突き上げ装置25が配設される。ペレット突き上
げ装置25は、ペレット摘出位置20に位置決めされ、かつ
コレット21により吸着されるペレット19を予め粘着シー
ト17から剥離可能としている。ペレット突き上げ装置25
は、基台11上に配設される固定フレーム26を備えてな
り、該固定フレーム26には昇降軸保持部27が配設され
る。昇降軸保持部27には、間にブッシュ28を介装する状
態で昇降軸29が上下動可能に支持されてなる。昇降軸29
には係合ピン30が突出形成されてなり、該係合ピン30に
は係合凹部31が係合される。係合凹部31は、中心部を固
定フレーム26に軸支する揺動ロッド32の一端部に形成さ
れてなる。すなわち、揺動ロッド32は両端部を矢示Ａ方
向に揺動可能としてなり、該揺動ロッド32の揺動により
昇降軸29を上下方向［Ｚ方向］に昇降させることが可能
となる。揺動ロッド32の矢示Ａ方向の揺動は、カム33の
回動により行われる。このカム33は、第２図に示すよう
にステッピングモータ34の原動軸35に支持され、矢示Ｂ
方向に回動可能とされる。このカム33のカム面36にはカ
ムフォロア37が当接され、該カムフォロア37は揺動ロッ
ド32の他端部に支持されてなる。揺動ロッド32の他端部
と固定フレーム26の間には引張りスプリング38が介装さ
れ、該引張りスプリング38は、カムフォロア37を常時カ
ム面36に当接可能としている。この結果、モータ34を駆
動し、カム33を回転させることで昇降軸29を矢示Ｚ方向
に昇降させることが可能となる。
一方、昇降軸保持部27の上方には、同じく固定フレーム
26に支持される状態で筒状体保持部39が配設される。筒
状体保持部39には、筒状体40の下端部が固定ネジ41の締
付けにより支持されてなる。保持部39に支持される筒状
体40は、カセットリング15の下方へと延設され、延設さ
れる筒状体40の内部にはニードル支持軸42が挿入されて
なる。ニードル支持軸42は、固定ネジ43の締付けによ
り、下端部を昇降軸29の上部に連結させてなる。
26に支持される状態で筒状体保持部39が配設される。筒
状体保持部39には、筒状体40の下端部が固定ネジ41の締
付けにより支持されてなる。保持部39に支持される筒状
体40は、カセットリング15の下方へと延設され、延設さ
れる筒状体40の内部にはニードル支持軸42が挿入されて
なる。ニードル支持軸42は、固定ネジ43の締付けによ
り、下端部を昇降軸29の上部に連結させてなる。
筒状体40の内部におけるニードル支持軸42の下方は、間
にシール部材兼用のブッシュ44を介装させる状態で筒状
体40の内壁に支持させてなる。さらにニードル支持軸42
の上方は、間にブッシュ45を介装させる状態で筒状体40
の内壁に支持させてなる。ニードル支持軸42が挿入され
る筒状体40の内部は、筒状体40の内壁とニードル支持軸
42の外周間に空隙46を備えてなる。空隙46は、シール部
材兼用のブッシュ44の上端面から、ブッシュ45の軸方向
に貫通している連通部（不図示）を経て筒状体40の上方
端位置まで延設され、筒状体40の上方にはシール吸着ノ
ズル47が取着される。筒状体40には真空配管48が接続さ
れ、該真空配管48は筒状体40の内部の空隙46からエアを
吸引可能としている。空隙46内のエアが吸引されると、
該空隙46の内部が負圧となり、これによりシール吸着ノ
ズル47に対向位置する粘着シート17の裏面が該ノズル47
により吸着保持されることとなる。
にシール部材兼用のブッシュ44を介装させる状態で筒状
体40の内壁に支持させてなる。さらにニードル支持軸42
の上方は、間にブッシュ45を介装させる状態で筒状体40
の内壁に支持させてなる。ニードル支持軸42が挿入され
る筒状体40の内部は、筒状体40の内壁とニードル支持軸
42の外周間に空隙46を備えてなる。空隙46は、シール部
材兼用のブッシュ44の上端面から、ブッシュ45の軸方向
に貫通している連通部（不図示）を経て筒状体40の上方
端位置まで延設され、筒状体40の上方にはシール吸着ノ
ズル47が取着される。筒状体40には真空配管48が接続さ
れ、該真空配管48は筒状体40の内部の空隙46からエアを
吸引可能としている。空隙46内のエアが吸引されると、
該空隙46の内部が負圧となり、これによりシール吸着ノ
ズル47に対向位置する粘着シート17の裏面が該ノズル47
により吸着保持されることとなる。
ニードル支持軸42の上方には、ニードル49が取着され
る。ニードル49は先端部を尖鋭状とされ、該ニードル49
は、シート17の裏面に対し進退動可能とされる。ニード
ル49の進退動は、ニードル支持軸42を上下動することに
より行われ、該支持軸42の上下動は昇降軸29を上下動す
ることにより行われる。すなわち、カム33の回転により
昇降軸29が上下動されると、これに連動してニードル49
の先端部がシート17の裏面に対し、上下動されることと
なる。シート吸着ノズル47には、第３図、第４図に示さ
れるように、ニードル挿通孔50が備えられる。また、ニ
ードル49は、ペレット摘出位置20と鉛直方向に対応位置
決めされる。ニードル49の先端部はニードル49の前進状
態で挿通孔50から突出され、これによりペレット摘出位
置20に位置決めされるペレット19をシート17の裏面から
突き上げ可能としている。この際、シート17は、シート
吸着ノズル47により吸着保持される。これにより、該ペ
レット19は、粘着シート17の表面から剥離可能とされる
［第４図参照］。一方、ニードル49の先端部はニードル
49の後退状態で挿入孔50内に没入可能とされる。［第３
図参照］。
る。ニードル49は先端部を尖鋭状とされ、該ニードル49
は、シート17の裏面に対し進退動可能とされる。ニード
ル49の進退動は、ニードル支持軸42を上下動することに
より行われ、該支持軸42の上下動は昇降軸29を上下動す
ることにより行われる。すなわち、カム33の回転により
昇降軸29が上下動されると、これに連動してニードル49
の先端部がシート17の裏面に対し、上下動されることと
なる。シート吸着ノズル47には、第３図、第４図に示さ
れるように、ニードル挿通孔50が備えられる。また、ニ
ードル49は、ペレット摘出位置20と鉛直方向に対応位置
決めされる。ニードル49の先端部はニードル49の前進状
態で挿通孔50から突出され、これによりペレット摘出位
置20に位置決めされるペレット19をシート17の裏面から
突き上げ可能としている。この際、シート17は、シート
吸着ノズル47により吸着保持される。これにより、該ペ
レット19は、粘着シート17の表面から剥離可能とされる
［第４図参照］。一方、ニードル49の先端部はニードル
49の後退状態で挿入孔50内に没入可能とされる。［第３
図参照］。
ニードル49の突き上げ速度、突き上げストローク、さら
に突き上げ回数等は、ステッピングモータ34の駆動速
度、駆動量等を変化させることにより調整可能とされ
る。これらステッピングモータ34の駆動状態の変化は、
突き上げ制御部51の指令に基づいて行われる。ここで、
上記ニードル49の突き上げストローク、突き上げ速度、
突き上げ回数等の動作条件は、寸法・形状入力部52（設
定部）にて設定される。即ち、突き上げ制御部51は、寸
法・形状入力部52に入力される粘着シート17に貼着され
るペレット19に関する寸法、形状等のデータに応じて設
定されたニードル49の突き上げストローク、突き上げ速
度、突き上げ回数等の動作条件に応じて、モータ34の駆
動状態を可変に調整可能としている。
に突き上げ回数等は、ステッピングモータ34の駆動速
度、駆動量等を変化させることにより調整可能とされ
る。これらステッピングモータ34の駆動状態の変化は、
突き上げ制御部51の指令に基づいて行われる。ここで、
上記ニードル49の突き上げストローク、突き上げ速度、
突き上げ回数等の動作条件は、寸法・形状入力部52（設
定部）にて設定される。即ち、突き上げ制御部51は、寸
法・形状入力部52に入力される粘着シート17に貼着され
るペレット19に関する寸法、形状等のデータに応じて設
定されたニードル49の突き上げストローク、突き上げ速
度、突き上げ回数等の動作条件に応じて、モータ34の駆
動状態を可変に調整可能としている。
突き上げ制御部51は、例えばニードル49により突き上げ
られるペレット19が小さいものとされる場合、該ペレッ
ト19がシート17から確実に剥離されるように突き上げ速
度を速く設定し、かつ第４図に示す突き上げストローク
Ｌを小さな値に設定調整するようにしている。
られるペレット19が小さいものとされる場合、該ペレッ
ト19がシート17から確実に剥離されるように突き上げ速
度を速く設定し、かつ第４図に示す突き上げストローク
Ｌを小さな値に設定調整するようにしている。
突き上げ速度の調整はステッピングモータ34の回転速度
を速く設定することにより可能とされる。
を速く設定することにより可能とされる。
一方、突き上げストロークＬの調整は、カム33の回転角
度量を調整することにより可能とされる。カム33の回転
角度は、カム33の対向位置に配設される回転角度検出セ
ンサ53からカム回転角度検出部54に入力される。すなわ
ち、カム回転角度検出部54は、検出される回転角度を突
き上げ制御部51にフィードバックし、突き上げ制御部51
はフィードバックされる回転角度に基づき、カム33の回
転領域を所定の角度領域の間で行うことを可能にしてい
る。この結果、ニードル49の突き上げストロークＬを所
定の値に調整することが可能となる。
度量を調整することにより可能とされる。カム33の回転
角度は、カム33の対向位置に配設される回転角度検出セ
ンサ53からカム回転角度検出部54に入力される。すなわ
ち、カム回転角度検出部54は、検出される回転角度を突
き上げ制御部51にフィードバックし、突き上げ制御部51
はフィードバックされる回転角度に基づき、カム33の回
転領域を所定の角度領域の間で行うことを可能にしてい
る。この結果、ニードル49の突き上げストロークＬを所
定の値に調整することが可能となる。
これに対し、ニードル49により突き上げられるペレット
19が大きいものとされる場合、該ペレット19がシート17
から確実に剥離されるように突き上げ速度を遅く設定
し、かつ突き上げストロークＬを大きく設定調整する必
要がある。この場合、突き上げ制御部51は、モータ34の
回転速度を遅く設定し、かつカム33の回転角度領域を大
きな値に調整するようにしている。
19が大きいものとされる場合、該ペレット19がシート17
から確実に剥離されるように突き上げ速度を遅く設定
し、かつ突き上げストロークＬを大きく設定調整する必
要がある。この場合、突き上げ制御部51は、モータ34の
回転速度を遅く設定し、かつカム33の回転角度領域を大
きな値に調整するようにしている。
さらに、大きなサイズのペレット19によっては、ニード
ル49の突き上げ回数を２回あるいは３回とすることが必
要とされる。この場合、カム33が所定の角度領域を２ま
たは３回往復動されるように突き上げ制御部51は、モー
タ34を駆動制御可能としている。
ル49の突き上げ回数を２回あるいは３回とすることが必
要とされる。この場合、カム33が所定の角度領域を２ま
たは３回往復動されるように突き上げ制御部51は、モー
タ34を駆動制御可能としている。
なお、本実施例において突き上げ制御部51は、ニードル
49の突き上げ速度、突き上げストロークＬ、突き上げ回
数を全て制御するようにしているが、これら全ての要素
の１つを調整することによってもペレット19の剥離を確
実に行うことが可能となる。
49の突き上げ速度、突き上げストロークＬ、突き上げ回
数を全て制御するようにしているが、これら全ての要素
の１つを調整することによってもペレット19の剥離を確
実に行うことが可能となる。
次に、上記ペレット装着装置10の作動を説明する。
XYテーブル12の移動によりペレット摘出位置20に摘出さ
れるべきペレット19が位置決めされるとコレット21が第
３図に示す状態から下降端位置23まで下降され、この状
態でコレット21の吸引作動が開始される。これとともに
真空配管48の吸引作動が開始され、シート吸着ノズル47
に粘着シート17の裏面が吸着される［第４図参照］。こ
れにより、シート17が固定状態で該ノズル47に保持され
ることとなる。
れるべきペレット19が位置決めされるとコレット21が第
３図に示す状態から下降端位置23まで下降され、この状
態でコレット21の吸引作動が開始される。これとともに
真空配管48の吸引作動が開始され、シート吸着ノズル47
に粘着シート17の裏面が吸着される［第４図参照］。こ
れにより、シート17が固定状態で該ノズル47に保持され
ることとなる。
シート17の裏面がシート吸着ノズル47に保持されると、
次に、ニードル49が第３図に示す没入状態から第４図に
示す前進状態に突き上げ駆動される。この結果、ペレッ
ト19がシート17の表面から剥離され、次いでニードル49
により、ペレット19が第４図に示す状態で突き上げられ
ることとなる。この際、コレット21はニードル49の突き
上げ駆動とともに上昇移動される。この状態でシート17
の表面から剥離されたペレット19がコレット21により摘
出保持されることとなる。次いでペレット19を保持する
コレット21は、上昇端位置24まで上昇され、該ペレット
19は次いでペレット移送部へ移送されることとなる。こ
れとともに、突き上げ状態とされていたニードル49は再
び後退駆動され、また真空配管48の吸引作動が停止され
ることとなる。これにより、シート吸着ノズル47による
シート17の吸着状態が解除される。シート17の吸着状態
が解除されるとXYテーブル12の移動を介して、ペレット
摘出位置20に次に摘出されるべきペレット19が位置決め
されることとなる。このようにして、XY方向に整列され
るペレット19がニードル49の突き上げ作動により順次粘
着シート17から剥離され、該ペレット19がコレット21に
より順次摘出され、移送されることとなる。
次に、ニードル49が第３図に示す没入状態から第４図に
示す前進状態に突き上げ駆動される。この結果、ペレッ
ト19がシート17の表面から剥離され、次いでニードル49
により、ペレット19が第４図に示す状態で突き上げられ
ることとなる。この際、コレット21はニードル49の突き
上げ駆動とともに上昇移動される。この状態でシート17
の表面から剥離されたペレット19がコレット21により摘
出保持されることとなる。次いでペレット19を保持する
コレット21は、上昇端位置24まで上昇され、該ペレット
19は次いでペレット移送部へ移送されることとなる。こ
れとともに、突き上げ状態とされていたニードル49は再
び後退駆動され、また真空配管48の吸引作動が停止され
ることとなる。これにより、シート吸着ノズル47による
シート17の吸着状態が解除される。シート17の吸着状態
が解除されるとXYテーブル12の移動を介して、ペレット
摘出位置20に次に摘出されるべきペレット19が位置決め
されることとなる。このようにして、XY方向に整列され
るペレット19がニードル49の突き上げ作動により順次粘
着シート17から剥離され、該ペレット19がコレット21に
より順次摘出され、移送されることとなる。
次に、上記実施例の作用を説明する。
上記実施例に係るペレット突き上げ装置25によれば、ニ
ードル49の突き上げストローク、突き上げ速度、突き上
げ回数の少なくとも一つの動作条件を設定部（寸法・形
状入力部52）に設定すれば、それに応じて、カム33の回
転角度量、回転速度、あるいは往復回数の設定調整が行
なわれ、設定部に設定された動作条件に設定される。従
って、本実施例においては、シート17に貼着されている
ペレット19の寸法、形状等に応じて最適の条件での突き
上げ動作が達成でき、シート17からのペレット19の剥離
を確実に行なうことが可能となる。
ードル49の突き上げストローク、突き上げ速度、突き上
げ回数の少なくとも一つの動作条件を設定部（寸法・形
状入力部52）に設定すれば、それに応じて、カム33の回
転角度量、回転速度、あるいは往復回数の設定調整が行
なわれ、設定部に設定された動作条件に設定される。従
って、本実施例においては、シート17に貼着されている
ペレット19の寸法、形状等に応じて最適の条件での突き
上げ動作が達成でき、シート17からのペレット19の剥離
を確実に行なうことが可能となる。
［発明の効果］ 以上のように本発明によれば、シートに貼着されている
ペレットの寸法、形状等に応じて最適の条件での突き上
げ動作を達成し、シートからのペレットの剥離を確実に
行なうことができる。
ペレットの寸法、形状等に応じて最適の条件での突き上
げ動作を達成し、シートからのペレットの剥離を確実に
行なうことができる。
第１図は本発明の一実施例に係るペレット突き上げ装置
を備えるペレット摘出装置の断面図、第２図は第１図の
II−II線に沿う矢視図、第３図はペレットの突き上げ前
の状態を示す断面図、第４図はペレットの突き上げ状態
を示す断面図である。 17……粘着シート、19……ペレット、25……ペレット突
き上げ装置、33……カム［突き上げ駆動部］、34……ス
テッピングモータ、49……ニードル、51……突き上げ制
御部、52……寸法・形状入力部（設定部）。
を備えるペレット摘出装置の断面図、第２図は第１図の
II−II線に沿う矢視図、第３図はペレットの突き上げ前
の状態を示す断面図、第４図はペレットの突き上げ状態
を示す断面図である。 17……粘着シート、19……ペレット、25……ペレット突
き上げ装置、33……カム［突き上げ駆動部］、34……ス
テッピングモータ、49……ニードル、51……突き上げ制
御部、52……寸法・形状入力部（設定部）。
Claims (1)
- 【請求項１】モータにより回転駆動されるカムによって
進退動されるニードルにより、シート上に貼着されるペ
レットをシートの裏面から突き上げ、剥離するペレット
突き上げ方法において、 前記ニードルの突き上げストローク、突き上げ速度、突
き上げ回数の少なくとも一つの動作条件を設定部に設定
するとともに、 前記設定部に前記ニードルの突き上げストロークが設定
された場合には、その設定された突き上げストロークに
応じて前記モータによる前記カムの回転角度量の設定を
行ない、その設定された突き上げストロークを実行し、 前記設定部に前記ニードルの突き上げ速度が設定された
場合には、その設定された突き上げ速度に応じて前記モ
ータによる前記カムの回転速度の設定を行ない、その設
定された突き上げ速度を実行し、 前記設定部に前記ニードルの突き上げ回数が設定された
場合には、その設定された突き上げ回数に応じて前記モ
ータによる前記カムの往復動回数の設定を行ない、その
設定された突き上げ回数を実行することを特徴とするペ
レット突き上げ方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5504586A JPH0719828B2 (ja) | 1986-03-14 | 1986-03-14 | ペレット突き上げ方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5504586A JPH0719828B2 (ja) | 1986-03-14 | 1986-03-14 | ペレット突き上げ方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29250893A Division JPH081925B2 (ja) | 1993-10-29 | 1993-10-29 | ペレット突き上げ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62213263A JPS62213263A (ja) | 1987-09-19 |
| JPH0719828B2 true JPH0719828B2 (ja) | 1995-03-06 |
Family
ID=12987697
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5504586A Expired - Lifetime JPH0719828B2 (ja) | 1986-03-14 | 1986-03-14 | ペレット突き上げ方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0719828B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2899295B2 (ja) * | 1988-11-10 | 1999-06-02 | 松下電器産業株式会社 | ダイエジェクタ装置 |
| JP2894807B2 (ja) * | 1990-07-06 | 1999-05-24 | ローム 株式会社 | 半導体チップのピックアップ装置 |
| JP2571153Y2 (ja) * | 1992-08-26 | 1998-05-13 | 株式会社カイジョー | 半導体部品供給装置 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5797642A (en) * | 1980-12-11 | 1982-06-17 | Shinkawa Ltd | Adjustment of pick up needle |
| JPS5811734A (ja) * | 1981-07-15 | 1983-01-22 | Nippon Steel Corp | 加工性、溶接性の優れた高強度熱延鋼板の製造法 |
| JPS5878641U (ja) * | 1981-11-25 | 1983-05-27 | 株式会社東芝 | 静電チャック |
| JPS58186653A (ja) * | 1982-04-21 | 1983-10-31 | 株式会社山東鉄工所 | 布帛の連続均染染色方法 |
| JPS597219A (ja) * | 1982-07-06 | 1984-01-14 | Murata Mfg Co Ltd | 接触検知装置 |
| JPS5992138A (ja) * | 1982-11-15 | 1984-05-28 | Itaya Seisakusho:Kk | 非円形コイルばね製造装置 |
| JPS59109643A (ja) * | 1982-12-15 | 1984-06-25 | 松下電工株式会社 | 収納部とタオル掛けを有する壁パネル |
| JPS60102754A (ja) * | 1983-11-09 | 1985-06-06 | Nec Corp | チツプ分離機構 |
| JPS60235432A (ja) * | 1984-05-09 | 1985-11-22 | Toshiba Corp | ワイヤボンデイング装置 |
| JPS6074447A (ja) * | 1984-09-03 | 1985-04-26 | Hitachi Ltd | ワイヤボンデイング装置 |
-
1986
- 1986-03-14 JP JP5504586A patent/JPH0719828B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62213263A (ja) | 1987-09-19 |
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