JPH0799324B2 - 接合検査装置 - Google Patents
接合検査装置Info
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- JPH0799324B2 JPH0799324B2 JP62166028A JP16602887A JPH0799324B2 JP H0799324 B2 JPH0799324 B2 JP H0799324B2 JP 62166028 A JP62166028 A JP 62166028A JP 16602887 A JP16602887 A JP 16602887A JP H0799324 B2 JPH0799324 B2 JP H0799324B2
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 13
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 9
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 4
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/024—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by means of diode-array scanning
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B23/00—Record carriers not specific to the method of recording or reproducing; Accessories, e.g. containers, specially adapted for co-operation with the recording or reproducing apparatus ; Intermediate mediums; Apparatus or processes specially adapted for their manufacture
- G11B23/20—Record carriers not specific to the method of recording or reproducing; Accessories, e.g. containers, specially adapted for co-operation with the recording or reproducing apparatus ; Intermediate mediums; Apparatus or processes specially adapted for their manufacture with provision for splicing to provide permanent or temporary connections
- G11B23/26—Record carriers not specific to the method of recording or reproducing; Accessories, e.g. containers, specially adapted for co-operation with the recording or reproducing apparatus ; Intermediate mediums; Apparatus or processes specially adapted for their manufacture with provision for splicing to provide permanent or temporary connections of leaders for loading or threading, e.g. to form a temporary connection
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は長尺のテープをつぎ合わせた際のテープ接合部
におけるテープ幅方向の接合ずれを自動検査する接合検
査装置に関し、例えばビデオテープやオーディオテープ
等においてリーダテープと磁気テープを接合テープで接
合した場合に生じる、リーダテープと磁気テープのいわ
ゆる接合ずれを検査する装置に関するものである。
におけるテープ幅方向の接合ずれを自動検査する接合検
査装置に関し、例えばビデオテープやオーディオテープ
等においてリーダテープと磁気テープを接合テープで接
合した場合に生じる、リーダテープと磁気テープのいわ
ゆる接合ずれを検査する装置に関するものである。
(従来の技術) ビデオテープカセットやオーディオテープカセット等の
製造工程において、リーダテープ(もしくはトレーラテ
ープ)と磁気テープは接合テープにより接合され、この
接合部分におけるテープ幅方向の接合ずれの有無は専ら
オペレータの目視検査により判断されていた。
製造工程において、リーダテープ(もしくはトレーラテ
ープ)と磁気テープは接合テープにより接合され、この
接合部分におけるテープ幅方向の接合ずれの有無は専ら
オペレータの目視検査により判断されていた。
(発明が解決しようとする問題点) しかしながら、このような目視検査によってはオペレー
タ間のバラツキ、疲れによる不良品の見落し等が発生す
るため製品の品質の均一化が困難であり、さらにこのオ
ペレータのための人件費により製造コストが上昇した
り、生産工程中に人為的工程をはさむことにより生産速
度が低下する等という不都合も生じていた。
タ間のバラツキ、疲れによる不良品の見落し等が発生す
るため製品の品質の均一化が困難であり、さらにこのオ
ペレータのための人件費により製造コストが上昇した
り、生産工程中に人為的工程をはさむことにより生産速
度が低下する等という不都合も生じていた。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、
テープ接合部におけるテープ幅方向の接合ずれを自動判
定することにより、製品品質の均一化、製品コストの低
廉化さらには生産速度の高速化を図り得る接合検査装置
を提供することを目的とするものである。
テープ接合部におけるテープ幅方向の接合ずれを自動判
定することにより、製品品質の均一化、製品コストの低
廉化さらには生産速度の高速化を図り得る接合検査装置
を提供することを目的とするものである。
(問題点を解決するための手段) 本発明の接合検査装置は、光照射手段を用いてテープ接
合部に光を照射し、この照射された光の透過光もしくは
反射光を受光手段により受光し、この受光手段により受
光された接合部両側の光量情報に基づき、判定手段によ
り、かかる接合部におけるテープ幅方向のテープ接合ず
れの大きさを判定し、一定の基準の下に製品の良否を選
別し得るようにしたことを特徴とするものである。
合部に光を照射し、この照射された光の透過光もしくは
反射光を受光手段により受光し、この受光手段により受
光された接合部両側の光量情報に基づき、判定手段によ
り、かかる接合部におけるテープ幅方向のテープ接合ず
れの大きさを判定し、一定の基準の下に製品の良否を選
別し得るようにしたことを特徴とするものである。
ここで、上記「テープ接合部」とは、2つのテープ端部
を、互いの端面が対向するような状態もしくは端部が重
なり合う様な状態で接合した場合に生じる接合部分を意
味する。
を、互いの端面が対向するような状態もしくは端部が重
なり合う様な状態で接合した場合に生じる接合部分を意
味する。
また、上記「受光手段」とは接合部近傍における2つの
テープ各々の側縁付近に照射された光を受光して、この
光がテープに当っているか否かを光量の大きさにより判
別し得るものであればよく、例えば複数個のフォトトラ
ンジスタ、あるいはラインセンサや面センサ等を意味す
る。なお、受光手段がテープ幅方向に延びるラインセン
サである場合には光照射手段および受光手段と、テープ
接合部とを相対的にテープ長手方向に移動せしめてテー
プ接合部両側の光量情報を時系列的に得る操作が必要と
なり、一方受光手段が面センサ(CCD等)である場合に
は光照射手段、受光手段およびテープ接合部を互いに固
定し、テープ接合部両側の光量情報を同時あるいは略同
時に面センサに入射せしめ、この後電子的走査により面
センサ全面の光量情報を時系列的に得る操作が必要とな
る。
テープ各々の側縁付近に照射された光を受光して、この
光がテープに当っているか否かを光量の大きさにより判
別し得るものであればよく、例えば複数個のフォトトラ
ンジスタ、あるいはラインセンサや面センサ等を意味す
る。なお、受光手段がテープ幅方向に延びるラインセン
サである場合には光照射手段および受光手段と、テープ
接合部とを相対的にテープ長手方向に移動せしめてテー
プ接合部両側の光量情報を時系列的に得る操作が必要と
なり、一方受光手段が面センサ(CCD等)である場合に
は光照射手段、受光手段およびテープ接合部を互いに固
定し、テープ接合部両側の光量情報を同時あるいは略同
時に面センサに入射せしめ、この後電子的走査により面
センサ全面の光量情報を時系列的に得る操作が必要とな
る。
また、上記「光量情報に基づいて」とはテープ接合部両
側の光量情報の差異を所定の基準値と比較してという程
の意味である。
側の光量情報の差異を所定の基準値と比較してという程
の意味である。
(発明の効果) 本発明の接合検査装置によれば、テープ接合部に照射さ
れた光の透過光もしくは反射光を受光して得たテープ接
合部両側の光量情報に基づいてテープ接合部のテープ幅
方向の接合ずれを自動的に測定しており、このずれ量の
大きさを所定の基準値と比較して製品の良否を客観的か
つもれなく判定することができるので製品の品質の均一
化を図ることができる。また、このような自動検出によ
る測定は光検出および電気信号処理により瞬時にテープ
接合部におけるテープ接合ずれの良否を判定することが
可能であり、目視検査等のようにオペレータの疲労によ
り検査効率が低下することもないので生産速度の高速化
に寄与することができる。さらに、かかる装置は前述し
たように簡単な構成にて製作することができるので、装
置製作に要する費用が安価であり、オペレータによる目
視検査の場合に要する人件費等と比べ割安でテープ製造
コストの低廉化を図ることができる。
れた光の透過光もしくは反射光を受光して得たテープ接
合部両側の光量情報に基づいてテープ接合部のテープ幅
方向の接合ずれを自動的に測定しており、このずれ量の
大きさを所定の基準値と比較して製品の良否を客観的か
つもれなく判定することができるので製品の品質の均一
化を図ることができる。また、このような自動検出によ
る測定は光検出および電気信号処理により瞬時にテープ
接合部におけるテープ接合ずれの良否を判定することが
可能であり、目視検査等のようにオペレータの疲労によ
り検査効率が低下することもないので生産速度の高速化
に寄与することができる。さらに、かかる装置は前述し
たように簡単な構成にて製作することができるので、装
置製作に要する費用が安価であり、オペレータによる目
視検査の場合に要する人件費等と比べ割安でテープ製造
コストの低廉化を図ることができる。
(実 施 例) 以下、本発明の実施例について図面を用いて説明する。
第1図は本発明の接合検査装置の一実施例を示す該略図
である。この装置は、パレット1上に載設された2つの
リール2a,2b間を矢印A方向に走行するテープ3に対し
平行光を照射する光照射手段4、この光照射手段4から
テープ3に照射された光の反射光を受光する受光手段
5、この受光手段5により受光された光量情報に基づい
て、リーダテープと磁気テープの接合部におけるテープ
幅方向のテープ接合ずれを計測し、このずれ量が所定の
基準値を超える場合に製品が不良であるとの判定信号を
出力する判定手段6からなっている。また、光照射手段
4からの光がテープ上に照射される位置付近において、
テープ3を挾んで光照射手段4と反対側には、テープ摺
動面の中央部に中空部を有するバックアップヘッド7が
配設されている。
である。この装置は、パレット1上に載設された2つの
リール2a,2b間を矢印A方向に走行するテープ3に対し
平行光を照射する光照射手段4、この光照射手段4から
テープ3に照射された光の反射光を受光する受光手段
5、この受光手段5により受光された光量情報に基づい
て、リーダテープと磁気テープの接合部におけるテープ
幅方向のテープ接合ずれを計測し、このずれ量が所定の
基準値を超える場合に製品が不良であるとの判定信号を
出力する判定手段6からなっている。また、光照射手段
4からの光がテープ上に照射される位置付近において、
テープ3を挾んで光照射手段4と反対側には、テープ摺
動面の中央部に中空部を有するバックアップヘッド7が
配設されている。
第2図は、第1図に示す光照射手段と受光手段5の各々
の一部をさらにい詳細に示す斜視図である。この光照射
手段4の前方にはテープ幅方向に延びるスリット8およ
びシリンドリカルレンズ9が配設されており、これによ
り照射光がテープ幅方向に延びる線状のビームとなって
テープ上に照射されるようになっている。また第2図に
示すようにテープ上に照射されて反射された光は、やは
りテープ幅方向に延びる線状のビームであって、受光手
段5であるラインセンサによって受光されるようになっ
ている。
の一部をさらにい詳細に示す斜視図である。この光照射
手段4の前方にはテープ幅方向に延びるスリット8およ
びシリンドリカルレンズ9が配設されており、これによ
り照射光がテープ幅方向に延びる線状のビームとなって
テープ上に照射されるようになっている。また第2図に
示すようにテープ上に照射されて反射された光は、やは
りテープ幅方向に延びる線状のビームであって、受光手
段5であるラインセンサによって受光されるようになっ
ている。
なお、テープ走行機構としてはテープの定速走行を達成
し得る公知の回転モータを使用し、またバックアップヘ
ッド7の着脱機構としては例えばシリンダ機構等を使用
している。
し得る公知の回転モータを使用し、またバックアップヘ
ッド7の着脱機構としては例えばシリンダ機構等を使用
している。
以上、上記装置を用いてテープ接合部のテープ接合ずれ
を判定する操作について説明する。
を判定する操作について説明する。
テープ3を2つのリール2a,2b間において約20cm/sec程
度の速度で矢印A方向に定速走行せしめるように該2つ
のリール2a,2bを回転せしめる。これと同時に、光照射
手段4からのビームをテープ3上に照射する。なお、ビ
ームが照射されるテープ部分の背面にはこのテープに当
接するようにバックアップヘッド7を配設しておく。ま
た、テープ3からのビームの反射光を受光面上に受光し
得るように該受光手段5を配設しておく。さらに、受光
手段5により受光されたテープ3の光量情報は判定手段
6にデジタル電気信号の形で時系列的に入力されるよう
に設定しておく。
度の速度で矢印A方向に定速走行せしめるように該2つ
のリール2a,2bを回転せしめる。これと同時に、光照射
手段4からのビームをテープ3上に照射する。なお、ビ
ームが照射されるテープ部分の背面にはこのテープに当
接するようにバックアップヘッド7を配設しておく。ま
た、テープ3からのビームの反射光を受光面上に受光し
得るように該受光手段5を配設しておく。さらに、受光
手段5により受光されたテープ3の光量情報は判定手段
6にデジタル電気信号の形で時系列的に入力されるよう
に設定しておく。
ところで、テープ3はリーダテープと磁気テープを接合
テープにより接合してなるものであって、かかるリーダ
テープと磁気テープは略同一幅となるように形成されて
いる。したがって、両テープの接合が正確に行なわれれ
ば両テープの側縁は互いに連続するように形成される
が、実際には接合の際における両テープの正確な位置設
定が難しいために接合のバラツキが生じ、接合部におい
て両テープが互いにその幅方向にずれるといういわゆる
テープ接合ずれが生じる。この接合ずれが大きいと製品
の品質の劣化に結びつくため、このような製品がそのま
ま市場に出荷されることは回避しなければならない。
テープにより接合してなるものであって、かかるリーダ
テープと磁気テープは略同一幅となるように形成されて
いる。したがって、両テープの接合が正確に行なわれれ
ば両テープの側縁は互いに連続するように形成される
が、実際には接合の際における両テープの正確な位置設
定が難しいために接合のバラツキが生じ、接合部におい
て両テープが互いにその幅方向にずれるといういわゆる
テープ接合ずれが生じる。この接合ずれが大きいと製品
の品質の劣化に結びつくため、このような製品がそのま
ま市場に出荷されることは回避しなければならない。
そこで、本実施例の装置はこのようなテープ接合ずれが
所定の基準値以内であるか否かを自動判定して製品の良
否の選別が可能となるようにしている。すなわち、第3
図に示すようなテープ接合ずれの生じているテープ3の
検査において、テープ走行によりリーダテープ3aの接合
部近傍の線状領域Bが光照射位置にくると、この線状領
域Bからの光量情報が受光手段5を介して判定手段6に
入力され、さらにテープ3が矢印A方向に走行して磁気
テープ3bの接合部近傍の線状領域Cが光照射位置にくる
と、この線状領域Cからの光量情報も受光手段5を介し
て判定手段6に入力される。バクアップヘッド7の中央
には中空部7aが形成されており、この中空部7aに照射さ
れたビームは該ヘッドを通りぬけ受光手段5には入射し
ない。なお、ここでは光照射手段4からのビームはテー
プ上方にのみ照射されているとすると、この場合、受光
手段5の各フォトダイオード部は入射した光はその光量
の大きさに応じてデジタル電気信号に変換され、受光手
段5の上部のダイオード部から出力されたデジタル電気
信号から順に判定手段6に入力される。したがって判定
手段6に入力された光量情報であるデジタル電気信号
を、時間を横軸に、信号の大きさを縦軸にとったグラフ
で表わす場合、領域Bからの光量情報は第4図(A)の
ように表わされ、また領域Cからの光量情報は第4図
(B)のように表わされる。判定手段6においては、各
領域毎に信号始点sから信号が急激に増加する点eまで
の時間tをマイクロコンピュータを用いて計測し、各領
域tの差Bdを算出し、この差Bdを所定の基準値と比較
し、差Bdの方が小さければOK信号を、逆に大きければN
G信号を判定信号として出力する。なお、上記基準値は
光軸とテープの直角度の誤差、ワーク自体の傾き等を考
慮して決定され、予め判定手段6に設定しておく。ま
た、実際には光量情報は一定のサンプリング時間毎に読
み取られているので、判定結果の信頼性を向上させるた
めに、例えばリーダテープおよび磁気テープ各々複数の
領域について上記tを算出し、リーダテープあるいは磁
気テープの各々についてこのtを平均化した後、上記と
同様にしてBdを算出してもよい。
所定の基準値以内であるか否かを自動判定して製品の良
否の選別が可能となるようにしている。すなわち、第3
図に示すようなテープ接合ずれの生じているテープ3の
検査において、テープ走行によりリーダテープ3aの接合
部近傍の線状領域Bが光照射位置にくると、この線状領
域Bからの光量情報が受光手段5を介して判定手段6に
入力され、さらにテープ3が矢印A方向に走行して磁気
テープ3bの接合部近傍の線状領域Cが光照射位置にくる
と、この線状領域Cからの光量情報も受光手段5を介し
て判定手段6に入力される。バクアップヘッド7の中央
には中空部7aが形成されており、この中空部7aに照射さ
れたビームは該ヘッドを通りぬけ受光手段5には入射し
ない。なお、ここでは光照射手段4からのビームはテー
プ上方にのみ照射されているとすると、この場合、受光
手段5の各フォトダイオード部は入射した光はその光量
の大きさに応じてデジタル電気信号に変換され、受光手
段5の上部のダイオード部から出力されたデジタル電気
信号から順に判定手段6に入力される。したがって判定
手段6に入力された光量情報であるデジタル電気信号
を、時間を横軸に、信号の大きさを縦軸にとったグラフ
で表わす場合、領域Bからの光量情報は第4図(A)の
ように表わされ、また領域Cからの光量情報は第4図
(B)のように表わされる。判定手段6においては、各
領域毎に信号始点sから信号が急激に増加する点eまで
の時間tをマイクロコンピュータを用いて計測し、各領
域tの差Bdを算出し、この差Bdを所定の基準値と比較
し、差Bdの方が小さければOK信号を、逆に大きければN
G信号を判定信号として出力する。なお、上記基準値は
光軸とテープの直角度の誤差、ワーク自体の傾き等を考
慮して決定され、予め判定手段6に設定しておく。ま
た、実際には光量情報は一定のサンプリング時間毎に読
み取られているので、判定結果の信頼性を向上させるた
めに、例えばリーダテープおよび磁気テープ各々複数の
領域について上記tを算出し、リーダテープあるいは磁
気テープの各々についてこのtを平均化した後、上記と
同様にしてBdを算出してもよい。
また、判定信号をブザーに入力するようにしておいてNG
信号が出力された場合は一定期間警報が発せられるよう
にしておくとよい。さらに、コントロールパネルにLED
を配設しておき、判定信号がOK信号であるかNG信号であ
るかを視覚的に表示するようにしておけば製品の選別を
する際に便利である。
信号が出力された場合は一定期間警報が発せられるよう
にしておくとよい。さらに、コントロールパネルにLED
を配設しておき、判定信号がOK信号であるかNG信号であ
るかを視覚的に表示するようにしておけば製品の選別を
する際に便利である。
なお、上述した実施例においてはカセットに収納する前
のテープについて検査しているが、テープをカセットに
収納した後においてもガードパネルを開閉させることに
より、上記と同様の検査を行なうことができる。
のテープについて検査しているが、テープをカセットに
収納した後においてもガードパネルを開閉させることに
より、上記と同様の検査を行なうことができる。
なお、上記実施例においてはテープからの反射光を受光
して光量情報を得ているが本発明の接合検査装置はテー
プからの透過光を受光して光量情報を得るような構成で
あってもよい。
して光量情報を得ているが本発明の接合検査装置はテー
プからの透過光を受光して光量情報を得るような構成で
あってもよい。
なお、上記実施例においては、光照射手段および受光手
段を固定しておき、テープを走行させてテープ各領域か
らの光量情報を得るようにしているが、これに代えて光
照射手段および受光手段をテープ長手方向に移動させて
上記各領域からの光量情報を得るようにしてもよい。さ
らに、受光手段をCCD等の面センサとしておき、テープ
接合部付近に照射された光の反射光もしくは透過光が上
記面センサに同時に入射し得るような位置に、かかる光
照射手段、受光手段およびテープ接合部を配設し、上記
面センサから出力される光量情報によって上記実施例と
同様に製品の良否を判定するようにしてもよい。
段を固定しておき、テープを走行させてテープ各領域か
らの光量情報を得るようにしているが、これに代えて光
照射手段および受光手段をテープ長手方向に移動させて
上記各領域からの光量情報を得るようにしてもよい。さ
らに、受光手段をCCD等の面センサとしておき、テープ
接合部付近に照射された光の反射光もしくは透過光が上
記面センサに同時に入射し得るような位置に、かかる光
照射手段、受光手段およびテープ接合部を配設し、上記
面センサから出力される光量情報によって上記実施例と
同様に製品の良否を判定するようにしてもよい。
第1図は本発明の接合検査装置の一実施例を示す該略
図、第2図は第1図に示す接合検査装置の一部を詳細に
示す斜視図、第3図は第1図に示す光照射手段からの光
をテープ接合部付近に照射する様子を説明するための該
略図、第4図は、デジタル電気信号に変換された光量情
報を第1図に示す判定手段により演算する様子を説明す
るためのグラフである。 2a,2b……リール、3……テープ 3a……リーダテープ、3b……磁気テープ 4……光照射手段、5……受光手段 6……判定手段
図、第2図は第1図に示す接合検査装置の一部を詳細に
示す斜視図、第3図は第1図に示す光照射手段からの光
をテープ接合部付近に照射する様子を説明するための該
略図、第4図は、デジタル電気信号に変換された光量情
報を第1図に示す判定手段により演算する様子を説明す
るためのグラフである。 2a,2b……リール、3……テープ 3a……リーダテープ、3b……磁気テープ 4……光照射手段、5……受光手段 6……判定手段
Claims (1)
- 【請求項1】2つのテープ端部を接合してなるテープ接
合部に光を照射する光照射手段、 この光照射手段から前記接合部に照射された光の透過光
もしくは反射光を受光する受光手段、 およびこの受光手段により受光された前記接合部両側の
光量情報に基づいて、該接合部における前記2つのテー
プ端部のテープ幅方向のずれの大きさを判定する判定手
段からなることを特徴とする接合検査装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62166028A JPH0799324B2 (ja) | 1987-07-02 | 1987-07-02 | 接合検査装置 |
| US07/211,644 US4988204A (en) | 1987-07-02 | 1988-06-27 | Joint inspection apparatus |
| DE3822305A DE3822305A1 (de) | 1987-07-02 | 1988-07-01 | Vorrichtung zur inspektion von verbindungsstellen |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62166028A JPH0799324B2 (ja) | 1987-07-02 | 1987-07-02 | 接合検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6410107A JPS6410107A (en) | 1989-01-13 |
| JPH0799324B2 true JPH0799324B2 (ja) | 1995-10-25 |
Family
ID=15823602
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62166028A Expired - Fee Related JPH0799324B2 (ja) | 1987-07-02 | 1987-07-02 | 接合検査装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4988204A (ja) |
| JP (1) | JPH0799324B2 (ja) |
| DE (1) | DE3822305A1 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6867434B2 (en) | 1995-11-17 | 2005-03-15 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Active matrix electro-luminescent display with an organic leveling layer |
| US7202551B2 (en) | 1995-12-14 | 2007-04-10 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device having underlying insulating film and insulating films |
| US7633085B2 (en) | 1999-03-29 | 2009-12-15 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
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Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6867434B2 (en) | 1995-11-17 | 2005-03-15 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Active matrix electro-luminescent display with an organic leveling layer |
| US7361931B2 (en) | 1995-11-17 | 2008-04-22 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Active matrix electro-luminescent display with an organic leveling layer |
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| US7413937B2 (en) | 1995-12-14 | 2008-08-19 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
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