JPH08101138A - 外観検査装置およびその検査方法 - Google Patents
外観検査装置およびその検査方法Info
- Publication number
- JPH08101138A JPH08101138A JP6235738A JP23573894A JPH08101138A JP H08101138 A JPH08101138 A JP H08101138A JP 6235738 A JP6235738 A JP 6235738A JP 23573894 A JP23573894 A JP 23573894A JP H08101138 A JPH08101138 A JP H08101138A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- data
- appearance
- image data
- image
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Image Analysis (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Image Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、検査対象物の外観の良否を検査する
外観検査装置およびその検査方法において、外観の欠陥
の大きさを高い精度で検出できるようにすることを最も
主要な特徴とする。 【構成】たとえば、検査対象物より読み取った画像デー
タＰａを第１の基準化部１２で規準化し、規準化データ
Ｐ´を生成する。また、良否判定の基準となる基準デー
タＲａを第２の読取部１３および第２の基準化部１４に
よって基準化し、規準化データＲ´を得る。そして、そ
れぞれの基準化データＰ´，Ｒ´をもとに、算出部１５
によって濃度データＥを算出する。この後、検出部１６
において、上記濃度データＥより欠陥画像の大きさを算
出し、あらかじめ設定された閾値と比較することによ
り、外観の良否を判定する構成となっている。
外観検査装置およびその検査方法において、外観の欠陥
の大きさを高い精度で検出できるようにすることを最も
主要な特徴とする。 【構成】たとえば、検査対象物より読み取った画像デー
タＰａを第１の基準化部１２で規準化し、規準化データ
Ｐ´を生成する。また、良否判定の基準となる基準デー
タＲａを第２の読取部１３および第２の基準化部１４に
よって基準化し、規準化データＲ´を得る。そして、そ
れぞれの基準化データＰ´，Ｒ´をもとに、算出部１５
によって濃度データＥを算出する。この後、検出部１６
において、上記濃度データＥより欠陥画像の大きさを算
出し、あらかじめ設定された閾値と比較することによ
り、外観の良否を判定する構成となっている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、たとえば検査対象物
の外観の良否を検査する外観検査装置およびその検査方
法に関するもので、特に半導体製品の外観不良の検出な
どに用いられるものである。
の外観の良否を検査する外観検査装置およびその検査方
法に関するもので、特に半導体製品の外観不良の検出な
どに用いられるものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、樹脂モールド型パッケージを有す
る半導体装置の、パッケージ外観の欠陥部分を安定に検
出し得る半導体装置の外観検査方法および外観検査装置
が提案されている（たとえば、特願平５−１３０５７９
号）。これは、半導体装置の、モールド樹脂パッケージ
に対応するデジタル画像信号の濃度を二値化するための
閾値を適正値に自動的に設定できるようにすることで、
樹脂パッケージの表面状態や大きさに関係なく、欠陥検
出の安定化を可能としたものである。
る半導体装置の、パッケージ外観の欠陥部分を安定に検
出し得る半導体装置の外観検査方法および外観検査装置
が提案されている（たとえば、特願平５−１３０５７９
号）。これは、半導体装置の、モールド樹脂パッケージ
に対応するデジタル画像信号の濃度を二値化するための
閾値を適正値に自動的に設定できるようにすることで、
樹脂パッケージの表面状態や大きさに関係なく、欠陥検
出の安定化を可能としたものである。
【０００３】さて、従来の外観検査装置では、一般に、
良否判定の基準となる基準画像と検査対象画像との差を
もとに、検査対象物の外観の良否を検査するようになっ
ている。
良否判定の基準となる基準画像と検査対象画像との差を
もとに、検査対象物の外観の良否を検査するようになっ
ている。
【０００４】しかしながら、従来の検査方法では、検査
対象物の外観の不良部分を定量的に抽出することができ
ない。このため、不良部分の大きさを高い精度で抽出す
るのが困難であり、また白黒画像による処理を対象とす
るものであって、カラー画像による処理には不向きであ
るなどの問題があった。
対象物の外観の不良部分を定量的に抽出することができ
ない。このため、不良部分の大きさを高い精度で抽出す
るのが困難であり、また白黒画像による処理を対象とす
るものであって、カラー画像による処理には不向きであ
るなどの問題があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記したように、従来
においては、検査対象物の外観の不良部分の大きさを高
い精度で抽出するのが困難であり、またカラー画像によ
る処理には応用できないなどの問題があった。
においては、検査対象物の外観の不良部分の大きさを高
い精度で抽出するのが困難であり、またカラー画像によ
る処理には応用できないなどの問題があった。
【０００６】そこで、この発明は、検査対象物の外観の
良否を検査する場合に、不良部分の大きさを高い精度で
検出することができ、カラー画像による処理にも容易に
応用が可能な外観検査装置およびその検査方法を提供す
ることを目的としている。
良否を検査する場合に、不良部分の大きさを高い精度で
検出することができ、カラー画像による処理にも容易に
応用が可能な外観検査装置およびその検査方法を提供す
ることを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、この発明の外観検査装置にあっては、検査対象物
より画像データを読み取る読取手段と、この読取手段で
読み取った前記画像データを基準化する基準化手段と、
この基準化手段で基準化された前記画像データとあらか
じめ用意されている基準データとから、前記検査対象物
の外観不良を検出する検出手段とから構成されている。
めに、この発明の外観検査装置にあっては、検査対象物
より画像データを読み取る読取手段と、この読取手段で
読み取った前記画像データを基準化する基準化手段と、
この基準化手段で基準化された前記画像データとあらか
じめ用意されている基準データとから、前記検査対象物
の外観不良を検出する検出手段とから構成されている。
【０００８】また、この発明の外観検査装置の検査方法
にあっては、検査対象物より画像データを読み取る工程
と、この読み取った画像データを標準偏差により基準化
する工程と、この基準化された画像データとあらかじめ
用意されている基準データとから各画素の濃度の差にも
とづく濃度データを得、その濃度データをもとに前記検
査対象物の外観不良を検出する工程とからなっている。
にあっては、検査対象物より画像データを読み取る工程
と、この読み取った画像データを標準偏差により基準化
する工程と、この基準化された画像データとあらかじめ
用意されている基準データとから各画素の濃度の差にも
とづく濃度データを得、その濃度データをもとに前記検
査対象物の外観不良を検出する工程とからなっている。
【０００９】また、この発明の外観検査装置にあって
は、検査対象物よりカラー画像データを読み取る読取手
段と、この読取手段で読み取った前記カラー画像データ
を各色信号ごとに基準化する基準化手段と、この基準化
手段で基準化された前記各色信号ごとの画像データとあ
らかじめ用意されている各色信号ごとの基準データとか
ら色差データを求め、その色差データをもとに前記検査
対象物の外観不良を検出する検出手段とから構成されて
いる。
は、検査対象物よりカラー画像データを読み取る読取手
段と、この読取手段で読み取った前記カラー画像データ
を各色信号ごとに基準化する基準化手段と、この基準化
手段で基準化された前記各色信号ごとの画像データとあ
らかじめ用意されている各色信号ごとの基準データとか
ら色差データを求め、その色差データをもとに前記検査
対象物の外観不良を検出する検出手段とから構成されて
いる。
【００１０】さらに、この発明の外観検査装置の検査方
法にあっては、検査対象物よりカラー画像データを読み
取る工程と、この読み取ったカラー画像データを各色信
号ごとに基準化する工程と、この基準化された各色信号
ごとの画像データとあらかじめ用意されている各色信号
ごとの基準データとから色差データを求め、その色差デ
ータをもとに前記検査対象物の外観不良を検出する工程
とからなっている。
法にあっては、検査対象物よりカラー画像データを読み
取る工程と、この読み取ったカラー画像データを各色信
号ごとに基準化する工程と、この基準化された各色信号
ごとの画像データとあらかじめ用意されている各色信号
ごとの基準データとから色差データを求め、その色差デ
ータをもとに前記検査対象物の外観不良を検出する工程
とからなっている。
【００１１】
【作用】この発明は、上記した手段により、検査対象物
の外観の不良部分を定量的に抽出できるようになるた
め、外乱などの影響を受けにくく、しかも応用範囲の広
い検査システムの構築が可能となるものである。
の外観の不良部分を定量的に抽出できるようになるた
め、外乱などの影響を受けにくく、しかも応用範囲の広
い検査システムの構築が可能となるものである。
【００１２】
【実施例】以下、この発明の一実施例について図面を参
照して説明する。図１は、本発明にかかる外観検査装置
の概略構成を示すものである。すなわち、この外観検査
装置は、たとえば検査対象物より画像データＰａを読み
取る第１の読取部１１と、この第１の読取部１１で読み
取った画像データＰａを基準化する第１の基準化部１２
と、良否判定の基準となる基準データＲａを読み取る第
２の読取部１３と、この第２の読取部１３で読み取った
基準データＲａを基準化する第２の基準化部１４と、上
記第１，第２の基準化部１２，１４で基準化された各基
準化データＰ´，Ｒ´にもとづいて濃度データＥを算出
する算出部１５と、この算出部１５で算出された濃度デ
ータＥをもとに検査対象物の外観不良を検出する検出部
１６とから構成されている。
照して説明する。図１は、本発明にかかる外観検査装置
の概略構成を示すものである。すなわち、この外観検査
装置は、たとえば検査対象物より画像データＰａを読み
取る第１の読取部１１と、この第１の読取部１１で読み
取った画像データＰａを基準化する第１の基準化部１２
と、良否判定の基準となる基準データＲａを読み取る第
２の読取部１３と、この第２の読取部１３で読み取った
基準データＲａを基準化する第２の基準化部１４と、上
記第１，第２の基準化部１２，１４で基準化された各基
準化データＰ´，Ｒ´にもとづいて濃度データＥを算出
する算出部１５と、この算出部１５で算出された濃度デ
ータＥをもとに検査対象物の外観不良を検出する検出部
１６とから構成されている。
【００１３】第１の読取部１１は、検査対象物を照明す
る光源、その照明の反射光により検査対象物の外観像を
撮影するＣＣＤカメラ、その撮影により得られたアナロ
グの画像信号をデジタルの画像データＰａに変換するＡ
／Ｄ変換器、その画像データＰａを記憶する画像メモリ
（いずれも図示していない）などからなる。
る光源、その照明の反射光により検査対象物の外観像を
撮影するＣＣＤカメラ、その撮影により得られたアナロ
グの画像信号をデジタルの画像データＰａに変換するＡ
／Ｄ変換器、その画像データＰａを記憶する画像メモリ
（いずれも図示していない）などからなる。
【００１４】第１の基準化部１２は、上記第１の読取部
１１の画像メモリに記憶された画像データＰａの濃度の
平均値Ｐｂを求め、この平均値Ｐｂを画像データＰａよ
り減じた後、さらに標準偏差σp で除ずることによって
画像データＰａの基準化を行う、コンピュータシステム
を含む演算器またはアナログ回路からなる。
１１の画像メモリに記憶された画像データＰａの濃度の
平均値Ｐｂを求め、この平均値Ｐｂを画像データＰａよ
り減じた後、さらに標準偏差σp で除ずることによって
画像データＰａの基準化を行う、コンピュータシステム
を含む演算器またはアナログ回路からなる。
【００１５】画像データＰａを基準化して得られる基準
化データＰ´は、下記式（１）にしたがって求められ
る。また、この基準化データＰ´を求めるための上記標
準偏差σp は下記式（２）により、平均値Ｐｂは下記式
（３）により、それぞれ求められる。
化データＰ´は、下記式（１）にしたがって求められ
る。また、この基準化データＰ´を求めるための上記標
準偏差σp は下記式（２）により、平均値Ｐｂは下記式
（３）により、それぞれ求められる。
【００１６】
【数１】
【００１７】
【数２】
【００１８】
【数３】
【００１９】第２の読取部１３は、良否判定の基準とな
る対象物を照明する光源、その照明の反射光により上記
対象物の外観像を撮影するＣＣＤカメラ、その撮影によ
り得られたアナログの画像信号をデジタルの画像データ
（基準データ）Ｒａに変換するＡ／Ｄ変換器、その基準
データＲａを記憶する画像メモリ（いずれも図示してい
ない）などからなる。
る対象物を照明する光源、その照明の反射光により上記
対象物の外観像を撮影するＣＣＤカメラ、その撮影によ
り得られたアナログの画像信号をデジタルの画像データ
（基準データ）Ｒａに変換するＡ／Ｄ変換器、その基準
データＲａを記憶する画像メモリ（いずれも図示してい
ない）などからなる。
【００２０】なお、第２の読取部１３としては、あらか
じめ用意された、良否判定の基準となる対象物に対応す
る基準データＲａを画像メモリより読み出す構成として
も良いし、第１の読取部１１を兼用して構成することも
できる。
じめ用意された、良否判定の基準となる対象物に対応す
る基準データＲａを画像メモリより読み出す構成として
も良いし、第１の読取部１１を兼用して構成することも
できる。
【００２１】第２の基準化部１４は、上記第２の読取部
１３の画像メモリに記憶された基準データＲａの濃度の
平均値Ｒｂを求め、この平均値Ｒｂを基準データＲａよ
り減じた後、さらに標準偏差σr で除ずることによって
基準データＲａの基準化を行う、コンピュータシステム
を含む演算器またはアナログ回路からなる。
１３の画像メモリに記憶された基準データＲａの濃度の
平均値Ｒｂを求め、この平均値Ｒｂを基準データＲａよ
り減じた後、さらに標準偏差σr で除ずることによって
基準データＲａの基準化を行う、コンピュータシステム
を含む演算器またはアナログ回路からなる。
【００２２】基準データＲａを基準化して得られる基準
化データＲ´は、下記式（４）にしたがって求められ
る。また、この基準化データＲ´を求めるための上記標
準偏差σr は下記式（５）により、平均値Ｒｂは下記式
（６）により、それぞれ求められる。
化データＲ´は、下記式（４）にしたがって求められ
る。また、この基準化データＲ´を求めるための上記標
準偏差σr は下記式（５）により、平均値Ｒｂは下記式
（６）により、それぞれ求められる。
【００２３】
【数４】
【００２４】
【数５】
【００２５】
【数６】
【００２６】なお、この第２の基準化部１４は、良否判
定の基準となる対象物に対応する基準データＲａより求
められる基準化データＲ´を、あらかじめ第２の読取部
１３を構成する画像メモリに記憶させておくことで、省
略することができる。
定の基準となる対象物に対応する基準データＲａより求
められる基準化データＲ´を、あらかじめ第２の読取部
１３を構成する画像メモリに記憶させておくことで、省
略することができる。
【００２７】算出部１５は、上記基準化データＰ´と上
記基準化データＲ´とから、各画素の濃度の差にもとづ
く濃度データＥを算出するもので、コンピュータシステ
ムを含む演算器またはアナログ回路からなる。ここでの
濃度データＥの算出は、下記式（７）にしたがって行わ
れる。
記基準化データＲ´とから、各画素の濃度の差にもとづ
く濃度データＥを算出するもので、コンピュータシステ
ムを含む演算器またはアナログ回路からなる。ここでの
濃度データＥの算出は、下記式（７）にしたがって行わ
れる。
【００２８】
【数７】
【００２９】すなわち、濃度データＥの算出とは、基準
化された二つのデータＰ´，Ｒ´の、各画素ごとの濃度
の差またはその絶対値を求めるものであり、これにより
傷などの、検査対象物の外観の欠陥部分を定量的に抽出
することが可能となる。したがって、得られる濃度デー
タＥ上には、画像の平均的な明るさなどに左右されな
い、欠陥部分についての情報（欠陥画像）が現れる。
化された二つのデータＰ´，Ｒ´の、各画素ごとの濃度
の差またはその絶対値を求めるものであり、これにより
傷などの、検査対象物の外観の欠陥部分を定量的に抽出
することが可能となる。したがって、得られる濃度デー
タＥ上には、画像の平均的な明るさなどに左右されな
い、欠陥部分についての情報（欠陥画像）が現れる。
【００３０】ただし、濃度データＥの算出を絶対値によ
り行わない場合には、負の欠陥（本来、明るいところに
暗い部分があるとする）処理と正の欠陥（本来、暗いと
ころに明るい欠陥があるとする）処理が行われる。
り行わない場合には、負の欠陥（本来、明るいところに
暗い部分があるとする）処理と正の欠陥（本来、暗いと
ころに明るい欠陥があるとする）処理が行われる。
【００３１】なお、図１には、基準化データＲ´上にあ
るにもかかわらず、基準化データＰ´上にはない欠陥、
つまり本来あるべき像の欠落部分を欠陥画像とする濃度
データＥが得られた場合を例に示している。また、図２
には、基準化データＰ´上にあって、基準化データＲ´
上にない欠陥、つまり本来あってはならない傷などを欠
陥画像とする濃度データＥが得られた場合を例に示して
いる。
るにもかかわらず、基準化データＰ´上にはない欠陥、
つまり本来あるべき像の欠落部分を欠陥画像とする濃度
データＥが得られた場合を例に示している。また、図２
には、基準化データＰ´上にあって、基準化データＲ´
上にない欠陥、つまり本来あってはならない傷などを欠
陥画像とする濃度データＥが得られた場合を例に示して
いる。
【００３２】検出部１６は、上記濃度データＥ上の明度
の高い画素（または、明度の低い画素）を計数して欠陥
画像の大きさを算出し、この算出値とあらかじめ設定さ
れたある閾値との大小関係により外観の良否を判定す
る、コンピュータシステムを含む演算器またはアナログ
回路からなる。
の高い画素（または、明度の低い画素）を計数して欠陥
画像の大きさを算出し、この算出値とあらかじめ設定さ
れたある閾値との大小関係により外観の良否を判定す
る、コンピュータシステムを含む演算器またはアナログ
回路からなる。
【００３３】なお、欠陥画像を算出する方法としては、
上記濃度データＥをあるスレッショールドレベルで二値
化し、その二値化画像より欠陥部分の面積を求める方法
や、濃度データＥの濃淡（明度の差）に応じて欠陥部分
を比率で表現する欠陥率Ｄを求める方法、もしくは特願
平５−１３０５７９号に開示された方法なども採用でき
る。因みに、上記欠陥率Ｄは、下記式（８）にしたがっ
て求めることができる。
上記濃度データＥをあるスレッショールドレベルで二値
化し、その二値化画像より欠陥部分の面積を求める方法
や、濃度データＥの濃淡（明度の差）に応じて欠陥部分
を比率で表現する欠陥率Ｄを求める方法、もしくは特願
平５−１３０５７９号に開示された方法なども採用でき
る。因みに、上記欠陥率Ｄは、下記式（８）にしたがっ
て求めることができる。
【００３４】
【数８】
【００３５】また、特願平５−１３０５７９号に開示さ
れた算出の方法は、濃度データＥの各画素の濃度に関す
る累積濃度分布ヒストグラムを求め、このヒストグラム
および不良と判定すべき欠陥部分の面積を現わす画素数
にもとづいて濃度を二値化するための閾値を自動的に決
定し、その閾値以下の各画素点の深さを画像データＥの
濃度より求めて二次元の各方向ごとに累積することによ
って、欠陥部分の体積を割り出そうとするものである。
れた算出の方法は、濃度データＥの各画素の濃度に関す
る累積濃度分布ヒストグラムを求め、このヒストグラム
および不良と判定すべき欠陥部分の面積を現わす画素数
にもとづいて濃度を二値化するための閾値を自動的に決
定し、その閾値以下の各画素点の深さを画像データＥの
濃度より求めて二次元の各方向ごとに累積することによ
って、欠陥部分の体積を割り出そうとするものである。
【００３６】次に、上記した構成の外観検査装置の検査
方法について説明する。まず、第１の読取部１１によっ
て、検査対象物の外観の画像データＰａがモノクロ画像
として読み取られる。この第１の読取部１１で読み取ら
れた画像データＰａは、第１の基準化部１２において、
前述した各式（１）〜式（３）にしたがって基準化され
る。
方法について説明する。まず、第１の読取部１１によっ
て、検査対象物の外観の画像データＰａがモノクロ画像
として読み取られる。この第１の読取部１１で読み取ら
れた画像データＰａは、第１の基準化部１２において、
前述した各式（１）〜式（３）にしたがって基準化され
る。
【００３７】一方、第２の読取部１３および第２の基準
化部１４によって、良否判定の基準となる基準データＲ
ａの基準化が、前述した各式（４）〜（６）にしたがっ
て行われる。
化部１４によって、良否判定の基準となる基準データＲ
ａの基準化が、前述した各式（４）〜（６）にしたがっ
て行われる。
【００３８】そして、上記第１，第２の基準化部１２，
１４でそれぞれ規準化された各基準化データＰ´，Ｒ´
は、算出部１５に送られ、前述した式（７）にしたがっ
た濃度データＥの算出に供される。
１４でそれぞれ規準化された各基準化データＰ´，Ｒ´
は、算出部１５に送られ、前述した式（７）にしたがっ
た濃度データＥの算出に供される。
【００３９】この算出部１５で算出された濃度データＥ
は、検出部１６に送られる。そして、たとえば上記濃度
データＥ上の明度の低い画素の数により欠陥画像の大き
さが算出されて、あらかじめ設定された閾値と比較され
ることにより、外観不良の検出、つまり外観の良否の判
定がなされる。
は、検出部１６に送られる。そして、たとえば上記濃度
データＥ上の明度の低い画素の数により欠陥画像の大き
さが算出されて、あらかじめ設定された閾値と比較され
ることにより、外観不良の検出、つまり外観の良否の判
定がなされる。
【００４０】このような構成の外観検査装置の検査方法
によれば、画像の平均的な明るさなどに左右されること
なく、検査対象物の外観の欠陥部分を定量的に抽出でき
るようになる。
によれば、画像の平均的な明るさなどに左右されること
なく、検査対象物の外観の欠陥部分を定量的に抽出でき
るようになる。
【００４１】すなわち、それぞれに規準化した検査対象
画像と基準画像との差によって、欠陥画像のみを抽出す
るようにしている。これにより、検査対象物の外観の良
否を検査する際に、検査対象物の反射率の変動、照明光
の照度変化、カメラのドリフトといった外乱の影響を吸
収することが可能となる。したがって、半導体ペレット
の傷など、外観不良となる欠陥部分の大きさをより正確
に検出できるようになるため、検査の精度を向上できる
ものである。
画像と基準画像との差によって、欠陥画像のみを抽出す
るようにしている。これにより、検査対象物の外観の良
否を検査する際に、検査対象物の反射率の変動、照明光
の照度変化、カメラのドリフトといった外乱の影響を吸
収することが可能となる。したがって、半導体ペレット
の傷など、外観不良となる欠陥部分の大きさをより正確
に検出できるようになるため、検査の精度を向上できる
ものである。
【００４２】特に、この外観検査装置の検査方法を、た
とえば半導体製品の組み立てを行うダイボンダ工程やワ
イヤボンダ工程に採用することで、生産性の大幅な向上
が期待できる。
とえば半導体製品の組み立てを行うダイボンダ工程やワ
イヤボンダ工程に採用することで、生産性の大幅な向上
が期待できる。
【００４３】なお、上記実施例においては、白黒二値の
モノクロ画像により処理を行う装置に適用した場合につ
いて説明したが、これに限らず、たとえばカラー画像を
用いて検査対象物の外観の良否を検査する装置にも同様
に適用できる。
モノクロ画像により処理を行う装置に適用した場合につ
いて説明したが、これに限らず、たとえばカラー画像を
用いて検査対象物の外観の良否を検査する装置にも同様
に適用できる。
【００４４】図３は、この発明の外観検査方法を、カラ
ー画像を用いて半導体ウェーハの外観の良否を検査する
外観検査装置に適用した場合を例に示すものである。す
なわち、この外観検査装置は、たとえば検査対象物であ
る半導体ウェーハＨＷを照明する光源１１ａ、その反射
光により半導体ウェーハＨＷの外観像を撮影するレンズ
１１ｂを有するＣＣＤカメラ１１ｃ、そのアナログ画像
信号を転送するＣＣＵ（Ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ
Ｃｏｎｔｒｏｌ Ｕｎｉｔ）１１ｄ、そのアナログ画像
信号を各色信号ごとにデジタル画像信号に変換して画像
データＰR ａ，ＰG ａ，ＰB ａを生成するＡ／Ｄ変換器
１１ｅ，１１ｆ，１１ｇ、それぞれの画像データＰR
ａ，ＰG ａ，ＰB ａを記憶する画像メモリ１１ｈ，１１
ｉ，１１ｊ、それぞれの画像データＰR ａ，ＰG ａ，Ｐ
B ａを基準化して基準化データＰR ´，ＰG ´，ＰB ´
を生成する第１の基準化部１２ａ，１２ｂ，１２ｃ、良
否判定の基準となる基準化データＲR ´，ＲG ´，ＲB
´をあらかじめ記憶する画像メモリ１３ａ，１３ｂ，１
３ｃ、基準化データＰR ´，ＰG ´，ＰB ´と基準化デ
ータＲR ´，ＲG ´，ＲB ´とから各色差データＥR ，
ＥG ，ＥB を生成する生成回路１５ａ，１５ｂ，１５
ｃ、それぞれに生成された色差データＥR ，ＥG ，ＥB
を格納する画像メモリ１５ｄ，１５ｅ，１５ｆ、その各
色差データＥR ，ＥG ，ＥB から濃度データＥｃを求め
る合成回路１５ｇ、その濃度データＥｃをもとに外観不
良を検出する検出部１６によって構成される。なお、上
記検出部１６において、半導体ウェーハＨＷの外観の良
否の判定に用いられる濃度データＥｃは、下記式（９）
に示す如く現わすことができる。
ー画像を用いて半導体ウェーハの外観の良否を検査する
外観検査装置に適用した場合を例に示すものである。す
なわち、この外観検査装置は、たとえば検査対象物であ
る半導体ウェーハＨＷを照明する光源１１ａ、その反射
光により半導体ウェーハＨＷの外観像を撮影するレンズ
１１ｂを有するＣＣＤカメラ１１ｃ、そのアナログ画像
信号を転送するＣＣＵ（Ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ
Ｃｏｎｔｒｏｌ Ｕｎｉｔ）１１ｄ、そのアナログ画像
信号を各色信号ごとにデジタル画像信号に変換して画像
データＰR ａ，ＰG ａ，ＰB ａを生成するＡ／Ｄ変換器
１１ｅ，１１ｆ，１１ｇ、それぞれの画像データＰR
ａ，ＰG ａ，ＰB ａを記憶する画像メモリ１１ｈ，１１
ｉ，１１ｊ、それぞれの画像データＰR ａ，ＰG ａ，Ｐ
B ａを基準化して基準化データＰR ´，ＰG ´，ＰB ´
を生成する第１の基準化部１２ａ，１２ｂ，１２ｃ、良
否判定の基準となる基準化データＲR ´，ＲG ´，ＲB
´をあらかじめ記憶する画像メモリ１３ａ，１３ｂ，１
３ｃ、基準化データＰR ´，ＰG ´，ＰB ´と基準化デ
ータＲR ´，ＲG ´，ＲB ´とから各色差データＥR ，
ＥG ，ＥB を生成する生成回路１５ａ，１５ｂ，１５
ｃ、それぞれに生成された色差データＥR ，ＥG ，ＥB
を格納する画像メモリ１５ｄ，１５ｅ，１５ｆ、その各
色差データＥR ，ＥG ，ＥB から濃度データＥｃを求め
る合成回路１５ｇ、その濃度データＥｃをもとに外観不
良を検出する検出部１６によって構成される。なお、上
記検出部１６において、半導体ウェーハＨＷの外観の良
否の判定に用いられる濃度データＥｃは、下記式（９）
に示す如く現わすことができる。
【００４５】
【数９】
【００４６】また、この実施例装置の場合も同様に、各
部は、コンピュータシステムを含む演算器よってソフト
的に構成することも、またはアナログ回路によってハー
ド的に構成することもできる。
部は、コンピュータシステムを含む演算器よってソフト
的に構成することも、またはアナログ回路によってハー
ド的に構成することもできる。
【００４７】このような構成の外観検査装置によれば、
半導体ウェーハの外観の良否を検査する際に、基準化し
たデータを用いて色差に関する情報を得るようにしてい
る。このため、コントラストの影響が大きくて、検査に
は使用できないといった問題を解決できる。したがっ
て、色相による外観不良の検出を安定に行うことが可能
となるなど、広い範囲での応用が可能な検査システムを
容易に構築できるようになるものである。その他、この
発明の要旨を変えない範囲において、種々変形実施可能
なことは勿論である。
半導体ウェーハの外観の良否を検査する際に、基準化し
たデータを用いて色差に関する情報を得るようにしてい
る。このため、コントラストの影響が大きくて、検査に
は使用できないといった問題を解決できる。したがっ
て、色相による外観不良の検出を安定に行うことが可能
となるなど、広い範囲での応用が可能な検査システムを
容易に構築できるようになるものである。その他、この
発明の要旨を変えない範囲において、種々変形実施可能
なことは勿論である。
【００４８】
【発明の効果】以上、詳述したようにこの発明によれ
ば、検査対象物の外観の良否を検査する場合に、不良部
分の大きさを高い精度で検出することができ、カラー画
像による処理にも容易に応用が可能な外観検査装置およ
びその検査方法を提供できる。
ば、検査対象物の外観の良否を検査する場合に、不良部
分の大きさを高い精度で検出することができ、カラー画
像による処理にも容易に応用が可能な外観検査装置およ
びその検査方法を提供できる。
【図１】この発明の一実施例にかかる外観検査装置を概
略的に示す構成図。
略的に示す構成図。
【図２】同じく、外観検査装置の要部を示す構成図。
【図３】この発明の他の実施例にかかる外観検査装置の
概略構成図。
概略構成図。
１１…第１の読取部、１２…第１の基準化部、１３…第
２の読取部、１４…第２の基準化部、１５…算出部、１
６…検出部、Ｐａ…画像データ、Ｒａ…基準データ、Ｐ
´，Ｒ´…基準化データ、Ｅ…濃度データ。
２の読取部、１４…第２の基準化部、１５…算出部、１
６…検出部、Ｐａ…画像データ、Ｒａ…基準データ、Ｐ
´，Ｒ´…基準化データ、Ｅ…濃度データ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/66 Ｊ 7735−4Ｍ
Claims (6)
- 【請求項１】 検査対象物より画像データを読み取る読
取手段と、 この読取手段で読み取った前記画像データを基準化する
基準化手段と、 この基準化手段で基準化された前記画像データとあらか
じめ用意されている基準データとから、前記検査対象物
の外観不良を検出する検出手段とを具備したことを特徴
とする外観検査装置。 - 【請求項２】 前記基準化手段は、標準偏差により前記
画像データの濃度の基準化を行うものであることを特徴
とする請求項１に記載の外観検査装置。 - 【請求項３】 前記検出手段は、基準化された画像デー
タと基準データとから各画素の濃度の差にもとづく濃度
データを得、その濃度データをもとに前記検査対象物の
外観の欠陥画像を抽出するものであることを特徴とする
請求項１に記載の外観検査装置。 - 【請求項４】 検査対象物より画像データを読み取る工
程と、 この読み取った画像データを標準偏差により基準化する
工程と、 この基準化された画像データとあらかじめ用意されてい
る基準データとから各画素の濃度の差にもとづく濃度デ
ータを得、その濃度データをもとに前記検査対象物の外
観不良を検出する工程とからなることを特徴とする外観
検査装置の検査方法。 - 【請求項５】 検査対象物よりカラー画像データを読み
取る読取手段と、 この読取手段で読み取った前記カラー画像データを各色
信号ごとに基準化する基準化手段と、 この基準化手段で基準化された前記各色信号ごとの画像
データとあらかじめ用意されている各色信号ごとの基準
データとから色差データを求め、その色差データをもと
に前記検査対象物の外観不良を検出する検出手段とを具
備したことを特徴とする外観検査装置。 - 【請求項６】 検査対象物よりカラー画像データを読み
取る工程と、 この読み取ったカラー画像データを各色信号ごとに基準
化する工程と、 この基準化された各色信号ごとの画像データとあらかじ
め用意されている各色信号ごとの基準データとから色差
データを求め、その色差データをもとに前記検査対象物
の外観不良を検出する工程とからなることを特徴とする
外観検査装置の検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6235738A JPH08101138A (ja) | 1994-09-29 | 1994-09-29 | 外観検査装置およびその検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6235738A JPH08101138A (ja) | 1994-09-29 | 1994-09-29 | 外観検査装置およびその検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08101138A true JPH08101138A (ja) | 1996-04-16 |
Family
ID=16990495
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6235738A Pending JPH08101138A (ja) | 1994-09-29 | 1994-09-29 | 外観検査装置およびその検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08101138A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102300965B1 (ko) * | 2020-07-27 | 2021-09-10 | 주식회사 현대케피코 | 다기통 엔진의 실화 진단 방법 및 장치 |
-
1994
- 1994-09-29 JP JP6235738A patent/JPH08101138A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102300965B1 (ko) * | 2020-07-27 | 2021-09-10 | 주식회사 현대케피코 | 다기통 엔진의 실화 진단 방법 및 장치 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20030044178A1 (en) | Method for the automatic detection of red-eye defects in photographic image data | |
| US20060067569A1 (en) | Image inspection device, image inspection method, and image inspection program | |
| JPH0762606B2 (ja) | パターン位置認識装置 | |
| KR20010098460A (ko) | 빠른 검사 처리 속도를 갖는 외관 검사 방법 및 외관 검사장치 | |
| US6597805B1 (en) | Visual inspection method for electronic device, visual inspecting apparatus for electronic device, and record medium for recording program which causes computer to perform visual inspecting method for electronic device | |
| JPH10104076A (ja) | 異種物混入検査方法及びそのシステム | |
| JPS617406A (ja) | 物体形状の欠陥検出方法 | |
| JPH10141925A (ja) | 外観検査装置 | |
| JP3260425B2 (ja) | パターンのエッジライン推定方式及びパターン検査装置 | |
| JPH08152412A (ja) | 外観検査装置 | |
| JPH05164703A (ja) | ワーク表面検査方法 | |
| JPH1040383A (ja) | 外観検査装置 | |
| JP4084257B2 (ja) | プリント基板検査装置 | |
| JP3190173B2 (ja) | 半導体装置の外観検査方法および外観検査装置 | |
| JPH0310107A (ja) | 濃淡パターンマッチングによる検査方法 | |
| JPH06259549A (ja) | 画像領域分割装置 | |
| JPH0319990B2 (ja) | ||
| JPH0781962B2 (ja) | 異物検出方法 | |
| JPS608769A (ja) | 物体検出装置 | |
| JPH0383474A (ja) | 車両検出装置 | |
| JPH0552763A (ja) | 半導体装置の外観検査装置 | |
| JPH04364446A (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JPH0236026B2 (ja) | ||
| JPH05210737A (ja) | パターン認識方法 | |
| JPH048833B2 (ja) |