JPH0811128A - ワイヤーリールの回転振動防止構造 - Google Patents
ワイヤーリールの回転振動防止構造Info
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- JPH0811128A JPH0811128A JP15210294A JP15210294A JPH0811128A JP H0811128 A JPH0811128 A JP H0811128A JP 15210294 A JP15210294 A JP 15210294A JP 15210294 A JP15210294 A JP 15210294A JP H0811128 A JPH0811128 A JP H0811128A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
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- B65H75/18—Constructional details
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】ワイヤーリールの回転バランスを簡便に修正で
き、被加工物の切断精度を向上することのできるワイヤ
ーリールの回転振動防止構造を提供する。 【構成】ワイヤーリール１０の内部には、円柱状の軸芯
３０を残した環状の空洞３２、３２…が仕切板３３、３
３…により層状に形成されている。また、この空洞３
２、３２…には、それぞれ球状のバランスウェイト４
０、４０…が多数封入されている。そして、ワイヤーリ
ール１０がアンバランス状態で回転すると、空洞３２、
３２…内のバランスウェイト４０、４０…が、アンバラ
ンス振動の源である軽量部の移動する。そして、移動し
たバランスウェイト４０、４０は、その回転方向の遠心
力によりワイヤーリール１０の回転振れを修正するよう
に働く。これにより、ワイヤーリール１０の回転振れを
自動的に修正することができる。したがって、ワイヤー
リール１０は回転時にアンバランス振動を発生せず、被
加工物の切断精度を向上することができる。
き、被加工物の切断精度を向上することのできるワイヤ
ーリールの回転振動防止構造を提供する。 【構成】ワイヤーリール１０の内部には、円柱状の軸芯
３０を残した環状の空洞３２、３２…が仕切板３３、３
３…により層状に形成されている。また、この空洞３
２、３２…には、それぞれ球状のバランスウェイト４
０、４０…が多数封入されている。そして、ワイヤーリ
ール１０がアンバランス状態で回転すると、空洞３２、
３２…内のバランスウェイト４０、４０…が、アンバラ
ンス振動の源である軽量部の移動する。そして、移動し
たバランスウェイト４０、４０は、その回転方向の遠心
力によりワイヤーリール１０の回転振れを修正するよう
に働く。これにより、ワイヤーリール１０の回転振れを
自動的に修正することができる。したがって、ワイヤー
リール１０は回転時にアンバランス振動を発生せず、被
加工物の切断精度を向上することができる。
Description
【０００１】
【発明の利用分野】本発明はワイヤーソーのワイヤーリ
ールバランス修正構造に係り、特に半導体インゴット、
セラミック、ガラス等の被加工物を、走行するワイヤー
で多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤーソーのワ
イヤーリールの回転振動防止構造に関する。
ールバランス修正構造に係り、特に半導体インゴット、
セラミック、ガラス等の被加工物を、走行するワイヤー
で多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤーソーのワ
イヤーリールの回転振動防止構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体インゴット、セラミック、ガラス
等の被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断する切断
装置の一つにワイヤーソーがある。このワイヤーソー
は、ワイヤーが複数の溝付きローラ間に巻掛けられてワ
イヤー列が形成されると共に、ワイヤーの一方端は一方
のワイヤーリールに巻回され、他方端は他方のワイヤー
リールに巻回される。そして、ワイヤーが一方のワイヤ
ーリールと他方のワイヤーリールとの間を高速で往復走
行する際に、前記ワイヤー列に被加工物を押し当てると
共に、ワイヤー列に砥粒を含む加工液を供給し、砥粒の
ラッピング作用により被加工物を多数の薄板状のウェー
ハに切断するものである。
等の被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断する切断
装置の一つにワイヤーソーがある。このワイヤーソー
は、ワイヤーが複数の溝付きローラ間に巻掛けられてワ
イヤー列が形成されると共に、ワイヤーの一方端は一方
のワイヤーリールに巻回され、他方端は他方のワイヤー
リールに巻回される。そして、ワイヤーが一方のワイヤ
ーリールと他方のワイヤーリールとの間を高速で往復走
行する際に、前記ワイヤー列に被加工物を押し当てると
共に、ワイヤー列に砥粒を含む加工液を供給し、砥粒の
ラッピング作用により被加工物を多数の薄板状のウェー
ハに切断するものである。
【０００３】このワイヤーソーには、直径の大きな材料
でも小さな材料でも、同一機械で比較的簡単にスライシ
ングできる等の利点があるが、その反面、被加工物の切
断精度が他の切断装置に比べ低いという問題がある。こ
の切断精度が低下する原因は幾つか考えられるが、ワイ
ヤーリール回転時のアンバランス振動もその中の１つで
ある。ワイヤーリール回転時のアンバランス振動は、ワ
イヤーリール自体のバランスが取れていない為に、又は
ワイヤーの巻き取りが正確に行われず、ワイヤーが偏在
した為に起こる回転中の振動であり、この振動が切断部
に伝わり、被加工物の切断精度を低下させる。
でも小さな材料でも、同一機械で比較的簡単にスライシ
ングできる等の利点があるが、その反面、被加工物の切
断精度が他の切断装置に比べ低いという問題がある。こ
の切断精度が低下する原因は幾つか考えられるが、ワイ
ヤーリール回転時のアンバランス振動もその中の１つで
ある。ワイヤーリール回転時のアンバランス振動は、ワ
イヤーリール自体のバランスが取れていない為に、又は
ワイヤーの巻き取りが正確に行われず、ワイヤーが偏在
した為に起こる回転中の振動であり、この振動が切断部
に伝わり、被加工物の切断精度を低下させる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ワイヤーソーでは、このワイヤーリールのアンバランス
振動に対する対処が行われていなかった。このようなこ
とから、被加工物の切断精度を低下させるばかりではな
く、ワイヤーソー本体への悪影響を及ぼすアンバランス
振動は解消する必要がある。
ワイヤーソーでは、このワイヤーリールのアンバランス
振動に対する対処が行われていなかった。このようなこ
とから、被加工物の切断精度を低下させるばかりではな
く、ワイヤーソー本体への悪影響を及ぼすアンバランス
振動は解消する必要がある。
【０００５】本発明は、このような事情を鑑みてなされ
たもので、ワイヤーソーにおけるワイヤーリールの回転
バランスを簡単に修正することができ、被加工物の切断
精度を向上することのできるワイヤーリールの回転振動
防止構造を提供することを目的とする。
たもので、ワイヤーソーにおけるワイヤーリールの回転
バランスを簡単に修正することができ、被加工物の切断
精度を向上することのできるワイヤーリールの回転振動
防止構造を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
する為に、一方のワイヤーリールと他方のワイヤーリー
ルの間を走行するワイヤーに被加工物を押し当てると共
に、前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給し、前記被
加工物を多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤーソ
ーであって、前記ワイヤーの巻取り又は送り出しをする
前記ワイヤーリールを回転動力側であるターンテーブル
に連結して前記ワイヤーリールを回転させるワイヤーソ
ーにおいて、前記ワイヤーリール又は前記ターンテーブ
ルには、前記ワイヤーリールのアンバランス振動を補正
する為のバランスウェイト部材を取り付けるバランスウ
ェイト取付部を形成したことを特徴とする。
する為に、一方のワイヤーリールと他方のワイヤーリー
ルの間を走行するワイヤーに被加工物を押し当てると共
に、前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給し、前記被
加工物を多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤーソ
ーであって、前記ワイヤーの巻取り又は送り出しをする
前記ワイヤーリールを回転動力側であるターンテーブル
に連結して前記ワイヤーリールを回転させるワイヤーソ
ーにおいて、前記ワイヤーリール又は前記ターンテーブ
ルには、前記ワイヤーリールのアンバランス振動を補正
する為のバランスウェイト部材を取り付けるバランスウ
ェイト取付部を形成したことを特徴とする。
【０００７】また、前記目的を達成する為に、一方のワ
イヤーリールと他方のワイヤーリールの間を走行するワ
イヤーに被加工物を押し当てると共に、前記ワイヤーに
砥粒を含む加工液を供給し、前記被加工物を多数の薄板
状のウェーハに切断するワイヤーソーであって、前記ワ
イヤーの巻取り又は送り出しをする前記ワイヤーリール
を回転動力側であるターンテーブルに連結して前記ワイ
ヤーリールを回転させるワイヤーソーにおいて、前記ワ
イヤーリール内部を環状の空洞に形成すると共に、前記
空洞内には移動自在なバランスウェイト部材が封入され
ていることを特徴とする。
イヤーリールと他方のワイヤーリールの間を走行するワ
イヤーに被加工物を押し当てると共に、前記ワイヤーに
砥粒を含む加工液を供給し、前記被加工物を多数の薄板
状のウェーハに切断するワイヤーソーであって、前記ワ
イヤーの巻取り又は送り出しをする前記ワイヤーリール
を回転動力側であるターンテーブルに連結して前記ワイ
ヤーリールを回転させるワイヤーソーにおいて、前記ワ
イヤーリール内部を環状の空洞に形成すると共に、前記
空洞内には移動自在なバランスウェイト部材が封入され
ていることを特徴とする。
【０００８】
【作用】請求項１の発明によれば、ワイヤーリールのア
ンバランス振動の測定結果に基づいた必要量のバランス
ウェイト部材をワイヤーリール又はターンテーブルに形
成したバランスウェイト取付部に取り付けるだけで、簡
単かつ迅速にワイヤーリールの回転振れを修正すること
ができる。これにより、ワイヤーリール回転時にアンバ
ランス振動が発生しない。したがって、ワイヤーソー運
転時の振動が低減するので、被加工物を切断する切断精
度を向上することができる。
ンバランス振動の測定結果に基づいた必要量のバランス
ウェイト部材をワイヤーリール又はターンテーブルに形
成したバランスウェイト取付部に取り付けるだけで、簡
単かつ迅速にワイヤーリールの回転振れを修正すること
ができる。これにより、ワイヤーリール回転時にアンバ
ランス振動が発生しない。したがって、ワイヤーソー運
転時の振動が低減するので、被加工物を切断する切断精
度を向上することができる。
【０００９】請求項２では、必要量のバランスウェイト
部材をワイヤーリール又はターンテーブルの所定の位置
に形成したバランスウェイト挿入穴に入れ、栓止め固定
するだけで、ワイヤーリールの回転振れを簡単かつ迅速
に修正することができる。請求項３では、バランスウェ
イト部材をレールに沿って所定位置にスライドさせるだ
けで、ワイヤーリールの回転振れを簡単かつ迅速に修正
することができる。
部材をワイヤーリール又はターンテーブルの所定の位置
に形成したバランスウェイト挿入穴に入れ、栓止め固定
するだけで、ワイヤーリールの回転振れを簡単かつ迅速
に修正することができる。請求項３では、バランスウェ
イト部材をレールに沿って所定位置にスライドさせるだ
けで、ワイヤーリールの回転振れを簡単かつ迅速に修正
することができる。
【００１０】請求項４では、ワイヤーリールがアンバラ
ンス状態で回転すると、ワイヤーリール内部のバランス
ウェイト部材（多数の玉、又は液体）が、アンバランス
振動の源である軽量部に移動する。そして、移動したバ
ランスウェイト部材は、その回転方向の遠心力によりワ
イヤーリールの回転振れを正常に修正するように働く。
これにより、ワイヤーリール回転時にアンバランス振動
が発生しない。したがって、ワイヤーソー運転時の振動
が低減するので、被加工物を切断する切断精度を向上す
ることができる。
ンス状態で回転すると、ワイヤーリール内部のバランス
ウェイト部材（多数の玉、又は液体）が、アンバランス
振動の源である軽量部に移動する。そして、移動したバ
ランスウェイト部材は、その回転方向の遠心力によりワ
イヤーリールの回転振れを正常に修正するように働く。
これにより、ワイヤーリール回転時にアンバランス振動
が発生しない。したがって、ワイヤーソー運転時の振動
が低減するので、被加工物を切断する切断精度を向上す
ることができる。
【００１１】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係るワイヤー
リールの回転振動防止構造の好ましい実施例について詳
説する。図１は、本発明のワイヤーリールの回転振動防
止構造の第１実施例の説明図であり、図２は図１のＡ─
Ａ断面図である。ワイヤーリール１０は、円筒状の胴部
１２の及び円盤状のフランジ１４、１４から構成され、
フランジ１４、１４は胴部の両端に固着されている。こ
のワイヤーリール１０のフランジ１４、１４の外周面に
は、それぞれバランスウェイト１８、１８…を取り付け
るためのネジ穴２０、２０…が周方向に４ヵ所、等間隔
で形成されている。また、胴部１２及びフランジ１４、
１４の中心部には、回転動力側であるターンテーブルに
ボルト締めする際のボルト穴２１が形成されている。図
３は、ネジ穴２０、２０…の拡大図である。図３に示す
ように、ネジ穴２０、２０…には、それぞれネジ穴２
０、２０内に埋没可能な六角穴付ボルト２２、２２…が
螺合されており、ネジ穴２０、２０内を移動自在にして
ある。そして、バランスウェイト１８、１８…を取り付
ける時は、所定のネジ穴２０、２０…に入れたバランス
ウェイト１８、１８…をネジ穴２０、２０…の端部まで
押し込み、ボルト２２、２２…で押しつけて固定する。
リールの回転振動防止構造の好ましい実施例について詳
説する。図１は、本発明のワイヤーリールの回転振動防
止構造の第１実施例の説明図であり、図２は図１のＡ─
Ａ断面図である。ワイヤーリール１０は、円筒状の胴部
１２の及び円盤状のフランジ１４、１４から構成され、
フランジ１４、１４は胴部の両端に固着されている。こ
のワイヤーリール１０のフランジ１４、１４の外周面に
は、それぞれバランスウェイト１８、１８…を取り付け
るためのネジ穴２０、２０…が周方向に４ヵ所、等間隔
で形成されている。また、胴部１２及びフランジ１４、
１４の中心部には、回転動力側であるターンテーブルに
ボルト締めする際のボルト穴２１が形成されている。図
３は、ネジ穴２０、２０…の拡大図である。図３に示す
ように、ネジ穴２０、２０…には、それぞれネジ穴２
０、２０内に埋没可能な六角穴付ボルト２２、２２…が
螺合されており、ネジ穴２０、２０内を移動自在にして
ある。そして、バランスウェイト１８、１８…を取り付
ける時は、所定のネジ穴２０、２０…に入れたバランス
ウェイト１８、１８…をネジ穴２０、２０…の端部まで
押し込み、ボルト２２、２２…で押しつけて固定する。
【００１２】次に上記のように構成された、ワイヤーリ
ール１０を用いて、ワイヤーリール１０の回転バランス
の修正方法を説明する。ワイヤー（図示せず）の巻戻
し、巻取りを行わない状態でワイヤーリール１０をター
ンテーブルに連結して回転させる。この時、ワイヤーリ
ール１０の回転バランスが悪いとワイヤーリール１０は
正常に回転できず、回転振れによるアンバランス振動を
発生する。このアンバランス振動を回転バランス計で測
定する。そして、この回転バランス計の測定結果に基づ
き、所定のバランスウェイト１８、１８…を所定のネジ
穴２０に入れ、ボルト２２で固定させることによりワイ
ヤーリール１０の回転振れの修正を行う。ちなみに、こ
の回転バランス計は、公知のものを使用することがで
き、ワイヤーリール１０のフランジ１４、１４にそれぞ
れ形成された４つのネジ穴２０、２０…の内、どのネジ
穴２０、２０…に、どのくらいの重量のバランスウェイ
ト１８、１８…を取り付ければワイヤーリール１０の回
転振れを修正できるかが分かるようになっている。
ール１０を用いて、ワイヤーリール１０の回転バランス
の修正方法を説明する。ワイヤー（図示せず）の巻戻
し、巻取りを行わない状態でワイヤーリール１０をター
ンテーブルに連結して回転させる。この時、ワイヤーリ
ール１０の回転バランスが悪いとワイヤーリール１０は
正常に回転できず、回転振れによるアンバランス振動を
発生する。このアンバランス振動を回転バランス計で測
定する。そして、この回転バランス計の測定結果に基づ
き、所定のバランスウェイト１８、１８…を所定のネジ
穴２０に入れ、ボルト２２で固定させることによりワイ
ヤーリール１０の回転振れの修正を行う。ちなみに、こ
の回転バランス計は、公知のものを使用することがで
き、ワイヤーリール１０のフランジ１４、１４にそれぞ
れ形成された４つのネジ穴２０、２０…の内、どのネジ
穴２０、２０…に、どのくらいの重量のバランスウェイ
ト１８、１８…を取り付ければワイヤーリール１０の回
転振れを修正できるかが分かるようになっている。
【００１３】このように、本発明のワイヤーリールの回
転振動防止構造の第１実施例によれば、バランスウェイ
ト１８をネジ穴２０内に固定するだけで、ワイヤーリー
ル１０の回転振れの修正を簡単かつ迅速に行え、これに
よりアンバランス振動を防止することができる。したが
って、ワイヤーソー運転時の振動が低減するので、被加
工物の切断精度を向上させることができる。また、バラ
ンスウェイト１８、１８…は着脱が可能な為、ワイヤー
リール１０にワイヤーが巻き付けられた為に、ワイヤー
リール１０が変形してバランスが変化しても、その都度
簡単に回転振れの修正を行うことができる。また、バラ
ンスウェイト１８、１８…をワイヤーリール１０に形成
したネジ穴２０、２０…に埋没させるようにしたので、
ワイヤーリール１０の外周面に突出しないようにでき
る。
転振動防止構造の第１実施例によれば、バランスウェイ
ト１８をネジ穴２０内に固定するだけで、ワイヤーリー
ル１０の回転振れの修正を簡単かつ迅速に行え、これに
よりアンバランス振動を防止することができる。したが
って、ワイヤーソー運転時の振動が低減するので、被加
工物の切断精度を向上させることができる。また、バラ
ンスウェイト１８、１８…は着脱が可能な為、ワイヤー
リール１０にワイヤーが巻き付けられた為に、ワイヤー
リール１０が変形してバランスが変化しても、その都度
簡単に回転振れの修正を行うことができる。また、バラ
ンスウェイト１８、１８…をワイヤーリール１０に形成
したネジ穴２０、２０…に埋没させるようにしたので、
ワイヤーリール１０の外周面に突出しないようにでき
る。
【００１４】次に、本発明のワイヤーリールの回転振動
防止構造の第２実施例を説明する。図４は、本発明のワ
イヤーリールの回転振動防止構造の第２実施例の説明図
である。なお、第１の実施例と同じ部材には、同符号を
付して説明する。図４に示すように、ワイヤーリール１
０のフランジ１４、１４の外周面には、それぞれレール
２４、２４が形成されている。図５はこのレール２４、
２４の要部拡大図であり、図６は図５のＡ─Ａ断面図で
ある。図５及び図６に示すように、レール２４、２４
は、フランジ１４、１４の外周面をアリ溝状に形成した
ものである。そして、このアリ溝状のレール２４、２４
に遊嵌可能な形状のバランスウェイト２６、２６は、こ
のレール２４、２４に着脱自在かつスライド自在に設け
られ、任意の位置でボルト２８締めして固定できるよう
になっている。
防止構造の第２実施例を説明する。図４は、本発明のワ
イヤーリールの回転振動防止構造の第２実施例の説明図
である。なお、第１の実施例と同じ部材には、同符号を
付して説明する。図４に示すように、ワイヤーリール１
０のフランジ１４、１４の外周面には、それぞれレール
２４、２４が形成されている。図５はこのレール２４、
２４の要部拡大図であり、図６は図５のＡ─Ａ断面図で
ある。図５及び図６に示すように、レール２４、２４
は、フランジ１４、１４の外周面をアリ溝状に形成した
ものである。そして、このアリ溝状のレール２４、２４
に遊嵌可能な形状のバランスウェイト２６、２６は、こ
のレール２４、２４に着脱自在かつスライド自在に設け
られ、任意の位置でボルト２８締めして固定できるよう
になっている。
【００１５】次に上記のように構成されたワイヤーリー
ル１０を用いて、ワイヤーリール１０のバランス修正方
法を説明する。ワイヤーを巻戻し、巻取りを行わない状
態でワイヤーリール１０をターンテーブルに連結して回
転させる。この時、ワイヤーリール１０の回転バランス
が悪いと、ワイヤーリール１０は、アンバランス振動を
発生する。このアンバランス振動を第１実施例と同様の
回転バランス計で測定する。そして、この回転バランス
計の測定結果に基づき、所定の重量のバランスウェイト
２６、２６をレール２４、２４上の所定の位置にスライ
ドさせて、ボルト２８、２８締めして固定する。
ル１０を用いて、ワイヤーリール１０のバランス修正方
法を説明する。ワイヤーを巻戻し、巻取りを行わない状
態でワイヤーリール１０をターンテーブルに連結して回
転させる。この時、ワイヤーリール１０の回転バランス
が悪いと、ワイヤーリール１０は、アンバランス振動を
発生する。このアンバランス振動を第１実施例と同様の
回転バランス計で測定する。そして、この回転バランス
計の測定結果に基づき、所定の重量のバランスウェイト
２６、２６をレール２４、２４上の所定の位置にスライ
ドさせて、ボルト２８、２８締めして固定する。
【００１６】このように、本発明のワイヤーリールの回
転振動防止構造の第２実施例によれば、バランスウェイ
ト２６、２６をレール２４、２４に沿ってスライドさせ
るだけで、ワイヤーリール１０の回転振れの修正を簡単
かつ迅速に行うことができる。したがって、アンバラン
ス振動を防止することができ、被加工物の切断精度を向
上させることができる。次に、本発明のワイヤーリール
の回転振動防止構造の第３実施例を説明する。図７は、
本発明のワイヤーリールの回転振動防止構造の第３実施
例の説明図である。なお、第１の実施例と同じ部材に
は、同符号を付して説明する。
転振動防止構造の第２実施例によれば、バランスウェイ
ト２６、２６をレール２４、２４に沿ってスライドさせ
るだけで、ワイヤーリール１０の回転振れの修正を簡単
かつ迅速に行うことができる。したがって、アンバラン
ス振動を防止することができ、被加工物の切断精度を向
上させることができる。次に、本発明のワイヤーリール
の回転振動防止構造の第３実施例を説明する。図７は、
本発明のワイヤーリールの回転振動防止構造の第３実施
例の説明図である。なお、第１の実施例と同じ部材に
は、同符号を付して説明する。
【００１７】図７に示すように、ワイヤーリール１０の
胴部１２及びフランジ１４、１４の内部には、円柱状の
軸芯３０を残した環状の空洞３２、３２…が仕切板３
３、３３…により層状に形成されている。そして、胴部
１２の外周面には、内部に形成された空洞３２、３２、
３２の各々に貫通するネジ穴３４、３４、３４が形成さ
れると共に、各々のネジ穴３４、３４、３４には、外周
面より突出しないボルト３６、３６、３６が螺合されて
いる。また、フランジ１４、１４の側面外側の面板１４
Ａ、１４Ａは、ボルト３８、３８…止めすることにより
着脱可能に設けられると共に、前記ボルト３８、３８…
は、面板１４Ａ、１４Ａより突出しないように、面板１
４Ａ、１４Ａ内に埋没可能に設けられている。そして、
各々の空洞３２、３２…には、球状のバランスウェイト
４０、４０…が多数封入されている。また、このバラン
スウェイト４０、４０…は、前述したネジ穴３４、３
４、３４及び面板１４Ａ、１４Ａより出し入れが自由に
行うことができる。
胴部１２及びフランジ１４、１４の内部には、円柱状の
軸芯３０を残した環状の空洞３２、３２…が仕切板３
３、３３…により層状に形成されている。そして、胴部
１２の外周面には、内部に形成された空洞３２、３２、
３２の各々に貫通するネジ穴３４、３４、３４が形成さ
れると共に、各々のネジ穴３４、３４、３４には、外周
面より突出しないボルト３６、３６、３６が螺合されて
いる。また、フランジ１４、１４の側面外側の面板１４
Ａ、１４Ａは、ボルト３８、３８…止めすることにより
着脱可能に設けられると共に、前記ボルト３８、３８…
は、面板１４Ａ、１４Ａより突出しないように、面板１
４Ａ、１４Ａ内に埋没可能に設けられている。そして、
各々の空洞３２、３２…には、球状のバランスウェイト
４０、４０…が多数封入されている。また、このバラン
スウェイト４０、４０…は、前述したネジ穴３４、３
４、３４及び面板１４Ａ、１４Ａより出し入れが自由に
行うことができる。
【００１８】次に上記のように構成されたワイヤーリー
ル１０を用いて、ワイヤーリール１０のバランス修正方
法を説明する。バランスウェイト４０、４０…が封入さ
れたワイヤーリール１０は、図示しないワイヤーを巻き
掛けた状態でターンテーブルに連結される。そして、ワ
イヤーリール１０を回転させると、内部のバランスウェ
イト４０、４０…も遅れて同回転数で回転する。この
時、ワイヤーリール１０の回転バランスが悪いと、回転
振れによりワイヤーリール１０はアンバランス振動を発
生する。しかし、ワイヤーリール１０がアンバランス振
動を発生しながら回転していると、空洞３２、３２…内
部のバランスウェイト４０、４０…はそのアンバランス
振動を打ち消そうと作用する。すなわち、バランスウェ
イト４０、４０…は、アンバランス振動の源であるワイ
ヤーリール１０の軽量部に移動する。そして、移動した
バランスウェイト４０、４０…は、その回転方向の遠心
力によりワイヤーリール１０の回転振れを修正するよう
に働く。これにより、ワイヤーリール１０は常にバラン
スがとれた状態で回転することができる。
ル１０を用いて、ワイヤーリール１０のバランス修正方
法を説明する。バランスウェイト４０、４０…が封入さ
れたワイヤーリール１０は、図示しないワイヤーを巻き
掛けた状態でターンテーブルに連結される。そして、ワ
イヤーリール１０を回転させると、内部のバランスウェ
イト４０、４０…も遅れて同回転数で回転する。この
時、ワイヤーリール１０の回転バランスが悪いと、回転
振れによりワイヤーリール１０はアンバランス振動を発
生する。しかし、ワイヤーリール１０がアンバランス振
動を発生しながら回転していると、空洞３２、３２…内
部のバランスウェイト４０、４０…はそのアンバランス
振動を打ち消そうと作用する。すなわち、バランスウェ
イト４０、４０…は、アンバランス振動の源であるワイ
ヤーリール１０の軽量部に移動する。そして、移動した
バランスウェイト４０、４０…は、その回転方向の遠心
力によりワイヤーリール１０の回転振れを修正するよう
に働く。これにより、ワイヤーリール１０は常にバラン
スがとれた状態で回転することができる。
【００１９】このように、本発明のワイヤーリールの回
転振動防止構造の第３実施例によれば、ワイヤーソーの
運転中でもワイヤーリール１０の回転振れの修正を自動
的に行うことができる。これにより、アンバランス振動
の発生を防止することができ、被加工物の切断精度を向
上させることができる。また、運転中でもワイヤーリー
ル１０の回転振れを修正することができるので、ワイヤ
ーリール１０自体のアンバランスの修正だけではなく、
ワイヤーの巻き取りが正確に行われずワイヤーが偏在し
てバランスが崩れた場合でも、ワイヤーリール１０の回
転振れを自動的に修正することができる。
転振動防止構造の第３実施例によれば、ワイヤーソーの
運転中でもワイヤーリール１０の回転振れの修正を自動
的に行うことができる。これにより、アンバランス振動
の発生を防止することができ、被加工物の切断精度を向
上させることができる。また、運転中でもワイヤーリー
ル１０の回転振れを修正することができるので、ワイヤ
ーリール１０自体のアンバランスの修正だけではなく、
ワイヤーの巻き取りが正確に行われずワイヤーが偏在し
てバランスが崩れた場合でも、ワイヤーリール１０の回
転振れを自動的に修正することができる。
【００２０】なお、本実施例ではバランスウェイト４
０、４０…に球体を用いたが、これに限定されるもので
はなく、例えば高比重、高粘度の液体でもよい。また、
本実施例では胴部１２に形成した空洞３２、３２、３２
は３つとしたが、これに限定されるものではなく、例え
ば４つでもよい。
０、４０…に球体を用いたが、これに限定されるもので
はなく、例えば高比重、高粘度の液体でもよい。また、
本実施例では胴部１２に形成した空洞３２、３２、３２
は３つとしたが、これに限定されるものではなく、例え
ば４つでもよい。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のワイヤー
リールの回転振動防止構造によれば、ワイヤーリールの
アンバランス振動の測定結果に基づいた必要量のバラン
スウェイトを、ワイヤーリールのフランジに形成した取
付部の所定の位置に取り付けるだけで、簡単かつ迅速に
ワイヤーリールの回転振れを修正することができる。し
たがって、ワイヤーリールはアンバランス振動が解消さ
れるので、非加工物の切断精度を向上させることができ
る。
リールの回転振動防止構造によれば、ワイヤーリールの
アンバランス振動の測定結果に基づいた必要量のバラン
スウェイトを、ワイヤーリールのフランジに形成した取
付部の所定の位置に取り付けるだけで、簡単かつ迅速に
ワイヤーリールの回転振れを修正することができる。し
たがって、ワイヤーリールはアンバランス振動が解消さ
れるので、非加工物の切断精度を向上させることができ
る。
【００２２】また、本発明のワイヤーリールの回転振動
防止構造によれば、ワイヤーリールの内部に形成された
環状の空洞に移動自在なバランスウェイトを封入するよ
うにしたので、ワイヤーリールの回転中にバランスウェ
イトが回転振れを修正しようとして働く。これにより、
ワイヤーソーの運転中でもワイヤーリールの回転振れが
自動的に修正されると共に、人手が要らず極めて簡単に
ワイヤーリールの回転振れを修正することができる。ま
た、ワイヤーソーの運転中に、ワイヤーリールがワイヤ
ーを正確に巻き取れずに、ワイヤーが偏在してバランス
を崩しても、ワイヤーリールの回転振れを自動的に修正
できる。したがって、ワイヤーリールはアンバランス振
動を防止することができるので、被加工物の切断精度を
向上させることができる。
防止構造によれば、ワイヤーリールの内部に形成された
環状の空洞に移動自在なバランスウェイトを封入するよ
うにしたので、ワイヤーリールの回転中にバランスウェ
イトが回転振れを修正しようとして働く。これにより、
ワイヤーソーの運転中でもワイヤーリールの回転振れが
自動的に修正されると共に、人手が要らず極めて簡単に
ワイヤーリールの回転振れを修正することができる。ま
た、ワイヤーソーの運転中に、ワイヤーリールがワイヤ
ーを正確に巻き取れずに、ワイヤーが偏在してバランス
を崩しても、ワイヤーリールの回転振れを自動的に修正
できる。したがって、ワイヤーリールはアンバランス振
動を防止することができるので、被加工物の切断精度を
向上させることができる。
【図１】図１は、本発明のワイヤーソーのワイヤーリー
ルバランス修正構造の第１の実施例を説明する説明図
ルバランス修正構造の第１の実施例を説明する説明図
【図２】図２は、図１のＡ─Ａ断面図
【図３】図３は、図２の要部拡大図
【図４】図４は、本発明のワイヤーソーのワイヤーリー
ルバランス修正構造の第２の実施例を説明する説明図
ルバランス修正構造の第２の実施例を説明する説明図
【図５】図５は、図４の要部拡大図
【図６】図６は、図５のＡ─Ａ断面図
【図７】図７は、本発明のワイヤーソーのワイヤーリー
ルバランス修正構造の第３の実施例を説明する説明図
ルバランス修正構造の第３の実施例を説明する説明図
１０…ワイヤーリール １２…ワイヤーリール胴部 １４…ワイヤーリールフランジ １８、２６、４０…バランスウェイト ２０…ネジ穴（バランスウェイト取付部） ２４…レール（バランスウェイト取付部） ３２…空洞
Claims (7)
- 【請求項１】一方のワイヤーリールと他方のワイヤーリ
ールの間を走行するワイヤーに被加工物を押し当てると
共に、前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給し、前記
被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤー
ソーであって、前記ワイヤーの巻取り又は送り出しをす
る前記ワイヤーリールを回転動力側であるターンテーブ
ルに連結して前記ワイヤーリールを回転させるワイヤー
ソーにおいて、 前記ワイヤーリール又は前記ターンテーブルには、前記
ワイヤーリールのアンバランス振動を補正する為のバラ
ンスウェイト部材を取り付けるバランスウェイト取付部
を形成したことを特徴とするワイヤーリールの回転振動
防止構造 - 【請求項２】前記バランスウェイト取付部は、前記ワイ
ヤーリール又は前記ターンテーブルのフランジ外周面に
所定の間隔で形成された複数のバランスウェイト挿入穴
と前記バランスウェイト挿入穴に蓋をする栓部材とから
成ることを特徴とする請求項１のワイヤーリールの回転
振動防止構造。 - 【請求項３】前記バランスウェイト取付部は、前記ワイ
ヤーリール又は前記ターンテーブルのフランジ外周面に
形成されると共に、前記バランスウェイト部材をスライ
ド自在に支持するレールであることを特徴とする請求項
１のワイヤーリールの回転振動防止構造。 - 【請求項４】一方のワイヤーリールと他方のワイヤーリ
ールの間を走行するワイヤーに被加工物を押し当てると
共に、前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給し、前記
被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤー
ソーであって、前記ワイヤーの巻取り又は送り出しをす
る前記ワイヤーリールを回転動力側であるターンテーブ
ルに連結して前記ワイヤーリールを回転させるワイヤー
ソーにおいて、 前記ワイヤーリール内部を環状の空洞に形成すると共
に、前記空洞内には移動自在なバランスウェイト部材が
封入されていることを特徴とするワイヤーリールの回転
振動防止構造。 - 【請求項５】前記バランスウェイト部材は、多数の玉で
あることを特徴とする請求項４のワイヤーリールの回転
振動防止構造。 - 【請求項６】前記バランスウェイト部材は、液体である
ことを特徴とする請求項４のワイヤーリールの回転振動
防止構造。 - 【請求項７】前記空洞は、軸方向と直交する方向で複数
に区分する仕切板が設けられていることを特徴とする請
求項４のワイヤーリールの回転振動防止構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15210294A JPH0811128A (ja) | 1994-07-04 | 1994-07-04 | ワイヤーリールの回転振動防止構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15210294A JPH0811128A (ja) | 1994-07-04 | 1994-07-04 | ワイヤーリールの回転振動防止構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0811128A true JPH0811128A (ja) | 1996-01-16 |
Family
ID=15533103
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15210294A Pending JPH0811128A (ja) | 1994-07-04 | 1994-07-04 | ワイヤーリールの回転振動防止構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0811128A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0745447A1 (en) * | 1995-05-31 | 1996-12-04 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd | Wire saw apparatus |
| KR101051892B1 (ko) * | 2011-02-08 | 2011-07-26 | 오성엘에스티(주) | 와이어-쏘 시스템용 안내롤러 |
| WO2010121780A3 (de) * | 2009-04-24 | 2011-12-22 | Nkt Cables Gmbh | Wickelgutspule zur aufnahme von lade- und verseilgut |
-
1994
- 1994-07-04 JP JP15210294A patent/JPH0811128A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0745447A1 (en) * | 1995-05-31 | 1996-12-04 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd | Wire saw apparatus |
| US5699782A (en) * | 1995-05-31 | 1997-12-23 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Wire saw apparatus |
| WO2010121780A3 (de) * | 2009-04-24 | 2011-12-22 | Nkt Cables Gmbh | Wickelgutspule zur aufnahme von lade- und verseilgut |
| KR101051892B1 (ko) * | 2011-02-08 | 2011-07-26 | 오성엘에스티(주) | 와이어-쏘 시스템용 안내롤러 |
| CN102632556A (zh) * | 2011-02-08 | 2012-08-15 | 五星Lst有限公司 | 线锯系统用的导向辊 |
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