JPH0847852A - ワイヤーソー - Google Patents
ワイヤーソーInfo
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- JPH0847852A JPH0847852A JP11576495A JP11576495A JPH0847852A JP H0847852 A JPH0847852 A JP H0847852A JP 11576495 A JP11576495 A JP 11576495A JP 11576495 A JP11576495 A JP 11576495A JP H0847852 A JPH0847852 A JP H0847852A
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 5
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Tension Adjustment In Filamentary Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】駆動部をコンパクト化すると共にスループット
を向上することができるワイヤソーの駆動構造を提供す
る。 【作用】ワイヤーリール１１２を駆動する駆動モータ１
２８の回転軸１６２には、その回転軸１６２と同軸上に
ターンテーブル１７０が連結される。前記ワイヤーリー
ル１１２はこのターンテーブル１７０上に載置され、タ
ーンテーブル１７０と同軸上に載置されるように位置決
めされた後、ボルト１７４、１７４でターンテーブル１
７０に固定される。これにより、ワイヤーリール１１２
は駆動モータ１２８にダイレクトに駆動される。従っ
て、駆動モータ１２８の加減速時間の短縮が行われ、ス
ループットが向上する。また、駆動モータ１２８にイナ
ーシャルの低いモータ、即ち寸法の小さいモータを使用
することができるので、駆動部をコンパクト化すること
ができる。更に、従来必要であったベルト伝動機構のた
めのスペースを省くことができるので、駆動部をコンパ
クト化することができる。
を向上することができるワイヤソーの駆動構造を提供す
る。 【作用】ワイヤーリール１１２を駆動する駆動モータ１
２８の回転軸１６２には、その回転軸１６２と同軸上に
ターンテーブル１７０が連結される。前記ワイヤーリー
ル１１２はこのターンテーブル１７０上に載置され、タ
ーンテーブル１７０と同軸上に載置されるように位置決
めされた後、ボルト１７４、１７４でターンテーブル１
７０に固定される。これにより、ワイヤーリール１１２
は駆動モータ１２８にダイレクトに駆動される。従っ
て、駆動モータ１２８の加減速時間の短縮が行われ、ス
ループットが向上する。また、駆動モータ１２８にイナ
ーシャルの低いモータ、即ち寸法の小さいモータを使用
することができるので、駆動部をコンパクト化すること
ができる。更に、従来必要であったベルト伝動機構のた
めのスペースを省くことができるので、駆動部をコンパ
クト化することができる。
Description
【０００１】
【発明の利用分野】本発明はワイヤーソーに係り、特に
円柱状の半導体インゴット、セラミック、ガラス等の被
加工物を走行するワイヤーで多数の薄板状のウェーハに
切断するワイヤーソーに関する。
円柱状の半導体インゴット、セラミック、ガラス等の被
加工物を走行するワイヤーで多数の薄板状のウェーハに
切断するワイヤーソーに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体インゴット、セラミック、ガラス
等の被加工物を薄板状のウェーハに切断する切断装置の
一つにワイヤーソーがある。このワイヤーソーは、一対
のワイヤーリール間を走行するワイヤーに砥粒を含む加
工液を供給しながら被加工物を押し当てることにより、
その砥粒のラッピング作用により前記被加工物を多数の
薄板状のウェーハに切断するものである。そして、近年
ウェーハは８インチ、１２インチと大口径化しているた
め、ワイヤーソーのワイヤーも長くならざるを得なく、
１００kgを越える重い重量のワイヤーリールが使用され
ている。
等の被加工物を薄板状のウェーハに切断する切断装置の
一つにワイヤーソーがある。このワイヤーソーは、一対
のワイヤーリール間を走行するワイヤーに砥粒を含む加
工液を供給しながら被加工物を押し当てることにより、
その砥粒のラッピング作用により前記被加工物を多数の
薄板状のウェーハに切断するものである。そして、近年
ウェーハは８インチ、１２インチと大口径化しているた
め、ワイヤーソーのワイヤーも長くならざるを得なく、
１００kgを越える重い重量のワイヤーリールが使用され
ている。
【０００３】従来、このワイヤーソーのワイヤーリール
は、駆動モータからベルト伝動によりワイヤーリールに
回転力を伝達して駆動していた。また、前記ワイヤソー
で被加工物をスライスする場合、そのスライス方向には
ワイヤを一方向のみに走行させる一方向送りと、ワイヤ
を往復走行させる双方向送りがある。このうち、双方向
送りの場合、ワイヤリールは短時間（１秒〜６秒）で加
速と減速とを繰り返さなければならないため、ワイヤリ
ールのイナーシャにより大きな加速トルクを必要とす
る。
は、駆動モータからベルト伝動によりワイヤーリールに
回転力を伝達して駆動していた。また、前記ワイヤソー
で被加工物をスライスする場合、そのスライス方向には
ワイヤを一方向のみに走行させる一方向送りと、ワイヤ
を往復走行させる双方向送りがある。このうち、双方向
送りの場合、ワイヤリールは短時間（１秒〜６秒）で加
速と減速とを繰り返さなければならないため、ワイヤリ
ールのイナーシャにより大きな加速トルクを必要とす
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ベルトドライブ方式による駆動で重い重量のワイヤーリ
ールを駆動しようとすれば、ワイヤーリールの駆動には
イナーシャの大きなモータを必要とするため、必然的に
寸法の大きいモータを使用しなければならず、駆動部が
大型化するという問題がある。また、加減速トルクが大
きいとベルトの破損等が考えられるため、加減速時間を
短縮できない等の問題もある。
ベルトドライブ方式による駆動で重い重量のワイヤーリ
ールを駆動しようとすれば、ワイヤーリールの駆動には
イナーシャの大きなモータを必要とするため、必然的に
寸法の大きいモータを使用しなければならず、駆動部が
大型化するという問題がある。また、加減速トルクが大
きいとベルトの破損等が考えられるため、加減速時間を
短縮できない等の問題もある。
【０００５】本発明は、このような事情を鑑みてなされ
たもので、イナーシャの低い駆動モータを使用できるの
で、ワイヤーソー装置本体をコンパクト化すると共に、
加減速時間を短縮できるので、スループットを向上する
ことができるワイヤーソーの駆動構造を提供することを
目的とする。
たもので、イナーシャの低い駆動モータを使用できるの
で、ワイヤーソー装置本体をコンパクト化すると共に、
加減速時間を短縮できるので、スループットを向上する
ことができるワイヤーソーの駆動構造を提供することを
目的とする。
【０００６】
【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
する為に、ワイヤーを一方のワイヤーリールから繰り出
して複数個の溝付ローラに巻き掛けワイヤー列を形成し
て他方のワイヤーリールに巻き取ると共に、前記ワイヤ
ー列に砥粒を含む加工液を供給して被加工物を押し当
て、該被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断するワ
イヤーソーにおいて、前記ワイヤーリールを駆動する駆
動モータの回転軸に、該回転軸と同軸上に前記ワイヤー
リールを連結したことを特徴とする。
する為に、ワイヤーを一方のワイヤーリールから繰り出
して複数個の溝付ローラに巻き掛けワイヤー列を形成し
て他方のワイヤーリールに巻き取ると共に、前記ワイヤ
ー列に砥粒を含む加工液を供給して被加工物を押し当
て、該被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断するワ
イヤーソーにおいて、前記ワイヤーリールを駆動する駆
動モータの回転軸に、該回転軸と同軸上に前記ワイヤー
リールを連結したことを特徴とする。
【０００７】また、前記目的を達成するために、ワイヤ
ーを一方のワイヤーリールから繰り出して複数個の溝付
ローラに巻き掛けワイヤー列を形成して他方のワイヤー
リールに巻き取ると共に、前記ワイヤー列に砥粒を含む
加工液を供給して被加工物を押し当て、該被加工物を多
数の薄板状のウェーハに切断するワイヤーソーにおい
て、前記溝付ローラを駆動する駆動モータの回転軸に、
該回転軸と同軸上に前記溝付ローラを連結したことを特
徴とする。
ーを一方のワイヤーリールから繰り出して複数個の溝付
ローラに巻き掛けワイヤー列を形成して他方のワイヤー
リールに巻き取ると共に、前記ワイヤー列に砥粒を含む
加工液を供給して被加工物を押し当て、該被加工物を多
数の薄板状のウェーハに切断するワイヤーソーにおい
て、前記溝付ローラを駆動する駆動モータの回転軸に、
該回転軸と同軸上に前記溝付ローラを連結したことを特
徴とする。
【０００８】
【作用】本発明によれば、ワイヤーリール及び溝付ロー
ラは駆動モータに直結され、駆動モータからダイレクト
に駆動される。これにより、加減速時間の短縮が行わ
れ、スループットが向上する。また、駆動モータにイナ
ーシャの低いモータ、即ち寸法の小さいモータを使用す
ることができるので、駆動部をコンパクト化することが
できる。更に、従来必要であったベルト伝動機構のため
のスペースを省くことができるので、駆動部をコンパク
ト化することができる。
ラは駆動モータに直結され、駆動モータからダイレクト
に駆動される。これにより、加減速時間の短縮が行わ
れ、スループットが向上する。また、駆動モータにイナ
ーシャの低いモータ、即ち寸法の小さいモータを使用す
ることができるので、駆動部をコンパクト化することが
できる。更に、従来必要であったベルト伝動機構のため
のスペースを省くことができるので、駆動部をコンパク
ト化することができる。
【０００９】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係るワイヤー
ソーの好ましい実施例について詳説する。先ず、ワイヤ
ーソー１１０の全体構成を図１に従って説明する。一方
のワイヤーリール１１２に巻回されたワイヤー１１４
は、ワイヤー案内装置１１６、複数の固定ガイドローラ
１１８、１１８、ダンサローラ１２０を経由して３本の
溝付きローラ１２２、１２２、１２２に順次巻き掛けら
れてワイヤー列１２４を形成した後、複数の固定ガイド
ローラ１１８、１１８、ダンサローラ１２０、ワイヤー
案内装置１１６を経て他方のワイヤーリール１２６に巻
き取られる。
ソーの好ましい実施例について詳説する。先ず、ワイヤ
ーソー１１０の全体構成を図１に従って説明する。一方
のワイヤーリール１１２に巻回されたワイヤー１１４
は、ワイヤー案内装置１１６、複数の固定ガイドローラ
１１８、１１８、ダンサローラ１２０を経由して３本の
溝付きローラ１２２、１２２、１２２に順次巻き掛けら
れてワイヤー列１２４を形成した後、複数の固定ガイド
ローラ１１８、１１８、ダンサローラ１２０、ワイヤー
案内装置１１６を経て他方のワイヤーリール１２６に巻
き取られる。
【００１０】前記ダンサローラ１２０には所定重量の錘
１４４が吊設され、走行するワイヤー１１４に常に所要
の張力が付与される。前記ワイヤー走行路の途中にはワ
イヤー洗浄装置１４６が設けられ、このワイヤー洗浄装
置１４６によってワイヤー１１４に付着した加工液１４
０が除去される。
１４４が吊設され、走行するワイヤー１１４に常に所要
の張力が付与される。前記ワイヤー走行路の途中にはワ
イヤー洗浄装置１４６が設けられ、このワイヤー洗浄装
置１４６によってワイヤー１１４に付着した加工液１４
０が除去される。
【００１１】前記ワイヤーリール１１２、１２６は、そ
れぞれ正逆回転可能な駆動モータ１２８、１３０に連結
されると共に、３本のうちの１本の溝付きローラ１２２
は正逆回転可能な駆動モータ１３２に連結される。これ
により、ワイヤー１１４は一方のワイヤーリール１１２
と他方のワイヤーリール１２６の間を往復走行する。前
記ワイヤー列１２４には、砥液貯留タンク１３８に貯留
された砥粒（通常、ＧＣ♯６００〜♯１０００程度のも
のが使用される）を含む加工液１４０が砥液供給ノズル
１４２から供給される。
れぞれ正逆回転可能な駆動モータ１２８、１３０に連結
されると共に、３本のうちの１本の溝付きローラ１２２
は正逆回転可能な駆動モータ１３２に連結される。これ
により、ワイヤー１１４は一方のワイヤーリール１１２
と他方のワイヤーリール１２６の間を往復走行する。前
記ワイヤー列１２４には、砥液貯留タンク１３８に貯留
された砥粒（通常、ＧＣ♯６００〜♯１０００程度のも
のが使用される）を含む加工液１４０が砥液供給ノズル
１４２から供給される。
【００１２】前記ワイヤー列１２４の下方には、被加工
物である半導体インゴット１５４がワークブロック１５
６とスライスベース１５８を介してワーク送りテーブル
１４８に支持される。このワーク送りテーブル１４８は
モータ１５０で回動するネジ桿１５２により上下方向に
移動自在に設けられる。前記半導体インゴット１５４
は、前記ワーク送りテーブル１４８を上方に移動させる
ことにより高速走行するワイヤー列１２４に押し当てら
れ、その高速走行するワイヤー列１２４に供給される加
工液１４０によるラッピング作用により多数の薄板状の
ウェーハに切断される。
物である半導体インゴット１５４がワークブロック１５
６とスライスベース１５８を介してワーク送りテーブル
１４８に支持される。このワーク送りテーブル１４８は
モータ１５０で回動するネジ桿１５２により上下方向に
移動自在に設けられる。前記半導体インゴット１５４
は、前記ワーク送りテーブル１４８を上方に移動させる
ことにより高速走行するワイヤー列１２４に押し当てら
れ、その高速走行するワイヤー列１２４に供給される加
工液１４０によるラッピング作用により多数の薄板状の
ウェーハに切断される。
【００１３】次に、前記ワイヤーリール１１２の駆動部
の構造を図２に従って説明する。前記ワイヤーリール１
１２を駆動する駆動モータ１２８は、回転軸１６２等を
収納したケーシング１６０が図示しないワイヤーソー１
１０の本体フレームにボルト止めで固定されている。前
記ケーシング１６０内の中央には回転軸６２が軸受１６
４、１６４、１６４を介して回動自在に支持されてお
り、その回転軸１６２の周面には永久磁石１６６、１６
６が固着されている。一方、前記ケーシング１６０の内
周壁には、前記永久磁石１６６、１６６に対向するよう
に電機子コイル１６８、１６８が固着されており、この
電機子コイル１６８、１６８に電流を流すことにより、
前記回転軸１６２が回転する。
の構造を図２に従って説明する。前記ワイヤーリール１
１２を駆動する駆動モータ１２８は、回転軸１６２等を
収納したケーシング１６０が図示しないワイヤーソー１
１０の本体フレームにボルト止めで固定されている。前
記ケーシング１６０内の中央には回転軸６２が軸受１６
４、１６４、１６４を介して回動自在に支持されてお
り、その回転軸１６２の周面には永久磁石１６６、１６
６が固着されている。一方、前記ケーシング１６０の内
周壁には、前記永久磁石１６６、１６６に対向するよう
に電機子コイル１６８、１６８が固着されており、この
電機子コイル１６８、１６８に電流を流すことにより、
前記回転軸１６２が回転する。
【００１４】前記回転軸１６２の上端部には、円盤状の
ターンテーブル１７０が連結される。このターンテーブ
ル１７０は前記回転軸１６２と同軸上に連結され、その
連結部を２本の連結ボルト１７２、１７２でボルト止め
されて固定される。前記ターンテーブル１７０の上面に
は、ワイヤーリール１１２が連結される。このワイヤー
リール１１２のフランジ１１３の下面中央部には、円錐
台形の凹部１１３Ａが形成されており、連結時にこの凹
部１１３Ａを前記ターンテーブル１７０の上面中央部に
形成された円錐台形の凸部１７０Ａに嵌め込むことによ
り、前記ワイヤーリール１１２と前記ターンテーブル１
７０は同軸上に連結される。また、連結された前記フラ
ンジ１１３と前記ターンテーブル１７０は、周端部をボ
ルト１７４、１７４でボルト止めされて固定され、ター
ンテーブル１７０の回転を共回りすることなくワイヤー
リール１１２に伝達する。
ターンテーブル１７０が連結される。このターンテーブ
ル１７０は前記回転軸１６２と同軸上に連結され、その
連結部を２本の連結ボルト１７２、１７２でボルト止め
されて固定される。前記ターンテーブル１７０の上面に
は、ワイヤーリール１１２が連結される。このワイヤー
リール１１２のフランジ１１３の下面中央部には、円錐
台形の凹部１１３Ａが形成されており、連結時にこの凹
部１１３Ａを前記ターンテーブル１７０の上面中央部に
形成された円錐台形の凸部１７０Ａに嵌め込むことによ
り、前記ワイヤーリール１１２と前記ターンテーブル１
７０は同軸上に連結される。また、連結された前記フラ
ンジ１１３と前記ターンテーブル１７０は、周端部をボ
ルト１７４、１７４でボルト止めされて固定され、ター
ンテーブル１７０の回転を共回りすることなくワイヤー
リール１１２に伝達する。
【００１５】前記の如くターンテーブル１７０の回転駆
動部をビルトインタイプにすることによって、ワイヤー
リール１１２は、駆動モータ１２８に直結されて、ダイ
レクトに駆動される。これにより、加減速時間の短縮が
行われ、スループットが向上する。また、駆動モータに
イナーシャの低いモータ、即ち寸法の小さなモータを使
用することができるので、駆動部をコンパクト化するこ
とができる。
動部をビルトインタイプにすることによって、ワイヤー
リール１１２は、駆動モータ１２８に直結されて、ダイ
レクトに駆動される。これにより、加減速時間の短縮が
行われ、スループットが向上する。また、駆動モータに
イナーシャの低いモータ、即ち寸法の小さなモータを使
用することができるので、駆動部をコンパクト化するこ
とができる。
【００１６】更に、従来必要であったベルト伝動機構の
ためのスペースを省くことができるので、駆動部をコン
パクト化することができる。また、これにより、運転中
のベルト破損等の心配もなくなる。なお、ワイヤー列１
２４を形成する溝付ローラ１２２の駆動方式について
も、前記ワイヤーリール１１２と同様にして駆動モータ
を直接溝付ローラ１２２に連結して駆動する方式を採用
することにより、ワイヤーソー１１０と同様の効果を得
ることができる。
ためのスペースを省くことができるので、駆動部をコン
パクト化することができる。また、これにより、運転中
のベルト破損等の心配もなくなる。なお、ワイヤー列１
２４を形成する溝付ローラ１２２の駆動方式について
も、前記ワイヤーリール１１２と同様にして駆動モータ
を直接溝付ローラ１２２に連結して駆動する方式を採用
することにより、ワイヤーソー１１０と同様の効果を得
ることができる。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のワイヤー
ソーによれば、ワイヤーリール及び溝付ローラは駆動モ
ータに直結され、各々の駆動モータからダイレクトに駆
動される。これにより、加減速時間の短縮が行われ、ス
ループットが向上する。また、駆動モータにイナーシャ
の低いモータ、即ち寸法の小さいモータを使用すること
ができるので、駆動部をコンパクト化することができ
る。更に、従来必要であったベルト伝動機構のためのス
ペースを省くことができるので、駆動部をコンパクト化
することができる。
ソーによれば、ワイヤーリール及び溝付ローラは駆動モ
ータに直結され、各々の駆動モータからダイレクトに駆
動される。これにより、加減速時間の短縮が行われ、ス
ループットが向上する。また、駆動モータにイナーシャ
の低いモータ、即ち寸法の小さいモータを使用すること
ができるので、駆動部をコンパクト化することができ
る。更に、従来必要であったベルト伝動機構のためのス
ペースを省くことができるので、駆動部をコンパクト化
することができる。
【図１】ワイヤーソーの全体構成図
【図２】ワイヤーリールの駆動部の断面図
１１０…ワイヤーソー １１２…ワイヤーリール １１４…ワイヤー １２２…溝付ローラ １２４…ワイヤー列 １２８、１３０、１３２…駆動モータ
Claims (2)
- 【請求項１】 ワイヤーを一方のワイヤーリールから繰
り出して複数個の溝付ローラに巻き掛けワイヤー列を形
成して他方のワイヤーリールに巻き取ると共に、前記ワ
イヤー列に砥粒を含む加工液を供給して被加工物を押し
当て、該被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断する
ワイヤーソーにおいて、 前記ワイヤーリールを駆動する駆動モータの回転軸に、
該回転軸と同軸上に前記ワイヤーリールを連結したこと
を特徴とするワイヤーソー。 - 【請求項２】 ワイヤーを一方のワイヤーリールから繰
り出して複数個の溝付ローラに巻き掛けワイヤー列を形
成して他方のワイヤーリールに巻き取ると共に、前記ワ
イヤー列に砥粒を含む加工液を供給して被加工物を押し
当て、該被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断する
ワイヤーソーにおいて、 前記溝付ローラを駆動する駆動モータの回転軸に、該回
転軸と同軸上に前記溝付ローラを連結したことを特徴と
するワイヤーソー。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11576495A JP3211930B2 (ja) | 1994-05-16 | 1995-05-15 | ワイヤーソー |
| US08/633,645 US5896851A (en) | 1995-04-21 | 1996-04-17 | Wire saw |
| KR1019960011758A KR100394223B1 (ko) | 1995-04-21 | 1996-04-18 | 와이어 톱 |
| TW085104613A TW368455B (en) | 1995-05-15 | 1996-04-18 | Fret saw |
| DE69622317T DE69622317D1 (de) | 1995-04-21 | 1996-04-19 | Drahtsäge |
| EP96302767A EP0742066B1 (en) | 1995-04-21 | 1996-04-19 | Wire saw |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6-101218 | 1994-05-16 | ||
| JP10121894 | 1994-05-16 | ||
| JP11576495A JP3211930B2 (ja) | 1994-05-16 | 1995-05-15 | ワイヤーソー |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9700895A Division JP3084699B2 (ja) | 1994-05-16 | 1995-04-21 | ワイヤーソーのワイヤーリール取付構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0847852A true JPH0847852A (ja) | 1996-02-20 |
| JP3211930B2 JP3211930B2 (ja) | 2001-09-25 |
Family
ID=26442124
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11576495A Expired - Fee Related JP3211930B2 (ja) | 1994-05-16 | 1995-05-15 | ワイヤーソー |
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| JP (1) | JP3211930B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010105061A (ja) * | 2008-10-28 | 2010-05-13 | Yasunaga Corp | ワイヤソー装置 |
| EP2546014A1 (en) * | 2011-07-15 | 2013-01-16 | Meyer Burger AG | Apparatus for driving a wire or wire-like objects |
| EP2937165A1 (en) * | 2014-04-25 | 2015-10-28 | Applied Materials Switzerland Sàrl | Motor unit for a wire saw device and wire saw device employing the same |
| WO2020085532A1 (ko) * | 2018-10-22 | 2020-04-30 | 웅진에너지 주식회사 | 잉곳절단장치 |
-
1995
- 1995-05-15 JP JP11576495A patent/JP3211930B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010105061A (ja) * | 2008-10-28 | 2010-05-13 | Yasunaga Corp | ワイヤソー装置 |
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| WO2013011451A2 (en) | 2011-07-15 | 2013-01-24 | Meyer Burger Ag | Apparatus for driving a wire or wire-like objects |
| WO2013011451A3 (en) * | 2011-07-15 | 2013-04-11 | Meyer Burger Ag | Apparatus for driving a wire or wire-like objects |
| EP2937165A1 (en) * | 2014-04-25 | 2015-10-28 | Applied Materials Switzerland Sàrl | Motor unit for a wire saw device and wire saw device employing the same |
| WO2020085532A1 (ko) * | 2018-10-22 | 2020-04-30 | 웅진에너지 주식회사 | 잉곳절단장치 |
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| JP3211930B2 (ja) | 2001-09-25 |
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