JPH0812330B2 - 投影レンズ - Google Patents
投影レンズInfo
- Publication number
- JPH0812330B2 JPH0812330B2 JP1285290A JP28529089A JPH0812330B2 JP H0812330 B2 JPH0812330 B2 JP H0812330B2 JP 1285290 A JP1285290 A JP 1285290A JP 28529089 A JP28529089 A JP 28529089A JP H0812330 B2 JPH0812330 B2 JP H0812330B2
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- JP
- Japan
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- lens
- line
- lens group
- convex surface
- object side
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 10
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 9
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 9
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 claims description 8
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims description 3
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 16
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 4
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 206010010071 Coma Diseases 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 230000004304 visual acuity Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Lenses (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 《産業上の利用分野》 この発明は、フォトリソグラフィの分野において、フ
ォトレジストを塗布した感材に所要の微細なパターンを
焼き付けるのに使用される投影レンズに関し、殊にｇ線
（436nm）、ｈ線（405nm）、ｉ線（365nm）を含む光で
焼き付けるのに適する投影レンズに関するものである。
ォトレジストを塗布した感材に所要の微細なパターンを
焼き付けるのに使用される投影レンズに関し、殊にｇ線
（436nm）、ｈ線（405nm）、ｉ線（365nm）を含む光で
焼き付けるのに適する投影レンズに関するものである。
《従来の技術》 この種の焼付に使用される投影レンズとしては、従来
より例えばステッパーと称する超精密縮小焼付装置に用
いられている超精密投影レンズや、縮写用として用いら
れる製版用引伸レンズがある。
より例えばステッパーと称する超精密縮小焼付装置に用
いられている超精密投影レンズや、縮写用として用いら
れる製版用引伸レンズがある。
《発明が解決しようとする課題》 上記従来の超精密投影レンズは、ステッパー用レンズ
の場合には、高解像力を得るため、ｇ線、ｈ線、ｉ線の
近紫外領域のうち、例えばｇ線についてのみ諸収差を高
精度で補正したものであるため、下記のような難点があ
る。
の場合には、高解像力を得るため、ｇ線、ｈ線、ｉ線の
近紫外領域のうち、例えばｇ線についてのみ諸収差を高
精度で補正したものであるため、下記のような難点があ
る。
イ．フォトレジストの感光波長域はｉ線にまで及ぶが、
上記従来例では例えばｇ線についてのみ考慮したもので
あるため、単一の輝線でしか使用できず、そのため照度
が低く、露光に要する時間が長くなり、焼付効率の低下
を余儀なくされていた。
上記従来例では例えばｇ線についてのみ考慮したもので
あるため、単一の輝線でしか使用できず、そのため照度
が低く、露光に要する時間が長くなり、焼付効率の低下
を余儀なくされていた。
ロ．有効な画面サイズが小さい。
一方、上記従来の製版用引伸レンズは、可視光領域を
考慮した製版用レンズであるため、有効な画面サイズは
大きく、可視光領域における諸収差を高精度で補正した
ものであるが、下記のような難点がある。
考慮した製版用レンズであるため、有効な画面サイズは
大きく、可視光領域における諸収差を高精度で補正した
ものであるが、下記のような難点がある。
ハ．近紫外領域の透過率が低いうえ、解像力も低い。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、上
記難点イ〜ハを解決することを技術課題とする。
記難点イ〜ハを解決することを技術課題とする。
《課題を解決するための手段》 本発明は上記課題を解決するものとして以下のように
構成される。
構成される。
即ち、物体側から順に第１レンズ群と第２レンズ群を
配置し、第１レンズ群は順次物体側に凸面を向けた正の
メニスカスレンズと物体側に曲率半径の小さい側の凸面
を向けた正のレンズと負のレンズとから成り、第２レン
ズ群は順次像面側に凸面を向けた正のメニスカスレンズ
と両凹レンズと両凸レンズとから成る投影レンズにおい
て、 硝材のｇ線、ｈ線、ｉ線に対する屈折率をそれぞれ
ng、nh、niとし、分散値をνｈ＝（nh−１）／（ni−
ng）とするとき、 各レンズ群の正レンズが1.67＜nh＜1.69 48＜νｈ＜50 各レンズ群の負レンズが1.56＜nh＜1.61 30＜νｈ＜36 を満足し、かつｉ線に対する内部透過率（厚さ10mmのと
き）が90％以上の硝材より成ることを特徴とするもので
ある。
配置し、第１レンズ群は順次物体側に凸面を向けた正の
メニスカスレンズと物体側に曲率半径の小さい側の凸面
を向けた正のレンズと負のレンズとから成り、第２レン
ズ群は順次像面側に凸面を向けた正のメニスカスレンズ
と両凹レンズと両凸レンズとから成る投影レンズにおい
て、 硝材のｇ線、ｈ線、ｉ線に対する屈折率をそれぞれ
ng、nh、niとし、分散値をνｈ＝（nh−１）／（ni−
ng）とするとき、 各レンズ群の正レンズが1.67＜nh＜1.69 48＜νｈ＜50 各レンズ群の負レンズが1.56＜nh＜1.61 30＜νｈ＜36 を満足し、かつｉ線に対する内部透過率（厚さ10mmのと
き）が90％以上の硝材より成ることを特徴とするもので
ある。
《作用》 コマ収差、湾曲収差をはじめとする諸収差を補正する
うえで、正のレンズを構成する硝材の屈折率は、一般的
になるべく高いほうが望ましいが、ｉ線についても高い
透過率を確保するには用いられる硝材が限定され、一般
的に屈折率の高い硝材を使うことができない。
うえで、正のレンズを構成する硝材の屈折率は、一般的
になるべく高いほうが望ましいが、ｉ線についても高い
透過率を確保するには用いられる硝材が限定され、一般
的に屈折率の高い硝材を使うことができない。
そこで、本発明では前記の条件に適合する硝材を選択
することにより、フォトレジストの感光波長域内の主要
光線であるｇ線（435.83nm）、ｈ線（404.66nm）、ｉ線
（365.01nm）に対する透過率を改善している。また、上
記構成をとることにより本発明に係る投影レンズは有効
画面サイズが大きく、解像力が高く、全体の透過率も向
上する。
することにより、フォトレジストの感光波長域内の主要
光線であるｇ線（435.83nm）、ｈ線（404.66nm）、ｉ線
（365.01nm）に対する透過率を改善している。また、上
記構成をとることにより本発明に係る投影レンズは有効
画面サイズが大きく、解像力が高く、全体の透過率も向
上する。
《実 施 例》 以下、本発明に係る投影レンズの実施例をレンズデー
タ表（表１・表２）、レンズの配置構成図（第１図・第
３図）及び諸収差を示す図（第２図・第４図）とによっ
て例示する。
タ表（表１・表２）、レンズの配置構成図（第１図・第
３図）及び諸収差を示す図（第２図・第４図）とによっ
て例示する。
各レンズデータ表中のｆはｈ線に対する焦点距離、Ｙ
は最大像高、Ｆは実効Ｆナンバー、ｍは基準倍率、Ｔは
各レンズエレメントを構成する硝材の内部透過率（厚さ
10mmのとき）を示し、ｒ、ｄ、ｎ、νは第１図中の各符
号に対応し、ng、nh、niはそれぞれｇ線、ｈ線、ｉ線、
に対する屈折率、νｈは次式で規定する分散値を示す。
は最大像高、Ｆは実効Ｆナンバー、ｍは基準倍率、Ｔは
各レンズエレメントを構成する硝材の内部透過率（厚さ
10mmのとき）を示し、ｒ、ｄ、ｎ、νは第１図中の各符
号に対応し、ng、nh、niはそれぞれｇ線、ｈ線、ｉ線、
に対する屈折率、νｈは次式で規定する分散値を示す。
νｈ＝（nh−１）／（ni−ng） 一方、収差を示す図（第２図・第４図）は、実施例１
・実施例２に対応するもので、球面収差、非点収差及び
歪曲収差を示す３種のグラフＡ、Ｂ、Ｃを含む。そし
て、球面収差Ａのグラフにおいて、横軸に収差量を、縦
軸に実効Ｆナンバーをとり、それぞれｇ線、ｈ線、ｉ線
による球面収差曲線ｇ、ｈ、ｉを示している。なお、非
点収差を示すグラフＢにおいてＳはサジタル像面を、Ｍ
はメリディオナル像面を示し、歪曲収差を示すグラフＣ
と同様いずれもｈ線についての収差を示している。
・実施例２に対応するもので、球面収差、非点収差及び
歪曲収差を示す３種のグラフＡ、Ｂ、Ｃを含む。そし
て、球面収差Ａのグラフにおいて、横軸に収差量を、縦
軸に実効Ｆナンバーをとり、それぞれｇ線、ｈ線、ｉ線
による球面収差曲線ｇ、ｈ、ｉを示している。なお、非
点収差を示すグラフＢにおいてＳはサジタル像面を、Ｍ
はメリディオナル像面を示し、歪曲収差を示すグラフＣ
と同様いずれもｈ線についての収差を示している。
実施例１ 本実施例のレンズデータを表１に、レンズの配置構成
図を第１図に、収差図を第２図に示す。
図を第１図に、収差図を第２図に示す。
この実施例は、第１レンズ群G1が順次物体側に凸面を
向けた正のメニスカスレンズL1と、物体側に曲率半径の
小さい側の凸面を向けた正のレンズL2と、負のレンズL3
とから成り、第２レンズ群G2が順次像面側に凸面を向け
た正のメニスカスレンズL4と、両凹レンズL5と、両凸レ
ンズL6とから成り、全体としてｇ線、ｈ線、ｉ線の色消
しをなすように、凸凸凹−凸凹凸の組み合わせに配置構
成されている。このように構成することで基準倍率ｍ＝
−0.5における諸収差を良好に補正している。
向けた正のメニスカスレンズL1と、物体側に曲率半径の
小さい側の凸面を向けた正のレンズL2と、負のレンズL3
とから成り、第２レンズ群G2が順次像面側に凸面を向け
た正のメニスカスレンズL4と、両凹レンズL5と、両凸レ
ンズL6とから成り、全体としてｇ線、ｈ線、ｉ線の色消
しをなすように、凸凸凹−凸凹凸の組み合わせに配置構
成されている。このように構成することで基準倍率ｍ＝
−0.5における諸収差を良好に補正している。
実施例２ 本実施例のレンズデータを表２に、レンズの配置構成
図を第３図に、収差図を第４図に示す。
図を第３図に、収差図を第４図に示す。
この実施例は、第１レンズ群G1が順次物体側に凸面を
向けた正のメニスカスレンズL1と、物体側に曲率半径の
小さい側の凸面を向けた平凸レンズL2と、平凹レンズL3
とから成り、第２レンズ群G2が順次像面側に凸面を向け
た正のメニスカスレンズL4と、両凹レンズL5と両凸レン
ズL6とから成り、全体としてｇ線、ｈ線、ｉ線の色消し
をなすように、凸凸凹−凸凹凸の組み合わせに配置構成
されている。このように構成することで基準倍率ｍ＝−
0.5における諸収差を良好に補正している。
向けた正のメニスカスレンズL1と、物体側に曲率半径の
小さい側の凸面を向けた平凸レンズL2と、平凹レンズL3
とから成り、第２レンズ群G2が順次像面側に凸面を向け
た正のメニスカスレンズL4と、両凹レンズL5と両凸レン
ズL6とから成り、全体としてｇ線、ｈ線、ｉ線の色消し
をなすように、凸凸凹−凸凹凸の組み合わせに配置構成
されている。このように構成することで基準倍率ｍ＝−
0.5における諸収差を良好に補正している。
《発明の効果》 以上の説明で明らかなように、本発明に係る投影レン
ズは前記のように構成されているので、下記の効果を奏
する。
ズは前記のように構成されているので、下記の効果を奏
する。
イ．各レンズ群を構成する正レンズ及び負レンズがｇ
線、ｈ線、ｉ線に対する透過率を考慮した硝材で形成さ
れているため、ｇ線、ｈ線、ｉ線が同時に使用でき、フ
ォトレジストの感光波長域における光の透過率が大幅に
向上し、これにより焼付時間の短縮を図ることができ
る。
線、ｈ線、ｉ線に対する透過率を考慮した硝材で形成さ
れているため、ｇ線、ｈ線、ｉ線が同時に使用でき、フ
ォトレジストの感光波長域における光の透過率が大幅に
向上し、これにより焼付時間の短縮を図ることができ
る。
ロ．有効な画面サイズを大きくできる。
ハ．諸収差が改善され、画質の向上を図ることができ
る。
る。
第１図及び第３図はそれぞれ本発明に係る実施例１及び
実施例２を示すレンズの配置構成図、第２図及び第４図
はそれぞれ実施例１及び実施例２に対応するレンズの収
差図である。 G1……第１レンズ群、G2……第２レンズ群、ng・nh・ni
……それぞれｇ線、ｈ線、ｉ線に対する屈折率、νｈ…
…分散値。
実施例２を示すレンズの配置構成図、第２図及び第４図
はそれぞれ実施例１及び実施例２に対応するレンズの収
差図である。 G1……第１レンズ群、G2……第２レンズ群、ng・nh・ni
……それぞれｇ線、ｈ線、ｉ線に対する屈折率、νｈ…
…分散値。
Claims (1)
- 【請求項１】物体側から順に第１レンズ群と第２レンズ
群を配置し、 第１レンズ群は順次物体側に凸面を向けた正のメニスカ
スレンズと物体側に曲率半径の小さい側の凸面を向けた
正のレンズと負のレンズとから成り、 第２レンズ群は順次像面側に凸面を向けた正のメニスカ
スレンズと両凹レンズと両凸レンズとから成る投影レン
ズにおいて、 硝材のｇ線、ｈ線、ｉ線に対する屈折率をそれぞれng、
nh、niとし、 分散値をνｈ＝（nh−１）／（ni−ng）とするとき、 各レンズ群の正レンズが1.67＜nh＜1.69 48＜νｈ＜50 各レンズ群の負レンズが1.56＜nh＜1.61 30＜νｈ＜36 を満足し、かつｉ線に対する内部透過率（厚さ10mmのと
き）が90％以上の硝材より成ることを特徴とする投影レ
ンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1285290A JPH0812330B2 (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 | 投影レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1285290A JPH0812330B2 (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 | 投影レンズ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03144603A JPH03144603A (ja) | 1991-06-20 |
| JPH0812330B2 true JPH0812330B2 (ja) | 1996-02-07 |
Family
ID=17689607
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1285290A Expired - Lifetime JPH0812330B2 (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 | 投影レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0812330B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5139529B2 (ja) * | 1971-08-04 | 1976-10-28 |
-
1989
- 1989-10-31 JP JP1285290A patent/JPH0812330B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03144603A (ja) | 1991-06-20 |
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