JPH08130109A - 積層部品用非磁性絶縁材料、積層部品およびその製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は積層部品に関し、特に特性の優れた
積層部品を得るための積層部品用非磁性絶縁材料、積層
部品およびその製造法を提供することを目的とする。 【構成】 酸化鉄と酸化亜鉛を主成分とする非磁性フェ
ライトに酸化鉛を主成分とする低融点ガラスを１質量％
から２０質量％添加した積層部品用非磁性絶縁材料から
なる絶縁層１と導体２からなるコイル部３を有し、さら
にフェライト磁性層４とフェライト磁性体７などのフェ
ライト磁性材料からなる磁性層を有する積層部品であ
る。このような構成にすることによって、積層部品の磁
気回路の一部あるいは全部とコイル部３を１回の焼成で
形成することができる。また、絶縁層１と導体２でコイ
ル部３を形成した厚膜積層コイルであるためコイル部３
の厚みが薄くなり、薄型あるいは小型となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、積層部品に関し、特に
特性の優れた積層部品を得るための積層部品用非磁性絶
縁材料、積層部品およびその製造法に関する。

【０００２】

【従来の技術】積層部品としてはコンデンサおよびイン
ダクタなど種々のものがこれまでに提案されている。イ
ンダクタンス部品は各種通信機器、民生用機器などのコ
イル、トランスなどとして多用されており、近年、小型
あるいは薄型のインダクタンス部品がますます要求され
ている。

【０００３】小型のインダクタンス部品としては、フェ
ライト磁性層と導体層を交互に積層した積層インダクタ
（例えば、特開昭５５−９１１０３号公報）および同様
の構造の積層トランスなどが提案されている。このイン
ダクタンス部品の構成部材は磁性層を形成するフェライ
トと導体層を形成する電極材料の２種類である。そのた
め、漏れ磁束の少ない高密度実装が可能な優れたインダ
クタが得られるものの直流重畳特性が優れないという問
題があった。

【０００４】インダクタンス部品を構成する部材として
フェライト磁性材料と電極材料の２種類以外にさらに非
磁性材料を用いることによって、インダクタンス部品の
直流重畳特性を変化させることができる。しかし、前記
のようなフェライトと電極材料を同時に焼成してインダ
クタンス部品を得る方法と同様にフェライト磁性材料と
電極材料および非磁性材料の三者を同時に焼成して、イ
ンダクタンス部品を作製しようとすると、これら三者の
焼成時の整合性がなければ種々の欠陥が発生する。つま
り、インダクタンス部品に割れや反りあるいはこれら三
者の剥離などの種々の欠陥が発生し、正常なインダクタ
ンス部品を得ることができない。特に三者の焼成時の収
縮挙動や熱膨張量などが重要な因子である。また、別な
見方をすれば、非磁性材料の焼成時の挙動あるいは材料
定数、特に熱膨張係数などをフェライト磁性材料のそれ
と限りなく近付けていくことが重要である。

【０００５】インダクタンス部品あるいは複合部品にお
いてフェライト磁性体と前述した整合性の高い材料とし
てＦｅ、ＣｕおよびＺｎを含む非磁性フェライトにＭ
ｇ、Ｂａ、Ｓｉ、Ｂ、ＳｎおよびＣａを添加した複合積
層部品用非磁性材料（例えば、特開平６−７７０２２号
公報）なども提案されているが、種々の添加物を必要と
し、個々のフェライトに対しては必ずしも整合性が良好
であるとはいえないものであった。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】前述したように、これ
までに積層部品を得るための積層部品用非磁性フェライ
トが提案されているが、種々の添加物を必要とし全ての
フェライトに対して必ずしも前述したような整合性があ
るとはいえないという課題があった。

【０００７】本発明は上記の従来の問題点を解決するも
ので、磁性フェライト材料と導体材料を有する積層部品
において、整合性が良好で簡素化した系の非磁性フェラ
イト絶縁材料を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】以上の課題を解決するた
めに本発明は、酸化鉄と酸化亜鉛を主成分とする非磁性
フェライトに酸化鉛を主成分とする低融点ガラスを１質
量％から２０質量％添加した積層部品用非磁性絶縁材料
としたものである。さらに、導体材料からなるコイル部
と前記の非磁性絶縁材料からなる絶縁層ないしは非磁性
層およびフェライト磁性材料からなる磁性層を有した構
成の積層部品である。

【０００９】

【作用】前述した積層部品用非磁性絶縁材料にすること
によって、つまり酸化鉄と酸化亜鉛を主成分とする非磁
性フェライトに酸化鉛を主成分とする低融点ガラスを１
質量％から２０質量％添加した積層部品用非磁性絶縁材
料にすることによって、フェライト磁性材料および導体
材料を含む積層部品の１つの部材として使用し、１回の
焼成で種々の積層部品を得ることができる。つまり、フ
ェライト磁性材料および導体材料と前述したような整合
性の優れた非磁性絶縁材料となり、フェライト磁性材料
および導体材料と同時焼成したときに割れや反りあるい
はこれらの境界等での剥離などの種々の欠陥が発生しな
い。そのため、積層型のインダクタにおいて、自由な場
所にこの非磁性絶縁材料を存在させることができ、磁束
の流れ、磁路を自由にコントロールすることによって、
例えば、直流重畳特性を大幅に向上させたりあるいは複
数のインダクタンス部品を互いに干渉させずに積層ない
し隣接させたりすることができる。

【００１０】

【実施例】以下、本発明の一実施例について説明する。

【００１１】本発明の積層部品用非磁性絶縁材料は、酸
化鉄と酸化亜鉛を主成分とする非磁性フェライトに酸化
鉛を主成分とする低融点ガラスを１質量％から２０質量
％添加した積層部品用非磁性絶縁材料である。このよう
に本発明の積層部品用非磁性絶縁材料は酸化鉄と酸化亜
鉛を主成分とする非磁性フェライトに酸化鉛を主成分と
する低融点ガラスを前記の所定量添加したものである。

【００１２】この積層部品用非磁性絶縁材料はフェライ
ト磁性材料と導体材料から構成される積層部品の１構成
材料として用いられ、初めてその特徴が十分に発揮され
る。つまり、導体材料からなるコイルと酸化鉄と酸化亜
鉛を主成分とする非磁性フェライトに酸化鉛を主成分と
する低融点ガラスを１質量％から２０質量％添加した積
層部品用非磁性絶縁材料からなる絶縁層ないしは非磁性
層およびフェライト磁性材料からなる磁性層の三種類の
構成材料からなる積層部品において、前述した整合性を
有し優れた積層部品を得ることができる。

【００１３】この積層部品は前記の３つの材料を所定の
形状および位置に形成し、全体を一括焼成して得られ
る。この場合、個々の材料の焼成時の収縮量や冷却時に
問題となる熱膨張係数がほぼ一致していないとクラッ
ク、反りあるいは剥離などの種々の欠陥が発生する。さ
らに、微視的には各部材に含まれる元素が他の部材へは
いり相互拡散などにより種々の問題が発生する。

【００１４】前記の３つの構成材料の配置は大きく２つ
に分けることができ、１つは導体材料からなるコイルを
有し、コイルに隣接して本発明の積層部品用非磁性絶縁
材料からなる非磁性絶縁層と、この非磁性絶縁層に隣接
してさらにフェライト磁性材料からなる磁性層を配置し
た積層部品であり、２つ目は導体材料からなるコイルを
有し、コイルに隣接してフェライト磁性材料からなる磁
性層と、この磁性層に隣接してさらに本発明の積層部品
用非磁性絶縁材料からなる非磁性絶縁層を配置した積層
部品である。

【００１５】本発明の積層部品用非磁性絶縁材料はフェ
ライト磁性材料および導体材料と前述したような場合に
欠陥あるいは問題が発生しない優れた整合性を有する積
層部品用非磁性絶縁材料である。そのため、導体材料で
形成したコイルが発生する磁束の流れを本発明の非磁性
材料で自由にコントロールすることが可能になるため優
れた電気特性の積層部品が得られる。例えば、本発明の
非磁性絶縁材料を導体の絶縁材料として用いると直流重
畳特性の優れたコイル積層部品を得ることができ、さら
には１つのコイル部品の外側に本発明の非磁性絶縁材料
で非磁性層を形成すると複数のコイル部品を積層しても
隣接のコイル部品が互いに干渉しないようにすることが
できる。また、生産という観点ではフェライト磁性材料
と導体材料および本発明の非磁性絶縁材料の三者を一括
で焼成して積層部品を作製することができるため、１度
の焼成で積層部品を作製することが可能になる。

【００１６】本発明の積層部品用非磁性絶縁材料に含ま
れる酸化鉄と酸化亜鉛を主成分とする非磁性フェライト
の代表的なものとしてＺｎフェライトがある。この場
合、Ｚｎフェライト粉末を作製する時の仮焼成温度は８
００℃から１１００℃の範囲が望ましく、この温度は後
述する積層部品に用いるフェライト磁性層との整合性、
特に焼成時の焼成収縮量によって決定される。定性的に
は、仮焼温度が低いほど焼成時の収縮量が大きくなり、
逆に仮焼温度が高いほど焼成時の収縮量が小さくなる。
現実的には、仮焼成温度の異なるＺｎフェライト粉末を
いくつか準備し、フェライト磁性層との整合性によっ
て、仮焼成温度あるいは混合比を適宜決めればよい。

【００１７】次に、図面を参照して、本発明の積層部品
用非磁性絶縁材料を用いたさらに具体的な積層部品につ
いて説明する。

【００１８】本発明の積層部品は前述したように大きく
は２つに分けることができる。１つは導体の回りに本発
明の積層部品用非磁性絶縁材料からなる非磁性絶縁材料
を配置し、さらにその回りにフェライト磁性材料を配置
したものである。２つ目は導体の回りにフェライト磁性
材料を配置し、さらにそれに隣接して本発明の積層部品
用非磁性絶縁材料からなる非磁性絶縁材料を配置したも
のである。

【００１９】これらのさらに具体例の５つを以下に示
す。１つ目は図１に示すように本発明の積層部品用非磁
性絶縁材料からなる絶縁層１と導体２を交互に積層して
なるコイル部３を有し、しかもコイル部３の中心におい
てほぼ正方形状の中空部３ａと、コイル部３の外側にお
いて４隅にある三角形の切欠部３ｂを設け、フェライト
磁性層４上にコイル部３を形成していない露出部５（図
１において合計５つの部分に分かれ、フェライト磁性層
４とコイル部３とを所定位置に置いた場合、フェライト
磁性層４が露出している部分に相当する。）を有してお
り、さらにコイル部３およびフェライト磁性層４の導体
２の積層面に垂直な表面に導体２と電気的に接続した電
極層６を有し、しかもコイル部３の中心の中空部３ａと
コイル部３の外側にある切欠部３ｂにはまりこむ中央磁
脚７ａと４つの三角形状の外磁脚７ｂを有するフェライ
ト磁性体７を有する。このフェライト磁性体７の各磁脚
７ａ，７ｂはフェライト磁性層４に直接または非磁性層
を介して接触している。図１はこのように本発明の積層
部品を積層方向に分解し、さらにコイル部３の一部分を
除いて、コイル部３の断面を示して内部の積層状態を表
した分解斜視図である。実際には図１に示した本発明の
積層部品はほぼ直方体状あるいは立方体状の形状であ
る。

【００２０】２つ目は図２に示すように前記と同様のフ
ェライト磁性層４、コイル部３および電極層６を有し、
さらにコイル部３の中心の中空部３ａとコイル部３の外
側の図１に示した切欠部３ｂにフェライト層からなる芯
部８および脚部９を有している。つまり、図２に示すよ
うに、コイル部３の中心はフェライトからなる芯部８で
あり、コイル部３の外側は同様にフェライトからなる脚
部９である。さらに芯部８および脚部９の積層面に平行
な面に接触ないし非磁性材料を介して接触したフェライ
ト磁性体７を有する積層部品である。

【００２１】３つ目は図３に示すように図２のものとほ
ぼ同じ形状に分解できる。図２に示した積層部品と異な
る点はフェライト磁性層４がフェライト磁性体７に変わ
ったことである。他は図２に示した積層部品と同じであ
る。

【００２２】４つ目は図４に示すように図２のものとほ
ぼ同じ形状に分解できる。図２に示した積層部品と異な
る点はフェライト磁性体７がフェライト磁性層１０に変
わったことである。他は図２に示した積層部品と同じで
ある。

【００２３】５つ目は図５に示すようにフェライト磁性
層４と導体２を交互に積層してなるコイル部３を有し、
コイル部３の積層面に垂直な表面に導体２と電気的に接
続した電極層６を有し、さらにコイル部３の積層面に平
行な面の少なくとも１つの面に本発明の積層部品用非磁
性絶縁材料からなる非磁性層１１を有する積層部品であ
る。

【００２４】このような積層部品にすることによって、
例えばさらに図５に示したコイル部３を非磁性層１１上
に積層することによって、２つのコイル部品を積層した
積層部品となり、お互いに磁気回路を分離したコイル部
品となる。図５に示した積層部品はこの図で１つの完結
した積層部品ではなく、むしろ複合積層部品の一つの基
本部分を示したものともいえる。そのため、前述したの
はさらにコイル部品を有する場合であるが、図５の非磁
性層１１上にコンデンサを有してもよいし、あるいはセ
ラミック基板として配線層を形成して他の部品を実装し
てもよい。

【００２５】前記の５つの積層部品は別の視点からは、
つまり下から積層していくとした場合、フェライト磁性
層４とコイル部３に共通性をもつものが存在する。つま
り、図１、図２および図４に示した３つの積層部品の共
通部分は、フェライト磁性層４上に本発明の積層部品用
非磁性絶縁材料からなる絶縁層１と導体２を交互に積層
したコイル部３を有し、このコイル部３の中心およびコ
イル部３の外側にフェライト磁性層４の露出部５を有し
ていることである。図１の積層部品はコイル部３の中心
の中空部３ａをフェライト磁性体７の中央磁脚７ａが、
コイル部３の外側の切欠部３ｂをフェライト磁性体７の
外磁脚７ｂが占めている。フェライト磁性体７の前記の
中央磁脚７ａと外磁脚７ｂを除いた残りのフェライト磁
性体７はフェライト磁性層４と同様の形状をした背部と
なる。

【００２６】図２の積層部品は前記のフェライト磁性体
７の中央磁脚７ａおよび外磁脚７ｂと背部とを分離し、
芯部８と脚部９がフェライト磁性層４と同様のフェライ
ト層からなる積層部品である。この両者を結ぶ板状部分
（背部）がフェライト磁性体７となる。

【００２７】図４の積層部品は図１の積層部品のフェラ
イト磁性体７の部分がすべてフェライト磁性層４と同様
のフェライト層からなる積層部品である。図３に示した
積層部品は図２に示した積層部品のフェライト磁性層４
の部品がフェライト磁性体７の場合である。

【００２８】以上の４つの積層部品において、図１に示
した積層部品のフェライト磁性層４とフェライト磁性体
７で形成される磁性材料部分のフェライト磁性体の占め
る体積の順あるいは全磁路長に対する比率の順に並べる
と、図１、図３、図４となり、図４の積層部品はフェラ
イト磁性体が全く存在しない。一方、図１の積層部品は
大部分をフェライト磁性体が占める。図１に示した積層
部品のフェライト磁性層４を図３に示した積層部品のよ
うにフェライト磁性体７にすることによって、電気特性
的には優れたコイル部品となるが本発明の非磁性絶縁材
料と導体材料でコイルを形成するため、本発明の非磁性
絶縁材料の特徴を十分に発揮しきれない。つまり、本発
明の非磁性絶縁材料とフェライト磁性材料の整合性を発
揮しきれない。しかし、積層部品を実際に動作させた場
合には、温度上昇が認められ、温度の上昇と下降の繰り
返しとなり、前記の整合性が同様に問題となる。

【００２９】以上の図５に示した積層部品を除く４つの
積層部品はいかなる製品性能が必要かによって、フェラ
イト磁性体７の体積を増減すればよい。つまり、フェラ
イト磁性体７は通常１１００℃以上の高温で焼成して優
れた磁気特性を有する磁性材料になるが、本発明の積層
部品は前述したように、フェライト磁性材料と導体材料
と本発明の非磁性絶縁材料の三者を一括焼成して得られ
る。

【００３０】本発明の積層部品はコイル部品であり、コ
イル部品はコイルの抵抗が小さいことが望ましいため、
前記の導体材料としては一般には銀あるいは銅が主成分
となるため、これらの材料の融点から焼成温度はあまり
高温に上げることはできない。通常、９３０℃以下が望
ましい。そのため、フェライト磁性層４は低温で焼成可
能なＮｉＺｎ系フェライトあるいはＮｉＺｎＣｕ系フェ
ライトなどの組成系のフェライト材料に限られる。ま
た、別な観点でみれば、本発明の積層部品は表面実装部
品であり、外部電極を積層部品の端面に形成する必要が
ある。前記のＮｉＺｎ系フェライトあるいはＮｉＺｎＣ
ｕ系フェライトは共に絶縁材料としても十分な絶縁性を
有しており、フェライト磁性層４（図３ではフェライト
磁性体７）上に直接外部電極層を設けることが可能とな
る。

【００３１】図３に示した積層部品の一対のフェライト
磁性体７の少なくとも１つ、図３において電極層６を形
成したフェライト磁性体７はＮｉＺｎ系フェライトであ
る方が望ましく、ＭｎＺｎ系では絶縁処理が必要であ
る。種々の組成系のフェライト磁性材料の磁気特性で最
も優れているのはＭｎＺｎ系フェライト材料であるが、
この系のフェライト材料は焼成温度および雰囲気の問題
があり、低温焼成化はかなり困難である。現時点では優
れた特性を有するＭｎＺｎ系フェライト材料は別に準備
する必要がある。さらに、ＮｉＺｎ系フェライトあるい
はＮｉＺｎＣｕ系フェライトであっても、焼成温度の高
い方が磁気特性の優れたものが得られる。

【００３２】以上のことから、前述したフェライト磁性
体７は別に形成したつまり高温で焼成して得られたフェ
ライト磁性材料をいい、フェライト磁性層４は低温で焼
成して得られるフェライト磁性材料を指し、同じフェラ
イト磁性材料で構成される部材であるが名称を変えてい
る。換言すれば、フェライト磁性体７はこれまで一般に
よく知られた通常のフェライト磁性材料をセラミックプ
ロセス、粉末成形法で形成して得られるものであり、フ
ェライト磁性層４は積層部品においてフェライト材料と
導体を同時に焼成して得られるフェライト材料である。
両者は共に粉末を焼成して得られるものであるが、焼成
温度の差によって磁気特性あるいは組成系で大きな差が
あり、これが得られる積層部品の電気特性に大きな差を
生み出すものである。そのため、本発明はいかなる電気
特性の積層部品を必要とするかによって、フェライト磁
性体７の比率を変化させるものである。

【００３３】電源ライン用に用いるコイル部品で重要な
特性である直流重畳特性、耐電流性能にこの差は大きく
表れ、フェライト磁性体７の比率が多い方が直流重畳特
性が優れている。さらに、直流重畳特性を改善するため
には、前述したようにコイルが発生する磁束の流れをコ
ントロールし、場合によっては磁束の通る磁路にギャッ
プを設けることが必要になる。この場合に本発明の非磁
性絶縁材料が有効となる。つまり、フェライト磁性材料
と本発明の非磁性絶縁材料の三次元的な配置をいかにす
るかによって、磁束あるいは磁性材料に働く有効磁場の
強さをコントロールする。これによって、コイル部品の
電気特性を変動させることができる。

【００３４】信号ライン用のコイル部品においては生産
性が優れているフェライト磁性体７を全く用いない構成
が望ましい。本発明の積層部品をインピーダンス素子と
して用いる場合は、それらの中間的な比率が望ましい。
しかし、この場合も必要な許容電流には幅があるため、
フェライト磁性体７の比率を適宜決定すればよい。フェ
ライト磁性体７はフェライト磁性材料から構成されてい
なくてもパーマロイ、センダストなどの軟磁気特性の優
れた金属系あるいはフェライト磁性材料と前記の金属磁
性材料の混合材料であってもよく、軟磁気特性の優れた
磁性材料であればどのようなものでもよい。つまり、図
１に示したように、フェライト磁性体７には必ずしも電
気的絶縁性は必要なく、軟質の磁性材料としての特性が
要求される。このコイル部品がどのような周波数域で使
用するかによって、磁性体の材料を決定すればよい。し
かし、近年、高周波化が進んでおり、フェライトが最も
望ましい磁性材料である。

【００３５】次に、積層部品の製造法について説明す
る。本発明の積層部品用非磁性材料を用いた積層部品は
フェライト磁性材料と導体材料との三者の同時焼成が可
能であるため、優れた特性を有するコイル部品を１回の
焼成で得ることができる。また、場合によっては完全に
モノリシックな生産性の優れたコイル部品を得ることが
できる。前述した５つの積層部品に対応して、図を参照
しながら個々の積層部品の製造法の一例を説明する。

【００３６】まず、１つ目の積層部品を得る方法は、ま
ずフェライト磁性層４を形成し、このフェライト磁性層
４上の一部に酸化鉄と酸化亜鉛を主成分とする非磁性フ
ェライトに酸化鉛を主成分とする低融点ガラスを１質量
％から２０質量％添加した積層部品用非磁性絶縁材料か
らなる絶縁層１を形成し、さらに導体２を形成すること
を繰り返してコイル部３を図１のように形成する。次に
フェライト磁性層４およびコイル部３の積層面に垂直な
表面に導体２と電気的に接続した電極層６を形成する。
この電極層６を形成したフェライト磁性層４およびコイ
ル部３を焼成する。さらにコイル部３の中心とコイル部
３の外側の４隅のコイル部３を形成していないフェライ
ト磁性層４の露出部５に接触ないし非磁性層を介してフ
ェライト磁性体７を接合して得られる。前述したよう
に、フェライト磁性体７は別途予め準備しておけばよ
く、一般に知られた粉末成形法などの方法で作製すれば
よい。

【００３７】２つ目の方法は、１つ目の積層部品を得る
方法と同様にフェライト磁性層４、コイル部３および電
極層６までを形成したものにコイル部３の中心およびコ
イル部３の外側の４隅のフェライト磁性層４の露出した
部分（図１において露出部５に相当）にフェライト磁性
層４と同様にフェライトで芯部８および脚部９を図２に
示すように形成した後、焼成する。次に芯部８と脚部９
のフェライト磁性層４と反対側で積層面に平行な面に接
触ないし非磁性層を介して板状のフェライト磁性体７を
接合して得られる。

【００３８】３つ目の方法は、２つ目を形成するときは
フェライト磁性層４上に順次形成したが、３つ目の方法
ではフェライト磁性層４の替わりに支持体上に２つ目の
方法と同様にコイル部３、芯部８、脚部９および電極層
６までを形成した後、焼成する。次に、芯部８と脚部９
の積層面に平行な面に接触ないし非磁性層を介して板状
の一対のフェライト磁性体７を接合して得られる。前記
の支持体はコイル部３等の形成のために使用するもの
で、耐熱性に富んだセラミックス材料からなる板状のも
のが一般的であり、例えばアルミナ基板などを用いると
焼成にもそのまま使用することができる。なお、一対の
フェライト磁性体７の片方には図３に示すように電極層
６を予め別途形成しておいたものを前記のように接合す
る。

【００３９】４つ目の方法は、前記の２つ目の方法と同
様に芯部８および脚部９まで形成したものにフェライト
磁性層４の反対側にさらにフェライト磁性層１０を接合
した後、焼成して得られる。図４に示した状態でギャッ
プが必要な場合はフェライト磁性層１０と芯部８の間さ
らには必要に応じて脚部９の間にギャップを形成するの
が望ましい。

【００４０】５つ目の方法は、フェライト磁性層４と導
体２を交互に積層してコイル部３を形成し、さらにフェ
ライト磁性層４の積層面に垂直な表面に導体２と電気的
に接続した電極層６を形成し、酸化鉄と酸化亜鉛を主成
分とする非磁性フェライトに酸化鉛を主成分とする低融
点ガラスを１質量％から２０質量％添加した積層部品用
非磁性絶縁材料からなる非磁性層１１を形成した後、焼
成して得られる。しかし、前述したようにこれは複合積
層部品の基本部品あるいは配線形成用基板だけの形成方
法を示したもので、非磁性層１１上にさらにコイル部
品、コンデンサあるいは配線層などを形成して一括焼成
してもよい。

【００４１】以上の絶縁層１、フェライト磁性層４、フ
ェライト磁性層１０あるいは非磁性層１１などは一般に
知られているグリーンシート成形法、印刷法、デッピン
グ法あるいはスピンコート法などで形成することができ
る。導体２は印刷法が一般的であるが、レーザを用いた
パターン形成あるいはグリーンシート法で所定パターン
に打ち抜きなどの方法でもよい。芯部８あるいは脚部９
の形成は印刷法、積層体の圧入あるいは鋳込法などによ
って形成すればよい。例えば、印刷法ではコイル部３の
形成と同時に芯部８と脚部９の形成を進め、コイル部
３、芯部８および脚部９がほぼ平坦に積層するように各
々を順次積み上げていけばよい。鋳込法ではフェライト
磁性層４上に所定のコイル部３を形成した後、そのへこ
み部、開口部にペースト状のフェライトを鋳込む方法な
どである。コイル部３と芯部８および脚部９の高さはコ
イル部３よりも芯部８および脚部９の方が高くなるよう
に形成する方がギャップ調整などが正確に行える。

【００４２】本発明の積層部品は耐熱性の優れたコイル
部品であるためモジュール化することが容易である。例
えば、アルミナ基板あるいはフェライト基板などのセラ
ミック基板に所定の配線層を形成し、基板の配線と積層
部品の外部電極層との結線を同時に行って一体化、組立
が可能である。この場合、基板の所定場所に窓をあけて
積層部品の側面とセラミック基板上の配線に結線するこ
とが可能になるため、薄型のモジュールが得られる。こ
の場合は、一般に知られているセラミック基板を用いた
通常の厚膜形成プロセスが適用できる。電極層６は半田
づけを前提としたものでなく、焼成して電気的に接続す
るものにすればよい。半田づけを想定した電極層６の形
成法としては、銀あるいは銀パラジウムで電極層の下地
を形成しておき、この下地電極にさらにＮｉめっきおよ
び半田めっきを施す方法などがある。

【００４３】絶縁層１（あるいはフェライト磁性層４）
と導体２を交互に積層して形成するコイルの形状として
は、ソレノイド型あるいは同一面に何周もしたスパイラ
ル型等がある。小型化に対してはソレノイド型が有効で
あり、大きな巻数を必要とする場合は積層数が大きくな
るが導体抵抗は小さくできる。スパイラル型では大きな
巻数を得るには有利であるが、反面導体抵抗が大きくな
る。これらのコイルの形状の特徴といかなる部品性能が
必要かで適宜使い分ける必要がある。例えば、一般のコ
イル部品にはソレノイド型が有利の場合が多く、トラン
スでは独立した２つ以上のコイルを積層する必要がある
ためスパイラル型が有利となる場合が多い。

【００４４】コイル部３を形成する絶縁層１（あるいは
フェライト磁性層４）と導体２およびフェライト磁性層
４を形成するためのペーストは、各粉末とブチルカルビ
トール、テルピネオール、アルコールなどの溶剤、エチ
ルセルロース、ポリビニルブチラール、ポリビニルアル
コール、ポリエチレンオキサイド、エチレン−酢酸ビニ
ルなどの結合剤、さらに、各種の酸化物あるいはガラス
類などの焼結助剤を添加し、ブチルベンジルフタレー
ト、ジブチルフタレート、グリセリンなどの可塑剤ある
いは分散剤等を添加してもよい。これらを混合した混練
物を用いて各層を形成する。これらを前述したような所
定の構造に積層したものを焼成して積層部品を得る。グ
リーンシートを作製する場合は、前記の溶剤に代えて、
蒸発性の優れた各種の溶剤、例えば酢酸ブチル、メチル
エチルケトン、トルエン、アルコールなどが望ましい。

【００４５】本発明の積層部品の焼成温度範囲としては
約８００℃から９５０℃の範囲である。特に導体の材質
によって異なり、例えば、導体材料として銀を用いれば
９００℃前後にする必要があり、銀とパラジウムの合金
では９５０℃でも可能である。

【００４６】次に本発明の更に具体的な実施例について
説明する。 （実施例１）仮焼温度が９５０℃のＺｎフェライト粉末
１００ｇに対して、軟化温度が３５０℃で酸化鉛が８５
％、酸化ホウ素が１３％含まれる低融点ガラスを無添加
のものと１ｇから３０ｇ添加したものを数点作製した。
これらの粉末１００ｇに対してブチラール樹脂が８ｇ、
ブチルベンジルフタレートが４ｇ、メチルエチルケトン
が２４ｇおよび酢酸ブチルが２４ｇ混合し、ポットミル
を用いて混練して本発明の積層部品用非磁性絶縁材料の
スラリーを作製した。これらのスラリーを使い、コータ
を用いて乾燥後厚み５０μｍの非磁性絶縁グリーンシー
トを作製した。

【００４７】同様の方法でＮｉＺｎＣｕ系フェライト粉
末１００ｇに対して前記と同じ低融点ガラスを４ｇ添加
した粉末を用いて、同じ厚みのフェライトグリーンシー
トを作製した。なお各グリーンシートはＰＥＴフィルム
上に形成した。次に各非磁性絶縁グリーンシートにパン
チャーを用いて、所定の位置に穴（ビア、各層の導体を
電気的に結線するためのもの）をあけた。次に、印刷機
を用いて、市販の厚膜用焼成型銀ペーストで先に作製し
た非磁性絶縁グリーンシートに導体を印刷法で形成し
た。導体の厚みは乾燥後で２０μｍであった。導体を形
成していない非磁性絶縁グリーンシートに導体を形成し
た非磁性絶縁グリーンシートを熱プレスを用いて接合し
た。熱プレスの定盤温度は１００℃に設定し、圧力は６
０ｋｇ／ｃｍ²であった。同様に、導体を形成した非磁
性絶縁グリーンシートを熱プレスを用いて順次接合し、
導体が２０層になるまで繰り返した。

【００４８】これらの積層体を図１に示したようなフェ
ライト磁性体７の挿入孔にあたるコイル部３の中心の中
空部３ａとコイル部３の外側の４隅にパンチャーを用い
て切欠部３ｂを形成しコイル部３を作製した。同様に先
に作製していたフェライトグリーンシートを熱プレスを
用いて積層し、フェライト磁性層４を作製した。なお、
フェライト磁性層４の厚みは７００μｍであった。この
フェライト磁性層４と先に作製したコイル部３を熱プレ
スで接合した。さらに、図１に示すような電極層６を銀
パラジウムペーストを用いて形成し、９００℃で２時間
保持する条件で焼成した。

【００４９】焼成後の各試料は絶縁材料に低融点ガラス
を１％から２０％添加したものでは剥離、割れなどの欠
陥は発生していなかったが、０％のものはフェライト磁
性層とコイル部の間で剥離が認められ、２２％以上低融
点ガラスを添加した試料には大きな反り、変形あるいは
表面に凹凸などの欠陥が認められた。

【００５０】次に、ＭｎＺｎ系フェライトからなる図１
に示したような形状のフェライト磁性体７を接着剤を用
いてフェライト磁性層４と接着し、本発明の積層部品を
作製した。

【００５１】この積層部品をＬＣＲメータを用いて、イ
ンダクタ、抵抗、直流重畳特性などの電気特性を測定し
たところ、絶縁材料に低融点ガラスを１％から２０％添
加したものでは大きな差は認められなかったが、欠陥の
発生したものでは特性に差が認められた。インダクタン
スが小さい、周波数特性が悪いあるいは直流重畳特性が
小さいなどの差が認められた。

【００５２】このように本発明の積層部品用非磁性絶縁
材料を用いることによって優れた特性を有する積層部品
を得ることができ、しかもフェライト磁性層４とコイル
部３および電極層６の形成が１回の焼成で可能であり、
生産性に優れた積層部品を得ることができる。

【００５３】さらに、前記と同様の方法でＮｉＺｎＣｕ
系フェライト粉末１００ｇに対して前記の低融点ガラス
を添加していないものと１ｇから１０ｇ添加した粉末を
用いて、同様に種々のフェライトグリーンシートを作製
し、前記と同様に本発明の積層部品を作製した。なお、
Ｚｎフェライト粉末１００ｇに対して、前記低融点ガラ
スを５ｇ添加したものを用いた。

【００５４】得られた本発明の積層部品の電気特性を評
価したところ、ＮｉＺｎＣｕ系フェライトに低融点ガラ
スを１質量％から８質量％添加したものではその電気特
性に大きな差は認められなかったが、無添加のものでは
図１に示したフェライト磁性層４とコイル部３の接合部
の一部に剥離が認められ、９質量％以上添加したもので
は電気特性が劣っていた。

【００５５】（実施例２）仮焼温度が１０００℃のＺｎ
フェライト粉末１００ｇに対して、軟化温度が３５０℃
で酸化鉛が８５％含まれる低融点ガラスを５ｇ添加した
ものを作製した。これらの粉末１００ｇに対してブチラ
ール樹脂が６ｇ、ブチルベンジルフタレートが４ｇ、酢
酸ブチルが４６ｇ混合して、実施例１と同様に乾燥後厚
み５０μｍの本発明の非磁性絶縁グリーンシートを作製
した。同様の方法でＮｉＺｎＣｕ系フェライト粉末１０
０ｇに対して低融点ガラスを３ｇ添加した粉末を用い
て、同じ厚みのフェライトグリーンシートを作製した。

【００５６】次に実施例１と同様に絶縁グリーンシート
にパンチャーを用いてビアを形成し、導体を印刷法で形
成した。実施例１と同様にして導体層が２０層の図２に
示すようなコイル部３を形成した。同様にフェライトグ
リーンシートを積層してフェライト磁性層４を作製し
た。次に図２に示すような芯部８と脚部９の形状のフェ
ライトグリーンシートの積層体を作製し、所定の位置に
挿入ないし接着し、フェライト磁性層４およびコイル部
３とを熱プレスで接合した。さらに図２に示すような電
極層６を銀パラジウムペーストを用いて形成し、９００
℃で２時間保持する条件で焼成した。

【００５７】焼成後の試料は剥離、割れあるいは反りな
どの欠陥は発生していなかった。次に、ＭｎＺｎ系フェ
ライトからなる図２に示すような板状のフェライト磁性
体７を接着剤を用いて、芯部８と脚部９に接着し本発明
の積層部品を作製した。

【００５８】この積層部品をＬＣＲメータを用いて、イ
ンダクタンス、抵抗、直流重畳特性などの電気特性を測
定したところ、実施例１で作製した積層部品に比べ特性
は少し低いものの優れた特性の積層部品が得られた。

【００５９】このように本発明の積層部品用非磁性絶縁
材料を用いることによって優れた特性を有する積層部品
を得ることができ、しかもフェライト磁性層４とコイル
部３、芯部８、脚部９および電極層６を１回の焼成で形
成でき、生産性に優れた積層部品を得ることができる。
さらに、実施例１で得られた積層部品に比べて特性が少
し低い点はあるが、フェライト磁性体７の形状が板状で
ありコスト的には非常に有利な方法である。つまり、実
施例１の積層部品は特性は優れているが、反面フェライ
ト磁性体７の形状が複雑である。しかし、本実施例の積
層部品のフェライト磁性体７は板状であるため作製は容
易である。

【００６０】（実施例３）仮焼温度が１０００℃のＺｎ
フェライト粉末１００ｇに対して、軟化温度が３５０℃
で酸化鉛が８５％含まれる低融点ガラスを６ｇ添加した
ものを作製した。これらの粉末１００ｇに対してブチラ
ール樹脂が６ｇ、ブチルベンジルフタレートが４ｇ、酢
酸ブチルが４６ｇ混合して、実施例１と同様に乾燥後厚
み５０μｍの本発明の非磁性絶縁グリーンシートを作製
した。さらに実施例１と同様に非磁性絶縁グリーンシー
トにビアを形成した後、導体を印刷法で形成した。次に
実施例２と同様にして導体層が２０層含まれる図３に示
したようなコイル部３と芯部８および脚部９を作製し
た。さらに図３に示すような電極層６を銀パラジウムペ
ーストを用いて形成した。この試料を９００℃で２時間
保持する条件で焼成した。

【００６１】焼成後の試料には剥離、割れあるいは反り
などの欠陥は発生しておらず、さらに電気的にも異常は
認められなかった。

【００６２】焼成後の試料に図３に示すような一対の板
状のフェライト磁性体７を張り合わせて、本発明の積層
部品を作製した。なお、図３において下のフェライト磁
性体７は１２００℃で焼成して作製したＮｉＺｎ系フェ
ライトとし、上の電極層６を形成していないフェライト
磁性体７はＭｎＺｎ系フェライトで作製し、これらのフ
ェライト磁性体７を接着剤を用いて、芯部８および脚部
９にそれぞれ接着して作製した。

【００６３】この積層部品をＬＣＲメータを用いて、イ
ンダクタンス、抵抗、直流重畳特性などの電気特性を測
定したところ、実施例１で作製した積層部品に比べれば
特性は少し低く、実施例２で作製したものよりは優れた
特性の積層部品であった。

【００６４】このように本発明の積層部品用非磁性絶縁
材料を用いることによって優れた特性を有する積層部品
を得ることができ、しかもコイル部３、芯部８、脚部９
および電極層６を１回の焼成で形成でき、生産性に優れ
た積層部品を得ることができる。さらに、実施例１で得
られた積層部品に比べて特性が少し劣るが、フェライト
磁性体７の形状が板状で、コスト的には有利な方法であ
る。

【００６５】（実施例４）実施例２と同様の方法で図４
に示すようなフェライト磁性層４上にコイル部３、芯部
８、脚部９および電極層６を作製した。この試料にさら
にフェライト磁性層４と同様に作製したフェライト積層
体（図４においてフェライト磁性層１０に相当）を図４
に示すように熱プレスを用いて接合して積層部品を作製
した。この積層体を９００℃で２時間保持する条件で焼
成し本発明の積層部品を作製した。

【００６６】得られた積層部品には反り、歪み、剥離あ
るいは割れなどの欠陥は発生していなかった。さらにＬ
ＣＲメータを用いて、インダクタンス、抵抗、直流重畳
特性などの電気特性を測定したところ、実施例２で得ら
れた積層部品に比べて特性は少し低いものの優れた特性
の積層部品であった。

【００６７】このように本発明の積層部品用非磁性絶縁
材料を用いることによって優れた特性を有する積層部品
を作製することができ、前述の実施例のようにフェライ
ト磁性体７を用いずに１回の焼成で積層部品を完成する
ことができる。フェライト磁性体７を用いる方法で得ら
れる積層部品に比べて、特性的には劣るがコスト的には
有利な方法である。特に、非常に優れた直流重畳特性を
必要としない一般的なコイル部品にはこの方法で作製し
たもので十分対応できるものである。

【００６８】（実施例５）仮焼温度が１０００℃のＺｎ
フェライト粉末１００ｇに対して、軟化温度が３５０℃
で酸化鉛が８５％含まれる低融点ガラスを８ｇ添加した
ものを作製した。これらの粉末１００ｇに対してブチラ
ール樹脂が８ｇ、ブチルベンジルフタレートが６ｇ、酢
酸ブチルが４６ｇ混合し、実施例１と同様に乾燥後厚み
５０μｍの本発明の非磁性絶縁グリーンシートを作製し
た。同様の方法でＮｉＺｎＣｕ系フェライト粉末１００
ｇに対して低融点ガラスを４ｇ添加した粉末を用いて同
じ厚みのフェライトグリーンシートを作製した。これま
でと同様にフェライトグリーンシートにビアを形成した
後、導体を印刷法で形成した。さらにこれまでと同様の
方法で導体層が２０層含まれる図５に示したようなコイ
ル部３を作製した。また、図５に示すように先に作製し
た非磁性絶縁グリーンシートを用いて非磁性層１１を積
層した。なお、非磁性層１１の厚みは１００μｍであっ
た。さらに、図５に示すような電極層６を銀パラジウム
ペーストを用いて形成し、９００℃で２時間保持する条
件で焼成して本発明の積層部品を作製した。

【００６９】積層部品には剥離、割れあるいは反りなど
の欠陥は認められなかった。さらにＬＣＲメータを用い
て、インダクタンス、抵抗、直流重畳特性などの電気特
性を測定したところ、優れたインダクタンスを示す積層
部品であった。

【００７０】このように本発明の積層部品用非磁性絶縁
材料を用いることによって優れた特性を有する積層部品
を得ることができる。

【００７１】

【発明の効果】本発明の、酸化鉄と酸化亜鉛を主成分と
する非磁性フェライトに酸化鉛を主成分とする低融点ガ
ラスを１質量％から２０質量％添加した積層部品用非磁
性絶縁材料を用いることによって、欠陥のない優れた特
性を有する積層型のコイル部品を１回の焼成で得ること
ができる。つまり、フェライト磁性材料と導体材料およ
び本発明の非磁性絶縁材料の三者を一括焼成して積層部
品を得ることができる。また、さらに優れた特性を得る
ためには磁気回路の大部分をフェライト磁性体で構成
し、一方コストを優先する場合には全くフェライト磁性
体を構成部材に使用しない構成を選択すればよい。非常
に選択肢の多い方法で、生産性と電気特性のいずれを優
先した積層部品を必要とするかによってその構成を決定
することができる。さらに、本発明の積層部品のコイル
部は絶縁層と導体を交互に積層した厚膜コイルであるた
め、コイルの高さが薄くなり非常に薄型あるいは小型の
積層部品となる。さらに、十分な耐熱性と高い信頼性を
も兼ね備えた優れた積層部品であるため、モジュール化
にも対応する積層部品を提供するものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の積層部品の構成を示す一部
断面を描いた分解斜視図

【図２】本発明の他の実施例の積層部品の構成を示す一
部断面を描いた分解斜視図

【図３】本発明の他の実施例の積層部品の構成を示す一
部断面を描いた分解斜視図

【図４】本発明の他の実施例の積層部品の構成を示す一
部断面を描いた分解斜視図

【図５】本発明の他の実施例の積層部品の構成を示す一
部断面を描いた分解斜視図

【符号の説明】

１ 絶縁層 ２ 導体 ３ コイル部 ３ａ 中空部 ３ｂ 切欠部 ４ フェライト磁性層 ５ 露出部 ６ 電極層 ７ フェライト磁性体 ７ａ 中央磁脚 ７ｂ 外磁脚 ８ 芯部 ９ 脚部 １０ フェライト磁性層 １１ 非磁性層

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ０４Ｂ 35/30 Ｈ０１Ｆ 10/28 17/00 Ｄ 4230−5Ｅ 41/04 Ｂ Ｃ０４Ｂ 35/30 Ｃ

Claims (19)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 酸化鉄と酸化亜鉛を主成分とする非磁性
   フェライトに酸化鉛を主成分とする低融点ガラスを１質
   量％から２０質量％添加した積層部品用非磁性絶縁材
   料。
2. 【請求項２】 導体材料からなるコイルと酸化鉄と酸化
   亜鉛を主成分とする非磁性フェライトに酸化鉛を主成分
   とする低融点ガラスを１質量％から２０質量％添加した
   積層部品用非磁性絶縁材料からなる非磁性絶縁層および
   フェライト磁性材料からなる磁性層を有する積層部品。
3. 【請求項３】 導体材料からなるコイルを有し、コイル
   に隣接して酸化鉄と酸化亜鉛を主成分とする非磁性フェ
   ライトに酸化鉛を主成分とする低融点ガラスを１質量％
   から２０質量％添加した積層部品用非磁性絶縁材料から
   なる非磁性絶縁層と前記非磁性絶縁層にさらに隣接して
   フェライト磁性材料からなる磁性層を有する積層部品。
4. 【請求項４】 導体材料からなるコイルを有し、コイル
   に隣接してフェライト磁性材料からなる磁性層と前記磁
   性層にさらに隣接して酸化鉄と酸化亜鉛を主成分とする
   非磁性フェライトに酸化鉛を主成分とする低融点ガラス
   を１質量％から２０質量％添加した積層部品用非磁性絶
   縁材料からなる非磁性絶縁層を有する積層部品。
5. 【請求項５】 フェライト磁性材料が、酸化鉄、酸化ニ
   ッケル、酸化銅および酸化亜鉛を主成分とするフェライ
   トに酸化鉛を主成分とする低融点ガラスを１質量％から
   ８質量％添加したフェライトである請求項４記載の積層
   部品。
6. 【請求項６】 フェライト磁性層上に酸化鉄と酸化亜鉛
   を主成分とする非磁性フェライトに酸化鉛を主成分とす
   る低融点ガラスを１質量％から２０質量％添加した積層
   部品用非磁性絶縁材料からなる絶縁層と導体を交互に積
   層してなるコイル部を有し、しかもコイル部の中心の中
   空部とコイル部の外側には切欠部を有しており、さらに
   コイル部およびフェライト磁性層の積層面に垂直な表面
   に導体と電気的に接続した電極層を有し、しかもコイル
   部の中空部と外側にある切欠部にはまりこみフェライト
   磁性層と接触ないし非磁性材料を介して接触した磁脚を
   有するフェライト磁性体を有する積層部品。
7. 【請求項７】 フェライト磁性層上に酸化鉄と酸化亜鉛
   を主成分とする非磁性フェライトに酸化鉛を主成分とす
   る低融点ガラスを１質量％から２０質量％添加した積層
   部品用非磁性絶縁材料からなる絶縁層と導体を交互に積
   層してなるコイル部を有し、しかもコイル部の中心とコ
   イル部の外側にはフェライトからなる芯部と脚部を有し
   ており、さらにコイル部およびフェライト磁性層の積層
   面に垂直な表面に導体と電気的に接続した電極層を有
   し、さらに芯部および脚部のフェライト磁性層と反対側
   で積層面に平行な面と接触ないし非磁性材料を介して接
   触したフェライト磁性体を有する積層部品。
8. 【請求項８】 酸化鉄と酸化亜鉛を主成分とする非磁性
   フェライトに酸化鉛を主成分とする低融点ガラスを１質
   量％から２０質量％添加した積層部品用非磁性絶縁材料
   からなる絶縁層と導体を交互に積層してなるコイル部を
   有し、しかもコイル部の中心とコイル部の外側にはフェ
   ライトからなる芯部と脚部を有しており、さらにコイル
   部の積層面に垂直な表面に導体と電気的に接続した電極
   層を有し、さらに芯部および脚部の積層面に平行な面と
   接触ないし非磁性材料を介して接触した一対のフェライ
   ト磁性体を有する積層部品。
9. 【請求項９】 フェライト磁性層上に酸化鉄と酸化亜鉛
   を主成分とする非磁性フェライトに酸化鉛を主成分とす
   る低融点ガラスを１質量％から２０質量％添加した積層
   部品用非磁性絶縁材料からなる絶縁層と導体を交互に積
   層してなるコイル部を有し、しかもコイル部の中央とコ
   イル部の外側にはフェライト磁性層に接触ないし非磁性
   材料を介してフェライトからなる芯部と脚部を有してお
   り、さらにコイル部およびフェライト磁性層の積層面に
   垂直な表面に導体と電気的に接続した電極層を有し、さ
   らに芯部および脚部の前記フェライト磁性層と反対側の
   積層面に平行な面に芯部と脚部を結ぶようにフェライト
   磁性層を有する積層部品。
10. 【請求項１０】 フェライト磁性層からなる絶縁層と導
    体を交互に積層してなるコイル部を有し、コイル部の積
    層面に垂直な表面に導体と電気的に接続した電極層を有
    し、さらにコイル部の積層面に平行な面の少なくとも１
    つの面上に、酸化鉄と酸化亜鉛を主成分とする非磁性フ
    ェライトに酸化鉛を主成分とする低融点ガラスを１質量
    ％から２０質量％添加した積層部品用非磁性絶縁材料か
    らなる非磁性層を有する積層部品。
11. 【請求項１１】 フェライト磁性層が酸化鉄、酸化ニッ
    ケル、酸化銅および酸化亜鉛を主成分とするフェライト
    に酸化鉛を主成分とする低融点ガラスを１質量％から８
    質量％添加したフェライトである請求項６、請求項７、
    請求項８、請求項９または請求項１０記載の積層部品。
12. 【請求項１２】 コイル部の中心の中空部が１ヵ所でコ
    イル部の外側の切欠部が４角の４ヵ所である請求項６記
    載の積層部品。
13. 【請求項１３】 芯部が１つで脚部が４つである請求項
    ７、請求項８または請求項９記載の積層部品。
14. 【請求項１４】 フェライト磁性層上の一部に酸化鉄と
    酸化亜鉛を主成分とする非磁性フェライトに酸化鉛を主
    成分とする低融点ガラスを１質量％から２０質量％添加
    した積層部品用非磁性絶縁材料からなる絶縁層と導体を
    交互に積層してコイル部を形成し、さらにコイル部およ
    びフェライト磁性層の積層面に垂直な表面に導体と電気
    的に接続した電極層を形成して焼成した後、さらにコイ
    ル部の中心の中空部とコイル部の外側の切欠部に中央磁
    脚および外磁脚を有するフェライト磁性体を組込み、フ
    ェライト磁性層に各磁脚の先端を接触または非磁性層を
    介して接合する積層部品の製造法。
15. 【請求項１５】 フェライト磁性層上の一部に酸化鉄と
    酸化亜鉛を主成分とする非磁性フェライトに酸化鉛を主
    成分とする低融点ガラスを１質量％から２０質量％添加
    した積層部品用非磁性絶縁材料からなる絶縁層と導体を
    交互に積層してコイル部を形成し、しかもこのコイル部
    はコイル部の中心に中空部とコイル部の外側に切欠部を
    持ち、このコイル部の中心の中空部にフェライト層で芯
    部を同様にコイル部の外側の切欠部にフェライト層で脚
    部を形成し、さらにコイル部およびフェライト磁性層の
    積層面に垂直な表面に導体と電気的に接続した電極層を
    形成し、焼成した後、芯部および脚部のフェライト磁性
    層と反対側の積層面に平行な面と接触ないし非磁性層を
    介してフェライト磁性体を接合する積層部品の製造法。
16. 【請求項１６】 支持体上の一部に酸化鉄と酸化亜鉛を
    主成分とする非磁性フェライトに酸化鉛を主成分とする
    低融点ガラスを１質量％から２０質量％添加した積層部
    品用非磁性絶縁材料からなる絶縁層と導体を交互に積層
    してコイル部を形成し、しかもこのコイル部はコイル部
    の中心に中空部とコイル部の外側には支持体が露出した
    切欠部を持ち、このコイル部の中心の中空部にフェライ
    ト層で芯部を形成し、同様にコイル部の外側の切欠部に
    フェライト層で脚部をそれぞれ形成し、さらにコイル部
    の積層面に垂直な表面に導体と電気的に接続した電極層
    を形成し、焼成した後、芯部および脚部の積層面に平行
    な面に接触ないし非磁性層を介して一対のフェライト磁
    性体を接合する積層部品の製造法。
17. 【請求項１７】 フェライト磁性層上の一部に酸化鉄と
    酸化亜鉛を主成分とする非磁性フェライトに酸化鉛を主
    成分とする低融点ガラスを１質量％から２０質量％添加
    した積層部品用非磁性絶縁材料からなる絶縁層と導体を
    交互に積層してコイル部を形成し、しかもこのコイル部
    はコイル部の中心に中空部とコイル部の外側には切欠部
    を持ち、このコイル部の中心の中空部にフェライト層で
    芯部を同様にコイル部の外側の切欠部にフェライト層で
    脚部を形成した後、芯部および脚部の前記フェライト磁
    性層と反対側で積層面に平行な面に接触ないし非磁性層
    を介してさらにフェライト磁性層を形成し、コイル部お
    よびフェライト磁性層の積層面に垂直な表面に導体と電
    気的に接続した電極層を形成した後、焼成する積層部品
    の製造法。
18. 【請求項１８】 フェライト磁性層からなる絶縁層と導
    体を交互に積層してコイル部を形成し、コイル部の積層
    面に垂直な表面に導体と電気的に接続した電極層を形成
    し、さらにコイル部の積層面に平行な表面の少なくとも
    １つの面上に酸化鉄と酸化亜鉛を主成分とする非磁性フ
    ェライトに酸化鉛を主成分とする低融点ガラスを１質量
    ％から２０質量％添加した積層部品用非磁性絶縁材料か
    らなる非磁性層を形成した後、焼成する積層部品の製造
    法。
19. 【請求項１９】 フェライト磁性層が酸化鉄、酸化ニッ
    ケル、酸化銅および酸化亜鉛を主成分とするフェライト
    に酸化鉛を主成分とする低融点ガラスを１質量％から８
    質量％添加したフェライトである請求項１４、請求項１
    ５、請求項１６、請求項１７または請求項１８記載の積
    層部品の製造法。