JPH08136721A - カラーフィルタの製造法 - Google Patents
カラーフィルタの製造法Info
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- JPH08136721A JPH08136721A JP27245194A JP27245194A JPH08136721A JP H08136721 A JPH08136721 A JP H08136721A JP 27245194 A JP27245194 A JP 27245194A JP 27245194 A JP27245194 A JP 27245194A JP H08136721 A JPH08136721 A JP H08136721A
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Links
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Landscapes
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】ブッラクマトリックスの作成が欠陥なく行える
カラーフィルタの製造法を提供する。 【構成】黒鉛又はカーボン塗料を使用するブラックマト
リクス作成工程において、リフトオフ法によって作成す
る場合に、基板上に剥離液が滞留しない状態でレジスト
剥離を行う。
カラーフィルタの製造法を提供する。 【構成】黒鉛又はカーボン塗料を使用するブラックマト
リクス作成工程において、リフトオフ法によって作成す
る場合に、基板上に剥離液が滞留しない状態でレジスト
剥離を行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、カラー液晶表示装置に
使用されるカラーフィルタの製造法に関する。
使用されるカラーフィルタの製造法に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶ティスプレイ（以下ＬＣＤと略す）
は、薄型、小型、低消費電力などの特長を生かし、現
在、時計、電卓、ＴＶ、パソコン等の表示部に用いられ
ている。更に近年、カラーＬＣＤが開発されＯＡ・ＡＶ
機器を中心にナビゲーションシステム、ビュウファイン
ダーなど数多くの用途に使われ始めており、その市場は
今後、急激に拡大するものと予想されている。
は、薄型、小型、低消費電力などの特長を生かし、現
在、時計、電卓、ＴＶ、パソコン等の表示部に用いられ
ている。更に近年、カラーＬＣＤが開発されＯＡ・ＡＶ
機器を中心にナビゲーションシステム、ビュウファイン
ダーなど数多くの用途に使われ始めており、その市場は
今後、急激に拡大するものと予想されている。
【０００３】ＬＣＤをカラー表示させるためのカラーフ
ィルタは、格子状パターンのＢＭ（ブラックマトリック
ス）１が形成されたガラス板等の基板２上に、Ｒ（赤）
Ｇ（緑）Ｂ（青）からなるカラー画素３（約１００×１
００×２μｍ）を順次形成し、その上に透明なオーバー
コート層（ＯＣ）４を形成したものである。５は偏光
板、６はＩＴＯ電極である。
ィルタは、格子状パターンのＢＭ（ブラックマトリック
ス）１が形成されたガラス板等の基板２上に、Ｒ（赤）
Ｇ（緑）Ｂ（青）からなるカラー画素３（約１００×１
００×２μｍ）を順次形成し、その上に透明なオーバー
コート層（ＯＣ）４を形成したものである。５は偏光
板、６はＩＴＯ電極である。
【０００４】カラーＬＣＤは、カラーフィルタ７をＬＣ
Ｄ内部に設置し、バックライト光をカラーフィルタに透
過することによって表示画面をカラー化できる。８は配
向膜、９は液晶、１０はシ−ル材、１１はトップコ−ト
層、１２はＩＴＯ電極、１３はガラス板等の基板、１４
は偏光板である。
Ｄ内部に設置し、バックライト光をカラーフィルタに透
過することによって表示画面をカラー化できる。８は配
向膜、９は液晶、１０はシ−ル材、１１はトップコ−ト
層、１２はＩＴＯ電極、１３はガラス板等の基板、１４
は偏光板である。
【０００５】現在、カラーフィルタは主に染色法を用い
て製造されている。しかし、この方法はガラス基板上に
透明な感光性樹脂を塗布、乾燥、露光、現像によって画
素を形成後、染料を用いて染色しその後、混色防止層を
形成するといった工程を３回繰り返し行う必要があるた
め、工程数が多くコスト高となる。また、着色剤として
染料を用いているため、カラーフィルタの重要課題であ
る信頼性（耐候性・耐熱性）が劣るという欠点がある。
そこで、着色剤として顔料を用いたカラーフィルタがい
くつか提案されており、その中に電着法、印刷法、フォ
トリソ法（フォトリソグラフィー法）がある。
て製造されている。しかし、この方法はガラス基板上に
透明な感光性樹脂を塗布、乾燥、露光、現像によって画
素を形成後、染料を用いて染色しその後、混色防止層を
形成するといった工程を３回繰り返し行う必要があるた
め、工程数が多くコスト高となる。また、着色剤として
染料を用いているため、カラーフィルタの重要課題であ
る信頼性（耐候性・耐熱性）が劣るという欠点がある。
そこで、着色剤として顔料を用いたカラーフィルタがい
くつか提案されており、その中に電着法、印刷法、フォ
トリソ法（フォトリソグラフィー法）がある。
【０００６】しかし、電着法は電極パターンを形成する
必要があるため（１）パターンの自由度が少ない、
（２）コストが高い、また印刷法は（１）大型基板の位
置合わせが難しく解像度が低いため微細化の対応が困
難、（２）パターンの平坦性が劣る、などの問題があ
り、現状ではフォトリソ法が主流と考えられている。フ
ォトリソ法には、液状レジストとフィルムが考えられ
る。液状レジストは、感光性樹脂中に顔料を分散させた
ワニスをスピナーでガラス基板上に塗布、乾燥後、露
光、現像によってカラー画素が形成される。一方、フィ
ルムは、プリント板用感光性フィルムと同様にワニスを
フィルム化したものであり、基板にラミネート後、露
光、現像によってカラー画素が形成される。
必要があるため（１）パターンの自由度が少ない、
（２）コストが高い、また印刷法は（１）大型基板の位
置合わせが難しく解像度が低いため微細化の対応が困
難、（２）パターンの平坦性が劣る、などの問題があ
り、現状ではフォトリソ法が主流と考えられている。フ
ォトリソ法には、液状レジストとフィルムが考えられ
る。液状レジストは、感光性樹脂中に顔料を分散させた
ワニスをスピナーでガラス基板上に塗布、乾燥後、露
光、現像によってカラー画素が形成される。一方、フィ
ルムは、プリント板用感光性フィルムと同様にワニスを
フィルム化したものであり、基板にラミネート後、露
光、現像によってカラー画素が形成される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】黒鉛又はカーボン塗料
を使用するブラックマトリクス作成工程において、リフ
トオフ法によって作成する場合に、レジスト剥離工程で
レジスト及びその上の黒鉛塗膜をスプレー剥離する際に
水平搬送式の剥離機を使用した場合など水平な基板に上
方から剥離液を吹き付けると基板上に剥離液が滞留して
しまい、ブラックマトリクスのライン側部が欠けてしま
う。これは、滞留している液によってスプレー圧以上の
応力が塗膜に働いてしまうためと考えられる。本発明
は、ブッラクマトリックスの作成が欠陥なく行えるカラ
ーフィルタの製造法を提供するものである。
を使用するブラックマトリクス作成工程において、リフ
トオフ法によって作成する場合に、レジスト剥離工程で
レジスト及びその上の黒鉛塗膜をスプレー剥離する際に
水平搬送式の剥離機を使用した場合など水平な基板に上
方から剥離液を吹き付けると基板上に剥離液が滞留して
しまい、ブラックマトリクスのライン側部が欠けてしま
う。これは、滞留している液によってスプレー圧以上の
応力が塗膜に働いてしまうためと考えられる。本発明
は、ブッラクマトリックスの作成が欠陥なく行えるカラ
ーフィルタの製造法を提供するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、レジスト及び
その上の黒鉛塗膜をスプレー剥離する際に基板上に剥離
液が滞留しないよう工夫することによって、ライン側部
の欠けのない、切れの良好なブラックマトリクスを作成
することができることを見い出したことによりなされた
ものである。
その上の黒鉛塗膜をスプレー剥離する際に基板上に剥離
液が滞留しないよう工夫することによって、ライン側部
の欠けのない、切れの良好なブラックマトリクスを作成
することができることを見い出したことによりなされた
ものである。
【０００９】すなわち、本発明は、透明基板上に、ブラ
ックマトリックス、着色画素、オーバーコート膜を形成
するカラーフィルタの製造法に於いて、ブラックマトリ
ックスをリフトオフ法によって作成する場合に、基板上
に剥離液が滞留しない状態でレジスト剥離を行うことを
特徴とするカラーフィルタの製造法である。
ックマトリックス、着色画素、オーバーコート膜を形成
するカラーフィルタの製造法に於いて、ブラックマトリ
ックスをリフトオフ法によって作成する場合に、基板上
に剥離液が滞留しない状態でレジスト剥離を行うことを
特徴とするカラーフィルタの製造法である。
【００１０】具体的に、基板上に剥離液が滞留しないよ
うにする方法として、１）基板を傾け（〜１８０°）剥
離液の流れを良くする方法、２）Ａｉｒガン等で強制的
に滞留している剥離液を取り除く方法があるが、１）及
び２）の組み合わせでもよい。
うにする方法として、１）基板を傾け（〜１８０°）剥
離液の流れを良くする方法、２）Ａｉｒガン等で強制的
に滞留している剥離液を取り除く方法があるが、１）及
び２）の組み合わせでもよい。
【００１１】
【実施例】無アルカリガラス基板（＃７０５９、コーニ
ング社製）上にフォトレジスト（ＰＭＥＲ６００５Ｃ
３、東京応化社製）を全面塗布し、所定のマトリクスパ
ターンのフォトマスクを介して露光し現像することによ
ってレジストのマトリクスパターンを得た。次にこのレ
ジストマトリクスの上に黒鉛塗料（日立粉末冶金社製）
を全面塗布し、１５０℃で乾燥した。この後、２％水酸
化ナトリウム水溶液に１分浸漬し、スプレー式剥離機を
使用してスプレーで純水を吹き付けることによってレジ
スト及びその上の黒鉛塗膜を同時に剥離した。剥離の際
には、基板を水平面から１０°傾けた。基板を１０°傾
けることによって基板上に滞留する剥離液はほとんどな
かった。結果として、ライン側部の欠けのない、切れの
良好なブラックマトリクスを作成することができた。
ング社製）上にフォトレジスト（ＰＭＥＲ６００５Ｃ
３、東京応化社製）を全面塗布し、所定のマトリクスパ
ターンのフォトマスクを介して露光し現像することによ
ってレジストのマトリクスパターンを得た。次にこのレ
ジストマトリクスの上に黒鉛塗料（日立粉末冶金社製）
を全面塗布し、１５０℃で乾燥した。この後、２％水酸
化ナトリウム水溶液に１分浸漬し、スプレー式剥離機を
使用してスプレーで純水を吹き付けることによってレジ
スト及びその上の黒鉛塗膜を同時に剥離した。剥離の際
には、基板を水平面から１０°傾けた。基板を１０°傾
けることによって基板上に滞留する剥離液はほとんどな
かった。結果として、ライン側部の欠けのない、切れの
良好なブラックマトリクスを作成することができた。
【００１２】
【発明の効果】本発明により、ライン側部の欠けのな
い、切れの良好なブラックマトリクスを有するカラ−フ
ィルタを製造することができる。
い、切れの良好なブラックマトリクスを有するカラ−フ
ィルタを製造することができる。
【図１】液晶ティスプレイの断面図である。
１．ＢＭ（ブラックマトリックス） ２．ガラス基板 ３．カラー画素 ４．オーバーコート層（ＯＣ） ５．偏光板 ６．ＩＴＯ電極 ７．カラーフィルタ ８．配向膜 ９．液晶 １０．シ−ル材 １１．トップコ−ト層 １２．ＩＴＯ電極 １３．ガラス基板 １４．偏光板
Claims (1)
- 【請求項１】 透明基板上に、ブラックマトリックス、
着色画素、オーバーコート膜を形成するカラーフィルタ
の製造法に於いて、ブラックマトリックスをリフトオフ
法によって作成する場合に、基板上に剥離液が滞留しな
い状態でレジスト剥離を行うことを特徴とするカラーフ
ィルタの製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27245194A JPH08136721A (ja) | 1994-11-07 | 1994-11-07 | カラーフィルタの製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27245194A JPH08136721A (ja) | 1994-11-07 | 1994-11-07 | カラーフィルタの製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08136721A true JPH08136721A (ja) | 1996-05-31 |
Family
ID=17514111
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27245194A Pending JPH08136721A (ja) | 1994-11-07 | 1994-11-07 | カラーフィルタの製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08136721A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100725425B1 (ko) * | 2000-07-19 | 2007-06-07 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시장치 |
-
1994
- 1994-11-07 JP JP27245194A patent/JPH08136721A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100725425B1 (ko) * | 2000-07-19 | 2007-06-07 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시장치 |
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