JPH08211221A - カラーフィルタの製造法 - Google Patents
カラーフィルタの製造法Info
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- JPH08211221A JPH08211221A JP28971595A JP28971595A JPH08211221A JP H08211221 A JPH08211221 A JP H08211221A JP 28971595 A JP28971595 A JP 28971595A JP 28971595 A JP28971595 A JP 28971595A JP H08211221 A JPH08211221 A JP H08211221A
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Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】画素形成工程の繰り返し工程をアライメントマ
ークを汚染することなく行い、位置合わせ精度の低下を
防止するカラ−フィルタの製造法を提供する。 【構成】フィルム状の感光性樹脂を使用するフィルム転
写法において、 画素の幅およびアライメントマークの位置を考慮し転
写フィルムの幅を調節する、 転写フィルムのベースフィルムの幅を基板ガラスの横
幅よりも大きくすることによって、アライメントマーク
を汚染することなく画素形成工程を繰り返し行うことが
可能となるようにする。
ークを汚染することなく行い、位置合わせ精度の低下を
防止するカラ−フィルタの製造法を提供する。 【構成】フィルム状の感光性樹脂を使用するフィルム転
写法において、 画素の幅およびアライメントマークの位置を考慮し転
写フィルムの幅を調節する、 転写フィルムのベースフィルムの幅を基板ガラスの横
幅よりも大きくすることによって、アライメントマーク
を汚染することなく画素形成工程を繰り返し行うことが
可能となるようにする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、カラー液晶表示装
置等に使用されるカラーフィルタの製造法に関する。
置等に使用されるカラーフィルタの製造法に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶ティスプレイ（以下ＬＣＤと略す）
は、薄型、小型、低消費電力などの特長を生かし、現
在、時計、電卓、ＴＶ、パソコン等の表示部に用いられ
ている。更に近年、カラーＬＣＤが開発されＯＡ・ＡＶ
機器を中心にナビゲーションシステム、ビュウファイン
ダーなど数多くの用途に使われ始めており、その市場は
今後、急激に拡大するものと予想されている。
は、薄型、小型、低消費電力などの特長を生かし、現
在、時計、電卓、ＴＶ、パソコン等の表示部に用いられ
ている。更に近年、カラーＬＣＤが開発されＯＡ・ＡＶ
機器を中心にナビゲーションシステム、ビュウファイン
ダーなど数多くの用途に使われ始めており、その市場は
今後、急激に拡大するものと予想されている。
【０００３】ＬＣＤをカラー表示させるためのカラーフ
ィルタは、格子状パターンのＢＭ（ブラックマトリック
ス）１が形成されたガラス板等の基板２上に、Ｒ（赤）
Ｇ（緑）Ｂ（青）からなるカラー画素３（約１００×１
００×２μｍ）を順次形成し、その上に透明なオーバー
コート層（ＯＣ）４を形成したものである。５は偏光
板、６はＩＴＯ電極である。
ィルタは、格子状パターンのＢＭ（ブラックマトリック
ス）１が形成されたガラス板等の基板２上に、Ｒ（赤）
Ｇ（緑）Ｂ（青）からなるカラー画素３（約１００×１
００×２μｍ）を順次形成し、その上に透明なオーバー
コート層（ＯＣ）４を形成したものである。５は偏光
板、６はＩＴＯ電極である。
【０００４】カラーＬＣＤは、カラーフィルタ７をＬＣ
Ｄ内部に設置し、バックライト光をカラーフィルタに透
過することによって表示画面をカラー化できる。８は配
向膜、９は液晶、１０はシ−ル材、１１はトップコ−ト
層、１２はＩＴＯ電極、１３はガラス板等の基板、１４
は偏光板である。
Ｄ内部に設置し、バックライト光をカラーフィルタに透
過することによって表示画面をカラー化できる。８は配
向膜、９は液晶、１０はシ−ル材、１１はトップコ−ト
層、１２はＩＴＯ電極、１３はガラス板等の基板、１４
は偏光板である。
【０００５】現在、カラーフィルタは主に染色法を用い
て製造されている。しかし、この方法はガラス基板上に
透明な感光性樹脂を塗布、乾燥、露光、現像によって画
素を形成後、染料を用いて染色しその後、混色防止層を
形成するといった工程を３回繰り返し行う必要があるた
め、工程数が多くコスト高となる。また、着色剤として
染料を用いているため、カラーフィルタの重要課題であ
る信頼性（耐候性・耐熱性）が劣るという欠点がある。
そこで、着色剤として顔料を用いたカラーフィルタがい
くつか提案されており、その中に電着法、印刷法、フォ
トリソ法（フォトリソグラフィー法）がある。
て製造されている。しかし、この方法はガラス基板上に
透明な感光性樹脂を塗布、乾燥、露光、現像によって画
素を形成後、染料を用いて染色しその後、混色防止層を
形成するといった工程を３回繰り返し行う必要があるた
め、工程数が多くコスト高となる。また、着色剤として
染料を用いているため、カラーフィルタの重要課題であ
る信頼性（耐候性・耐熱性）が劣るという欠点がある。
そこで、着色剤として顔料を用いたカラーフィルタがい
くつか提案されており、その中に電着法、印刷法、フォ
トリソ法（フォトリソグラフィー法）がある。
【０００６】しかし、電着法は電極パターンを形成する
必要があるため（１）パターンの自由度が少ない、
（２）コストが高い、また印刷法は（１）大型基板の位
置合わせが難しく解像度が低いため微細化の対応が困
難、（２）パターンの平坦性が劣る、などの問題があ
り、現状ではフォトリソ法が主流と考えられている。フ
ォトリソ法には、液状レジストとフィルムが考えられ
る。液状レジストは、感光性樹脂中に顔料を分散させた
ワニスをスピナーでガラス基板上に塗布、乾燥後、露
光、現像によってカラー画素が形成される。一方、フィ
ルムは、プリント板用感光性フィルムと同様にワニスを
フィルム化したものであり、基板にラミネート後、露
光、現像によってカラー画素が形成される。
必要があるため（１）パターンの自由度が少ない、
（２）コストが高い、また印刷法は（１）大型基板の位
置合わせが難しく解像度が低いため微細化の対応が困
難、（２）パターンの平坦性が劣る、などの問題があ
り、現状ではフォトリソ法が主流と考えられている。フ
ォトリソ法には、液状レジストとフィルムが考えられ
る。液状レジストは、感光性樹脂中に顔料を分散させた
ワニスをスピナーでガラス基板上に塗布、乾燥後、露
光、現像によってカラー画素が形成される。一方、フィ
ルムは、プリント板用感光性フィルムと同様にワニスを
フィルム化したものであり、基板にラミネート後、露
光、現像によってカラー画素が形成される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】フィルム転写法カラー
フィルター製造工程においては、フィルムの転写、露
光、現像という画素形成工程を繰り返す必要がある。液
状レジストを使用したスピンコート法による塗膜形成方
法では、特定の処理を施さないかぎり着色した液状レジ
ストがアライメントマークを被い、これを汚染してしま
う。従来は、アライメントマーク部分に發水性塗料を塗
布したり、防汚シールを張り付けるなどの方法によりア
ライメントマークの汚染を防止してきた。本発明はフィ
ルムの転写、露光、現像という画素形成工程の繰り返し
工程をアライメントマークを汚染することなく行い、位
置合わせ精度の低下を防止するカラ−フィルタの製造法
を提供するものである。
フィルター製造工程においては、フィルムの転写、露
光、現像という画素形成工程を繰り返す必要がある。液
状レジストを使用したスピンコート法による塗膜形成方
法では、特定の処理を施さないかぎり着色した液状レジ
ストがアライメントマークを被い、これを汚染してしま
う。従来は、アライメントマーク部分に發水性塗料を塗
布したり、防汚シールを張り付けるなどの方法によりア
ライメントマークの汚染を防止してきた。本発明はフィ
ルムの転写、露光、現像という画素形成工程の繰り返し
工程をアライメントマークを汚染することなく行い、位
置合わせ精度の低下を防止するカラ−フィルタの製造法
を提供するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本願の第一の発明は、フ
ィルム状の感光性樹脂を使用するフィルム転写法におい
ては、感光性樹脂の広がり範囲を特定することは非常に
容易であることに着目し、形成すべき画素の幅およびア
ライメントマークの位置を考慮し、転写フィルムの幅を
調節することによって、アライメントマークを汚染する
ことなく画素形成工程を繰り返し行うことが可能となる
ようにしたものである。
ィルム状の感光性樹脂を使用するフィルム転写法におい
ては、感光性樹脂の広がり範囲を特定することは非常に
容易であることに着目し、形成すべき画素の幅およびア
ライメントマークの位置を考慮し、転写フィルムの幅を
調節することによって、アライメントマークを汚染する
ことなく画素形成工程を繰り返し行うことが可能となる
ようにしたものである。
【０００９】すなわち本願の第一の発明は、透明プラス
チックまたはガラス基板等の透明基板上に一色に着色さ
れた感光性樹脂からなる感光性ドライフィルムを転写し
フォトリソ法によりパターンを形成する工程により着色
画素の形成を行うカラーフィルターの製造法において、
形成すべき画素の幅およびアライメントマークの位置を
考慮し感光性ドライフィルムの幅を調節することによっ
てアライメントマークを汚染することなく画素形成工程
を繰り返し行うことを特徴とするカラーフィルタの製造
法である。
チックまたはガラス基板等の透明基板上に一色に着色さ
れた感光性樹脂からなる感光性ドライフィルムを転写し
フォトリソ法によりパターンを形成する工程により着色
画素の形成を行うカラーフィルターの製造法において、
形成すべき画素の幅およびアライメントマークの位置を
考慮し感光性ドライフィルムの幅を調節することによっ
てアライメントマークを汚染することなく画素形成工程
を繰り返し行うことを特徴とするカラーフィルタの製造
法である。
【００１０】
【発明の実施の形態】又ロールラミネータを使用したフ
ィルム転写法においては、転写フィルム上の感光性樹脂
層と下のベースフィルムの幅がほとんど同じものを使用
していた。このためフィルム転写法の特徴を生かし、感
光性樹脂によるアライメントマークの汚染が起こらない
ようにした場合、ラミネーターロールのゴム面と基板ガ
ラスが直接に接触してしまい、基板ガラス面の發水性や
表面状態に何らかの変化をもたらし、結果として２色目
以降の転写フィルムのラミネート条件が変化したり、オ
ーバーコートの塗膜形成ができなくなるといった悪影響
があった。
ィルム転写法においては、転写フィルム上の感光性樹脂
層と下のベースフィルムの幅がほとんど同じものを使用
していた。このためフィルム転写法の特徴を生かし、感
光性樹脂によるアライメントマークの汚染が起こらない
ようにした場合、ラミネーターロールのゴム面と基板ガ
ラスが直接に接触してしまい、基板ガラス面の發水性や
表面状態に何らかの変化をもたらし、結果として２色目
以降の転写フィルムのラミネート条件が変化したり、オ
ーバーコートの塗膜形成ができなくなるといった悪影響
があった。
【００１１】そこで本願の第二の発明では、供給される
転写フィルム上の感光性樹脂層の幅は変えずに、ベース
フィルムの幅だけを基板ガラスの横幅よりも大きくする
こととした。このようにフィルム転写法カラーフィルタ
ー製造方法において、転写フィルムに使用されるベース
フィルムの幅を基板ガラスの横幅よりも大きくすること
により感光性樹脂層によるアライメントマークの汚染は
防止したまま、基板ガラスとラミネータロールのゴム面
が直接接触することを防ぎ、結果として２色目以降のフ
ィルム転写およびオーバーコート膜の形成を容易にする
ことができた。
転写フィルム上の感光性樹脂層の幅は変えずに、ベース
フィルムの幅だけを基板ガラスの横幅よりも大きくする
こととした。このようにフィルム転写法カラーフィルタ
ー製造方法において、転写フィルムに使用されるベース
フィルムの幅を基板ガラスの横幅よりも大きくすること
により感光性樹脂層によるアライメントマークの汚染は
防止したまま、基板ガラスとラミネータロールのゴム面
が直接接触することを防ぎ、結果として２色目以降のフ
ィルム転写およびオーバーコート膜の形成を容易にする
ことができた。
【００１２】すなわち本願の第二の発明は、透明プラス
チックまたはガラス基板等の透明基板上にベ−スフィル
ムと一色に着色された感光性樹脂の感光性ドライフィル
ムとよりなる転写フィルムを転写しフォトリソ法により
パターンを形成する工程により着色画素の形成を行うカ
ラーフィルターの製造法において、供給される転写フィ
ルムの感光性樹脂層の幅は変えずに、ベースフィルムの
幅だけを基板ガラスの横幅よりも大きくすることを特徴
とするカラーフィルタの製造法である。
チックまたはガラス基板等の透明基板上にベ−スフィル
ムと一色に着色された感光性樹脂の感光性ドライフィル
ムとよりなる転写フィルムを転写しフォトリソ法により
パターンを形成する工程により着色画素の形成を行うカ
ラーフィルターの製造法において、供給される転写フィ
ルムの感光性樹脂層の幅は変えずに、ベースフィルムの
幅だけを基板ガラスの横幅よりも大きくすることを特徴
とするカラーフィルタの製造法である。
【００１３】
実施例１ コーニング社製基板ガラス７０５９（サイズＡ４版）上
に画素形成幅１９８．０２４ｍｍ、アライメントマーク
間の間隔が２５７．０００ｍｍのカラーフィルタを作製
した。転写フィルムの幅はこの画素形成幅よりも広く、
アライメントマーク間間隔よりも若干狭いことが望まし
い。Ｒ、Ｇ、Ｂすべての転写フィルムについて着色感光
性樹脂層の幅が２４０ｍｍのフィルムを使用したとこ
ろ、転写後の感光性樹脂層の幅はこれとほとんど変化が
なかった。ラミネート時の基板ガラスと転写フィルムの
中心線を一致させることで、アライメントマークの汚染
はまったく起こらなかった。図２は、実施例１の方法に
よりガラス基板に着色感光性樹脂フィルムをラミネート
した状態を示す平面図で、２１はガラス基板、２２はア
ライントメントマーク、２３はフィルムラミネート部
分、２４は画素形成部分である。
に画素形成幅１９８．０２４ｍｍ、アライメントマーク
間の間隔が２５７．０００ｍｍのカラーフィルタを作製
した。転写フィルムの幅はこの画素形成幅よりも広く、
アライメントマーク間間隔よりも若干狭いことが望まし
い。Ｒ、Ｇ、Ｂすべての転写フィルムについて着色感光
性樹脂層の幅が２４０ｍｍのフィルムを使用したとこ
ろ、転写後の感光性樹脂層の幅はこれとほとんど変化が
なかった。ラミネート時の基板ガラスと転写フィルムの
中心線を一致させることで、アライメントマークの汚染
はまったく起こらなかった。図２は、実施例１の方法に
よりガラス基板に着色感光性樹脂フィルムをラミネート
した状態を示す平面図で、２１はガラス基板、２２はア
ライントメントマーク、２３はフィルムラミネート部
分、２４は画素形成部分である。
【００１４】実施例２ コーニング社製基板ガラス７０５９（サイズＡ４版）上
に画素形成幅１９８．０２４ｍｍ、アライメントマーク
間の間隔が２５７．０００ｍｍのカラーフィルターを作
製した。ここでは感光性樹脂層の幅が２４０ｍｍ、ベー
スフィルムの幅は基板ガラスの横幅よりも大きな４００
ｍｍとした。転写フィルムと基板ガラスの中心線を一致
させることによって、感光性樹脂によるアライメントマ
ークの汚染を防止したまま、基板ガラスとラミネーター
ロールのゴム面が接触することを防ぐことができた。図
３は、実施例２の方法によりガラス基板に着色感光性樹
脂フィルムをラミネートした状態を示す平面図で、３１
はガラス基板、３２はアライントメントマーク、３３は
画素形成部分、３４はベースフィルム、３５着色感光性
樹脂層、３６はロール加圧である。
に画素形成幅１９８．０２４ｍｍ、アライメントマーク
間の間隔が２５７．０００ｍｍのカラーフィルターを作
製した。ここでは感光性樹脂層の幅が２４０ｍｍ、ベー
スフィルムの幅は基板ガラスの横幅よりも大きな４００
ｍｍとした。転写フィルムと基板ガラスの中心線を一致
させることによって、感光性樹脂によるアライメントマ
ークの汚染を防止したまま、基板ガラスとラミネーター
ロールのゴム面が接触することを防ぐことができた。図
３は、実施例２の方法によりガラス基板に着色感光性樹
脂フィルムをラミネートした状態を示す平面図で、３１
はガラス基板、３２はアライントメントマーク、３３は
画素形成部分、３４はベースフィルム、３５着色感光性
樹脂層、３６はロール加圧である。
【００１５】
【発明の効果】本発明により、アライメントマークの汚
染を起こすことなく、カラ−フィルタを製造することが
できる。
染を起こすことなく、カラ−フィルタを製造することが
できる。
【図１】液晶ティスプレイの断面図である。
【図２】実施例１の方法によりガラス基板に着色感光性
樹脂フィルムをラミネートした状態を示す平面図。
樹脂フィルムをラミネートした状態を示す平面図。
【図３】実施例２の方法によりガラス基板に着色感光性
樹脂フィルムをラミネートした状態を示す平面図。
樹脂フィルムをラミネートした状態を示す平面図。
１．ＢＭ（ブラックマトリックス） ２．ガラス基板 ３．カラー画素 ４．オーバーコート層（ＯＣ） ５．偏光板 ６．ＩＴＯ電極 ７．カラーフィルタ ８．配向膜 ９．液晶 １０．シ−ル材 １１．トップコ−ト層 １２．ＩＴＯ電極 １３．ガラス基板 １４．偏光板 ２１．ガラス基板 ２２．アライントメントマーク ２３．フィルムラミネート部分 ２４．画素形成部分 ３１．ガラス基板 ３２．アライントメントマーク ３３．画素形成部分 ３４．ベースフィルム ３５．着色感光性樹脂層 ３６．ロール加圧
Claims (2)
- 【請求項１】 透明基板上に、一色に着色された感光性
樹脂からなる感光性ドライフィルムを転写しフォトリソ
法によりパターンを形成する工程により着色画素の形成
を行うカラーフィルターの製造法において、形成すべき
画素の幅およびアライメントマークの位置を考慮し感光
性ドライフィルムの幅を調節することによってアライメ
ントマークを汚染することなく画素形成工程を繰り返し
行うことを特徴とするカラーフィルタの製造法。 - 【請求項２】 透明基板上に、ベ−スフィルムと一色に
着色された感光性樹脂の感光性ドライフィルムとよりな
る転写フィルムを転写しフォトリソ法によりパターンを
形成する工程により着色画素の形成を行うカラーフィル
ターの製造法において、供給される転写フィルムの感光
性樹脂層の幅は変えずに、ベースフィルムの幅だけを基
板ガラスの横幅よりも大きくすることを特徴とするカラ
ーフィルタの製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28971595A JPH08211221A (ja) | 1994-11-08 | 1995-11-08 | カラーフィルタの製造法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27346894 | 1994-11-08 | ||
| JP6-273468 | 1994-11-08 | ||
| JP28971595A JPH08211221A (ja) | 1994-11-08 | 1995-11-08 | カラーフィルタの製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08211221A true JPH08211221A (ja) | 1996-08-20 |
Family
ID=26550669
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28971595A Pending JPH08211221A (ja) | 1994-11-08 | 1995-11-08 | カラーフィルタの製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08211221A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114093265A (zh) * | 2021-11-25 | 2022-02-25 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种显示装置 |
-
1995
- 1995-11-08 JP JP28971595A patent/JPH08211221A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114093265A (zh) * | 2021-11-25 | 2022-02-25 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种显示装置 |
| CN114093265B (zh) * | 2021-11-25 | 2024-03-08 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种显示装置 |
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