JPH08136714A - カラーフィルタの製造法 - Google Patents
カラーフィルタの製造法Info
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- JPH08136714A JPH08136714A JP27244494A JP27244494A JPH08136714A JP H08136714 A JPH08136714 A JP H08136714A JP 27244494 A JP27244494 A JP 27244494A JP 27244494 A JP27244494 A JP 27244494A JP H08136714 A JPH08136714 A JP H08136714A
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- color
- substrate
- color filter
- film
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- Pending
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Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】基板との剥がれの無い画素を形成するカラ−フ
ィルタの製造法を提供する。 【構成】透明プラスチックまたはガラス基板等の透明基
板上に、ブラックマトリックス、Ｒ，Ｇ，Ｂ着色画素を
形成するカラーフィルタの製造法であって、着色画素形
成工程において基板裏面側から露光を行う。
ィルタの製造法を提供する。 【構成】透明プラスチックまたはガラス基板等の透明基
板上に、ブラックマトリックス、Ｒ，Ｇ，Ｂ着色画素を
形成するカラーフィルタの製造法であって、着色画素形
成工程において基板裏面側から露光を行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、カラー液晶表示装置に
使用されるカラーフィルタの製造法に関する。
使用されるカラーフィルタの製造法に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶ティスプレイ（以下ＬＣＤと略す）
は、薄型、小型、低消費電力などの特長を生かし、現
在、時計、電卓、ＴＶ、パソコン等の表示部に用いられ
ている。更に近年、カラーＬＣＤが開発されＯＡ・ＡＶ
機器を中心にナビゲーションシステム、ビュウファイン
ダーなど数多くの用途に使われ始めており、その市場は
今後、急激に拡大するものと予想されている。
は、薄型、小型、低消費電力などの特長を生かし、現
在、時計、電卓、ＴＶ、パソコン等の表示部に用いられ
ている。更に近年、カラーＬＣＤが開発されＯＡ・ＡＶ
機器を中心にナビゲーションシステム、ビュウファイン
ダーなど数多くの用途に使われ始めており、その市場は
今後、急激に拡大するものと予想されている。
【０００３】ＬＣＤをカラー表示させるためのカラーフ
ィルタは、格子状パターンのＢＭ（ブラックマトリック
ス）１が形成されたガラス板等の基板２上に、Ｒ（赤）
Ｇ（緑）Ｂ（青）からなるカラー画素３（約１００×１
００×２μｍ）を順次形成し、その上に透明なオーバー
コート層（ＯＣ）４を形成したものである。５は偏光
板、６はＩＴＯ電極である。
ィルタは、格子状パターンのＢＭ（ブラックマトリック
ス）１が形成されたガラス板等の基板２上に、Ｒ（赤）
Ｇ（緑）Ｂ（青）からなるカラー画素３（約１００×１
００×２μｍ）を順次形成し、その上に透明なオーバー
コート層（ＯＣ）４を形成したものである。５は偏光
板、６はＩＴＯ電極である。
【０００４】カラーＬＣＤは、カラーフィルタ７をＬＣ
Ｄ内部に設置し、バックライト光をカラーフィルタに透
過することによって表示画面をカラー化できる。８は配
向膜、９は液晶、１０はシ−ル材、１１はトップコ−ト
層、１２はＩＴＯ電極、１３はガラス板等の基板、１４
は偏光板である。
Ｄ内部に設置し、バックライト光をカラーフィルタに透
過することによって表示画面をカラー化できる。８は配
向膜、９は液晶、１０はシ−ル材、１１はトップコ−ト
層、１２はＩＴＯ電極、１３はガラス板等の基板、１４
は偏光板である。
【０００５】現在、カラーフィルタは主に染色法を用い
て製造されている。しかし、この方法はガラス基板上に
透明な感光性樹脂を塗布、乾燥、露光、現像によって画
素を形成後、染料を用いて染色しその後、混色防止層を
形成するといった工程を３回繰り返し行う必要があるた
め、工程数が多くコスト高となる。また、着色剤として
染料を用いているため、カラーフィルタの重要課題であ
る信頼性（耐候性・耐熱性）が劣るという欠点がある。
そこで、着色剤として顔料を用いたカラーフィルタがい
くつか提案されており、その中に電着法、印刷法、フォ
トリソ法（フォトリソグラフィー法）がある。
て製造されている。しかし、この方法はガラス基板上に
透明な感光性樹脂を塗布、乾燥、露光、現像によって画
素を形成後、染料を用いて染色しその後、混色防止層を
形成するといった工程を３回繰り返し行う必要があるた
め、工程数が多くコスト高となる。また、着色剤として
染料を用いているため、カラーフィルタの重要課題であ
る信頼性（耐候性・耐熱性）が劣るという欠点がある。
そこで、着色剤として顔料を用いたカラーフィルタがい
くつか提案されており、その中に電着法、印刷法、フォ
トリソ法（フォトリソグラフィー法）がある。
【０００６】しかし、電着法は電極パターンを形成する
必要があるため（１）パターンの自由度が少ない、
（２）コストが高い、また印刷法は（１）大型基板の位
置合わせが難しく解像度が低いため微細化の対応が困
難、（２）パターンの平坦性が劣る、などの問題があ
り、現状ではフォトリソ法が主流と考えられている。フ
ォトリソ法には、液状レジストとフィルムが考えられ
る。液状レジストは、感光性樹脂中に顔料を分散させた
ワニスをスピナーでガラス基板上に塗布、乾燥後、露
光、現像によってカラー画素が形成される。一方、フィ
ルムは、プリント板用感光性フィルムと同様にワニスを
フィルム化したものであり、基板にラミネート後、露
光、現像によってカラー画素が形成される。
必要があるため（１）パターンの自由度が少ない、
（２）コストが高い、また印刷法は（１）大型基板の位
置合わせが難しく解像度が低いため微細化の対応が困
難、（２）パターンの平坦性が劣る、などの問題があ
り、現状ではフォトリソ法が主流と考えられている。フ
ォトリソ法には、液状レジストとフィルムが考えられ
る。液状レジストは、感光性樹脂中に顔料を分散させた
ワニスをスピナーでガラス基板上に塗布、乾燥後、露
光、現像によってカラー画素が形成される。一方、フィ
ルムは、プリント板用感光性フィルムと同様にワニスを
フィルム化したものであり、基板にラミネート後、露
光、現像によってカラー画素が形成される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】フォトリソ法では、従
来基板表面側から露光を行い画素を形成していた。しか
し、液状レジストあるいはフィルムにおいてもワニス中
に顔料が多量に含まれているため、感光波長に対する透
過率が通常のレジストと比べ低い。このため、基板に近
いレジストが感光不足となり現像時に画素が剥がれる問
題があった。本発明は、基板との剥がれの無い画素を形
成するカラ−フィルタの製造法を提供するものである。
来基板表面側から露光を行い画素を形成していた。しか
し、液状レジストあるいはフィルムにおいてもワニス中
に顔料が多量に含まれているため、感光波長に対する透
過率が通常のレジストと比べ低い。このため、基板に近
いレジストが感光不足となり現像時に画素が剥がれる問
題があった。本発明は、基板との剥がれの無い画素を形
成するカラ−フィルタの製造法を提供するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、透明プラスチ
ックまたはガラス基板等の透明基板上に、ブラックマト
リックス、Ｒ、Ｇ、Ｂ着色画素を形成するカラーフィル
タの製造法であって、着色画素形成工程において基板裏
面側から露光を行うこと特徴とするものである。
ックまたはガラス基板等の透明基板上に、ブラックマト
リックス、Ｒ、Ｇ、Ｂ着色画素を形成するカラーフィル
タの製造法であって、着色画素形成工程において基板裏
面側から露光を行うこと特徴とするものである。
【０００９】露光を行う場合、フォトマスクを介して基
板裏面側から露光を行うこともできる。また、２色目ま
でを形成したカラーフィルターをマスクとして３色目を
形成することもできる。Ｒ、Ｇ、Ｂ画素は、ベースフィ
ルムと一色に着色された感光樹脂がらなる感光性ドライ
フィルムを用いて形成するもが好ましい。
板裏面側から露光を行うこともできる。また、２色目ま
でを形成したカラーフィルターをマスクとして３色目を
形成することもできる。Ｒ、Ｇ、Ｂ画素は、ベースフィ
ルムと一色に着色された感光樹脂がらなる感光性ドライ
フィルムを用いて形成するもが好ましい。
【００１０】
【実施例】所定の組成からなる着色感光性樹脂溶液をフ
ィルム化した赤色ドライフィルムを用いて、Ｃｒ薄膜の
ＢＭがあらかじめ形成されたガラス基板（２００×３０
０×１.２ｍｍ、コーニング＃７０５９）に赤色感光樹
脂層をラミネートした。ラミネート条件は、ロール温度
１２０℃、ロール圧４Ｋｇ／ｃｍ2、速度１.５ｍ／分で
ある。ついで所定のパターンのネガマスクを用いて位置
合わせを行った後３ｋＷの超高圧水銀灯により基板表面
側から露光を行った。その後２重量％のＮａ2ＣＯ3水溶
液で２０秒間スプレー現像をして未露光部を除去して１
色目の着色パターンを形成した。同様にして青色ドライ
フィルムを用いて２色目を形成した。さらに緑色ドライ
フィルムをラミネートしたのち基板裏面側からマスクを
介さないで露光を行った。その後２色目までと同様の現
像を行い、３色目の画素を形成した。比較例としてマス
クを介して基板表面側から露光し３色目を形成した。表
１に３色目形成時の露光量と現像後の画素形成状態につ
いて示す。○は３色目の画素に剥離なし、×は剥離あり
として示す。
ィルム化した赤色ドライフィルムを用いて、Ｃｒ薄膜の
ＢＭがあらかじめ形成されたガラス基板（２００×３０
０×１.２ｍｍ、コーニング＃７０５９）に赤色感光樹
脂層をラミネートした。ラミネート条件は、ロール温度
１２０℃、ロール圧４Ｋｇ／ｃｍ2、速度１.５ｍ／分で
ある。ついで所定のパターンのネガマスクを用いて位置
合わせを行った後３ｋＷの超高圧水銀灯により基板表面
側から露光を行った。その後２重量％のＮａ2ＣＯ3水溶
液で２０秒間スプレー現像をして未露光部を除去して１
色目の着色パターンを形成した。同様にして青色ドライ
フィルムを用いて２色目を形成した。さらに緑色ドライ
フィルムをラミネートしたのち基板裏面側からマスクを
介さないで露光を行った。その後２色目までと同様の現
像を行い、３色目の画素を形成した。比較例としてマス
クを介して基板表面側から露光し３色目を形成した。表
１に３色目形成時の露光量と現像後の画素形成状態につ
いて示す。○は３色目の画素に剥離なし、×は剥離あり
として示す。
【００１１】
【表１】 露光方向 露光量（ｍＪ／ｃｍ2） ７５ １００ １２５ １５０ ─────────────────────────── 基板裏面側 ○ ○ ○ ○ 基板表面側 × × × ○
【００１０】
【発明の効果】本発明に於いては、基板との剥がれの無
い画素を形成することができる。
い画素を形成することができる。
【図１】液晶ティスプレイの断面図である。
１．ＢＭ（ブラックマトリックス） ２．ガラス基板 ３．カラー画素 ４．オーバーコート層（ＯＣ） ５．偏光板 ６．ＩＴＯ電極 ７．カラーフィルタ ８．配向膜 ９．液晶 １０．シ−ル材 １１．トップコ−ト層 １２．ＩＴＯ電極 １３．ガラス基板 １４．偏光板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高根 信明 茨城県つくば市和台48番 日立化成工業株 式会社筑波開発研究所内 (72)発明者 吉田 健 茨城県つくば市和台48番 日立化成工業株 式会社筑波開発研究所内
Claims (1)
- 【請求項１】 透明基板上に、ブラックマトリックス、
Ｒ、Ｇ、Ｂ着色画素を形成するカラーフィルタの製造法
であって、着色画素形成工程において基板裏面側から露
光を行うこと特徴とするカラーフィルタの製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27244494A JPH08136714A (ja) | 1994-11-07 | 1994-11-07 | カラーフィルタの製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27244494A JPH08136714A (ja) | 1994-11-07 | 1994-11-07 | カラーフィルタの製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08136714A true JPH08136714A (ja) | 1996-05-31 |
Family
ID=17514006
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27244494A Pending JPH08136714A (ja) | 1994-11-07 | 1994-11-07 | カラーフィルタの製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08136714A (ja) |
-
1994
- 1994-11-07 JP JP27244494A patent/JPH08136714A/ja active Pending
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