JPH081421B2

JPH081421B2 - 基板検査装置

Info

Publication number: JPH081421B2
Application number: JP61059696A
Authority: JP
Inventors: 民生三宅
Original assignee: Omron Corp
Current assignee: Omron Corp
Priority date: 1986-03-18
Filing date: 1986-03-18
Publication date: 1996-01-10
Anticipated expiration: 2011-01-10
Also published as: JPS62215857A

Description

【発明の詳細な説明】《産業上の利用分野》本発明は、基板を撮像して得られたデータを処理して
前記基板上の部品を検査し、この検査結果を表示する基
板検査装置に関する。

《従来の技術》プリント基板に抵抗器や半導体素子等の各種チップ部
品を実装するときにおいて自動実装装置を用いた場合、
実装後において実装データ通りに部品が実装されていな
いことがある。

このため、このような自動実装装置等を用いる場合に
は、実装後にプリント基板をチェックして、このプリン
ト基板上の正規の位置に正当なチップ部品が正しい姿勢
（位置、方向）で実装されているかどうか、また脱落が
ないかどうかを検査する必要がある。

しかしこのような検査を従来と同じように人手による
目視検査で行っていたのでは、検査ミスの発生を完全に
無くすことができず、また検査速度を高めることができ
ないという問題がある。

そこで、近年、この種の検査を自動的に行うことがで
きるプリント基板の自動検査装置が各メーカーから種々
提案されている。

第８図は、このような自動検査装置の一例を示すブロ
ック図である。

この図に示す自動検査装置は、部品１が実装された被
検査プリント基板２−２を撮像するTVカメラ３と、キー
ボード８から入力されたデータ、つまり第９図に示すよ
うに基準基板となる基準プリント基板２−１の種類等に
関するデータおよびこの基準プリント基板２−１上に載
っている各部品１の種類、配置位置、取付け姿勢、形状
等に関するデータおよびこれらの各部品１の検査処理手
順等に関する情報（データ）を記憶する記憶部４と、こ
の記憶部４に記憶されている情報と前記TVカメラ３から
の画像によって示される情報とを比較して前記被検査プ
リント基板２−２上に全ての部品１が有るかどうか、ま
たこれらの部品１が位置ずれ等を起こしているかどうか
を判定する判定回路５と、この判定回路５の判定結果を
表示したり、プリントアウトしたりするモニタ６とを備
えて構成されている。

《発明が解決しようとする問題点》ところでこの種の自動検査装置においては、被検査プ
リント基板２−２の判定結果をモニタ６によって表示し
たり、プリントアウトさせたりしていたので、この被検
査プリント基板２−２上の部品数が多いときには、モニ
タ６によって不良と表示された部品が被検査プリント基
板２−２上のどの位置にある部品なのか解りにくという
問題があった。

本発明は上記の事情に鑑み、被検査基板上の不良部分
に照明光を照射するとともに照明光が当てられている不
良部品の不良内容を作業者に一目で解らせることによ
り、不良部品の修正作業効率の高い基板検査装置を提供
することを目的としている。

《問題点を解決するための手段》上記問題点を解決するために本発明による基板検査装
置は、第１に、基板の状態の検査により不良と判定され
た基板の部分の位置情報と不良内容とを記憶する記憶手
段と、前記記憶手段に記憶されている不良内容を読み出
し表示する表示手段と、前記記憶手段に記憶されている
不良部分の位置情報を読み出し、この位置情報に基づい
て前記基板上の不良部分を投光する投光手段とを備えて
構成している。

本発明の基板検査装置は、第２に、基板上に実装され
た部品の実装状態の検査により、不良と判定された部品
部分の位置情報と不良内容とを記憶する記憶手段と、前
記記憶手段に記憶されている不良内容を読み出し表示す
る表示手段と、前記記憶手段に記憶されている不良部品
部分の位置情報を読み出し、この位置情報に基づいて前
記基板上の不良部品部分を投光する投光手段とを備えて
構成している。

本発明の基板検査装置は、第３に、基板上に実装され
た部品の実装状態の検査により、不良と判定された部品
部分の位置情報と不良内容とを記憶する記憶手段と、前
記記憶手段に記憶されている不良内容を読み出し印刷す
る印刷手段と、前記記憶手段に記憶されている不良部品
部分の位置情報を読み出し、この位置情報に基づいて前
記基板上の不良部品部分を投光する投光手段とを備えて
構成している。

本発明の基板検査装置は、第４に、基板上に実装され
た部品の実装状態の検査により、不良と判定された部品
部分の位置情報を記憶する記憶手段と、基板検査装置に
固定された前記基板上に実装された部品部分を投光する
投光手段と、前記基板を水平方向に移動するＸ−Ｙステ
ージと、前記記憶手段に記憶されている不良部品内容の
位置情報を読み出し、この位置情報に基づいて前記Ｘ−
Ｙステージで前記基板の前記不良部品部分を照射する位
置に水平移動させるＸ−Ｙステージ制御部とを備えて構
成している。

《実施例》第１図は本発明による基板検査装置の一実施例を示す
ブロック図である。

この図に示す基板検査装置は、被検査プリント基板10
−２上にある部品13−1b〜13−nbのいずれかが脱落して
いたり、位置ずれ、姿勢ずれ等を起こしているときに、
これを検知し、検知結果に基づいて脱落等を起こしてい
る部品部分を光によって照明することにより、作業者に
どの部品が不良なのかを一目で解らせるようにしたもの
であり、基板検査部11と、不良箇所指摘部12とを備えて
いる。

基板検査部11は基準プリント基板10−１を撮像して得
られた前記基準プリント基板10−１上にある各部品13−
1a〜13−naのパラメータ（判定データ）と、前記被検査
プリント基板10−２を撮像して得られた前記被検査プリ
ント基板10−２上にある各部品13−1b〜13−nbのパラメ
ータ（被検査データ）とを比較して、これらの各部品13
−1b〜13−nbが脱落していたり、位置ずれ等を起こして
いるときに、これを検出するようになっており、Ｘ−Ｙ
テーブル部14と、撮像部15と、処理部16とを備えてい
る。

Ｘ−Ｙテーブル部14は前記処理部16からの制御信号に
基づいて動作するパルスモータ17、18と、これらの各パ
ルスモータ17、18によってＸ軸方向およびＹ軸方向に駆
動されるＸ−Ｙテーブル19と、このＸ−Ｙテーブル19上
に設けられ、このＸ−Ｙテーブル19上に前記基準プリン
ト基板10−１（または被検査プリント基板10−２）が載
せられたとき、前記処理部16が出力する制御信号に応じ
て前記基準プリント基板10−１（または被検査プリント
基板10−２）を前記Ｘ−Ｙテーブル19上に固定するチャ
ック機構20とを備えており、このチャック機構20によっ
て固定された前記基準プリント基板10−１（または被検
査プリント基板10−２）は撮像部15によって撮像され
る。

撮像部15はＸ−Ｙテーブル部14の上方に設けられるTV
カメラ21と、このTVカメラ21のレンズ前面側に、これと
同軸的に設けられるリング照明装置22とを備えており、
前記基準プリント基板10−１（または被検査プリント基
板10−２）はこのリング照明装置22によって照明されな
がら前記TVカメラ21によって撮像され、この撮像動作に
より得られた画像信号が処理部16へ供給される。

処理部16はティーチングモードのとき、前記撮像部15
から供給される画像信号（前記基準プリント基板10−１
の画像信号）から前記基準プリント基板10−１上にある
各部品13−1a〜13−naのパラメータを抽出して判定デー
タファイルを作成し、また検査モードのとき、前記撮像
部15から供給される画像信号（前記被検査プリント基板
10−２の画像信号）から前記被検査プリント基板10−２
上にある各部品13−1b〜13−nbのパラメータを抽出して
被検査データファイルを作成するとともに、この被検査
データファイルと前記判定データファイルとを比較し
て、この比較結果から前記各部品13−1b〜13−nbの脱
落、位置ずれ等を検出するものであり、A/D変換部23
と、メモリ24と、ティーチングテーブル25と、画像処理
部26と、Ｘ−Ｙステージコントローラ27と、CRT表示器2
8および印刷手段たるプリンタ29からなる表示手段と、
キーボード30と、主制御部（MAIN・CPU）31とを備えて
いる。

A/D変換部23は前記撮像部15から画像信号を供給され
たときに、これをA/D変換（アナログ・デジタル変換）
して画像データを作成し、これを主制御部31へ供給す
る。

またメモリ24は、RAM（ランダム・アクセス・メモ
リ）等を備えて構成されるものであり、前記主制御部31
の作業エリアとして使われる。

また画像処理部26は前記主制御部31を介して画像デー
タを供給されたとき、この画像データを２値化して各部
品画像毎にラベル（識別番号）を付すものであり、ここ
で得られたラベル付きの各部品画像は前記主制御部31へ
供給される。

またティーチングテーブル25は、フロッピーディスク
装置等を備えており、ティーチング時において前記主制
御部31から判定データファイル等を供給されたときに、
これを記憶し、また検査時において、前記主制御部31が
転送要求を出力したとき、この要求に応じて判定データ
ファイル等を読み出して、これを主制御部31などへ供給
する。

またＸ−Ｙステージコントローラ27は前記主制御部31
と前記Ｘ−Ｙテーブル部14とを接続するインタフェース
等を備えて構成されるものであり、前記主制御部31の出
力に基づいて前記Ｘ−Ｙテーブル部14を制御する。

またCRT表示器28はブラウン管（CRT）を備えており、
前記主制御部31から画像データ、判定結果、キー入力デ
ータ等を供給されたとき、これを画面上に表示させる。

またプリンタ29は、前記主制御部31から判定結果等を
供給されたとき、これを予め決められた書式（フォーマ
ット）でプリントアウトする。

またキーボード30は操作情報や前記基準プリント基板
10−１に関するデータ、この基準プリント基板10−１上
にある部品13−1a〜13−naに関するデータ等を入力する
のに必要な各種キーを備えており、このキーボード30か
ら入力された情報やデータ等は主制御部31へ供給され
る。

主制御部31は、マイクロプロセッサ等を備えており、
次に述べるように動作する。

まず、新たな被検査プリント基板10−２を検査すると
きには、主制御部31は第２図（Ａ）に示すようにメイン
フローチャートのステップST1で第２図（Ｂ）のフロー
チャートで示されるティーチングルーチン32を呼び出
し、このティーチングルーチン32のステップST2でＸ−
Ｙテーブル部14上に基準プリント基板10−１が載せられ
るまで待つ。

そしてＸ−Ｙテーブル部14上に基準プリント基板10−
１が載せられれば、主制御部31は前記ステップST2から
ステップST3へ分岐し、ここでＸ−Ｙテーブル部14を制
御してTVカメラ21の下方に基準プリント基板10−１の撮
像エリア33−1a（第３図参照）を配置させる。

この後、主制御部31はステップST4でTVカメラ21によ
って得られた画像信号をA/D変換部23でA/D変換させると
ともに、このA/D変換結果（基準プリント基板10−１の
画像データ）をメモリ24にリアルタイムで記憶させる。

次いで、主制御部31はステップST5で前記メモリ24か
ら基準プリント基板10−１の画像データを読み出し、こ
れを画像処理部26に供給して２値化させるとともに、こ
の２値化処理によって得られた各部品13−1a〜13−ia
（２≦ｉ≦ｎ）の部品画像毎にラベルを付けさせる。

次いで、主制御部31はステップST6で前記画像処理部2
6によって得られたラベル付きの各部品画像を取り込
み、各部品13−1a〜13−iaの位置、色、形状、形態等の
パラメータを抽出するとともに、ステップST7でこれら
の各パラメータから各部品13−1a〜13−iaに関する判定
データを作成する。

この後、主制御部31はステップST8で各部品13−1a〜1
3−iaの全てについて判定データが得られたかどうかを
チェックし、部品13−1a〜13−iaの全てについて判定デ
ータが得られるまで、前記ステップST6〜ステップST8を
繰り返し実行する。

そして、これら各部品13−1a〜13−iaの全てについて
判定データが得られたとき、主制御部31は前記ステップ
ST8からステップST9へ分岐し、ここで基準プリント基板
10−１の全撮像エリア33−1a〜33−maについて処理が終
了したかどうかをチェックする。

そして、まだ処理されていない撮像エリアが残ってい
れば、主制御部31はこのステップST9から前記ステップS
T3へ戻り、上述した動作を繰り返す。

そして、撮像エリア33−１〜33−ｍの全てについて処
理が終了したとき、主制御部31は前記ステップST9から
ステップST10へ分岐し、ここで前記各部品13−1a〜13−
naについての各判定データから被検査プリント基板10−
２を検査するのに必要な判定データファイルを作成し、
これをティーチングテーブル25に記憶させた後、このテ
ィーチングルーチンを終了する。

また、このティーチングルーチン32が終了して、検査
モードにされれば、主制御部31はメインフローチャート
のステップST11で第２図（Ｃ）のフローチャートで示さ
れる検査ルーチン34を呼び出し、この検査ルーチン34の
ステップST12でティーチングテーブル25やキーボード30
からその日の日付データ、被検査プリント基板10−２の
IDナンバ（識別番号）を取り込むととともに、ティーチ
ングテーブル25から判定データファイルを読み出して、
これらをメモリに記憶させる。

次いで、主制御部31はステップST13でＸ−Ｙテーブル
部14上に被検査プリント基板10−２が載せられるまで待
つ。

そして、Ｘ−Ｙテーブル部14上に基準プリント基板10
−２が載せられれば、主制御部31は前記ステップST13か
らステップST14へ分岐し、ここでＸ−Ｙテーブル部14を
制御してTVカメラ21の下方に被検査プリント基板10−２
の撮像エリア33−1b（第４図参照）を配置させる。

次いで、主制御部31はステップST15でTVカメラ21によ
って得られた画像信号をA/D変換部23でA/D変換させると
ともに、このA/D変換結果（被検査プリント基板10−２
の画像データ）をリアルタイムでメモリ24に記憶させ
る。

次いで、主制御部31はステップST16で前記メモリ24か
ら基準プリント基板10−２の画像データを読み出し、こ
れを画像処理部26に供給して２値化させるとともに、こ
の２値化処理によって得られた各部品13−1b〜13−ib
（２≦ｉ≦ｎ）の部品画像毎にラベルを付けさせる。

次いで、主制御部31はステップST17で前記画像処理部
26によって得られたラベル付きの各部品画像を取り込
み、各部品13−1b〜13−ibの位置、色、形状、形態等の
パラメータを抽出させるとともに、これらの各パラメー
タに基づき、部品13−1b〜13−ibの全てについて被検査
データを作成する。

この後、主制御部31はステップST18で前記メモリ24か
ら判定データファイル中の撮像エリア33−1aに関する各
判定データを読み出すとともに、これらの各判定データ
と前記各被検査データとを各々比較して、被検査プリン
ト基板10−２上の部品13−1b〜13−ibが欠落、位置ずれ
等を起こしているか否かを判定し、この判定結果をメモ
リ24に記憶させる。

この後、主制御部31はステップST19から前記ステップ
ST14へ戻り、被検査プリント基板10−２の撮像エリア33
−2b〜33−mbについて上述した処理を順次実行する。

そして、撮像エリア33−1b〜33−mbの全てについて処
理が終了したとき、主制御部31は前記ステップST19から
ステップST20へ分岐し、ここでメモリ24に記憶されてい
る各部品13−1b〜13−nbの判定結果、つまり部品の欠
落、位置ずれ等の不良の種類を示す内容を読み出して、
これをCRT表示器28に表示させたり、プリンタ29からプ
リントアウトさせたりする。

一方、前記不良箇所指摘部12は、前記基板検査部11に
おいて部品13−1b〜13−nbの少なくとも１つが欠落、位
置ずれ等を起こしていると判定された被検査プリント基
板（不良基板）10−2aが装着されたとき、この被検査プ
リント基板10−2aの不良箇所を光によって照明して、作
業者にどの部品が不良なのかを一目で解らせるものであ
り、副制御部（SUB・CPU）40と、キーボード41と、メモ
リ42と、Ｘ−Ｙステージコントローラ43と、Ｘ−Ｙテー
ブル部44と、投光器45とを備えている。

キーボード41はテンキー、ファンクションキー等の各
種キーを備えており、作業者がＸ−Ｙテーブル部44に載
せられている不良基板10−2aの基板ナンバ等を入力した
とき、これを前記副制御部40に供給する。

副制御部40はマイクロプロセッサ等を備えて構成され
ており、前記基板検査部11において被検査プリント基板
10−２の検査が終了する毎に前記主制御部31を介して前
記メモリ24から各被検査プリント基板10−２の判定結果
を読み出し、これをメモリ42に記憶させる。そして、前
記キーボード41から不良基板10−2aの基板ナンバ等が入
力されたとき、この副制御部40はメモリ42からこの基板
ナンバ等に対応する判定結果を読み出して、不良基板10
−2aの不良部品位置データを求め、この不良部品位置デ
ータをＸ−Ｙステージコントローラ43に供給する。

Ｘ−Ｙステージコントローラ43は前記副制御部40とＸ
−Ｙテーブル部44とを接続するインタフェース等を備え
ており、前記副制御部40から不良部品位置データを供給
されたとき、この不良位置データに応じたパルス列信号
を発生して、これをＸ−Ｙテーブル部44の各パルスモー
タ17−ａ、18−ａに供給する。

Ｘ−Ｙテーブル部44は前記基板検査部11のＸ−Ｙテー
ブル部14と同様に構成されており、前記Ｘ−Ｙステージ
コントローラ43からパルス列信号を供給されたときに、
各パルスモータ17−ａ、18−ａを動作させてＸ−Ｙテー
ブル部19−ａに載せられたチャック機構20−ａにより固
定されている不良基板10−2aの不良部品部分を投光器45
の真下に位置させる。

投光器45は、光源46と、この光源46によって得られた
光P₁を集光するレンズ47と、円形の穴51を有して、この
穴51によって前記レンズ47を透過した光P₁を円形に絞る
スリット板49と、このスリット板49によって絞られた光
P₁を集光させるレンズ48とを備えており、このレンズ48
を透過した光P₁は光出射口50から出射され、前記Ｘ−Ｙ
テーブル部44上に装着された不良基板10−2aの投光軸52
上にある部分（この場合、不良部品部分）を第５図に示
す如く円形にスポット照明する。

このようにこの不良箇所指摘部部12においては、不良
基板10−2aをＸ−Ｙテーブル部44にセットして、キーボ
ード41からこの不良基板10−2aの基板ナンバ等を入力す
れば、副制御部40が前記基板検査部11で得られた判定結
果に基づいて、Ｘ−Ｙテーブル部44を駆動しこの不良基
板10−2aの不良部品部分を投光器45の真下に位置させ
て、投光45が出射する光P₁でこの不良部品部分をスポッ
ト照明させるようにしたので、不良基板10−2aの上のど
こにある部品（または、どこにあるべき部品）が不良な
のかを作業者に一目で解らせることができる。

また上述した実施例においては、不良基板10−2a上の
不良部品部分を円形の光P₁によってスポット照明するよ
うにしているが、第６図に示すような投光器45−２を用
いて第７図に示すように不良基板10−2a上にリング状の
光P₂で照明するようにしても良い。

この場合、投光器45−２は、第６図に示す如く、光源
53と、３枚のレンズ54〜56と、レンズ54、55間に配置さ
れて、前記光源53から出射された光P₂を円形に絞るスリ
ット板57と、レンズ55、56間に配置されて、前記レンズ
55によって平行にされた光P₂の周辺部分のみを透過させ
るリングスリット板58とを備えている。

《発明の効果》以上説明したように構成する本発明は、基板上の部品
の脱落、位置ずれ、姿勢ずれ等の不良内容そのものを作
業者に表示することができることとなり、この結果、本
発明は、例えば、不良部品が位置ずれなのか或いは姿勢ずれなのか
を、明確に作業者に判断・理解させることができ、特に
小さい部品の場合でも、修正内容・修正箇所等を作業者
に容易に判断・理解させ、又、不良内容が、例えば本来搭載されてはいけない
部分に部品が搭載されている場合にも、どの様に修正す
れば良いか作業者に容易に判断・理解させることがで
き、プリント基板は、将来の機能拡張に備えて、部品の
搭載位置は確保しておき、今は部品は搭載する必要がな
いが、機能拡張のための搭載位置に誤って部品が搭載さ
れた場合にも、作業者には容易に不良内容が理解でき
る、等を行うことができ、これらの効果は、表示手段とし
て、記憶手段から不良と判定された部品部分の不良内容
を読み出し印刷する印刷手段を使用することによって、
部品部分の不良内容をペーパー等に印刷した印刷物とし
て作業者の視覚に訴えることができ、作業者に不良内容
を益々容易にしかも深い理解のもとに知らしめることが
できる。

更に、本発明の基板検査装置は、記憶手段に記憶され
ている不良内容を読み出し表示する表示手段や、記憶手
段に記憶されている不良部分の位置情報を読み出し、こ
の位置情報に基づいて前記基板上の不良部分を投光する
投光手段を備えている結果、表示手段である表示装置や
プリンタで記憶手段に記憶されている不良内容がどのよ
うな不良内容であるのかが一目瞭然に確認でき、投光手
段で基板上の不良部品部分の位置を確認できることとな
り、投光手段で照明されている部品部分が基板上の部品
の脱落であるのか、位置ずれであるのか、姿勢ずれであ
るのか等の不良内容が不良位置と共に作業者に一目で解
らせることができる。

更に、本発明の投光手段により投光された光は、基板
検査装置を固定して、基板部分を動かすことによって不
良部品の位置を指し示すようにしているために、不良部
品部分として投光される位置は、常に本発明の基板検査
装置に対して相対的に同じ位置となるのである。そのた
め、作業者が不良箇所を修正する際に、修正作業位置が
常に同じであり、作業効率の高い基板検査装置を提供す
ることができることなる。

また、投光される光をリング状にすることにより、リ
ング光の中心に位置する不品が不良部品部分であること
を示せ、不良部品部分を直接投光しないので、不良部品
部分を修正するときに投光された光が部品表面により反
射して修正しずらくなることが防止でき、作業効率が一
層高い基板検査装置であるともいえる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による基板検査装置の一実施例を示すブ
ロック図、第２図（Ａ）は同実施例の動作例を説明する
ためのメインフローチャート、第２図（Ｂ）は同実施例
のティーチングルーチンの例を示すフローチャート、第
２図（Ｃ）は同実施例の検査ルーチンの例を示すフロー
チャート、第３図は同実施例の基準プリント基板に対し
て設定される撮像エリアの一例を示す模式図、第４図は
同実施例の被検査プリント基板に対して設定される撮像
エリアの一例を示す模式図、第５図は同実施例における
不良部品部分を示す平面図、第６図は、この発明による
基板検査装置で用いられる投光器の他の例を示す模式
図、第７図は第６図に示す投光器によって不良部品部分
を表示したときの一例を示す平面図、第８図は従来の自
動検査装置の一例を示すブロック図、第９図は第８図に
示す自動検査装置における検査基準となる基準プリント
基板の一例を示す側面図である。 10−１…基板（基準プリント基板）、10−２…基板（被
検査プリント基板）、11…基板検査部、12…不良箇所指
摘部、28…CRT表示器、29…プリンタ（印刷手段）、44
…Ｘ−Ｙテーブル部、45…投光器（投光手段）。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板の状態を検査し検査結果を報知する基
板検査装置において、前記検査により不良と判定された基板の部分の位置情報
と不良内容とを記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶されている不良内容を読み出し表示
する表示手段と、前記記憶手段に記憶されている不良部分の位置情報を読
み出し、この位置情報に基づいて前記基板上の不良部分
を投光する投光手段と、を備えたことを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】前記投光手段で投光される光は、スポット
状の光である特許請求の範囲第１項記載の基板検査装
置。
【請求項３】前記投光手段で投光される光は、リング状
の光である特許請求の範囲第１項記載の基板検査装置。
【請求項４】基板上に実装された部品の実装状態を検査
し検査結果を報知する基板検査装置において、前記検査により不良と判定された部品部分の位置情報と
不良内容とを記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶されている不良内容を読み出し表示
する表示手段と、前記記憶手段に記憶されている不良部品部分の位置情報
を読み出し、この位置情報に基づいて前記基板上の不良
部品部分を投光する投光手段と、を備えたことを特徴とする基板検査装置。
【請求項５】前記投光手段で投光される光は、スポット
状の光である特許請求の範囲第４項記載の基板検査装
置。
【請求項６】前記投光手段で投光される光は、リング状
の光である特許請求の範囲第４項記載の基板検査装置。
【請求項７】基板上に実装された部品の実装状態を検査
し検査結果を報知する基板検査装置において、前記検査結果の不良と判定された部品部分の位置情報と
不良内容とを記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶されている不良内容を読み出し印刷
する印刷手段と、前記記憶手段に記憶されている不良部品部分の位置情報
を読み出し、この位置情報に基づいて前記基板上の不良
部品部分を投光する投光手段と、を備えたことを特徴とする基板検査装置。
【請求項８】前記投光手段で投光される光は、スポット
状の光である特許請求の範囲第７項記載の基板検査装
置。
【請求項９】前記投光手段で投光される光は、リング状
の光である特許請求の範囲第７項記載の基板検査装置。
【請求項１０】基板上に実装された部品の実装状態を検
査し検査結果を報知する基板検査装置において、前記検査結果の不良と判定された部品部分の位置情報を
記憶する記憶手段と、前記基板検査装置に固定され前記基板上に実装された部
品部分を投光する投光手段と、前記基板を水平方向に移動するＸ−Ｙステージと、前記記憶手段に記憶されている不良部品内容の位置情報
を読み出し、この位置情報に基づいて前記Ｘ−Ｙステー
ジで前記基板の前記不良部品部分を照射する位置に水平
移動させるＸ−Ｙステージ制御部と、を備えたことを特徴とする基板検査装置。
【請求項１１】前記投光手段で投光される光は、スポッ
ト状の光である特許請求の範囲第10項記載の基板検査装
置。
【請求項１２】前記投光手段で投光される光は、リング
状の光である特許請求の範囲第10項記載の基板検査装
置。