JPS62215857A - 基板検査装置 - Google Patents
基板検査装置Info
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- JPS62215857A JPS62215857A JP61059696A JP5969686A JPS62215857A JP S62215857 A JPS62215857 A JP S62215857A JP 61059696 A JP61059696 A JP 61059696A JP 5969686 A JP5969686 A JP 5969686A JP S62215857 A JPS62215857 A JP S62215857A
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- Japan
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- board
- printed circuit
- circuit board
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- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、基板をＶａ＆して冑られたデータを処理して
前記基板上の部品を検査し、この検査結果を表示する基
板検査装置に関する。
前記基板上の部品を検査し、この検査結果を表示する基
板検査装置に関する。
（従来の技術）
プリント基板に低抗鼎や半導体素子等の各種チップ部品
をマウン１−するときにおいて自動マウント装置を用い
た場合、マウント後においてマウントデータどうりに部
品がマウン１−されていイｔいことがある。
をマウン１−するときにおいて自動マウント装置を用い
た場合、マウント後においてマウントデータどうりに部
品がマウン１−されていイｔいことがある。
このため、このような自動マウント装置等を用いる場合
には、マウント後にブ１ノント基板をチェックして、こ
のプリント基板上の正規の位置に正当なチップ部品が正
しい姿勢（位置、方向）でマウントされているかどうか
、また脱落がないかどうかを検査する必要がある。
には、マウント後にブ１ノント基板をチェックして、こ
のプリント基板上の正規の位置に正当なチップ部品が正
しい姿勢（位置、方向）でマウントされているかどうか
、また脱落がないかどうかを検査する必要がある。
しかしこのような検査を従来と同じように人手による目
視検査で行なっていたのでは、検査ミスの発生を完全に
無くすことができず、また検査速度を高めることができ
ないという問題がある。
視検査で行なっていたのでは、検査ミスの発生を完全に
無くすことができず、また検査速度を高めることができ
ないという問題がある。
そこで、近年、この種の検査を自動的に行なうことがで
きるプリント基板の自動検査装置が各メーカから種々提
案されている。
きるプリント基板の自動検査装置が各メーカから種々提
案されている。
第８図は、このような自動検査Ｓ装置の一例を示すブロ
ック図である。
ック図である。
この図に示す自動検査装置は、部品１が実装された被検
査プリント塁板２−２を１ｆｆｉ［ｉするＴ Ｖ ｈメ
ラ３と、キーボード８から入力されたデータ、つまり第
９図に示すように基準基板となる基準ブリント基板２−
１の種類等に関するデータおよびこの基準プリン１一基
板２−１上に載っている各部品１の種類、配置位置、取
付は姿勢、形状等に関するデータおよびこれらの各部品
１の検査処理手順等に関する情報（データ）を記憶する
記憶部４と、この記憶部４に記憶されている情報と前記
ＴＶカメラ３からの画像によって示される情報とを比較
して前記被検査プリント基板２−２上に全ての部品１が
有るかどうか、またこれらの部品１が位置ずれ等を起こ
しているかどうかを判定する判定回路５と、この判定回
路５の判定結果を表示したり、プリントアウトしたりす
るモニタ６とを備えて構成されている。
査プリント塁板２−２を１ｆｆｉ［ｉするＴ Ｖ ｈメ
ラ３と、キーボード８から入力されたデータ、つまり第
９図に示すように基準基板となる基準ブリント基板２−
１の種類等に関するデータおよびこの基準プリン１一基
板２−１上に載っている各部品１の種類、配置位置、取
付は姿勢、形状等に関するデータおよびこれらの各部品
１の検査処理手順等に関する情報（データ）を記憶する
記憶部４と、この記憶部４に記憶されている情報と前記
ＴＶカメラ３からの画像によって示される情報とを比較
して前記被検査プリント基板２−２上に全ての部品１が
有るかどうか、またこれらの部品１が位置ずれ等を起こ
しているかどうかを判定する判定回路５と、この判定回
路５の判定結果を表示したり、プリントアウトしたりす
るモニタ６とを備えて構成されている。
（発明が解決しようとする問題点）
ところでこの種の自動検査装置においては、被検査プリ
ント基板２−２の判定結果をモニタ６によって表示した
り、プリントアウトさせたりしていたので、この被検査
プリント基板２−２上の部品数が多いときには、モニタ
６によって不良と表示された部品が被検査プリント基板
１−２上のどの位置にある部品なのか解りにくいという
問題があった。
ント基板２−２の判定結果をモニタ６によって表示した
り、プリントアウトさせたりしていたので、この被検査
プリント基板２−２上の部品数が多いときには、モニタ
６によって不良と表示された部品が被検査プリント基板
１−２上のどの位置にある部品なのか解りにくいという
問題があった。
本発明は上記の事情に鑑み、被検査プリント基板上のど
こにある部品（または、どこにあるべき部品）が不良な
のかを作業者に一目で解らせることができる基板検査装
置を提供することを目的としている。
こにある部品（または、どこにあるべき部品）が不良な
のかを作業者に一目で解らせることができる基板検査装
置を提供することを目的としている。
（問題点を解決するための手段）
上記問題点を解決するために本発明による基板検査装置
は、基板を撮像して得られたデータを処理して前記基板
上の部品を検査し、この検査結果を表示する基板検査装
置において、前記検査結果に基づいて前記基板上にある
部品部分を照明して前記部品の良否を表示する検査結果
表示部を備えたことを特徴としている。
は、基板を撮像して得られたデータを処理して前記基板
上の部品を検査し、この検査結果を表示する基板検査装
置において、前記検査結果に基づいて前記基板上にある
部品部分を照明して前記部品の良否を表示する検査結果
表示部を備えたことを特徴としている。
（実施例）
第１図は本発明による基板検査装置の一実施例を示すブ
ロック図である。
ロック図である。
この図に示す基板検索装置は、被検査プリント基板１０
−２上にある部品１３−１ ｂ〜ｌ３−ｎｂのいずれか
が脱落していたり、位置ずれ、姿勢ずれ等を起している
ときに、これを検知し、検知結果に基づいて脱落等を起
している部品部分を光によって照明することにより、作
業者にどの部品が不良なのかを一目で解らせるようにし
たものであり、基板検査部１１と、検査結果表示部１２
とを備えている。
−２上にある部品１３−１ ｂ〜ｌ３−ｎｂのいずれか
が脱落していたり、位置ずれ、姿勢ずれ等を起している
ときに、これを検知し、検知結果に基づいて脱落等を起
している部品部分を光によって照明することにより、作
業者にどの部品が不良なのかを一目で解らせるようにし
たものであり、基板検査部１１と、検査結果表示部１２
とを備えている。
基板検査部１１は基準プリント基板１０−１を１１ｉｌ
像して得られた前記り準プリント基板１０−１上にある
各部品１３−１ａ〜ｌ３−ｎａのパラメータ（判定デー
タ）と、前記被検査プリント基板１０−２をＨａ＠シて
得られた前記被検査プリント基板１０−２上にある各部
品１３−１ｂ〜ｌ３−ｎｂのパラメータ（被検査データ
）とを比較して、これらの各部品１３−１ｂ〜ｌ３−ｎ
ｂが脱落していたり、位置ずれ等を起しているときに、
これを検出するようになっており、Ｘ−Ｙテーブル部１
４と、Ｗｉ像部１５と、処理部１６とを備えている。
像して得られた前記り準プリント基板１０−１上にある
各部品１３−１ａ〜ｌ３−ｎａのパラメータ（判定デー
タ）と、前記被検査プリント基板１０−２をＨａ＠シて
得られた前記被検査プリント基板１０−２上にある各部
品１３−１ｂ〜ｌ３−ｎｂのパラメータ（被検査データ
）とを比較して、これらの各部品１３−１ｂ〜ｌ３−ｎ
ｂが脱落していたり、位置ずれ等を起しているときに、
これを検出するようになっており、Ｘ−Ｙテーブル部１
４と、Ｗｉ像部１５と、処理部１６とを備えている。
Ｘ−Ｙテーブル部１４は前記処理部１６からの制御信号
に基づいて動作するパルスモータ１７゜１８と、これら
の各パルスモータ１７，１８によってＸ軸方向およびＹ
軸方向に駆動されるＸ−Ｙテーブル１つと、このＸ−Ｙ
テーブル１つ上に設けられ、このＸ−Ｙテーブル１９上
に前記基準プリント基板１０−１ （または被検査プリ
ント基板１Ｏ−２）が載せられたとき、前記処理部１６
が出力する制御信号に応じて前記基準プリント基板１Ｏ
−１（または被検査プリント基板１Ｏ−２）を前記Ｘ−
Ｙテーブル１９上に固定するチャック機構２０とを備え
ており、このチャック機構２０によって固定された前記
基準プリント基板１Ｏ−１（または被検査プリント基板
１Ｏ−２）は１ｌｉ５像部１５によって撮像される。
に基づいて動作するパルスモータ１７゜１８と、これら
の各パルスモータ１７，１８によってＸ軸方向およびＹ
軸方向に駆動されるＸ−Ｙテーブル１つと、このＸ−Ｙ
テーブル１つ上に設けられ、このＸ−Ｙテーブル１９上
に前記基準プリント基板１０−１ （または被検査プリ
ント基板１Ｏ−２）が載せられたとき、前記処理部１６
が出力する制御信号に応じて前記基準プリント基板１Ｏ
−１（または被検査プリント基板１Ｏ−２）を前記Ｘ−
Ｙテーブル１９上に固定するチャック機構２０とを備え
ており、このチャック機構２０によって固定された前記
基準プリント基板１Ｏ−１（または被検査プリント基板
１Ｏ−２）は１ｌｉ５像部１５によって撮像される。
Ｍ像部１５はｎｔ記Ｘ−Ｙテーブル部１４の上方に設け
られるＴＶカメラ２１と、このＴＶカメラ２１のレンズ
前面側に、これと同軸的に設けられるリング照明装置２
２とを備えており、前記基準プリント基板１Ｏ−１（ま
たは被検査プリント基板１Ｏ−２）はこのリング照明装
置２２によって照明されながら前記ＴＶカメラ２１によ
って＠像され、この撮像動作により得られた画像信号が
処理部１６へ供給される。
られるＴＶカメラ２１と、このＴＶカメラ２１のレンズ
前面側に、これと同軸的に設けられるリング照明装置２
２とを備えており、前記基準プリント基板１Ｏ−１（ま
たは被検査プリント基板１Ｏ−２）はこのリング照明装
置２２によって照明されながら前記ＴＶカメラ２１によ
って＠像され、この撮像動作により得られた画像信号が
処理部１６へ供給される。
処理部１６はティーチングモードのとき、前記［Ｇ１部
１５から供給される画＠信号（前記基準プリント基板１
０−１の画像信号）から前記基準プリント基板１０−１
上にある各部品１３−１ａ〜１３〜ｎａのパラメータを
抽出して判定データファイルを作成し、また検査モード
のとき、前記撮像部１５から供給される画像信号（面記
被検査プリント基板１０−２の画像信＠）から前記被検
査プリント基板１０−２上にある各部品１３−１ｂ〜１
３−ｎｂのパラメータを抽出して被検査データファイル
を作成するとともに、この被検査データファイルと前記
判定データファイルとを比較して、この比較結果から前
記各部品１３−１ｂ〜ｌ３−ｎｂの脱落１位置ずれ等を
検出するものであり、Ａ ／ Ｄ ！ ＋！！！部２３
上２３モリ２４と、ティーチングテーブル２５と、画像
処理部２６と、Ｘ−Ｙステージコントローラ２７と、Ｃ
ＲＴ表示器２８と、プリンタ２９と、キーボード３０と
、主制御部（ＭＡＩＮ−ＣＰＩＪ）３１とを備えている
。
１５から供給される画＠信号（前記基準プリント基板１
０−１の画像信号）から前記基準プリント基板１０−１
上にある各部品１３−１ａ〜１３〜ｎａのパラメータを
抽出して判定データファイルを作成し、また検査モード
のとき、前記撮像部１５から供給される画像信号（面記
被検査プリント基板１０−２の画像信＠）から前記被検
査プリント基板１０−２上にある各部品１３−１ｂ〜１
３−ｎｂのパラメータを抽出して被検査データファイル
を作成するとともに、この被検査データファイルと前記
判定データファイルとを比較して、この比較結果から前
記各部品１３−１ｂ〜ｌ３−ｎｂの脱落１位置ずれ等を
検出するものであり、Ａ ／ Ｄ ！ ＋！！！部２３
上２３モリ２４と、ティーチングテーブル２５と、画像
処理部２６と、Ｘ−Ｙステージコントローラ２７と、Ｃ
ＲＴ表示器２８と、プリンタ２９と、キーボード３０と
、主制御部（ＭＡＩＮ−ＣＰＩＪ）３１とを備えている
。
Ａ／Ｄ変換部２３は前記撮像部１５から画像信号を供給
されたときに、これをＡ／Ｄ変換（アナログ・デジタル
変換）して画像データを作成し、これを主制御部３１へ
供給する。
されたときに、これをＡ／Ｄ変換（アナログ・デジタル
変換）して画像データを作成し、これを主制御部３１へ
供給する。
またメモリ２４は、ＲＡＭ （ランダム・アクヒス・メ
モリ）等を備えて構成されるものであり、前記主ｆ、Ｉ
Ｉ部上３１の作業エリアとして使われる。
モリ）等を備えて構成されるものであり、前記主ｆ、Ｉ
Ｉ部上３１の作業エリアとして使われる。
また画像処理部２６は前記主制御部３１を介して画像デ
ータを供給されたとき、この画像データを２値化して各
部品画像毎にラベル（識別番号）を付すものであり、こ
こで得られたラベル付きの各部品画像は前記主制御部３
１へ供給される。
ータを供給されたとき、この画像データを２値化して各
部品画像毎にラベル（識別番号）を付すものであり、こ
こで得られたラベル付きの各部品画像は前記主制御部３
１へ供給される。
またティーチングテーブル２５は、フロッピーディスク
装置等を備えており、ティーチング時において前記主制
御部３１から判定データファイル等を供給されたときに
、これを記憶し、また検査時において、前記主制御部３
１が転送要求を出力したとき、この要求に応じて判定デ
ータファイル等を読み出して、これを主制御部３１など
へ供給する。
装置等を備えており、ティーチング時において前記主制
御部３１から判定データファイル等を供給されたときに
、これを記憶し、また検査時において、前記主制御部３
１が転送要求を出力したとき、この要求に応じて判定デ
ータファイル等を読み出して、これを主制御部３１など
へ供給する。
またＸ−Ｙステージコントローラ２７は前記主制御部３
１と１１す記Ｘ−Ｙテーブル部１４とを接続するインタ
フェース等を備えて構成されるものであり、前記主制御
部３１の出力に基づいて前記Ｘ−Ｙテーブル部１４を制
御する。
１と１１す記Ｘ−Ｙテーブル部１４とを接続するインタ
フェース等を備えて構成されるものであり、前記主制御
部３１の出力に基づいて前記Ｘ−Ｙテーブル部１４を制
御する。
またＣＲＴ表示器２８はブラウン管（ＣＲＴ）を備えて
おり、前記主制御部３１から画像データ。
おり、前記主制御部３１から画像データ。
判定結果、キー人力データ等を供給されたとき、これを
画面上に表示させる。
画面上に表示させる。
またプリンタ２９は、前記主制御部３１から判定結果等
を供給されたとぎ、これを予め決められた古式（フォー
マット）でプリントアウトする。
を供給されたとぎ、これを予め決められた古式（フォー
マット）でプリントアウトする。
またキーボード３０は操作情報や前記基準プリン［・基
板１０−１に関するデータ、この基準プリント基板１０
−１上にある部品１３−１ａ〜ｌ３−ｎａに関するデー
タ等を入力するのに必要な各種キーを備えており、この
キーボード３０から入力された情報やデータ等は主制御
部３１へ供給される。
板１０−１に関するデータ、この基準プリント基板１０
−１上にある部品１３−１ａ〜ｌ３−ｎａに関するデー
タ等を入力するのに必要な各種キーを備えており、この
キーボード３０から入力された情報やデータ等は主制御
部３１へ供給される。
主制御部３１は、マイクロプロセッサ等を備えており、
次に述べるように動作する。
次に述べるように動作する。
まず、新たな被検査プリント基板１０−２を検査すると
きには、主制御部３１は第２図（Ａ）に示すようにメイ
ンフローチャートのステップＳＴ１で第２図（Ｂ）のフ
ローチャートで示されるティーチングルーチン３２を呼
び出し、このティーチングルーチン３２のステップＳＴ
２でＸ−Ｙテーブル部１４上に基準プリント基板１０−
１が載せられるまで待つ。
きには、主制御部３１は第２図（Ａ）に示すようにメイ
ンフローチャートのステップＳＴ１で第２図（Ｂ）のフ
ローチャートで示されるティーチングルーチン３２を呼
び出し、このティーチングルーチン３２のステップＳＴ
２でＸ−Ｙテーブル部１４上に基準プリント基板１０−
１が載せられるまで待つ。
そしてＸ−Ｙテーブル部１４上に基準プリント基板１０
−１が載せられれば、主制御部３１は前記ステップＳＴ
２からステップＳＴ３へ分岐し、ここでＸ−Ｙテーブル
部１４を制御してＴＶカメラ２１の下方に基準プリント
基板１ｏ−１の撮像エリア３３−１ａ（第３図参照）を
配置さ「る。
−１が載せられれば、主制御部３１は前記ステップＳＴ
２からステップＳＴ３へ分岐し、ここでＸ−Ｙテーブル
部１４を制御してＴＶカメラ２１の下方に基準プリント
基板１ｏ−１の撮像エリア３３−１ａ（第３図参照）を
配置さ「る。
この後、主制御部３１はステップＳＴ４でＴＶカメラ２
１によって得られた画像信号をＡ／Ｄ変換部２３でＡ／
Ｄ変換させるとともに、このＡ／Ｄ変換結果（基準プリ
ント基板１０−１の画像データ）をメモリ２４にリアル
タイムで記憶させる。
１によって得られた画像信号をＡ／Ｄ変換部２３でＡ／
Ｄ変換させるとともに、このＡ／Ｄ変換結果（基準プリ
ント基板１０−１の画像データ）をメモリ２４にリアル
タイムで記憶させる。
次いで、主制御部３１はステップＳＴ５で前記メモリ２
４から基準プリント基板１０−１の画像データを読み出
し、これを画像処理部２６に供給して２値化させるとと
もに、この２値化処理によって得られた各部品１３−１
ａ〜１３−ｉａ（２≦ｉ≦ｎ）の部品画像毎にラベル
を付けさせる。
４から基準プリント基板１０−１の画像データを読み出
し、これを画像処理部２６に供給して２値化させるとと
もに、この２値化処理によって得られた各部品１３−１
ａ〜１３−ｉａ（２≦ｉ≦ｎ）の部品画像毎にラベル
を付けさせる。
次いで、主制御部３１はステップＳＴ６で前記両像処理
部２６によって得られたラベル付きの各部品画像を取り
込み、各部品１３−１ａ〜１３−ｉａの位置１色、形状
、形態等のパラメータを抽出するとともに、ステップＳ
Ｔ７でこれらの各パラメータから各部品１３−１ａ〜１
３−ｉａに関する判定データを作成する。
部２６によって得られたラベル付きの各部品画像を取り
込み、各部品１３−１ａ〜１３−ｉａの位置１色、形状
、形態等のパラメータを抽出するとともに、ステップＳ
Ｔ７でこれらの各パラメータから各部品１３−１ａ〜１
３−ｉａに関する判定データを作成する。
この後、主制御部３１はステップＳＴ８で各部品１３−
１ａ〜１３−ｉａの全てについて判定データが得られた
かどうかをチェックし、部品１３−１ａ〜１３−ｉａの
全てについて判定データが得られるまで、前記ステップ
ＳＴ６〜ステップＳＴ８を繰り返し実行する。
１ａ〜１３−ｉａの全てについて判定データが得られた
かどうかをチェックし、部品１３−１ａ〜１３−ｉａの
全てについて判定データが得られるまで、前記ステップ
ＳＴ６〜ステップＳＴ８を繰り返し実行する。
そして、これら各部品１３−１ａ〜１３− ｉ ａの全
てについて判定データが得られたとき、主制御部３１は
前記ステップＳＴ８からステップＳＴ９へ分岐し、ここ
で基準プリント基板１０−１の全（至）像エリア３３−
１ ａ〜３３−ｍａについて処理が終了したかどうかを
チェックする。
てについて判定データが得られたとき、主制御部３１は
前記ステップＳＴ８からステップＳＴ９へ分岐し、ここ
で基準プリント基板１０−１の全（至）像エリア３３−
１ ａ〜３３−ｍａについて処理が終了したかどうかを
チェックする。
そして、まだ処理されていない踊像エリアが残っていれ
ば、主制御部３１はこのステップＳＴ９から前記ステッ
プＳＴ３へ戻り、上述した動作を繰り返す。
ば、主制御部３１はこのステップＳＴ９から前記ステッ
プＳＴ３へ戻り、上述した動作を繰り返す。
そして、ｖｆｉ像エリア３３−１〜３３−ｍ（７）全Ｔ
について処理が終了したとき、主制御部３１は前記ステ
ップＳＴ９からステップ５Ｔ１０へ分岐し、ここで前記
各部品１３−１ａ〜ｌ３−ｎａについての各判定データ
から被検査プリント基板１０−２を検査するのに必要な
判定データファイルを作成し、これをティーチングテー
ブル２５に記憶させた後、このティーチングルーチンを
終了する。
について処理が終了したとき、主制御部３１は前記ステ
ップＳＴ９からステップ５Ｔ１０へ分岐し、ここで前記
各部品１３−１ａ〜ｌ３−ｎａについての各判定データ
から被検査プリント基板１０−２を検査するのに必要な
判定データファイルを作成し、これをティーチングテー
ブル２５に記憶させた後、このティーチングルーチンを
終了する。
また、このティーチングルーチン３２が終了して、検査
モードにされれば、主制御部３１はメインフローチャー
トのステップ５Ｔ１１で第２図（Ｃ）のフローチャート
で示される検査ルーチン３４を呼び出し、この検査ルー
チン３４のステップ５Ｔ１２でティーチングテーブル２
５やキーボード３０からその日の日付データ、被検査プ
リント基板１０−２のｌＤナンバ（識別番号）を取り込
むとともに、ティーチングテーブル２５から判定データ
ファイルを読み出して、これらをメモリに記憶させる。
モードにされれば、主制御部３１はメインフローチャー
トのステップ５Ｔ１１で第２図（Ｃ）のフローチャート
で示される検査ルーチン３４を呼び出し、この検査ルー
チン３４のステップ５Ｔ１２でティーチングテーブル２
５やキーボード３０からその日の日付データ、被検査プ
リント基板１０−２のｌＤナンバ（識別番号）を取り込
むとともに、ティーチングテーブル２５から判定データ
ファイルを読み出して、これらをメモリに記憶させる。
次いで、主ｉｉ制御部３１はステップ５Ｔ１３でＸ−Ｙ
テーブル部１４上に被検査プリント基板１〇−２が載せ
られるまで持つ。
テーブル部１４上に被検査プリント基板１〇−２が載せ
られるまで持つ。
そして、Ｘ−Ｙテーブル部１４上に基準プリント基板１
０−２が載せられれば、主制御部３１は前記ステップ５
Ｔ１３からステップ５Ｔ１４へ分岐し、ここでＸ−Ｙデ
ープル部１４を制御してＴＶカメラ２１の下方に被検査
プリント基板１０−２の撮像エリア３３−１ ｂ （第
４図参照）を配置させる。
０−２が載せられれば、主制御部３１は前記ステップ５
Ｔ１３からステップ５Ｔ１４へ分岐し、ここでＸ−Ｙデ
ープル部１４を制御してＴＶカメラ２１の下方に被検査
プリント基板１０−２の撮像エリア３３−１ ｂ （第
４図参照）を配置させる。
次いで、主制御部３１はステップ５Ｔ１５でＴＶカメラ
２１によって得られた画像信号をＡ／Ｄ変換部２３でＡ
／Ｄ変換させるとともに、このＡ／Ｄ変換結果（被検査
プリント基１ｉ１０−２の画像データ）をリアルタイム
でメモリ２４に記憶させる。
２１によって得られた画像信号をＡ／Ｄ変換部２３でＡ
／Ｄ変換させるとともに、このＡ／Ｄ変換結果（被検査
プリント基１ｉ１０−２の画像データ）をリアルタイム
でメモリ２４に記憶させる。
次いで２、主制御部３１はステップ５Ｔ１６で前記メモ
リ２４からＭＱプリント基板１０−２の画像データを読
み出し、これを画像処理部２６に供給して２値化させる
とともに、この２値化処叩によって得られた各部品１３
−１ ｂ〜１３−ｉｂ（２≦ｉ≦ｎ）の部品画像毎にラ
ベルを付けさける。
リ２４からＭＱプリント基板１０−２の画像データを読
み出し、これを画像処理部２６に供給して２値化させる
とともに、この２値化処叩によって得られた各部品１３
−１ ｂ〜１３−ｉｂ（２≦ｉ≦ｎ）の部品画像毎にラ
ベルを付けさける。
次いで、主制御部３１はステップ５Ｔ１７で前記画像処
理部２６によって得られたラベル付きの各部品画像を取
り込み、各部品１３−１ｂ〜１３−ｉｂの位置１色、形
状、形態等のパラメータを抽出させるとともに、これら
の各パラメータに基づき、部品１３−１ｂ〜１３−ｉｂ
の全てについて被検査データを作成する。
理部２６によって得られたラベル付きの各部品画像を取
り込み、各部品１３−１ｂ〜１３−ｉｂの位置１色、形
状、形態等のパラメータを抽出させるとともに、これら
の各パラメータに基づき、部品１３−１ｂ〜１３−ｉｂ
の全てについて被検査データを作成する。
この後、主制御部３１はステップ５Ｔ１８で前記メモリ
２４から判定データファイル中のＩｌｌエリア３３−１
ａに関する各判定データを読み出ずととしに、これら
の各判定データと前記各被検査データとを各々比較して
、被検査プリント基板１０−２上の部品１３−１ｂ〜１
３−ｉｂが欠落。
２４から判定データファイル中のＩｌｌエリア３３−１
ａに関する各判定データを読み出ずととしに、これら
の各判定データと前記各被検査データとを各々比較して
、被検査プリント基板１０−２上の部品１３−１ｂ〜１
３−ｉｂが欠落。
位置ずれ等を起こしているか否かを判定し、この判定結
果をメモリ２４に記憶させる。
果をメモリ２４に記憶させる。
この後、主制御部３１はステップ５Ｔ１９から前記ステ
ップＳＴ１４へ戻り、被検査プリント基板１０−２の撮
像エリア３３−２ｂ 〜３３−ｍｂについて上）ホした
処理を順次実行する。
ップＳＴ１４へ戻り、被検査プリント基板１０−２の撮
像エリア３３−２ｂ 〜３３−ｍｂについて上）ホした
処理を順次実行する。
そして、撮像エリア３３−１ ｂ 〜３３−ｍｂの全て
について処理が終了したとき、主制御部３１は前記ステ
ップ５Ｔ１９からステップ５Ｔ２０へ分岐し、ここでメ
モリ２４に記憶されている各部品１３−１ｂ〜ｌ３−ｎ
ｂの判定結果を読み出して、これをＣＲＴ表示器２８に
表示させたり、プリンタ２９からプリントアウトさせた
りする。
について処理が終了したとき、主制御部３１は前記ステ
ップ５Ｔ１９からステップ５Ｔ２０へ分岐し、ここでメ
モリ２４に記憶されている各部品１３−１ｂ〜ｌ３−ｎ
ｂの判定結果を読み出して、これをＣＲＴ表示器２８に
表示させたり、プリンタ２９からプリントアウトさせた
りする。
一方、前記検査結果表示部１２は、前記基板検査部１１
において部品１３−１ ｂ 〜１３−ｎｂの少なくとも
１つが欠落１位置ずれ等を起していると判定された被検
査プリント基板（不良基板）１０−２８が装着されたと
き、この被検査プリント基板１Ｏ−２ａの不良箇所を光
によって照明して、作業者にどの部品が不良なのかを一
目で解らせるものであり、副制御部（ＳＵＢ−ＣＰＵ）
４０と、キーボード４１と、メ−Ｅ ＩＪ ４２ ト、
Ｘ−Ｙステージコントローラ４３と、Ｘ−Ｙテーブル部
４４と、投光器４５とを備えている。
において部品１３−１ ｂ 〜１３−ｎｂの少なくとも
１つが欠落１位置ずれ等を起していると判定された被検
査プリント基板（不良基板）１０−２８が装着されたと
き、この被検査プリント基板１Ｏ−２ａの不良箇所を光
によって照明して、作業者にどの部品が不良なのかを一
目で解らせるものであり、副制御部（ＳＵＢ−ＣＰＵ）
４０と、キーボード４１と、メ−Ｅ ＩＪ ４２ ト、
Ｘ−Ｙステージコントローラ４３と、Ｘ−Ｙテーブル部
４４と、投光器４５とを備えている。
キーボード４１はテンキー、ファンクションキー等の各
種キーを備えており、作業者がＸ−Ｙテーブル部４４に
載せられている不良基板１〇−２ａの基板ナンバ等を入
力したとき、これを前記副制御部４０に供給する。
種キーを備えており、作業者がＸ−Ｙテーブル部４４に
載せられている不良基板１〇−２ａの基板ナンバ等を入
力したとき、これを前記副制御部４０に供給する。
副制御部４０はマイクロプロセッサ等を備えて構成させ
ており、前記基板検査部１１において被検査プリント基
板１０−２の検査が終了する毎に前記主制御部３１を介
して前記メモリ２４から各被検査プリント基板１０−２
の判定結果を読み出し、これをメモリ４２に記憶させる
。そして、前記キーボード４１から不良基板１０−２８
の基板ナンバ等が入力されたとぎ、この副制御部４０は
メモリ４２からこの基板ナンバ等に対応する判定結果を
読み出して、不良基板１Ｏ−２ａの不良部品位置データ
を求め、この不良部品位置データをＸ−Ｙステージコン
トローラ４３に供給する。
ており、前記基板検査部１１において被検査プリント基
板１０−２の検査が終了する毎に前記主制御部３１を介
して前記メモリ２４から各被検査プリント基板１０−２
の判定結果を読み出し、これをメモリ４２に記憶させる
。そして、前記キーボード４１から不良基板１０−２８
の基板ナンバ等が入力されたとぎ、この副制御部４０は
メモリ４２からこの基板ナンバ等に対応する判定結果を
読み出して、不良基板１Ｏ−２ａの不良部品位置データ
を求め、この不良部品位置データをＸ−Ｙステージコン
トローラ４３に供給する。
Ｘ−Ｙステージコントローラ４３は前記の１制御部４０
とＸ−Ｙテーブル部４４とを接続するインタフェース等
を備えており、前記副制御部４０から不良部品位置デー
タを供給されたとき、この不良位置データに応じたパル
ス列信号を発生して、これをＸ−Ｙテーブル部４４の各
パルスモータ１７−ａ、１８−ａに供給する。
とＸ−Ｙテーブル部４４とを接続するインタフェース等
を備えており、前記副制御部４０から不良部品位置デー
タを供給されたとき、この不良位置データに応じたパル
ス列信号を発生して、これをＸ−Ｙテーブル部４４の各
パルスモータ１７−ａ、１８−ａに供給する。
Ｘ−Ｙテーブル部４４は前記基板検査部１１のＸ−Ｙテ
ーブル部１４とＩｉ″ｉ１様に構成されており、前記Ｘ
−Ｙステージコン１〜ロー５４３からパルス列信号を供
給されたときに、各パルスモータ１７−ａ、１８−ａを
動作させてＸ−Ｙテーブル部１９−ａに載せられたチャ
ック癲構２０−ａにより固定されている不良基板１０−
２８の不良部品部分を投光器４５の真下に位置させる。
ーブル部１４とＩｉ″ｉ１様に構成されており、前記Ｘ
−Ｙステージコン１〜ロー５４３からパルス列信号を供
給されたときに、各パルスモータ１７−ａ、１８−ａを
動作させてＸ−Ｙテーブル部１９−ａに載せられたチャ
ック癲構２０−ａにより固定されている不良基板１０−
２８の不良部品部分を投光器４５の真下に位置させる。
投光器４５は、光源４６と、この光源４６によって得ら
れた光Ｐ１を集光するレンズ４７と、円形の穴５１を有
して、この穴５１によって前記レンズ４７を透過した光
Ｐ１を円形に絞るスリット板４９と、このスリット板４
９によって絞られた光Ｐ１を集光させるレンズ４８とを
備えており、このレンズ４８を透過した光Ｐ１は光出射
口５０から出射され、前記Ｘ−Ｙテーブル部４部上４上
着された不良基板１Ｏ−２ａの投光器５２上にある部分
（この場合、不良部品部分）を第５図に示す如く円形に
スポット照明する。
れた光Ｐ１を集光するレンズ４７と、円形の穴５１を有
して、この穴５１によって前記レンズ４７を透過した光
Ｐ１を円形に絞るスリット板４９と、このスリット板４
９によって絞られた光Ｐ１を集光させるレンズ４８とを
備えており、このレンズ４８を透過した光Ｐ１は光出射
口５０から出射され、前記Ｘ−Ｙテーブル部４部上４上
着された不良基板１Ｏ−２ａの投光器５２上にある部分
（この場合、不良部品部分）を第５図に示す如く円形に
スポット照明する。
このようにこの検査結果表示部１２に、１ノいては、不
良基板１Ｏ−２ａをＸ−Ｙテーブル部４４にヒラ１−シ
て、キーボード４１からこの不良基板１Ｏ−２ａ（７）
ｌ板ナンバ等を入力すれば、ＦｄＪ制御部４０が前記基
板検査部１１で１ｑられた判定結果に基づいて、Ｘ−Ｙ
テーブル部４４を駆動しこの不良基板１０−２８の不良
部品部分を投光器４５の真下に装置させて、投光器４５
が出射する光Ｐ１でこの不良部品部分をスポット照明さ
せるようにしたので、不良基板１Ｏ−２ａの上のどこに
ある部品（または、どこにあるべき部品）が不良なのか
を作業者に一目で解らせることができる。
良基板１Ｏ−２ａをＸ−Ｙテーブル部４４にヒラ１−シ
て、キーボード４１からこの不良基板１Ｏ−２ａ（７）
ｌ板ナンバ等を入力すれば、ＦｄＪ制御部４０が前記基
板検査部１１で１ｑられた判定結果に基づいて、Ｘ−Ｙ
テーブル部４４を駆動しこの不良基板１０−２８の不良
部品部分を投光器４５の真下に装置させて、投光器４５
が出射する光Ｐ１でこの不良部品部分をスポット照明さ
せるようにしたので、不良基板１Ｏ−２ａの上のどこに
ある部品（または、どこにあるべき部品）が不良なのか
を作業者に一目で解らせることができる。
また上述した実施例においては、不良基板１Ｏ−２ａ上
の不良部品部分を円形の光Ｐ１によってスポット照明す
るようにしているが、第６図に示ずような投光器４５−
２を用いて第７図に示すように不良基板１Ｏ−２ａ上に
リング状の光Ｐ２で照明するようにしても良い。
の不良部品部分を円形の光Ｐ１によってスポット照明す
るようにしているが、第６図に示ずような投光器４５−
２を用いて第７図に示すように不良基板１Ｏ−２ａ上に
リング状の光Ｐ２で照明するようにしても良い。
この場合、投光器４５−２は、第６図に示す如く、光源
５３と、３枚のレンズ５４〜５６と、レンズ５４．５５
間に配置されて、前記光源５３から出射された光Ｐ２を
円形に絞るスリット板５７と、レンズ５５．５６間に配
置されて、前記レンズ５５によって平行にされた光Ｐ２
の周辺部分のみを透過させるリングスリット板５８とを
備えている。
５３と、３枚のレンズ５４〜５６と、レンズ５４．５５
間に配置されて、前記光源５３から出射された光Ｐ２を
円形に絞るスリット板５７と、レンズ５５．５６間に配
置されて、前記レンズ５５によって平行にされた光Ｐ２
の周辺部分のみを透過させるリングスリット板５８とを
備えている。
（発明の効果）
以上説明したように本発明によれば、被検査プリント基
板上のどこにある部品（または、どこにあるべき部品）
が不良なのかを作業者に一目で解らせることができる。
板上のどこにある部品（または、どこにあるべき部品）
が不良なのかを作業者に一目で解らせることができる。
第１図は本発明による基板検査装置の一実施例を示すブ
ロック図、第２図（Ａ）は同実施例の動作例を説明する
ためのメインフローチャート、第２図（Ｂ）は同実施例
のティーチングルーチンを例を示すフローチャート、第
２図（Ｃ）は同実施例の検査ルーチンを例を示すフロー
チャート、第３図は同実施例の基準プリント基板に対し
て設定される撮像エリアの一例を示す模式図、第４図は
同実施例の被検査プリント基板に対して設定される撮像
エリアの一例を示す模式図、第５図は同実施例における
不良部品部分を示す平面図、第６図は、この発明による
基板検査装置で用いられる投光器の他の例を示す模式図
、第７図は第６図に示す投光器によって不良部品部分を
表示したときの一例を示す平面図、第８図は従来の自動
検査装置の一例を示すブロック図、第９図は第８図に示
す自動検査装置における検査基準となる基準プリント基
板の一例を示す側面図である。 １０−１・・・基板（基準プリント基板）、１０−２・
・・基板（被検査プリント基板）、１１・・・林板検査
部、１２・・・検査結果表示部、４４・・・Ｘ−Ｙテー
ブル部、４５・・・投光器。 特許出願人 立石電機株式会社 代理人 弁理士 岩自哲二（他１名） 第２図（Ｃ） 纂３図 第４図 ３−ｎｂ 第５図 す ３−ｎｂ ｕ−２８
ロック図、第２図（Ａ）は同実施例の動作例を説明する
ためのメインフローチャート、第２図（Ｂ）は同実施例
のティーチングルーチンを例を示すフローチャート、第
２図（Ｃ）は同実施例の検査ルーチンを例を示すフロー
チャート、第３図は同実施例の基準プリント基板に対し
て設定される撮像エリアの一例を示す模式図、第４図は
同実施例の被検査プリント基板に対して設定される撮像
エリアの一例を示す模式図、第５図は同実施例における
不良部品部分を示す平面図、第６図は、この発明による
基板検査装置で用いられる投光器の他の例を示す模式図
、第７図は第６図に示す投光器によって不良部品部分を
表示したときの一例を示す平面図、第８図は従来の自動
検査装置の一例を示すブロック図、第９図は第８図に示
す自動検査装置における検査基準となる基準プリント基
板の一例を示す側面図である。 １０−１・・・基板（基準プリント基板）、１０−２・
・・基板（被検査プリント基板）、１１・・・林板検査
部、１２・・・検査結果表示部、４４・・・Ｘ−Ｙテー
ブル部、４５・・・投光器。 特許出願人 立石電機株式会社 代理人 弁理士 岩自哲二（他１名） 第２図（Ｃ） 纂３図 第４図 ３−ｎｂ 第５図 す ３−ｎｂ ｕ−２８
Claims (1)
- 基板を撮像して得られたデータを処理して前記基板上
の部品を検査し、この検査結果を表示する基板検査装置
において、前記検査結果に基づいて前記基板上にある部
品部分を照明して前記部品の良否を表示する検査結果表
示部を備えたことを特徴とする基板検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61059696A JPH081421B2 (ja) | 1986-03-18 | 1986-03-18 | 基板検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61059696A JPH081421B2 (ja) | 1986-03-18 | 1986-03-18 | 基板検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62215857A true JPS62215857A (ja) | 1987-09-22 |
| JPH081421B2 JPH081421B2 (ja) | 1996-01-10 |
Family
ID=13120627
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61059696A Expired - Fee Related JPH081421B2 (ja) | 1986-03-18 | 1986-03-18 | 基板検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH081421B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62116600U (ja) * | 1986-01-14 | 1987-07-24 |
-
1986
- 1986-03-18 JP JP61059696A patent/JPH081421B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62116600U (ja) * | 1986-01-14 | 1987-07-24 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH081421B2 (ja) | 1996-01-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |