JPH0814343B2 - インバ−ト式ベロ−ズ弁 - Google Patents

インバ−ト式ベロ−ズ弁

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JPH0814343B2
JPH0814343B2 JP10620087A JP10620087A JPH0814343B2 JP H0814343 B2 JPH0814343 B2 JP H0814343B2 JP 10620087 A JP10620087 A JP 10620087A JP 10620087 A JP10620087 A JP 10620087A JP H0814343 B2 JPH0814343 B2 JP H0814343B2
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JP
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valve
stem
bellows
valve body
actuator
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ラズロー ダンコ オリヴァー
リチャード ボーク ジュニア カール
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ニユプロ コムパニ−
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    • F16K1/00—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
    • F16K1/32—Details
    • F16K1/52—Means for additional adjustment of the rate of flow
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
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Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 本発明は、しゃ断弁に関し、特にベローズ弁に関す
る。
本発明はインバート式ベローズ弁組立体に特に適用で
きるので、インバート式ベローズ弁組立体を参照して記
載する。しかし、本発明はもっと広い意味を有し、他の
弁が用いられているものおよび他の弁が応用されている
ものにも有利に使用されうる。
ベローズ弁は、密封および清浄が最も重要である環境
下で通常用いられる。例えば、ベローズ弁は、系を流れ
る種々の流体等をしゃ断する化学工業に使用される。多
くのこれらの流体の腐食性のために、弁の湿潤した部品
間の一層信頼できる密封関係が常に望まれる。
半導体工業のような他の工業においても、最終製品に
欠陥を導入しないように周囲環境ができるだけ汚染物質
がないように維持されることが望まれる。過去において
は、適切の潤滑剤が協同するねじ部品間に必ず供給され
た。潤滑剤は、弁組立体には必要なものではあるけれど
も、半導体工業のように厳密に管理した環境下では汚染
物質と考えることができる。したがって、潤滑剤を減少
させることまたは潤滑剤をなくすことが清浄の観点から
極めて望ましい。
本発明は、前述の要求を満足しかつ先行の弁構造に関
連する問題および欠点を解決する新規で改良したインバ
ート式ベローズ弁を提供することにある。
発明の要約 本発明によると、弁部品間の高い密封に特に適してお
りかつ弁の使用環境内の清浄を促進するインバート式弁
組立体が提供される。
本発明によると、ベローズ弁は弁座の両側に形成した
弁室に連通した流入通路および流出通路を有する弁本体
を含んでいる。弁ステムは弁室に配置されており弁座に
選択的に係合するように構成した部分を有している。閉
鎖部材は弁ステムの周囲に収容されていて弁本体の開放
外端に密封するように係合する。弁本体および閉鎖部材
の一方は弁本体および閉鎖部材の他方に密封するように
係合するように構成した突出部またはビートを含んでい
る。ベローズは弁ステムの下部部分を囲み、ベローズの
一端において弁ステムに密封状態で固着されており、ベ
ローズの他端において閉鎖部材に密封状態で固着され、
外部圧力が系の流体によってベローズに作用される。
本発明の他の観点によれば、ステム先端が弁ステムの
一端にねじ込まれて固定され、弁ステムの他端にはステ
ム先端を取り替えている間ステムを所望の方向に保持す
る手段が設けられている。
本発明のさらに他の観点によれば、保持部材が弁ボン
ネット、閉鎖部材、弁本体を互いに当接密封状態に保持
するように弁本体に係合する。
本発明のさらに他の観点によれば、適所に配置したテ
ーパー面および間隔をへだてた軸線方向の面が協同する
弁部品間の厳密な整合を容易にする。
本発明の基本的な利点は種々の弁部品間の高い密封性
にある。
本発明の他の利点は弁組立体の作動によって清浄が損
なわれないことにある。
さらに他の利点は弁部品間で得られる正確な整合にあ
る。
実施例 本発明は、特定の部品及び部品の配列において物理的
な形態をとることができ、その好ましい実施例及び変形
例を本明細書中に詳細に説明し、本明細書の一部を成す
添付図面に図示する。
図面を参照すると、ここに示すものは本発明の好まし
い実施例及び変形例を単に図示するためのものであっ
て、これらを限定するためのものではない。第１図は、
インバート式ベローズ弁Ａを示し、このベローズ弁は、
弁ステムＣを作動的に受入れる弁本体Ｂを有する。ベロ
ーズＤは、一端が弁ステムに、他端が閉鎖部材Ｅに密封
固定されている。弁ボンネットＦは弁本体から外方に延
び且つ保持部材Ｇで本体に保持される。アクチュエータ
Ｈは弁ステムの外側に固定され、更に弁ボンネットの外
側部分に連結されている。
更に詳細には、弁本体Ｂは、第１通路すなわち流入通
路10と、第２通路すなわち流出通路12とを有し、これら
は弁室14と流体連通している。弁室は弁本体の外側部分
に構成された第１端すなわち開放端16と、ほぼ半径方向
に延びた弁室の内側面20に沿って全体に配置された弁座
18とを有する。当該技術分野で周知のように、流入通路
10及び流出通路12は弁を流体システムに組み込むための
流体接手等を受入れるようになっている。弁本体の分岐
部の外端に設けられた、流入通路10及び流出通路12を含
む雄ねじ領域22は単に流体接手構造の一つの種類を図示
するものである。同じ結果を得るため、他の適当な構造
を本発明の範囲及び意図から逸脱することなく使用する
ことができる。
弁ステムＣは、第１端すなわち内端30と、第２端すな
わち外端32とを有する。弁ステムの第１端30は、弁室14
内に特に弁室の開放端16を介して受け入れられるように
なっている。ステム先端副組立体34は、弁ステムの第１
端の最内部分にねじ込まれている。ステム先端副組立体
は、弁座18と密封係合するようになった、KEL−Ｆ（ミ
ネソタ州セントポールのミネソタ鉱業製造社（Minnesot
a Mining and Manufacturing Co.）の登録商標）でつく
られた、プレス嵌め先端インサート36を有する。KEL−
Ｆの先端インサートは、ねじ領域、ステム先端副組立体
の穿孔個所のキャビティ及び弁ステムの内端からの漏れ
を実質的になくす。勿論、同じ結果を得るため、KEL−
Ｆ材料に匹敵する性質を持つ他の材料を使用することが
できる。
弁ステムの第１端の半径方向外方に延びたフランジ部
分38は、ベローズＤの第１端と密接するようになった軸
線方向に延びた面39を有する。ベローズは、好ましい実
施例では、ステンレススチールで出来ており、第１図に
概略的に示すように、弁座に対する弁ステムの選択的な
軸線方向運動に順応するように襞付けされ或いは折り曲
げられる。ベローズの第１端40はフランジ部分38に溶接
され、又は他の方法で固定され、ベローズの第２端42
は、同様の手段で閉鎖部材すなわち溶接リングＥに密封
固定される。ベローズをこの方法で取り付けることによ
り、ベローズは、弁室内の流体によって外側圧縮力を受
ける。このような構造は一般にインバート式ベローズと
呼ばれ、内力よりも大きな外力に耐えることができるの
で望ましい。かくして、インバート式ベローズの使用に
より、弁を更に高いシステム圧力で使用することができ
る。付け加えると、このベローズ構造は、密封構造体の
寿命を長くする。周知のように、ベローズは、弁ステム
を弁室内のシステム流体から隔離するように機能する。
第１図を参照しながら、今第３図、第4A図及び第4B図
に注目すると、明らかに閉鎖部材Ｅは、該部材を貫通す
るバルブステムＢを受け入れる環状構造を有している。
軸線方向に延びた外部表面部分50が、これにベローズの
第２端をぴったりと受け入れるように設計されている。
半径方向に延びた面52が表面部分50から内方に延びて、
軸線方向の往復運動の間、弁ステムの行過ぎを阻止する
止め装置、即ち制限装置を形成する。制限面52は、閉鎖
部材に対して弁ステムの移動を制限するために、弁ステ
ムの肩54と当接するようになっている。大径フランジ56
が弁室の開放端16上に横たわり、或いはこれを閉鎖する
ように設計されている。特に、大径フランジは、弁室の
開放端16に隣接して弁本体と密封係合するようになって
いる。
ビードシール構造（第３図）の使用によって、開放端
16で弁本体とフランジ56との密封係合が行われる。好ま
しくは、大径フランジの下面には、連続の丸い或いは円
弧状の環状ビード58が設けられる。このビードは、弁室
の開放端16と円周取り囲み関係をなして弁本体に形成さ
れたほぼ平らな肩60と相互に係合可能に設計されてい
る。一層明らかとなるように、ビード58と平らな肩60と
の厳密な係合によって、有利には、弁室の開放端のまわ
りに液密シールをつくる。これにより、加圧した流体は
弁室に閉じ込められ、弁室からの漏れを阻止する。理解
されるように、例えば円弧状ビードを弁本体に設置し、
関連した平面を閉鎖部材に設けることによって、ビード
シールの向きを逆にしても良く、このような反転は、本
発明の精神、趣旨の範囲内にあると思われる。
加えて、閉鎖部材のテーパ面62がビード58から半径方
向内方に間隔をへだてた大径フランジの領域で大径フラ
ンジの内面から、外方に突出している。テーパ面62は、
フランジの内面からその軸線方向長さに亘って半径方向
内方にテーパしている。テーパ面62は、閉鎖部材と弁本
体との整合を容易にするように設計されている。この関
係によって弁ステムと弁座との整合を促進する。
特に第３図を参照すると、明らかに、弁本体は、閉鎖
部材のテーパ面62と協働関係を可能にするテーパ面64を
有している。弁の組立の間、これらの互いに向き合った
テーパ面62、64は、閉鎖部材と弁本体との間の正確な整
合を確保する。さらに、弁本体と密封ビード58及び大径
フランジ56の半径方向外方外周との間には、所定の空
間、即ち隙間が存在する。これにより、テーパ面62、64
に沿って組立整合をさらに確実にする。
第１図を参照すると、ブッシング部材68が、閉鎖部材
の外端で内環状キャビティ70に受け入れられている。好
ましい実施例では、このブッシング部材は青銅等の金属
で構成され、弁ステムをその所定長さに沿って支持する
ように設計された長手軸線方向の寸法を有している。ブ
ッシング部材は、システム流体から遠い方の領域で弁ス
テムを正確に案内し、さらに弁組立体の清潔さを促進す
る。
第１図及び第３図に示すように、弁ボンネットＦは、
その内端に半径方向外方に延びたフランジ72を有し、該
フランジ72は大径フランジ56の外周寸法にほぼ近い直径
を有している。半径方向のフランジ72は、接触領域73で
大径フランジ56の外方に向いた環状面と相互に係合可能
になっている。このようにして閉鎖部材は、弁ボンネッ
トＦと弁本体Ｂとの間に軸線方向に介在される。さら
に、弁ボンネットは、その中に受け入れられた閉鎖部材
の外部表面から半径方向に間隔をへだてるように寸法決
めされた軸線方向に延びた内壁表面74を有している。
ベローズの密封完全性を監視し、弁ボンネット室への
加圧流体の潜在的な漏れを検出するために、ボンネット
漏し管（図示せず）を選択的に採用してもよい。漏し管
開口76（第１図）が、在来の方法で、漏し管を受入れた
めに弁ボンネットの側壁を貫いて半径方向に延びてい
る。弁ボンネットＦはさらに、外側端部に雄ねじ領域78
を設けた小径部を有する。この小径部は、弁ボンネット
Ｆ及び関連したアクチュエータハウジングの間にＯ−リ
ング等の第１シール部材82を受け入れる外部肩80を形成
している。
第１図及び第３図を参照し続けると、ボンネットナッ
トすなわち保持部材Ｇが弁ボンネットＦ、閉鎖部材Ｅ、
及び弁本体Ｂと取り囲み関係をなして配置されている。
ボンネットナットＧは雌ねじ部分92を有していて、弁本
体Ｂの雄ねじ領域94と螺合している。開口96は弁ボンネ
ットＦの外部表面を受入れているが、その寸法は半径方
向フランジ72の直径よりも小さい。さらに、ボンネット
ナットＧの内部には、弁ボンネットＦの半径方向フラン
ジ72とぴったりと係合するようになった半径方向肩98が
形成されている。ボンネットナットＧを在来のレンチ平
面100の領域において弁本体Ｂに対して前進させること
により肩98を締めつけて、半径方向フランジ72と保持係
合させる。一方、半径方向フランジ72は、閉鎖部材Ｅの
大径フランジ56の内面73に軸線方向の圧縮力を与える。
これにより、丸いビード58を弁本体Ｂの概ね平らな肩部
60に効果的な密封関係に圧接させる（第３図）。
この構造によれば、ボンネットナットＧの軸線方向の
圧縮力は、肩98から出てフランジ72、大径フランジ56を
介して連続シールビード58に伝達される。かくして、ボ
ンネットナットＧ、弁ボンネットＦ、閉鎖部材Ｅの間に
半径方向の空間が形成されとしても、肩98は以前として
シールビード58に軸線方向に整列する。上記の弁構成要
素を通して伝達される力は、シールビード58と弁本体Ｂ
の平らな肩60との間に確実な密封関係を提供する。
閉鎖部材Ｅと弁本体Ｂとの間にシール手段として丸い
ビードを組み込むことにより、従来これらのあるいは類
似の当接面の間に配置されていたガスケットを除去する
ことが出来るようになる。ビード構造はより確実な密封
を提供し、さらにボンネットナットＧを弁本体Ｂに締め
付けるのに必要なトルクをより小さなものとする。低ト
ルクは、ボンネットナットＧのねじ山の潤滑の必要性を
減少させ或いは無くすることができるから、重要な特徴
である。清浄度が最も重要な高純度システムにおいて
は、潤滑剤の排除或いは減少は極めて重要である。
第２シール部材102が弁ステムと弁ボンネットＦの上
方部材の開口104との間に配置される。第２シール部材1
02は、好ましくは、Ｏ−リング構造であり、弁ステムの
周りに運動用シールをなすように設計される。第１図に
示す実施例では、第２シール部材102は弁ステム溝に受
入られているが、変形例として弁ボンネットＦにシール
部材受入溝を形成することができることが理解される。
アクチュエータＨは、弁ステムに作動的に連結され、
これに選択的に往復運動を与えて弁を開閉する。特に、
アクチュエータハウジング108は、弁ボンネットＦの小
径部分の雄ねじ78と係合するように設計される。アクチ
ュエータＨは、アクチュエータ室112に構成されたピス
トン110を内側位置すなわち閉弁位置にばね付勢する常
閉操作器として図示されている。図示したように、弁ス
テムの外側端部32は、ナット114とワッシャ116によって
ピストン110に取り付けられている。他の取り付け構造
も本発明の範囲及び意図から逸脱することなく同一の成
果を得ることができる。ピストン外側シール部材118
が、ピストン110の外周とアクチュエータ室112との間に
密封的に配置され、またピストン内側シール部材120が
弁ステムの外側端部とピストン110との間に挿入され
る。
第１図に示す構造では、一対の同心ばね124がハウジ
ングの外部領域とピストンとの間に延び、したがって弁
ステムはその着座位置即ち閉弁位置に向かって常時付勢
されている。アクチュエータの外部領域に設けられたね
じ通気口126により排出空気をアクチュエータの室から
遠く離れた或る場所までパイプ移送することができ、こ
れ又、弁の清浄を促進する。
通気口126は明らかな用途として、空気抜きとしての
補助的な機能を果たす。通気口の直径は、工具、例えば
ねじ廻しを導入させてこれを、弁ステムの最も外側の端
に形成されたスロット又は溝128と作動係合させること
ができるほどの直径である。関連した工具（図示せず）
をスロット128に差し込むことによって、ステム先端副
組立体を交換している間、弁ステムが回転することはな
い。かくして、保守及び／又は交換が容易である。
アクチュエータ流体圧力を回転可能なターレット132
を介してピストンの内側に及ぼす。流体圧力をピストン
の内側に選択的に及ぼすことができるように、半径方向
に延びた開口部134が回転可能なターレットとアクチュ
エータの室112とを連通させている。十分な圧力がピス
トンの内面領域に作用してばね対124の閉弁力よりも大
きな開弁力をつくる。アクチュエータのハウジング108
と回転可能なターレット132との間に密封装置136、138
を設けるのが良い。ピストンの内側への流体圧力を選択
的に制御することによりステム先端を弁座18に対し当該
技術において公知の方法で交互に開閉することができ
る。
シールビードを付け加えることにより所定の弁構成要
素間の潤滑の要求が軽減され、或いは無くなる。シート
ビードと通気口及び細長いブッシングとをシステム流体
から遠く離れた領域で結合することにより弁清浄作業が
はかどる。巧みに置いたテーパ面の使用且つ閉鎖部材、
弁ボンネット、ボンネットナット間の間隔を保持する隙
間の使用は弁構成要素間の整合を高める。
第２図を参照して、低圧範囲向きに設計されたインバ
ート式ベローズの変形例の詳細な説明を行う。説明の便
宜上、同一の要素をプライム記号（′）の付いた同一の
参照番号で示し、新しい要素を新しい参照番号で示す。
変形例の大部分の構造要素及び大部分の機能的な特徴は
第１図の好ましい実施例と同じなので、以下の詳細な説
明をかかる好ましい実施例と構造上及び機能上著しく異
なるものに焦点をあてて行う。別段の言及がなければプ
ライム記号をもつ同一参照番号の要素は全て実質的に上
述したように作動する。
第２図の構造では、顕著な差異は弁本体Ｂ′と閉鎖部
材Ｅ′との間の整合作業にある。全体を136で指示した
シールビード58′の半径方向外周部は、弁本体と該弁本
体の全体として軸方向の面138に沿って接触するように
設計されている。シールビードの外周部が弁本体と一緒
になってギャップを構成するような第１図の実施例と異
なり、この変形例では閉鎖部材、弁本体間の整合はシー
ルビードと弁本体との境界面に沿って起こるが、シール
ビードと平らな面60′との間の密封機能になんら悪影響
を及ぼさない。
さらに、テーパ面62′は弁本体から半径方向内方に間
隔をへだてられている。かくして、シールビードの外周
136と弁本体138との間でのみ整合工程が生ずる。これは
シールビードに対して半径方向外側の整合工程を構成
し、一方上述の第１図の実施例はシールビードに対して
半径方向内側の整合工程を構成する。整合がテーパ面6
2′に沿って生じないので、変形例では、テーパ面64を
第１図の弁室の開放端16に形成する必要がないことは容
易に明らかである。アクチュエータハウジング108′は
例えばねじ領域78′が弁ボンネットＦ′に螺合されてい
る。第１シール部材82′が弁ボンネットの内部肩80′に
受け入れられている。第１シール部材はアクチュエータ
のハウジング108′に圧縮係合して、アクチュエータ
Ｈ′と弁ボンネットＦ′との間を密封する。
弁ステムの外端32′は、ピストン110′のステム延長
部分140にしっかり連結されている。この連結を達成す
るための同等の構造を本発明の範囲及び意図から逸脱す
ることなしに用いても良いが、図示のように、この相互
連結はこれらの部材間の螺合からなる。第２シール部材
102′がステム延長部分140と弁ボンネットとの間で圧縮
保持されている。この運動用シールは、ハウジングのア
クチュエータ室112′を密封するのに加えて、弁ボンネ
ットに対してステムを整列させるのを助ける。ピストン
110′は、ピストンの外側シール部材118′によってアク
チュエータ室に密着している。第２図の実施例は低圧力
の場合に用いられるので、付勢力を及ぼして通常弁を閉
じるためには、単一のばね124′を必要とするに過ぎな
い。
例えば空気のような流体によりピストンの内側に圧力
を及ぼさせるように、流入口142が設計されている。こ
れを達成するために、第２ステム延長部分144がピスト
ンの外側から外方に、すなわち一般的に第１ステム部分
140の方向と反対方向に延びている。通路146が第２ステ
ム延長部分及びピストンを軸線方向に貫通し、ピストン
の内側に隣接して配置された半径方向に交差した通路14
8と連通する。このようにして、流体圧をピストンの内
側に選択的に導入することができる。流体圧をアクチュ
エータ室に与え、ばね124′の反対方向の付勢力に打ち
勝つように外向きの力をピストン110′に及ぼすことが
できる。ステム延長部分144とハウジングの軸線方向に
延びた円筒形フランジ152との間に、運動用シール部材1
50が配置されている。勿論、第２図に示した常閉弁構造
を、公知の常開或いは複動構造に代えても良い。
好適な実施例及び変形例を参照して本発明を説明して
きた。本明細書を読んで理解することによって、修正や
変形が他にも生ずることは明白である。添付の特許請求
の範囲或いはこれの均等物の範囲内でこのような修正や
変形を行う限りにおいては、あらゆるこのような修正や
変形を含むものである。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明に従って構成されたベローズ弁の垂直
断面図であり、 第２図は、本発明による変形例のベローズ弁の垂直断面
図であり、 第３図は、第１図の円で囲んだ部分の拡大詳細図であ
り、 第4A図は、本発明に依って形成された閉鎖部材の僅かに
拡大した詳細図であり、 第4B図は、第4A図の円で囲んだ部分の更に拡大した詳細
図である。 Ａ……ベローズ弁、Ｂ……弁本体 Ｃ……弁ステム、Ｄ……ベローズ Ｅ……閉鎖部材、Ｆ……弁ボンネット Ｇ……保持部材、Ｈ……アクチュエータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−79084（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−1432（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−31787（ＪＰ，Ａ)

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】流体室を有する弁本体を含み、流入通路お
    よび流出通路が弁座の両側で前記室と流体連通してお
    り、 細長い弁ステムを含み、前記ステムは、前記流入通路
    と前記流出通路の間で流体の流れを選択的に制御するた
    めに前記弁座と協働するように前記室に作動的に受け入
    れられた第１の端に弁部材を有し、前記ステムの第２の
    端は、前記室から外方に延びており、 ベローズを含み、前記ベローズは、前記ベローズに外
    部から作用する前記室のシステム流体から前記ステムを
    孤立させるために前記ステムの軸線部分に対して取り囲
    み関係をなして前記室に配置されており、 前記室の開放端で前記弁本体に密封的に係合し、か
    つ、前記ステムを貫通して受け入れる閉鎖部材を含み、
    前記閉鎖部材は、前記ベローズの一方の端に密封的に連
    結され、かつ、開弁位置への弁ステムの運動の制限スト
    ップを構成する肩を有し、 前記弁本体および閉鎖部材のうちの一方から軸線方向
    外方に延び、前記弁本体および閉鎖部材のうちの他方の
    略平らな平面に密封係合する連続的な弧状ビードと、 開弁位置と閉弁位置との間で前記ステムが往復式運動
    を行うように前記ステムの第２の端と作動的に関連した
    アクチュエータと、 前記弁本体と前記アクチュエータとの間に介在され、
    かつ、前記閉鎖部材に衝合する弁ボンネットとを含み、 前記閉鎖部材および弁ボンネットの間隔を隔てた軸線
    方向に延びる表面が、前記アクチュエータと前記弁ステ
    ムとの整合を容易にする隙間を作ることを特徴とするイ
    ンバート式ベローズ弁。
  2. 【請求項２】前記弁本体に作動的に係合し、かつ、前記
    弁ボンネット、前記閉鎖部材、および前記弁本体を衝
    合、即ち密封係合させて保持する保持部材をさらに含む
    ことを特徴とする特許請求の範囲第（１）項に記載のイ
    ンバート式ベローズ弁。
  3. 【請求項３】前記弁部材は、前記弁ステムの第１の端に
    ねじ込み式に固着されたステムの先端を含み、前記ステ
    ムの先端は、それによって変位可能な副組立体を構成す
    ることを特徴とする特許請求の範囲第（１）項に記載の
    インバート式ベローズ弁。
  4. 【請求項４】前記弁本体および前記閉鎖部材のうちの一
    方は、互いにほぼ同軸に整合するのを容易にするように
    前記弁本体および前記閉鎖部材のうちの他方の表面と協
    働するテーパ面を備えていることを特徴とする特許請求
    の範囲第（１）項に記載のインバート式ベローズ弁。
  5. 【請求項５】前記弁本体および前記閉鎖部材のうちの他
    方の前記表面はテーパしていることを特徴とする特許請
    求の範囲第（４）項に記載のインバート式ベローズ弁。
  6. 【請求項６】前記テーパ面は前記弧状ビードから半径方
    向内側に配置されていることを特徴とする特許請求の範
    囲第（４）項に記載のインバート式ベローズ弁。
  7. 【請求項７】前記テーパ面は、前記閉鎖部材に設けら
    れ、かつ、前記弧状ビードから半径方向内側に配置され
    ていることを特徴とする特許請求の範囲第（４）項に記
    載のインバート式ベローズ弁。
  8. 【請求項８】前記テーパ面は前記弧状ビードから半径方
    向外側に配置されていることを特徴とする特許請求の範
    囲第（４）項に記載のインバート式ベローズ弁。
  9. 【請求項９】前記テーパ面は、前記閉鎖部材に設けら
    れ、かつ、前記シールビードの外周に構成されているこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第（４）項に記載のイン
    バート式ベローズ弁。
  10. 【請求項１０】前記アクチュエータは、アクチュエータ
    室を有するハウジングと、前記アクチュエータ室に受け
    入れられたピストンとを含み、前記ピストンは、前記弁
    ステムの第２の端に連結されていることを特徴とする特
    許請求の範囲第（１）項に記載のインバート式ベローズ
    弁。
  11. 【請求項１１】前記ピストンは、開弁位置および閉弁位
    置のうちの一方にばねによって付勢され、前記アクチュ
    エータは、前記ばねの付勢力に抗して作用し、前記開弁
    位置および閉弁位置のうちの他方に前記ピストンを移動
    させることを特徴とする特許請求の範囲第（10）項に記
    載のインバート式ベローズ弁。
  12. 【請求項１２】前記ハウジングは貫通して延びる開口を
    含み、前記開口は、前記ステムの先端の交換中前記弁ス
    テムの第２の端を保持するために関連したツールを受け
    入れるようになっていることを特徴とする特許請求の範
    囲第（10）項に記載のインバート式ベローズ弁。
  13. 【請求項１３】前記弁ボンネットと前記アクチュエータ
    ハウジングとの間に配置された第１のシール部材をさら
    に含み、前記シール部材は、圧縮されたとき前記弁ボン
    ネットで前記アクチュエータを密封するうよになってい
    ることを特徴とする特許請求の範囲第（10）項に記載の
    ベローズ弁。
  14. 【請求項１４】前記シール部材と前記第２の端に隣接し
    た弁ステムとの間に配置された第２のシール部材をさら
    に含み、前記第２のシール部材は、圧縮されたとき前記
    アクチュエータを前記弁ボンネットと整合させるように
    なっていることを特徴とする特許請求の範囲第（10）項
    に記載のベローズ弁。
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