JPH081497A - ディンプルグラインダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 試料の位置決めを容易にかつ精度よく行う。 【構成】 試料５を固定的に搭載した試料台４は、回転
台１０１の上面に形成された凹部１０３に嵌合する。試
料台４はマグネットで構成され、凹部１０３の底面部分
は磁性体で構成されるので、試料台４は凹部１０３に磁
気的吸引力によって吸着固定される。回転台１０１が水
平回転することによって、試料５には水平回転が付与さ
れる。研磨対象面２７の水平回転中心１８に、回転砥石
１４を回転させつつ押し当てることによって研磨対象面
２７の水平回転中心１８の回りにディンプルが形成され
る。 【効果】 試料が搭載された試料台は凹部に嵌合するこ
とによってその位置が精度よく定まるので、所望する加
工部位の位置を、水平回転中心へと容易に一致させるこ
とができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明はディンプルグラインダ
に関し、特に試料の位置合わせを容易にかつ精度よく行
うための改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）を用いて試
料を観察するためには、試料の観察対象部位を薄膜化す
る必要がある。ディンプルグラインダは、例えばこのＴ
ＥＭ用の試料を作成するのに使用される加工器の一種で
ある。ディンプルグラインダは、試料表面を研磨するこ
とによって、直径数ｍｍφ程度のディンプルすなわち擦
鉢状の凹部を形成する。

【０００３】図１５〜図１７はそれぞれ、従来のディン
プルグラインダの構成を示す正面図、側面図、および平
面図である。これらの図において、５０はディンプルグ
ラインダ、１は回転台、２は回転台１の一部をなし、外
部のモータなどの駆動装置に結合することによって水平
回転を伝える駆動軸、４は板状の試料台、５はディンプ
ル加工対象である試料、１４は円盤状の回転砥石、１５
は回転砥石を垂直回転させる砥石回転軸、１６は回転砥
石１４の砥石面（周面）、２７は試料５の上面すなわち
研磨が施される側の面である研磨対象面、１８は回転台
１の回転中心軸と研磨対象面２７との交点、すなわち研
磨対象面２７における水平回転中心である。

【０００４】回転台１の少なくとも上面部分は、マグネ
ットを吸引する磁性体で構成されており、その上に載置
される試料台４はマグネットで構成されている。すなわ
ち、試料台４はマグネットと磁性体との間の吸引力によ
って回転台１の上面に吸着固定されている。試料５は試
料台４の上面に接着剤等によって固定される。回転砥石
１４は砥石回転軸１５とともに、昇降自在である。ま
た、回転砥石１４の中心点は回転台１の回転中心軸上に
位置しており、このため回転砥石１４が下降したときに
は砥石面１６は水平回転中心１８において研磨対象面２
７に当接する。

【０００５】図１８および図１９は、ディンプルグライ
ンダ５０の動作を示す斜視図であり、図２０は同じく動
作を示す正面断面図である。ディンプルグラインダ５０
を用いるには、まず試料５を試料台４の上面に接着剤等
を用いて固定する。その後、図１８に示すように、試料
５を試料台４とともに回転台１の上に設置する。このと
き、回転砥石１４は初期位置すなわち研磨対象面２７の
上方に位置している。上述したように、回転砥石１４の
中心点は回転台１の回転中心軸２ａの上に位置する。

【０００６】試料５の設置が終了すると、研磨作業を開
始する。このとき、図１９に示すように、回転台１が水
平回転するとともに、回転砥石１４が垂直回転する。回
転台１が水平回転することによって、水平回転中心１８
の周りに研磨対象面２７が水平回転する。その後、図１
９に示すように、垂直回転している回転砥石１４を下降
させることによって、水平回転している研磨対象面２７
に当接させる。このとき、砥石面１６は水平回転中心１
８において研磨対象面２７と当接する。砥石面１６を研
磨対象面２７に押し当てるべく回転砥石１４を下方に押
圧することによって、研磨対象面２７を研磨加工する。

【０００７】図２０の断面図は、この研磨加工が進行し
つつある途上を示している。この図２０に示されるよう
に、研磨対象面２７には砥石面１６に相応する加工面１
７が形成される。試料５が水平回転していることから、
この加工面１７は水平回転中心１８を中心とするディン
プル状となる。加工が終了すると、回転砥石１４を上昇
させ、つぎに、回転砥石１４および回転台１の回転を停
止する。その後、試料５を試料台４とともに回転台１か
ら取り外す。

【０００８】図２１および図２２はそれぞれ、加工終了
後の試料５の形状を示す正面断面図および平面図であ
る。これらの図２１、図２２に示すように、研磨対象面
２７には水平回転中心１８を中心とするディンプル状の
加工面１７が形成されている。試料５をＴＥＭの観察対
象に供する場合には、ディンプル状の加工面１７の最深
部、すなわち試料５の最も薄い部位が観察対象部位とな
る。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来のディ
ンプルグラインダ５０では、試料５を試料台４に接着す
るときには、試料５の上面にあらかじめ形成されるマー
キング６を標的として、目視で互いの位置合わせを行っ
ていた。また、試料５が搭載された試料台４を回転台１
の上面に設置する際にも、その位置合わせはマーキング
６を標的とする目視によって行われていた。

【００１０】このため、図２３の正面図および図２４の
平面図に示すように、研磨対象面２７の中のディンプル
加工を施すべき部位（マーキング６が施されている地
点）が、水平回転中心１８からずれた状態で試料５が回
転台１の上に設置されることがあるという問題点があっ
た。すなわち、従来のディンプルグラインダ５０では、
加工を施すべき部位を、本来の位置である水平回転中心
１８に精度よく合わせることが困難であるという問題点
があった。

【００１１】その結果、加工終了後にディンプル状の加
工面１７の中心点が本来意図する部位からずれることが
あった。このため、試料５を例えばＴＥＭ観察に供する
際には、あらかじめ観察部位を精密に設定することが困
難であり、加工面１７の仕上がり結果に応じて観察部位
が最終的に決定されていた。

【００１２】また、マーキング６が試料５の下面、すな
わち研磨対象面２７の反対面に施されている場合があ
り、このときには試料５の下面が試料台４の上面に接着
される関係上、マーキング６が全く用をなさないため
に、位置合わせの精度が一層悪くなるという問題点があ
った。

【００１３】この発明は、従来の装置における上記のよ
うな問題点を解消するためになされたもので、試料の位
置合わせを精度よくかつ容易に行い得るディンプルグラ
インダを得ることを目的としており、さらに、マーキン
グが試料の下面に施されている場合にも精度のよい位置
合わせを可能にするディンプルグラインダを提供するこ
とを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】この発明にかかる請求項
１に記載のディンプルグラインダは、試料を固定的に搭
載可能な板状の試料台と、当該試料台を支持しつつ回転
可能な回転台と、回転可能な回転砥石とを備え、前記回
転台を回転させることによって前記試料に回転を付与
し、同時に前記回転砥石を回転させながらその周面を前
記試料表面の回転中心に押し当てることによって、当該
試料表面にディンプルを形成するディンプルグラインダ
において、前記回転台に前記試料台が嵌合可能な凹部が
形成されていることを特徴とする。

【００１５】この発明にかかる請求項２に記載のディン
プルグラインダは、請求項１に記載のディンプルグライ
ンダにおいて、前記凹部の開口形状と前記試料台の輪郭
形状とが非回転対称形であることを特徴とする。

【００１６】この発明にかかる請求項３に記載のディン
プルグラインダは、試料を固定的に搭載可能な板状の試
料台と、当該試料台を支持しつつ回転可能な回転台と、
回転可能な回転砥石とを備え、前記回転台を回転させる
ことによって前記試料に回転を付与し、同時に前記回転
砥石を回転させながらその周面を前記試料表面の回転中
心に押し当てることによって、当該試料表面にディンプ
ルを形成するディンプルグラインダにおいて、前記試料
における研磨を所望する部位を合わせるべき標的位置を
示すマーキングが前記試料台に施されていることを特徴
とする。

【００１７】この発明にかかる請求項４に記載のディン
プルグラインダは、請求項３に記載のディンプルグライ
ンダにおいて、前記試料台が、少なくとも前記標的位置
の近傍において、一方主面から他方主面を透視可能なよ
うに実質的に透明な材料で構成されていることを特徴と
する。

【００１８】この発明にかかる請求項５に記載のディン
プルグラインダは、請求項１ないし請求項３のいずれか
に記載のディンプルグラインダにおいて、前記試料台が
第１の磁性体を有し、前記回転台が第２の磁性体を有
し、前記第１及び第２の磁性体の少なくとも一方はマグ
ネットであって互いに磁気的吸引力を及ぼすことによっ
て、前記試料台が前記回転台に吸着固定可能であること
を特徴とする。

【００１９】この発明にかかる請求項６に記載のディン
プルグラインダは、試料を固定的に搭載可能な板状の試
料台と、当該試料台を支持しつつ回転可能な回転台と、
回転可能な回転砥石とを備え、前記回転台を回転させる
ことによって前記試料に回転を付与し、同時に前記回転
砥石を回転させながらその周面を前記試料表面の回転中
心に押し当てることによって、当該試料表面にディンプ
ルを形成するディンプルグラインダにおいて、前記試料
台が第１の磁性体を有するとともにその一方主面から他
方主面を透視可能な開口部または実質的に透明な部材を
有しており、前記回転台が第２の磁性体を有するととも
に当該回転台には少なくともその回転中心軸に沿って貫
通する空洞部または実質的に透明な部材が設けられてお
り、前記第１及び第２の磁性体の少なくとも一方はマグ
ネットであって互いに磁気的吸引力を及ぼすことによっ
て、前記試料台が前記回転台に吸着固定可能であること
を特徴とする。

【００２０】

【作用】

＜請求項１に記載の発明の作用＞この発明のディンプル
グラインダでは、回転台に形成された凹部に試料を嵌合
させることによって、試料を搭載した試料台と回転台と
の間の位置決めを精度よくかつ容易に行うことができ
る。

【００２１】＜請求項２に記載の発明の作用＞この発明
のディンプルグラインダでは、凹部の開口形状と試料台
の輪郭形状が非回転対称形であるので、試料台が凹部に
嵌合する際の向きが一義的に定まる。 ＜請求項３に記載の発明の作用＞この発明のディンプル
グラインダでは、試料台にマーキングが施されているの
で、試料を試料台に固定する際に、このマーキングを基
準とすることによって、試料の研磨を所望する部位を試
料台の標的位置に容易に位置合わせすることが可能であ
る。

【００２２】＜請求項４に記載の発明の作用＞この発明
のディンプルグラインダでは、試料台の標的位置の近傍
が、一方主面から他方主面を透視可能なように実質的に
透明な材料で構成されるので、研磨を所望する部位を示
すマーキングが、研磨対象面の反対面に施されている試
料を試料台に固定する際に、試料台のマーキングと試料
のマーキングとを透視することによって、試料の研磨を
所望する部位を標的位置に容易に位置合わせすることが
できる。

【００２３】＜請求項５に記載の発明の作用＞この発明
のディンプルグラインダでは、試料台は磁気的吸引力に
よって回転台に吸着固定されるので、試料台の固定およ
び取り外しが容易に行われ得る。

【００２４】＜請求項６に記載の発明の作用＞この発明
のディンプルグラインダでは、研磨を所望する部位を示
すマーキングが、研磨対象面の反対面に施されている試
料を試料台に固定する際に、このマーキングが試料台の
開口部または実質的に透明な部材に位置するように固定
される。そして、試料が固定された試料台を回転台の上
に載置する。このとき、回転台に設けられた空洞部また
は実質的に透明な部材を通してマーキングを透視するこ
とができるので、マーキングの位置が回転中心に一致す
るように試料台の位置を調節することができる。試料台
は磁気的吸引力によって回転台に吸着固定されるので、
試料台の位置の調節が容易に行われ得る。

【００２５】

【実施例】

＜第１実施例＞はじめに、第１実施例のディンプルグラ
インダについて説明する。図１および図２はそれぞれ、
この実施例のディンプルグラインダ１００の構成を示す
正面図および平面図である。図２では回転砥石１４およ
び砥石回転軸１５は図示を略している。なお以下の図に
おいて、図１５〜図２４に示した従来装置と同一部分に
は同一符号を付して、その詳細な説明を略する。

【００２６】図１および図２において、１０１は回転
台、そして、１０３は回転台１０１の上面に形成された
矩形の凹部である。凹部１０３は、矩形の試料台４が嵌
合するように形成され、その深さは、好ましくは試料台
４の厚さよりは浅く形成される。また、回転台１０１の
少なくとも凹部１０３の底面部分は磁性体で構成されて
おり、試料台４はマグネットで構成されている。試料５
は試料台４に接着剤等によって固定される。

【００２７】ディンプルグラインダ１００は以上のよう
に構成されるので、試料５が搭載された試料台４は凹部
１０３に嵌合することによってその位置が精度よく定ま
る。このため、マーキング６で表示される所望する加工
部位の位置を、水平回転中心１８へと容易に一致させる
ことができる。

【００２８】また、凹部１０３は試料台４の厚さよりも
浅く形成されているので、試料台４が回転台１０１へ嵌
合したときに、試料台４の上端部分が回転台１０１の上
面から露出する。このことは、試料５の加工後に試料台
４を凹部１０３から容易に取り出すことを可能にする。

【００２９】試料台４がマグネットで構成され、凹部１
０３の底面が磁性体で構成されるので、それらの間に作
用する磁気的吸引力によって、試料台４が凹部１０３に
固定される。このため、試料５の加工時に、凹部１０３
と試料台４との間の微小な隙間に起因して試料台４が水
平方向にずれたり、あるいは水平ないし垂直方向に振動
することを防ぐことができる。また、試料台４の固定お
よび取り外しが容易である。

【００３０】＜第２実施例＞次に、第２実施例のディン
プルグラインダについて説明する。図３は、この実施例
のディンプルグラインダ２００の構成を示す平面図であ
る。この図３では、先の図２と同様に回転砥石１４およ
び砥石回転軸１５の図示が略されている。

【００３１】図３において、２０１は回転台、２０３は
回転台２０１の上面に形成された略矩形の凹部、７は凹
部２０３の四隅の一つに設けられた張出部、そして、２
０４は凹部２０３に嵌合可能な板状の試料台である。

【００３２】すなわち、ディンプルグラインダ２００
は、凹部２０３に張出部７が設けられている点が、ディ
ンプルグラインダ１００とは特徴的に異なっている。ま
た、凹部２０３に嵌合する略矩形の試料台２０４には、
張出部７に相応した切欠き部がその四隅の一つに形成さ
れている。

【００３３】凹部２０３に張出部７が形成されているた
めに、凹部２０３の開口形状が非回転対称形となってい
る。また、凹部２０３の開口形状に相応する試料台２０
４の輪郭形状も非回転対称形となっている。このため、
試料台２０４を凹部２０３に嵌合させるときに、試料台
４の向きが一意に定まる。その結果、試料台２０４が回
転台２０１に取り付けられる方位の違いによるマーキン
グ６の位置のずれを防いで、マーキング６の位置精度を
一層高めることができる。

【００３４】＜第３実施例＞次に、第３実施例のディン
プルグラインダについて説明する。図４はこの実施例の
ディンプルグラインダに用いられる試料台３０４の平面
図であり、図５および図６は、それぞれ、試料５が搭載
された試料台３０４の正面図および平面図である。

【００３５】この実施例のディンプルグラインダは、板
状の試料台３０４の上面３０９すなわち試料５が固定さ
れる面に、マーキング３０８が施されている点が、第１
実施例の装置とは特徴的に異なる。マーキング３０８
は、試料５における加工を所望する部位すなわちマーキ
ング６の位置を合わせるべき標的位置を表示する。この
ため、マーキング３０８は、好ましくは図４に示される
ように、試料台３０４が回転台１０１の所定の位置に設
置されたときの水平回転中心１８で直交する２本の直線
状に形成される。２本の直線の交点が標的位置に相当す
る。また、マーキング３０８は、例えばＶ字状の溝によ
って形づくられる。

【００３６】試料５を上面３０９の上に固定する際に
は、図６に示すように、マーキング６が、マーキング３
０８の２本の直線の上に位置するように、すなわち標的
位置に一致するように、試料５と試料台３０４との間の
位置決めが行われる。マーキング６とマーキング３０８
との一致性は、例えば目視、あるいはマーキング３０８
に物差しを沿わせることによって確認される。

【００３７】このように、試料台３０４の上面にマーキ
ング３０８が施されているので、試料５と試料台３０４
との間の位置合わせが精度よくしかも容易に行われる。
また、試料台３０４は第１実施例のディンプルグライン
ダ１００と同様に、回転台１０１に設けられた凹部１０
３に嵌合するので、試料台３０４と回転台１０１との間
の位置合わせも良好に行われる。これらの結果、マーキ
ング６が水平回転中心１８に精度よくしかも容易に位置
決めされる。

【００３８】＜第４実施例＞次に、第４実施例のディン
プルグラインダについて説明する。図７はこの実施例の
ディンプルグラインダに用いられる試料台４０４の平面
図であり、図８および図９は、それぞれ、試料５が搭載
された試料台４０４の正面図および底面図である。

【００３９】この実施例のディンプルグラインダは、板
状の試料台４０４が透明な材質、例えば二酸化シリコン
（石英）で構成されている点が、第３実施例のディンプ
ルグラインダとは特徴的に異なる。試料台４０４の上面
４０９すなわち試料５が固定される面には、試料台３０
４と同様にマーキング４０８が施されている。マーキン
グ４０８は、好ましくは図７に示されるように、試料台
４０４が回転台１０１の所定の位置に設置されたときの
水平回転中心１８で直交する２本の直線状に形成され
る。また、マーキング４０８は、例えばＶ字状の溝によ
って形づくられる。

【００４０】このディンプルグラインダでは、下面１０
にマーキング６が施された試料５が使用に供される。こ
の試料５を上面４０９の上に固定する際には、図９に示
すように、マーキング６がマーキング４０８の交点（標
的位置）と重なるように、試料５と試料台４０４との間
の位置決めが行われる。マーキング４０８の交点とマー
キング６との一致性は、透明な試料台４０４を通してマ
ーキング４０８の交点とマーキング６とを直接に透視す
ることによって確認される。したがって、試料５と試料
台４０４との位置決めが一層精度よくしかも一層容易に
行い得る。

【００４１】また、図１０の正面図に示すように、この
実施例のディンプルグラインダ４００では、試料台４０
４は既述のディンプルグラインダ１００と同様に、回転
台１０１に設けられた凹部１０３に嵌合するので、試料
台４０４と回転台１０１との間の位置合わせも良好に行
われる。これらの結果、マーキング６が水平回転中心１
８に精度よくしかも容易に位置決めされる。

【００４２】＜第５実施例＞次に、第５実施例のディン
プルグラインダについて説明する。図１１は、この実施
例のディンプルグラインダに用いられる試料台５０４の
平面図であり、図１２および図１３は、それぞれ、試料
５が搭載された試料台５０４の正面図および底面図であ
る。

【００４３】この実施例のディンプルグラインダでは、
図１１に示すように、板状の試料台５０４がマグネット
で構成される枠体５１０とその中央部に開口する窓部を
覆う透明な窓板部分５１１とを備えている点が、第４実
施例のディンプルグラインダ４００とは特徴的に異な
る。窓板部分５１１は、例えば二酸化シリコン（石英）
で構成される。

【００４４】窓板部分５１１の上面と枠体５１０の上面
は、互いに同一平面をなしている。すなわち、試料台５
０４の上面５０９すなわち試料５が固定される面は平坦
である。窓板部分５１１の上面には、試料台４０４と同
様にマーキング５０８が施されている。マーキング５０
８は、好ましくは図１１に示されるように、試料台５０
４が回転台１０１の所定の位置に設置されたときの水平
回転中心１８で直交する２本の直線状に形成される。ま
た、マーキング５０８は、例えばＶ字状の溝によって形
づくられる。

【００４５】このディンプルグラインダでも、ディンプ
ルグラインダ４００と同様に、下面１０にマーキング６
が施された試料５が使用に供される。この試料５を上面
５０９の上に固定する際には、図１３に示すように、マ
ーキング６がマーキング５０８の交点（標的位置）と重
なるように、試料５と試料台５０４との間の位置決めが
行われる。マーキング５０８の交点とマーキング６との
一致性は、透明な窓板部分５１１を通してマーキング５
０８の交点とマーキング６とを直接に透視することによ
って確認される。したがって、試料５と試料台５０４と
の位置決めが精度よくしかも容易に行い得る。

【００４６】また、この実施例のディンプルグラインダ
では、ディンプルグラインダ４００と同様に、試料台５
０４が回転台１０１に設けられた凹部１０３に嵌合する
ので、試料台５０４と回転台１０１との間の位置合わせ
も良好に行われる。これらの結果、マーキング６が水平
回転中心１８に精度よくしかも容易に位置決めされる。

【００４７】しかも、枠体５１０がマグネットで構成さ
れるので、試料台５０４は回転台１０１に磁気的吸引力
で固定される。このため、研磨加工の際に、試料台５０
４が位置ずれしたり振動するのを防止することができ
る。しかも、試料台５０４の固定および取り外しが容易
である。

【００４８】＜第６実施例＞つぎに、第６実施例のディ
ンプルグラインダについて説明する。図１４は、この実
施例のディンプルグラインダの正面図である。図１４に
おいて、６００はディンプルグラインダ、６０１は回転
台、６０２は回転台１の一部であって外部のモータなど
の駆動装置と結合することによって水平回転を伝える駆
動軸、６０４は板状の試料台、そして、６１３は試料台
６０１の回転中心軸に沿って形成された空洞部である。
空洞部６１３は、二酸化シリコン等の透明な材料で充填
されていてもよい。回転台６０１の上面は磁性体で構成
されている。

【００４９】試料台６０４は、既述の試料台５０４と同
様に、マグネットで構成される枠体６１０とその中央部
に開口する窓部（開口部）を覆う透明な窓板部分６１１
とを備えている。ただし、窓板部分６１１の上面には、
マーキングが施されない点が、試料台５０４とは異なっ
ている。

【００５０】このディンプルグラインダ６００において
も、ディンプルグラインダ４００と同様に、下面１０に
マーキング６が施された試料５が使用に供される。ディ
ンプルグラインダ６００を使用するには、試料５の下面
１０を試料台６０４の上面に接着等によって固定した
後、試料５を搭載した試料台６０４を回転台６０１の上
面に載置する。そうして、空洞部６１３を通して下方か
ら目視または小型ＴＶカメラ等を用いたモニタによっ
て、試料５の下面１０に形成されているマーキング６の
位置を確認しつつ試料台６０４を回転台６０１上で適宜
水平移動させることによって、試料５の位置を決定す
る。

【００５１】このように、この実施例のディンプルグラ
インダ６００では、試料５に設けられたマーキング６を
直接確認することによって、試料５の位置合わせが行な
い得るので、試料５の位置が精度よく定まるという利点
がある。また、試料台６０４と回転台６０１とが磁気的
吸引力で固定されるので、試料５を位置合わせする際に
試料台６０４の水平移動が容易に行い得るという利点が
ある。

【００５２】＜その他の実施例＞ （１） 上述の実施例では、試料台４、２０４、３０４
および枠体５１０、６１０は、マグネットで構成されて
いたが、一般にそれらがマグネットを含む構造であって
もよい。例えば、それらの部材の底面部分のみがマグネ
ットで構成されていてもよい。あるいは、それらの部材
の複数箇所にマグネットが埋設されていてもよい。

【００５３】（２） 上述の実施例では、凹部１０３、
２０３の底面部分、回転台６０１の上面部分は、磁性体
で構成されていたが、一般にそれらの部分が磁性体を含
む構造であってもよい。例えば、凹部１０３の底面部
分、あるいは回転台６０１の上面部分の複数箇所に磁性
体が埋設されていてもよい。

【００５４】（３） 上述の実施例において、マグネッ
トと磁性体とは互いに逆に配設してもよい。例えば試料
台４が磁性体で構成され、凹部１０３の底面の複数箇所
にマグネットが埋設されていてもよい。あるいは、互い
に磁気的吸引力を及ぼすように双方にマグネットを配設
してもよい。

【００５５】（４） 第１〜第３実施例および第５実施
例において、試料台４、２０４、３０４、５０４と回転
台１０１、２０１に、マグネットも磁性体も設けられな
い構成も可能である。このとき、凹部１０３と試料台
４、３０４、５０４との間、および凹部２０３と試料台
２０４との間は、互いに隙間なく密に嵌合するように構
成するのが望ましい。あるいは、磁気的吸引力を利用す
る代わりにネジで締結するなど、他の固定手段を講じて
もよい。

【００５６】（５） 第６実施例においては、試料台６
０４は窓板部分６１１を備えず、窓板部分６１１に相当
する領域を空洞としてもよい。

【００５７】

【発明の効果】

＜請求項１に記載の発明の効果＞この発明のディンプル
グラインダでは、回転台に形成された凹部に試料を嵌合
させることによって、試料を搭載した試料台と回転台と
の間の位置決めを精度よくかつ容易に行うことができる
ので、試料表面における研磨を所望する部位と回転中心
とを容易に一致させることができる。

【００５８】＜請求項２に記載の発明の効果＞この発明
のディンプルグラインダでは、試料台が凹部に嵌合する
際の向きが一義的に定まるので、試料台が回転台に取り
付けられる方位の違いによる加工部位のずれを防いで、
加工部位の位置精度を一層高めることができる。

【００５９】＜請求項３に記載の発明の効果＞この発明
のディンプルグラインダでは、試料を試料台に固定する
際に、マーキングを基準とすることによって、試料の研
磨を所望する部位を試料台の標的位置に容易に位置合わ
せすることが可能である。このため、試料表面における
研磨を所望する部位と回転中心とを容易に一致させるこ
とができる。

【００６０】＜請求項４に記載の発明の効果＞この発明
のディンプルグラインダでは、研磨を所望する部位を示
すマーキングが、研磨対象面の反対面に施されている試
料を研磨対象とし、その試料を試料台に固定する際に、
試料台のマーキングと試料のマーキングとを透視するこ
とによって、試料の研磨を所望する部位を標的位置に容
易に位置合わせすることができる。このため、試料表面
における研磨を所望する部位と回転中心とを容易に一致
させることができる。

【００６１】＜請求項５に記載の発明の効果＞この発明
のディンプルグラインダでは、試料台は磁気的吸引力に
よって回転台に吸着固定されるので、試料台の固定およ
び取り外しが容易に行われ得る。

【００６２】＜請求項６に記載の発明の効果＞この発明
のディンプルグラインダでは、研磨を所望する部位を示
すマーキングが、研磨対象面の反対面に施されている試
料を研磨対象とし、その試料を試料台とともに回転台に
固定する際には、回転台に設けられた空洞部または実質
的に透明な部材と、試料台の開口部または実質的に透明
な部材とを通してマーキングを透視することができるの
で、マーキングの位置が回転中心に一致するように試料
台の位置を調節することができる。このため、試料表面
における研磨を所望する部位と回転中心とを容易に一致
させることができる。さらに、試料台は磁気的吸引力に
よって回転台に吸着固定されるので、試料台の位置の調
節が容易に行われ得るという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】 第１実施例のディンプルグラインダの正面図
である。

【図２】 第１実施例のディンプルグラインダの平面図
である。

【図３】 第２実施例のディンプルグラインダの平面図
である。

【図４】 第３実施例の試料台の平面図である。

【図５】 第３実施例の試料を搭載した試料台の正面図
である。

【図６】 第３実施例の試料を搭載した試料台の平面図
である。

【図７】 第４実施例の試料台の平面図である。

【図８】 第４実施例の試料を搭載した試料台の正面図
である。

【図９】 第４実施例の試料を搭載した試料台の底面図
である。

【図１０】 第４実施例のディンプルグラインダの正面
図である。

【図１１】 第５実施例の試料台の平面図である。

【図１２】 第５実施例の試料を搭載した試料台の正面
図である。

【図１３】 第５実施例の試料を搭載した試料台の底面
図である。

【図１４】 第６実施例のディンプルグラインダの正面
図である。

【図１５】 従来のディンプルグラインダの正面図であ
る。

【図１６】 従来のディンプルグラインダの側面図であ
る。

【図１７】 従来のディンプルグラインダの平面図であ
る。

【図１８】 従来のディンプルグラインダの斜視図であ
る。

【図１９】 従来のディンプルグラインダの斜視図であ
る。

【図２０】 従来のディンプルグラインダの正面断面図
である。

【図２１】 加工後の試料を搭載した試料台の正面断面
図である。

【図２２】 加工後の試料を搭載した試料台の平面図で
ある。

【図２３】 従来のディンプルグラインダの正面図であ
る。

【図２４】 従来のディンプルグラインダの平面図であ
る。

【符号の説明】

５ 試料、４，２０４，３０４，４０４，５０４，６０
４ 試料台、１０１，２０１，６０１ 回転台、１４
回転砥石、１８ 水平回転中心（回転中心）、１６ 砥
石面（周面）、１００，２００，４００，６００ ディ
ンプルグラインダ、１０３，２０３，４０４ 凹部、３
０８，４０８，５０８ マーキング、５１０，６１０
枠体、６１３ 空洞部。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 試料を固定的に搭載可能な板状の試料台
   と、当該試料台を支持しつつ回転可能な回転台と、回転
   可能な回転砥石とを備え、前記回転台を回転させること
   によって前記試料に回転を付与し、同時に前記回転砥石
   を回転させながらその周面を前記試料表面の回転中心に
   押し当てることによって、当該試料表面にディンプルを
   形成するディンプルグラインダにおいて、前記回転台に
   前記試料台が嵌合可能な凹部が形成されていることを特
   徴とするディンプルグラインダ。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のディンプルグラインダ
   において、前記凹部の開口形状と前記試料台の輪郭形状
   とが非回転対称形であることを特徴とするディンプルグ
   ラインダ。
3. 【請求項３】 試料を固定的に搭載可能な板状の試料台
   と、当該試料台を支持しつつ回転可能な回転台と、回転
   可能な回転砥石とを備え、前記回転台を回転させること
   によって前記試料に回転を付与し、同時に前記回転砥石
   を回転させながらその周面を前記試料表面の回転中心に
   押し当てることによって、当該試料表面にディンプルを
   形成するディンプルグラインダにおいて、前記試料にお
   ける研磨を所望する部位を合わせるべき標的位置を示す
   マーキングが前記試料台に施されていることを特徴とす
   るディンプルグラインダ。
4. 【請求項４】 請求項３に記載のディンプルグラインダ
   において、前記試料台が、少なくとも前記標的位置の近
   傍において、一方主面から他方主面を透視可能なように
   実質的に透明な材料で構成されていることを特徴とする
   ディンプルグラインダ。
5. 【請求項５】 請求項１ないし請求項３のいずれかに記
   載のディンプルグラインダにおいて、前記試料台が第１
   の磁性体を有し、前記回転台が第２の磁性体を有し、前
   記第１及び第２の磁性体の少なくとも一方はマグネット
   であって互いに磁気的吸引力を及ぼすことによって、前
   記試料台が前記回転台に吸着固定可能であることを特徴
   とするディンプルグラインダ。
6. 【請求項６】 試料を固定的に搭載可能な板状の試料台
   と、当該試料台を支持しつつ回転可能な回転台と、回転
   可能な回転砥石とを備え、前記回転台を回転させること
   によって前記試料に回転を付与し、同時に前記回転砥石
   を回転させながらその周面を前記試料表面の回転中心に
   押し当てることによって、当該試料表面にディンプルを
   形成するディンプルグラインダにおいて、前記試料台が
   第１の磁性体を有するとともにその一方主面から他方主
   面を透視可能な開口部または実質的に透明な部材を有し
   ており、前記回転台が第２の磁性体を有するとともに当
   該回転台には少なくともその回転中心軸に沿って貫通す
   る空洞部または実質的に透明な部材が設けられており、
   前記第１及び第２の磁性体の少なくとも一方はマグネッ
   トであって互いに磁気的吸引力を及ぼすことによって、
   前記試料台が前記回転台に吸着固定可能であることを特
   徴とするディンプルグラインダ。