JPH1140655A - 基板回転保持装置および回転式基板処理装置 - Google Patents
基板回転保持装置および回転式基板処理装置Info
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- JPH1140655A JPH1140655A JP9193703A JP19370397A JPH1140655A JP H1140655 A JPH1140655 A JP H1140655A JP 9193703 A JP9193703 A JP 9193703A JP 19370397 A JP19370397 A JP 19370397A JP H1140655 A JPH1140655 A JP H1140655A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 上下振動に対して高い保持力を有する基板回
転保持装置およびそれを備えた回転式基板処理装置を提
供することである。 【解決手段】 回転部材２の上面に回転軸Ａと同軸の円
周に沿って複数の回転式保持ピン５が取り付けられてい
る。回転式保持ピン５は、円柱状の支持部６およびその
支持部６よりも小さな直径を有する逆円錐台形状の保持
部７からなる。支持部６は、回転部材２に回動可能に取
り付けられ、保持部７は、支持部６の上面に回動軸に対
して偏心して設けられる。支持部６の回動に伴って保持
部７の外周面が基板１００の外周端面に当接することに
より、基板１００を水平方向に保持する力および基板１
００を下方に押さえる力が作用する。
転保持装置およびそれを備えた回転式基板処理装置を提
供することである。 【解決手段】 回転部材２の上面に回転軸Ａと同軸の円
周に沿って複数の回転式保持ピン５が取り付けられてい
る。回転式保持ピン５は、円柱状の支持部６およびその
支持部６よりも小さな直径を有する逆円錐台形状の保持
部７からなる。支持部６は、回転部材２に回動可能に取
り付けられ、保持部７は、支持部６の上面に回動軸に対
して偏心して設けられる。支持部６の回動に伴って保持
部７の外周面が基板１００の外周端面に当接することに
より、基板１００を水平方向に保持する力および基板１
００を下方に押さえる力が作用する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板を水平に保持
しつつ回転させる基板回転保持装置およびそれを備えた
回転式基板処理装置に関する。
しつつ回転させる基板回転保持装置およびそれを備えた
回転式基板処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】回転式塗布装置および回転式現像装置等
の回転式基板処理装置においては、半導体ウエハ等の基
板を水平に保持しながら回転させる必要がある。一般的
には、基板の裏面を真空吸着により吸引保持する吸引式
スピンチャックが用いられている。しかしながら、吸引
式スピンチャクでは、基板を確実に吸引保持するために
強力な吸引を行っているので、基板の裏面に吸着跡が残
る。基板裏面の吸着跡は、露光処理時のフォーカス異常
を引き起こすという問題がある。
の回転式基板処理装置においては、半導体ウエハ等の基
板を水平に保持しながら回転させる必要がある。一般的
には、基板の裏面を真空吸着により吸引保持する吸引式
スピンチャックが用いられている。しかしながら、吸引
式スピンチャクでは、基板を確実に吸引保持するために
強力な吸引を行っているので、基板の裏面に吸着跡が残
る。基板裏面の吸着跡は、露光処理時のフォーカス異常
を引き起こすという問題がある。
【０００３】そこで、基板の裏面を支持するとともに基
板の外周端面を保持しつつ基板に回転力を伝達するメカ
式スピンチャックが提案されている。このようなメカ式
スピンチャックに用いる保持ピンとして、回転式保持ピ
ンが提案されている。
板の外周端面を保持しつつ基板に回転力を伝達するメカ
式スピンチャックが提案されている。このようなメカ式
スピンチャックに用いる保持ピンとして、回転式保持ピ
ンが提案されている。
【０００４】図１０（ａ），（ｂ），（ｃ）はメカ式ス
ピンチャックに用いられる回転式保持ピンの一例を示す
平面図、側面図および斜視図である。
ピンチャックに用いられる回転式保持ピンの一例を示す
平面図、側面図および斜視図である。
【０００５】図１０に示すように、回転式保持ピン３０
は、円柱状の支持部３１および円柱状の保持部３２から
なる。保持部３２は、支持部３１上に偏心して設けられ
ている。この回転式保持ピン３０は、鉛直方向の軸の周
りで矢印ｘ，ｙで示す方向に回動可能に回転部材（回転
ステージ）上に取り付けられている。
は、円柱状の支持部３１および円柱状の保持部３２から
なる。保持部３２は、支持部３１上に偏心して設けられ
ている。この回転式保持ピン３０は、鉛直方向の軸の周
りで矢印ｘ，ｙで示す方向に回動可能に回転部材（回転
ステージ）上に取り付けられている。
【０００６】回転式保持ピン３０が矢印ｘの方向に回動
すると、保持部３２の外周面が基板１００の外周端面に
当接し、基板１００が水平方向に保持される。逆に、回
転式保持ピン３０が矢印ｙの方向に回動すると、基板１
００の保持が解除される。
すると、保持部３２の外周面が基板１００の外周端面に
当接し、基板１００が水平方向に保持される。逆に、回
転式保持ピン３０が矢印ｙの方向に回動すると、基板１
００の保持が解除される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】図１０に示した回転式
保持ピン３０では、上下振動に対する保持力が低いた
め、基板の回転時に、回転速度によっては異音を発生し
たり、基板が上下に振動することがある。
保持ピン３０では、上下振動に対する保持力が低いた
め、基板の回転時に、回転速度によっては異音を発生し
たり、基板が上下に振動することがある。
【０００８】本発明の目的は、上下振動に対して高い保
持力を有する基板回転保持装置およびそれを備えた回転
式基板処理装置を提供することである。
持力を有する基板回転保持装置およびそれを備えた回転
式基板処理装置を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段および発明の効果】第１の
発明に係る基板回転保持装置は、基板を水平に保持しつ
つ回転させる基板回転保持装置であって、水平姿勢で回
転駆動される回転部材と、回転部材上に載置される基板
の外周部に沿うように配置され、基板の外周端面に当接
する基板保持位置と基板の外周端面から離間する基板開
放位置との間で移動可能な複数の保持部材とを備え、複
数の保持部材の各々が、上方に向かって漸次径大となる
テーパ状の保持部を有するものである。
発明に係る基板回転保持装置は、基板を水平に保持しつ
つ回転させる基板回転保持装置であって、水平姿勢で回
転駆動される回転部材と、回転部材上に載置される基板
の外周部に沿うように配置され、基板の外周端面に当接
する基板保持位置と基板の外周端面から離間する基板開
放位置との間で移動可能な複数の保持部材とを備え、複
数の保持部材の各々が、上方に向かって漸次径大となる
テーパ状の保持部を有するものである。
【００１０】本発明に係る基板回転保持装置において
は、各保持部材が基板保持位置に移動すると、上方に向
かって漸次径大となるテーパ状の保持部の外周面が基板
の外周端面に当接する。それにより、基板を水平方向に
保持する力が作用するとともに、基板を下方に押さえる
力が作用する。したがって、上下振動に対する保持力が
高くなり、異音の発生や基板の上下振動が防止される。
は、各保持部材が基板保持位置に移動すると、上方に向
かって漸次径大となるテーパ状の保持部の外周面が基板
の外周端面に当接する。それにより、基板を水平方向に
保持する力が作用するとともに、基板を下方に押さえる
力が作用する。したがって、上下振動に対する保持力が
高くなり、異音の発生や基板の上下振動が防止される。
【００１１】第２の発明に係る基板回転保持装置は、基
板を水平に保持しつつ回転させる基板回転保持装置であ
って、水平姿勢で回転駆動される回転部材と、回転部材
に鉛直方向の軸の周りで回動可能に取り付けられ、回動
に伴って基板の外周端面に当接する複数の保持部材とを
備え、複数の保持部材の各々が、上方に向かって漸次径
大となるテーパ状の保持部を有するものである。
板を水平に保持しつつ回転させる基板回転保持装置であ
って、水平姿勢で回転駆動される回転部材と、回転部材
に鉛直方向の軸の周りで回動可能に取り付けられ、回動
に伴って基板の外周端面に当接する複数の保持部材とを
備え、複数の保持部材の各々が、上方に向かって漸次径
大となるテーパ状の保持部を有するものである。
【００１２】本発明に係る基板回転保持装置において
は、各保持部材が鉛直方向の軸の周りで一方向に回動す
ることにより、上方に向かって漸次径大となるテーパ状
の保持部の外周面が基板の外周端面に当接する。それに
より、基板を水平方向に保持する力が作用するととも
に、基板を下方に押さえる力が作用する。したがって、
上下振動に対する保持力が高くなり、異音の発生や基板
の上下振動が防止される。
は、各保持部材が鉛直方向の軸の周りで一方向に回動す
ることにより、上方に向かって漸次径大となるテーパ状
の保持部の外周面が基板の外周端面に当接する。それに
より、基板を水平方向に保持する力が作用するととも
に、基板を下方に押さえる力が作用する。したがって、
上下振動に対する保持力が高くなり、異音の発生や基板
の上下振動が防止される。
【００１３】また、各保持部材が鉛直方向の軸の周りで
逆方向に回動して保持部の外周面が基板の外周端面から
離れると、基板を上方に搬出することが可能となる。
逆方向に回動して保持部の外周面が基板の外周端面から
離れると、基板を上方に搬出することが可能となる。
【００１４】第３の発明に係る基板回転保持装置は、第
２の発明に係る基板回転保持装置の構成において、複数
の保持部材の各々が、鉛直方向の軸の周りで回動可能に
回転部材に取り付けられた支持部をさらに含み、各保持
部は、支持部の回動に伴って基板の外周端面に当接する
ように支持部の回動軸に対して偏心して設けられたもの
である。
２の発明に係る基板回転保持装置の構成において、複数
の保持部材の各々が、鉛直方向の軸の周りで回動可能に
回転部材に取り付けられた支持部をさらに含み、各保持
部は、支持部の回動に伴って基板の外周端面に当接する
ように支持部の回動軸に対して偏心して設けられたもの
である。
【００１５】この場合、各保持部材の支持部が鉛直方向
の軸の周りで一方向に回動することにより、上方に向か
って漸次径大となるテーパ状の保持部の外周面が基板の
外周端面に当接し、各保持部材の支持部が鉛直方向の軸
の周りで逆方向に回動することにより、保持部の外周面
が基板の外周端面から離れる。
の軸の周りで一方向に回動することにより、上方に向か
って漸次径大となるテーパ状の保持部の外周面が基板の
外周端面に当接し、各保持部材の支持部が鉛直方向の軸
の周りで逆方向に回動することにより、保持部の外周面
が基板の外周端面から離れる。
【００１６】第４の発明に係る基板回転保持装置は、基
板を水平に保持しつつ回転させる基板回転保持装置であ
って、水平姿勢で回転駆動される回転部材と、回転部材
に鉛直方向の軸の周りで回動可能に取り付けられ、回動
に伴って基板の外周端面に当接する複数の保持部材とを
備え、複数の保持部材の各々は、鉛直方向に延びる一方
の側面と上方に向かって外側に傾斜して延びる他方の側
面とを有する保持部を含むものである。
板を水平に保持しつつ回転させる基板回転保持装置であ
って、水平姿勢で回転駆動される回転部材と、回転部材
に鉛直方向の軸の周りで回動可能に取り付けられ、回動
に伴って基板の外周端面に当接する複数の保持部材とを
備え、複数の保持部材の各々は、鉛直方向に延びる一方
の側面と上方に向かって外側に傾斜して延びる他方の側
面とを有する保持部を含むものである。
【００１７】本発明に係る基板回転保持装置において
は、各保持部材が鉛直方向の軸の周りで一方向に回動す
ることにより、保持部の上方に向かって外側に傾斜して
延びる側面が基板の外周端面に当接する。それにより、
基板を水平方向に保持する力が作用するとともに、基板
を下方に押さえる力が作用する。したがって、上下振動
に対する保持力が高くなり、異音の発生や基板の上下振
動が防止される。
は、各保持部材が鉛直方向の軸の周りで一方向に回動す
ることにより、保持部の上方に向かって外側に傾斜して
延びる側面が基板の外周端面に当接する。それにより、
基板を水平方向に保持する力が作用するとともに、基板
を下方に押さえる力が作用する。したがって、上下振動
に対する保持力が高くなり、異音の発生や基板の上下振
動が防止される。
【００１８】また、各保持部材が逆方向に回動して保持
部の鉛直方向に延びる側面が基板の外周端面に対向する
と、基板を上方に搬出することが可能となる。
部の鉛直方向に延びる側面が基板の外周端面に対向する
と、基板を上方に搬出することが可能となる。
【００１９】第５の発明に係る基板回転保持装置は、第
４の発明に係る基板回転保持装置の構成において、複数
の保持部材の各々が、鉛直方向の軸の周りで回動可能に
回転部材に取り付けられた支持部をさらに含み、各保持
部は、支持部の回動に伴って上方に向かって傾斜して延
びる他方の側面で基板の外周端面に当接するように支持
部に設けられたものである。
４の発明に係る基板回転保持装置の構成において、複数
の保持部材の各々が、鉛直方向の軸の周りで回動可能に
回転部材に取り付けられた支持部をさらに含み、各保持
部は、支持部の回動に伴って上方に向かって傾斜して延
びる他方の側面で基板の外周端面に当接するように支持
部に設けられたものである。
【００２０】この場合、各保持部材の支持部が鉛直方向
の軸の周りで一方向に回動することにより、保持部の上
方に向かって外側に傾斜して延びる側面が基板の外周端
面に当接し、各保持部材の支持部が鉛直方向の軸の周り
で逆方向に回動することにより、保持部の鉛直方向に延
びる側面が基板の外周端面に対向する。
の軸の周りで一方向に回動することにより、保持部の上
方に向かって外側に傾斜して延びる側面が基板の外周端
面に当接し、各保持部材の支持部が鉛直方向の軸の周り
で逆方向に回動することにより、保持部の鉛直方向に延
びる側面が基板の外周端面に対向する。
【００２１】第６の発明に係る回転式基板処理装置は、
第１〜第５のいずれかの発明に係る基板回転保持装置
と、基板回転保持装置の回転部材を回転駆動する駆動手
段と、基板回転保持装置に保持される基板に所定の処理
を行う処理手段とを備えたものである。
第１〜第５のいずれかの発明に係る基板回転保持装置
と、基板回転保持装置の回転部材を回転駆動する駆動手
段と、基板回転保持装置に保持される基板に所定の処理
を行う処理手段とを備えたものである。
【００２２】本発明に係る回転式基板処理装置において
は、第１〜第５のいずれかの発明に係る基板回転保持装
置が設けられているので、上下振動に対して高い保持力
が得られる。したがって、基板の回転時に異音の発生や
基板の上下振動が発生せず、基板に良好な状態で処理を
行うことが可能となる。
は、第１〜第５のいずれかの発明に係る基板回転保持装
置が設けられているので、上下振動に対して高い保持力
が得られる。したがって、基板の回転時に異音の発生や
基板の上下振動が発生せず、基板に良好な状態で処理を
行うことが可能となる。
【００２３】
【発明の実施の形態】図１は本発明の第１の実施例にお
ける基板回転保持装置を用いた回転式基板処理装置の概
略断面図、図２は図１の基板回転保持装置の概略平面図
である。
ける基板回転保持装置を用いた回転式基板処理装置の概
略断面図、図２は図１の基板回転保持装置の概略平面図
である。
【００２４】図１および図２において、基板回転保持装
置１は、円形板状の回転部材２を備える。回転部材２
は、モータ３のシャフト４の先端部に水平に固定され、
鉛直方向の回転軸Ａの周りで回転駆動される。回転部材
２の上面には回転軸Ａと同軸の円周に沿って複数の回転
式保持ピン５が取り付けられている。
置１は、円形板状の回転部材２を備える。回転部材２
は、モータ３のシャフト４の先端部に水平に固定され、
鉛直方向の回転軸Ａの周りで回転駆動される。回転部材
２の上面には回転軸Ａと同軸の円周に沿って複数の回転
式保持ピン５が取り付けられている。
【００２５】回転式保持ピン５は、円柱状の支持部６、
およびその支持部６よりも小さな直径を有する逆円錐台
形状の保持部７からなる。図２に示すように、支持部６
は、その中心軸と同軸の回動軸６ａの周りで回動可能に
回転部材２に取り付けられている。保持部７は、支持部
６の上面に回動軸６ａに対して偏心して設けられてい
る。支持部６の回動により保持部７の外周面が基板１０
０の外周端面に当接する。
およびその支持部６よりも小さな直径を有する逆円錐台
形状の保持部７からなる。図２に示すように、支持部６
は、その中心軸と同軸の回動軸６ａの周りで回動可能に
回転部材２に取り付けられている。保持部７は、支持部
６の上面に回動軸６ａに対して偏心して設けられてい
る。支持部６の回動により保持部７の外周面が基板１０
０の外周端面に当接する。
【００２６】図１に示すように、回転部材２の下方に
は、リング状磁石９が回転軸Ａと同軸に上下動自在に配
設されている。また、基板回転保持装置１の周囲を取り
囲むようにカップ５０が上下動自在に配設されている。
回転部材１の上方には、現像液、レジスト液等の処理液
を吐出する処理液吐出ノズル２０が上下方向および水平
方向に移動可能に設けられている。
は、リング状磁石９が回転軸Ａと同軸に上下動自在に配
設されている。また、基板回転保持装置１の周囲を取り
囲むようにカップ５０が上下動自在に配設されている。
回転部材１の上方には、現像液、レジスト液等の処理液
を吐出する処理液吐出ノズル２０が上下方向および水平
方向に移動可能に設けられている。
【００２７】図３は回転式保持ピンおよびその下部に取
り付けられた磁石保持部を示す斜視図である。図３に示
すように、回転式保持ピン５の支持部６の下部には、回
動軸６ａと同軸の回転軸体１０を介して円形の磁石保持
部１１が取り付けられている。磁石保持部１１の中央部
には棒状の永久磁石１２が内蔵されている。
り付けられた磁石保持部を示す斜視図である。図３に示
すように、回転式保持ピン５の支持部６の下部には、回
動軸６ａと同軸の回転軸体１０を介して円形の磁石保持
部１１が取り付けられている。磁石保持部１１の中央部
には棒状の永久磁石１２が内蔵されている。
【００２８】本実施例では、回転式保持ピン５が保持部
材に相当し、モータ３が駆動手段に相当し、処理液吐出
ノズル２０が処理手段に相当する。
材に相当し、モータ３が駆動手段に相当し、処理液吐出
ノズル２０が処理手段に相当する。
【００２９】図４および図５は図１および図２の基板回
転保持装置１の構成および動作を説明するための図であ
り、（ａ）は回転式保持ピンおよびその周辺部の部分断
面図、（ｂ）は回転式保持ピンの平面図である。図５
（ｃ）は回転式保持ピンにより基板に作用する力を示す
図である。
転保持装置１の構成および動作を説明するための図であ
り、（ａ）は回転式保持ピンおよびその周辺部の部分断
面図、（ｂ）は回転式保持ピンの平面図である。図５
（ｃ）は回転式保持ピンにより基板に作用する力を示す
図である。
【００３０】図４（ａ）および図５（ａ）に示すよう
に、回転式保持ピン５の回転軸体１０は回動軸受け１３
を介して回転部材２に回動自在に支持されている。回動
軸受け１３には、回動摩擦を抑えるために例えばベアリ
ング機構が設けられている。
に、回転式保持ピン５の回転軸体１０は回動軸受け１３
を介して回転部材２に回動自在に支持されている。回動
軸受け１３には、回動摩擦を抑えるために例えばベアリ
ング機構が設けられている。
【００３１】基板１００の処理前および処理後には、図
４（ａ）に示すように、リング状磁石９が回転部材２の
下方に離れて位置する。このとき、リング状磁石９が形
成する磁力線Ｂは、永久磁石１２が配置される高さにお
いて、回転部材２の外側から中心部に向かう方向に向い
ている。したがって、永久磁石１２のＮ極が回転部材２
の中心部に向かう方向に吸引される。それにより、図４
（ｂ）に示すように、回転式保持ピン５は、矢印Ｘの方
向に回動し、保持部７の外周面が基板１００の外周端面
から離れる。
４（ａ）に示すように、リング状磁石９が回転部材２の
下方に離れて位置する。このとき、リング状磁石９が形
成する磁力線Ｂは、永久磁石１２が配置される高さにお
いて、回転部材２の外側から中心部に向かう方向に向い
ている。したがって、永久磁石１２のＮ極が回転部材２
の中心部に向かう方向に吸引される。それにより、図４
（ｂ）に示すように、回転式保持ピン５は、矢印Ｘの方
向に回動し、保持部７の外周面が基板１００の外周端面
から離れる。
【００３２】基板１００を処理する際には、図５（ａ）
に示すように、リング状磁石９が上昇して回転部材２に
接近する。したがって、永久磁石１２のＳ極がリング状
磁石９のＮ極に吸引される。それにより、図５（ｂ）に
示すように、回転式保持ピン５が矢印Ｙの方向に回動
し、保持部７の外周面が基板１００の外周端面に当接す
る。この場合、保持部７が逆円錐台形状を有するので、
図５（ｃ）に示すように、基板１００を水平方向に保持
する力ｆ1 が作用するとともに、基板１００を下方に押
える力ｆ2 が作用し、それらの合力ｆ3 が基板１００に
作用する。
に示すように、リング状磁石９が上昇して回転部材２に
接近する。したがって、永久磁石１２のＳ極がリング状
磁石９のＮ極に吸引される。それにより、図５（ｂ）に
示すように、回転式保持ピン５が矢印Ｙの方向に回動
し、保持部７の外周面が基板１００の外周端面に当接す
る。この場合、保持部７が逆円錐台形状を有するので、
図５（ｃ）に示すように、基板１００を水平方向に保持
する力ｆ1 が作用するとともに、基板１００を下方に押
える力ｆ2 が作用し、それらの合力ｆ3 が基板１００に
作用する。
【００３３】このように、本実施例においては、回転式
保持ピン５の逆円錐台形状を有する保持部７により基板
１００が水平方向に保持されるとともに、下方に押さえ
られるので、上下振動に対する保持力が高くなる。その
結果、基板１００の回転時に、異音の発生や基板１００
の上下振動が防止される。
保持ピン５の逆円錐台形状を有する保持部７により基板
１００が水平方向に保持されるとともに、下方に押さえ
られるので、上下振動に対する保持力が高くなる。その
結果、基板１００の回転時に、異音の発生や基板１００
の上下振動が防止される。
【００３４】図６（ａ），（ｂ）は本発明の第２の実施
例における基板回転保持装置に用いられる回転式保持ピ
ンの平面図および正面図である。また、図７は図６の回
転式保持ピンおよびその下部に取り付けられた磁石保持
部を示す斜視図である。
例における基板回転保持装置に用いられる回転式保持ピ
ンの平面図および正面図である。また、図７は図６の回
転式保持ピンおよびその下部に取り付けられた磁石保持
部を示す斜視図である。
【００３５】図６および図７に示すように、回転式保持
ピン１５は、円柱状の支持部１６、およびその支持部１
６よりも小さな径を有する保持部１７からなる。第１の
実施例と同様に、支持部１６は、その中心軸と同軸の回
動軸６ａの周りで回動可能に図１および図２の回転部材
２に取り付けられている。
ピン１５は、円柱状の支持部１６、およびその支持部１
６よりも小さな径を有する保持部１７からなる。第１の
実施例と同様に、支持部１６は、その中心軸と同軸の回
動軸６ａの周りで回動可能に図１および図２の回転部材
２に取り付けられている。
【００３６】保持部１７は、鉛直方向に延びる一方の側
面１７ａおよび上方に向かって外側に傾斜して延びる他
方の側面１７ｂを有する。保持部１７の底面は円形とな
っており、上面は楕円形となっている。保持部１７は、
支持部１６の上面に回動軸６ａとほぼ同軸に設けられて
いる。支持部１６の回動により保持部１７の側面１７ｂ
が基板１００の外周端面に当接する。
面１７ａおよび上方に向かって外側に傾斜して延びる他
方の側面１７ｂを有する。保持部１７の底面は円形とな
っており、上面は楕円形となっている。保持部１７は、
支持部１６の上面に回動軸６ａとほぼ同軸に設けられて
いる。支持部１６の回動により保持部１７の側面１７ｂ
が基板１００の外周端面に当接する。
【００３７】図７に示すように、第１の実施例と同様
に、回転式保持ピン１５の支持部１６の下部には、回動
軸６ａと同軸の回転軸体１０を介して円形の磁石保持部
１１が取り付けられている。磁石保持部１１の中央部に
は棒状の永久磁石１２が内蔵されている。本実施例で
は、回転式保持ピン１５が保持部材に相当する。
に、回転式保持ピン１５の支持部１６の下部には、回動
軸６ａと同軸の回転軸体１０を介して円形の磁石保持部
１１が取り付けられている。磁石保持部１１の中央部に
は棒状の永久磁石１２が内蔵されている。本実施例で
は、回転式保持ピン１５が保持部材に相当する。
【００３８】図８および図９は図６および図７の回転式
保持ピンを用いた基板回転保持装置の構成および動作を
説明するための図であり、（ａ）は回転式保持ピンおよ
びその周辺部の部分断面図、（ｂ）は回転式保持ピンの
平面図である。
保持ピンを用いた基板回転保持装置の構成および動作を
説明するための図であり、（ａ）は回転式保持ピンおよ
びその周辺部の部分断面図、（ｂ）は回転式保持ピンの
平面図である。
【００３９】図８（ａ）および図９（ａ）に示すよう
に、回転式保持ピン１５の回転軸体１０は回動軸受け１
３を介して回転部材２に回動自在に支持されている。回
動軸受け１３には、回動摩擦を押さえるために例えばベ
アリング機構が設けられている。
に、回転式保持ピン１５の回転軸体１０は回動軸受け１
３を介して回転部材２に回動自在に支持されている。回
動軸受け１３には、回動摩擦を押さえるために例えばベ
アリング機構が設けられている。
【００４０】基板１００の処理前および処理後には、図
８（ａ）に示すように、リング状磁石９が回転部材２の
下方に離れて位置する。このとき、リング状磁石９が形
成する磁力線Ｂは、永久磁石１２が配置される高さにお
いて、回転部材２の外側から中心部に向かう方向に向い
ている。したがって、永久磁石１２のＮ極が回転部材２
の中心部に向かう方向に吸引される。それにより、図８
（ｂ）に示すように、回転式保持ピン１５は、矢印Ｘの
方向に回動し、保持部１７の鉛直方向に延びる側面１７
（ａ）が基板１００の外周端面に対向する。これによ
り、基板１００を上方に持ち上げることができ、逆に、
基板１００を複数の回転式保持ピン１５の保持部１７間
に載置することができる。
８（ａ）に示すように、リング状磁石９が回転部材２の
下方に離れて位置する。このとき、リング状磁石９が形
成する磁力線Ｂは、永久磁石１２が配置される高さにお
いて、回転部材２の外側から中心部に向かう方向に向い
ている。したがって、永久磁石１２のＮ極が回転部材２
の中心部に向かう方向に吸引される。それにより、図８
（ｂ）に示すように、回転式保持ピン１５は、矢印Ｘの
方向に回動し、保持部１７の鉛直方向に延びる側面１７
（ａ）が基板１００の外周端面に対向する。これによ
り、基板１００を上方に持ち上げることができ、逆に、
基板１００を複数の回転式保持ピン１５の保持部１７間
に載置することができる。
【００４１】基板１００を処理する際には、図９（ａ）
に示すように、リング状磁石９が上昇して回転部材２に
接近する。したがって、永久磁石１２のＳ極がリング状
磁石１２のＮ極に吸引される。それにより、図９（ｂ）
に示すように、回転式保持ピン１５が矢印Ｙの方向に回
動し、保持部１７の上方に向かって外側に傾斜する側面
１７ｂが基板１００の外周端面に当接する。その結果、
基板１００を水平方向に保持する力が作用するととも
に、基板１００を下方に押さえる力が作用する。
に示すように、リング状磁石９が上昇して回転部材２に
接近する。したがって、永久磁石１２のＳ極がリング状
磁石１２のＮ極に吸引される。それにより、図９（ｂ）
に示すように、回転式保持ピン１５が矢印Ｙの方向に回
動し、保持部１７の上方に向かって外側に傾斜する側面
１７ｂが基板１００の外周端面に当接する。その結果、
基板１００を水平方向に保持する力が作用するととも
に、基板１００を下方に押さえる力が作用する。
【００４２】このように、複数の回転式保持ピン１５の
保持部１７の傾斜した側面１７ｂにより基板１００が水
平方向に保持されるとともに下方に押さえられるので、
上下振動に対して高い保持力が得られる。その結果、基
板１００の回転時に、異音の発生や基板１００の上下振
動が防止される。
保持部１７の傾斜した側面１７ｂにより基板１００が水
平方向に保持されるとともに下方に押さえられるので、
上下振動に対して高い保持力が得られる。その結果、基
板１００の回転時に、異音の発生や基板１００の上下振
動が防止される。
【００４３】上記実施例では、回転部材２上に取り付け
られる回転式保持ピン５，１５のすべてが図１〜図５に
示した保持部７または図６〜図９に示した保持部１７を
有する場合について説明したが、回転部材２に取り付け
られる回転式保持ピンのいずれかが図１〜図５の保持部
７または図６〜図９の保持部１７を有してもよい。
られる回転式保持ピン５，１５のすべてが図１〜図５に
示した保持部７または図６〜図９に示した保持部１７を
有する場合について説明したが、回転部材２に取り付け
られる回転式保持ピンのいずれかが図１〜図５の保持部
７または図６〜図９の保持部１７を有してもよい。
【００４４】上記第１および第２の実施例の基板回転保
持装置１は、基板に現像処理を行う回転式現像装置のみ
ならず、基板にレジスト液等の塗布液の塗布処理を行う
回転式塗布装置、基板の表面を洗浄する回転式基板洗浄
装置等の種々の回転式基板処理装置に適用することがで
きる。
持装置１は、基板に現像処理を行う回転式現像装置のみ
ならず、基板にレジスト液等の塗布液の塗布処理を行う
回転式塗布装置、基板の表面を洗浄する回転式基板洗浄
装置等の種々の回転式基板処理装置に適用することがで
きる。
【００４５】また、本発明の基板回転保持装置は、半導
体ウエハに限らず、液晶表示装置用ガラス基板、フォト
マスク用ガラス基板、光ディスク用ガラス基板等の種々
の基板を処理する基板処理装置に適用することができ
る。
体ウエハに限らず、液晶表示装置用ガラス基板、フォト
マスク用ガラス基板、光ディスク用ガラス基板等の種々
の基板を処理する基板処理装置に適用することができ
る。
【図１】本発明の第１の実施例における基板回転保持装
置を用いた回転式基板処理装置の概略断面図である。
置を用いた回転式基板処理装置の概略断面図である。
【図２】図１の基板回転保持装置の概略平面図である。
【図３】図１の基板回転保持装置に用いられる回転式保
持ピンおよび磁石保持部の斜視図である。
持ピンおよび磁石保持部の斜視図である。
【図４】第１の実施例における回転式保持ピンの保持部
が基板の外周端面から離れた状態を示す部分断面図およ
び平面図である。
が基板の外周端面から離れた状態を示す部分断面図およ
び平面図である。
【図５】第１の実施例における回転式保持ピンの保持部
が基板の外周端面に当接した状態を示す部分断面図およ
び平面図ならびに回転式保持ピンにより基板に作用する
力を示す図である。
が基板の外周端面に当接した状態を示す部分断面図およ
び平面図ならびに回転式保持ピンにより基板に作用する
力を示す図である。
【図６】本発明の第２の実施例における基板回転保持装
置に用いられる回転式保持ピンの平面図および正面図で
ある。
置に用いられる回転式保持ピンの平面図および正面図で
ある。
【図７】第２の実施例における回転式保持ピンおよび磁
石保持部の斜視図である。
石保持部の斜視図である。
【図８】第２の実施例における回転式保持ピンの保持部
が基板の外周端面から離れた状態を示す部分断面図およ
び平面図である。
が基板の外周端面から離れた状態を示す部分断面図およ
び平面図である。
【図９】第２の実施例における回転式保持ピンの保持部
が基板の外周端面に当接した状態を示す部分断面図およ
び平面図である。
が基板の外周端面に当接した状態を示す部分断面図およ
び平面図である。
【図１０】従来の基板回転保持装置に用いられる回転式
保持ピンの平面図、正面図および斜視図である。
保持ピンの平面図、正面図および斜視図である。
１ 基板回転保持装置 ２ 回転部材 ５，１５ 回転式保持ピン ６，１６ 支持部 ７，１７ 保持部 １７ａ，１７ｂ 側面 Ａ 回転軸 ６ａ 回動軸
Claims (6)
- 【請求項１】 基板を水平に保持しつつ回転させる基板
回転保持装置であって、 水平姿勢で回転駆動される回転部材と、 前記回転部材上に載置される前記基板の外周部に沿うよ
うに配置され、前記基板の外周端面に当接する基板保持
位置と前記基板の外周端面から離間する基板開放位置と
の間で移動可能な複数の保持部材とを備え、 前記複数の保持部材の各々は、上方に向かって漸次径大
となるテーパ状の保持部を有することを特徴とする基板
回転保持装置。 - 【請求項２】 基板を水平に保持しつつ回転させる基板
回転保持装置であって、 水平姿勢で回転駆動される回転部材と、 前記回転部材に鉛直方向の軸の周りで回動可能に取り付
けられ、回動に伴って前記基板の外周端面に当接する複
数の保持部材とを備え、 前記複数の保持部材の各々は、上方に向かって漸次径大
となるテーパ状の逆円錐台形状の保持部を有することを
特徴とする基板回転保持装置。 - 【請求項３】 前記複数の保持部材の各々は、鉛直方向
の軸の周りで回動可能に前記回転部材に取り付けられた
支持部をさらに含み、 前記各保持部は、前記支持部の回動に伴って前記基板の
外周端面に当接するように前記支持部の回動軸に対して
偏心して設けられたことを特徴とする請求項２記載の基
板回転保持装置。 - 【請求項４】 基板を水平に保持しつつ回転させる基板
回転保持装置であって、 水平姿勢で回転駆動させる回転部材と、 前記回転部材に鉛直方向の軸の周りで回動可能に取り付
けられ、回動に伴って前記基板の外周端面に当接する複
数の保持部材とを備え、 前記複数の保持部材の各々は、鉛直方向に延びる一方の
側面と上方に向かって外側に傾斜して延びる他方の側面
とを有する保持部を含むことを特徴とする基板回転保持
装置。 - 【請求項５】 前記複数の保持部材の各々は、鉛直方向
の軸の周りで回動可能に前記回転部材に取り付けられた
支持部をさらに含み、 前記各保持部は、前記支持部の回動に伴って前記上方に
向かって外側に傾斜して延びる他方の側面で前記基板の
外周端面に当接するように前記支持部に設けられたこと
を特徴とする請求項４記載の基板回転保持装置。 - 【請求項６】 請求項１〜５のいずれかに記載の基板回
転保持装置と、 前記基板回転保持装置の前記回転部材を回転駆動する駆
動手段と、 前記基板回転保持装置に保持される基板に所定の処理を
行う処理手段とを備えたことを特徴とする回転式基板処
理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9193703A JPH1140655A (ja) | 1997-07-18 | 1997-07-18 | 基板回転保持装置および回転式基板処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9193703A JPH1140655A (ja) | 1997-07-18 | 1997-07-18 | 基板回転保持装置および回転式基板処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1140655A true JPH1140655A (ja) | 1999-02-12 |
Family
ID=16312386
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9193703A Pending JPH1140655A (ja) | 1997-07-18 | 1997-07-18 | 基板回転保持装置および回転式基板処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1140655A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002329773A (ja) * | 2001-04-27 | 2002-11-15 | Shibaura Mechatronics Corp | スピン処理装置 |
| JP2004088034A (ja) * | 2002-08-29 | 2004-03-18 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | 回転式基板処理装置における基板チャック方法およびそれに用いられるチャック装置 |
| JP2008103521A (ja) * | 2006-10-19 | 2008-05-01 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板回転保持装置および基板処理装置 |
| KR100947480B1 (ko) | 2007-10-08 | 2010-03-17 | 세메스 주식회사 | 스핀 헤드 및 이에 사용되는 척 핀, 그리고 상기 스핀헤드를 사용하여 기판을 처리하는 방법 |
| US8394234B2 (en) | 2008-11-26 | 2013-03-12 | Semes Co., Ltd. | Spin head and method of chucking substrate using the same |
| WO2014203587A1 (ja) * | 2013-06-18 | 2014-12-24 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板保持回転装置およびそれを備えた基板処理装置、ならびに基板処理方法 |
| KR20240072979A (ko) * | 2020-11-30 | 2024-05-24 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
-
1997
- 1997-07-18 JP JP9193703A patent/JPH1140655A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002329773A (ja) * | 2001-04-27 | 2002-11-15 | Shibaura Mechatronics Corp | スピン処理装置 |
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| KR100947480B1 (ko) | 2007-10-08 | 2010-03-17 | 세메스 주식회사 | 스핀 헤드 및 이에 사용되는 척 핀, 그리고 상기 스핀헤드를 사용하여 기판을 처리하는 방법 |
| US8257549B2 (en) | 2007-10-08 | 2012-09-04 | Semes Co., Ltd. | Spin head, chuck pin used in the spin head, and method for treating a substrate with the spin head |
| TWI386993B (zh) * | 2007-10-08 | 2013-02-21 | 細美事有限公司 | 旋頭、旋頭使用的卡盤插銷以及使用旋頭處理基板的方法 |
| US8394234B2 (en) | 2008-11-26 | 2013-03-12 | Semes Co., Ltd. | Spin head and method of chucking substrate using the same |
| WO2014203587A1 (ja) * | 2013-06-18 | 2014-12-24 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板保持回転装置およびそれを備えた基板処理装置、ならびに基板処理方法 |
| JP2015002328A (ja) * | 2013-06-18 | 2015-01-05 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板保持回転装置およびそれを備えた基板処理装置、ならびに基板処理方法 |
| CN105378909A (zh) * | 2013-06-18 | 2016-03-02 | 株式会社思可林集团 | 基板保持旋转装置、具有基板保持旋转装置的基板处理装置以及基板处理方法 |
| US9962744B2 (en) | 2013-06-18 | 2018-05-08 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Substrate holding and rotating device, substrate processing device equipped with same, and substrate processing method |
| KR20240072979A (ko) * | 2020-11-30 | 2024-05-24 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
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