JPH08159462A - 圧力調整器及びガスメータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ガス設備内の微少なガスの漏洩、圧力調整器
の異常の有無等を正確に判断する。 【構成】 圧力調整器１０２の圧力検出手段１１１とし
ては、電極を有する固定基板と別の電極を有するダイア
フラムとで形成される静電容量式圧力センサを用いてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は圧力変化をダイアフラム
に設けられた電極の静電容量変化に変換し、さらに電気
的出力に変換する小型・高性能の静電容量式圧力センサ
を用いたガスの圧力調整器及びガスメータに関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、ガス漏れによる爆発事故やガス器
具の消し忘れによる火災事故を防ぐために、ガスメータ
についてはガスメータから下流側のガス漏れやガス器具
の使用状況を監視し、万が一の際はガスの供給を遮断す
るガス漏洩検出装置がガスメータの中に組み込まれた
り、圧力調整器については、圧力調整器そのものの異常
やＬＰガスボンベからガスメータまでの安全管理のチェ
ックを自動的に行えるガス漏洩検出装置の組み込みにつ
いて検討されている。例えば、圧力調整器の圧力調整機
能が正常に動作している場合、ガス器具使用状態ではガ
スの供給圧力は２３０〜３３０ｍｍＨ₂Ｏの間に保た
れ、また許容限界のガス圧力は２３０〜４２０ｍｍＨ₂
Ｏに設定されている。閉塞圧力とはガス器具を使用して
いない状態で圧力調整器が閉塞している時の圧力であり
通常は３５０ｍｍＨ₂Ｏに設定され、安全弁動作圧力と
は異常に高い圧力が圧力調整器に加圧されたとき圧力調
整器内の安全弁が動作する圧力であり８４０ｍｍＨ₂Ｏ
に設定されている。圧力調整器及びガスメータに使用さ
れる圧力センサはこのような微小な圧力を−３０℃〜８
０℃の広い温度範囲で数ｍｍＨ₂Ｏ以下の精度で検知す
る必要がある。

【０００３】しかしながら従来、圧力調整器及びガスメ
ータへの組み込みができること、ガス圧力を高精度に検
出できること、価格が安いことの三つを同時に満足でき
る小型・高性能・低コストの圧力センサがなかった。こ
のような特性を満足できる圧力センサとして有望視され
ているのは静電容量式圧力センサであり、この圧力セン
サは圧力によってダイアフラムが変形し、電極間距離が
変化することによって電極間に生ずる静電容量が変化
し、さらに電気的出力に変換することを利用したもので
ある。従来の静電容量式圧力センサは、電極を形成した
基板とダイアフラムとの間のギャップをビーズを含む封
着ガラスでダイアフラムを基板に封着固定したもの（特
開昭５７−９７４２２号公報）、あるいは可動電極を有
する石英ガラス基板と固定電極を有する石英ガラス基板
とをその電極面を互いに対向配置させ、所定のギャップ
を直接密着接合したもの（特開平５−１８０７１９号公
報）であった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】静電容量式圧力センサ
の小型・高性能化に対して、電極間距離ギャップを小さ
くして静電容量を大きくすることは有効であるが、図６
の（ａ）のように電極１４、１５を形成した基板１１と
ダイアフラム１２との間のギャップをビーズを含む封着
ガラスでダイフラムを基板に封着固定したもの（特開昭
５７−９７４２２号公報）は、微小なビーズ１８に粒度
分布があること、均一分散が容易でないことなどによっ
て、封着ガラス１６中の微小なビーズ１８を均一に分散
させて１０μｍ以下のギャップを高精度にコントロール
することは容易でなく、ギャップばらつきに起因したセ
ンサ特性のばらつきが大きく精度が低いために、圧力の
検知及び判定の際にたびたび圧力の検知及び判定を行う
ので電池の消耗が早いという課題があった。

【０００５】一方、図６の（ｂ）のように可動電極１５
を有する石英ガラス基板１２と固定電極１４を有する石
英ガラス基板１１とをその電極面を互いに対向配置さ
せ、所定のギャップを直接密着接合したものは、予めエ
ッチング法で溝を形成し、溝内に導電性薄膜１４、１５
を形成した石英ガラス基板同士の接合は表面粗さＲａが
１００オングストローム程度以下の平坦な鏡面にしたも
のを２００〜１１００℃に加熱して物理化学的な結合力
によって密着接合させているが、石英ガラス基板の表面
粗さＲａが１００オングストローム程度以下の平坦な鏡
面といえども微視的にみると凹凸であることには変わり
なく、このような鏡面を密着させただけでは密着面１３
の凹凸の隙間からリークする。密着性向上のために２０
０〜１１００℃に加熱して物理化学的な結合力を用いる
が、石英ガラスが高軟化点（約１５８０℃）であるため
に１１００℃でも流動性が悪く密着面１３の凹凸を変形
させることができないので、密着面１３を完全に気密す
ることができない。従って低温から高温のヒートサイク
ル試験を行うと密着面１３からリークして信頼性が低い
という課題があった。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は前記課題を解決
するために、少なくとも、表面に第一の電極が形成され
た絶縁性の固定基板と、第二の電極が表面に形成された
ガラスからなるダイアフラムとを備え、第一の電極と第
二の電極とが対向配置しかつ前記ガラスからなるギャッ
プ部を介して前記固定基板とダイアフラムとを一体接合
した静電容量式圧力センサからなるガス設備内のガス圧
を検出する圧力検出手段と、ガス設備内のガス流量を検
出する流量検出手段と、前記圧力検出手段と前記流量検
出手段からの電気信号でガス設備内の異常を判定する判
定手段と、前記判定手段からの信号により動作する出力
手段とで構成されたものである。

【０００７】

【作用】本発明の圧力調整器及びガスメータは、ガス設
備内のガス圧を検出する圧力検出手段として、表面に第
一の電極が形成された絶縁性の固定基板と、第二の電極
が表面に形成されたガラスからなるダイアフラムとを備
え、第一の電極と第二の電極とが対向配置しかつ前記ガ
ラスからなるギャップ部を介して固定基板とダイアフラ
ムとを一体接合した静電容量式圧力センサを用いてお
り、固定基板とダイアフラムとがダイアフラムと同じガ
ラスからなるギャップ材を介して極めて強固に接着して
いるので、ダイアフラムとギャップ材との間に熱膨張差
がなく、接着部に歪が残らない、接着部の剥離がない等
の信頼性の向上を図ることができる。また封着ガラス中
の微小なビーズを分散させていないのでギャップばらつ
きを大幅に低減でき高精度化を図ることができる。した
がって本願発明の圧力調整器及びガスメータは圧力検出
手段として静電容量式圧力センサを用いることによりガ
スメータ及び圧力調整器に使用される微小な圧力（例え
ば２３０〜３３０ｍｍＨ ₂Ｏ）を長期間安定して高精度
に検知することができるので、ガス容器から燃焼機器ま
でのガス設備内の配管の微少なガスの漏洩、圧力調整器
の圧力調整機能の異常の有無等を正確に判断することが
できるとともに、電池寿命を伸ばすことができる。

【０００８】

【実施例】図１は本発明による圧力調整器の一実施例を
示すブロック図、図２は本発明による圧力調整器の一実
施例を示すフローチャート、図３は本発明によるガスメ
ータの一実施例を示すブロック図、図４は本発明による
ガスメータの一実施例を示すフローチャート及び、図５
は本発明で用いた静電容量式圧力センサの一実施例を示
し、図５（ａ）はその平面図、図５（ｂ）は断面図であ
る。また図６は従来の静電容量式圧力センサの構成を説
明する断面図である。

【０００９】図１及び図２において、ガス供給源１０１
からのガスは圧力調整器１０２に供給され、圧力検出手
段１１１及び流量検出手段１１２を圧力調整器１０２の
上流側（ガス供給源１０１側）及び下流側（出力手段１
１４側）に適宜設けて、圧力検出手段１１１と流量検出
手段１１２からの電気信号で圧力調整器１０２の故障、
配管からのガスの漏洩等のガス設備内の異常を判定手段
１１３によって判定し、判定手段１１３からの信号によ
り出力手段１１４（例えば遮断弁）が動作してガスを遮
断する。

【００１０】図３及び図４において、圧力調整器１０２
によって調圧されたガスは、ガスメータ１０３に供給さ
れ、圧力検出手段１１１及び流量検出手段１１２をガス
メータ１０３の上流側（圧力調整器１０２）及び下流側
（出力手段１１４）に適宜設けて、圧力検出手段１１１
と流量検出手段１１２からの電気信号でガスメータ１０
３の故障、配管からのガスの漏洩等のガス設備内の異常
を判定手段１１３によって判定し、判定手段１１３から
の信号により出力手段１１４（例えば遮断弁）が動作し
てガスを遮断する。

【００１１】図５は本発明で用いた静電容量式圧力セン
サであり、表面に第一の電極４が形成された絶縁性の固
定基板１と、ギャップ部６及び第二の電極５が表面に形
成されたガラスからなるダイアフラム２とが、第一の電
極４と第二の電極５とが対向配置し、かつ前記ガラスか
らなるギャップ部６を介して固定基板１とダイアフラム
２とを接合面３で一体接合されている。以下実施例を示
す。

【００１２】（実施例１）図６に示したのようにシリカ
（ＳｉＯ₂）３０重量パーセント、酸化バリウム（Ｂａ
Ｏ）５０重量パーセント、ホウ酸（Ｂ₂Ｏ₃）１５重量パ
ーセント、残部が微量成分であるホウケイ酸バリウムガ
ラスからなるガラス基板（厚み０．４ｍｍ）を用意し、
凸形状（高さ４２μｍ）に加工した超硬合金（ＷＣ−５
ＴｉＣ−８Ｃｏ）からなるプレス成形用金型でガラス基
板をグリーンガス中で熱プレスして凹部７とギャップ部
６（高さ１５μｍ）を形成した。プレス成形条件は金型
温度５６０℃、プレス圧力３０ｋｇ／ｃｍ²、プレス時
間２分であった。凹部７に第二の電極５として金をスパ
ッタリング法で０．３μｍ形成してダイアフラムとし
た。９６％アルミナからなる固定基板１（厚み０．６５
ｍｍ）に第一の電極４として金をスパッタリング法で
０．３μｍ形成し、第一の電極４と第二の電極５とが対
向するように配置した状態で、ギャップ部６を形成した
時に用いたと同じ金型構成の金型を用いて、金型温度４
３０℃、プレス圧力２ｋｇ／ｃｍ²、プレス時間１分で
プレス成形を行って、ギャップ部６を介して固定基板１
とダイアフラム２とを接合面３で一体接合して１５ｍｍ
角の静電容量式圧力センサを作製した。この圧力センサ
は０〜１０００ｍｍＨ₂Ｏの圧力を−３０℃〜８０℃の
温度範囲で２ｍｍＨ₂Ｏの精度で検知することができ
た。

【００１３】次に圧力調整器の圧力検出手段として上記
の静電容量式圧力センサを用いた実施例を図１及び図２
によって説明する。

【００１４】一般にガスの漏洩は出力手段１１４を動作
（遮断弁を遮断）して、ガス器具を使用していない時の
流量及び圧力変動の有無を流量検出手段１１２及び圧力
検出手段１１１で検出し、判定手段１１３で判断する。
すなわち微量のガスが漏洩しているのであれば、ガス流
量が０のとき配管内のガス圧はわずかに低下する。この
ガス圧の変化を圧力検出手段１１１が検知したとき、マ
イコン等の判定手段１１３で判定し、圧力低下が所定の
値より大きければ、ガス漏洩と判断して、出力手段１１
４（例えば遮断弁）を動作させる。

【００１５】ガス供給源１０１〜圧力調整器１０２間
（圧力調整器の上流側）のガス漏洩の検出、判定方法に
ついて図１（ａ）によって具体的に説明する。ガス器具
１０４を使用していない時に遮断弁（出力手段１１４）
を遮断して、圧力検出手段１１１で圧力変動が検出され
流量検出手段１１２で流量が検出されない場合には、圧
力調整器１０２の上流側でガス漏洩は生じたものと判断
する。圧力検出手段１１１で圧力変動が検出されずに流
量検出手段１１２で流量が検出された場合には、圧力調
整器１０２の圧力検出手段１１１が異常であると判断す
る。圧力検出手段１１１で圧力変動が検出されずに流量
検出手段１１２で流量が検出されない場合には、ガス漏
洩はないと判断する。判定手段１１３で判定しガス漏洩
と判断すれば、出力手段１１４（例えば遮断弁）を動作
させる。

【００１６】同様の方法で圧力調整器１０２〜ガスメー
タ１０３間（圧力調整器の下流側）のガス漏洩について
検出、異常判定及び出力動作について図１（ｂ）によっ
て説明する。ガス器具１０４を使用していない時に遮断
弁（出力手段１１４）を遮断して、圧力検出手段１１１
で圧力変動が検出され流量検出手段１１２で流量が検出
されない場合には、圧力調整器１０２の下流側でガス漏
洩は生じたものと判断する。圧力検出手段１１１で圧力
変動が検出されずに流量検出手段１１２で流量が検出さ
れた場合には、圧力調整器１０２の圧力検出手段１１１
が異常であると判断する。圧力検出手段１１１で圧力変
動が検出されずに流量検出手段１１２で流量が検出され
ない場合には、ガス漏洩はないと判断する。判定手段１
１３で判定しガス漏洩と判断すれば、出力手段１１４
（例えば遮断弁）を動作させる。

【００１７】次に閉塞圧力の確認は、流量検出手段１１
２で流量が検出されないことを確認したあと、圧力検出
手段１１１で圧力が３５０ｍｍＨ₂Ｏ以上であることを
検出されると判定手段１１３で判定し閉塞異常と判断す
れば、出力手段１１４（例えば異常を警報）を動作させ
る。供給圧力の上限圧力の確認は、流量検出手段１１２
で流量があることを検出した後、圧力検出手段１１１で
圧力が３５０ｍｍＨ₂Ｏ以上であることを検出されると
判定手段１１３で判定し上限圧力異常と判断すれば、出
力手段１１４（例えば異常を警報）を動作させる。供給
圧力の下限圧力の確認は、流量検出手段１１２で流量が
あることを検出した後、圧力検出手段１１１で圧力が２
３０ｍｍＨ₂Ｏ以下であることを検出すると判定手段１
１３で判定し下限圧力異常と判断すれば、出力手段１１
４（例えば異常の警報）を動作させる。

【００１８】圧力検出手段１１１として実施例１での静
電容量式圧力センサを用いた場合、圧力調整器の実際の
調整圧が３１５ｍｍＨ₂Ｏ（別の基準の圧力センサで測
定）であったものを、２ｍｍＨ₂Ｏ以下の精度で検知で
き、調整圧の異常なしを正確に判定することができた。
またガス配管で微少ガス漏洩していたものを配管内の微
少な圧力変動（２５０〜２５６ｍｍＨ₂Ｏ）を２ｍｍＨ₂
Ｏ以下の精度で検知できた結果、微少ガス漏洩を早期か
つ正確に判定することができるので、検知、判別に要す
る消費電力を低減することができ電池を１５年間交換す
る必要がなくなった。そして１５年間以上安定して上記
各種圧力を２ｍｍＨ₂Ｏ以下の精度で検知でき、各種の
異常を正確に判定することができた。

【００１９】（実施例２）ガスメータの圧力検出手段と
して実施例１と同じ静電容量式圧力センサを用いた実施
例を図３及び図４によって説明する。

【００２０】ガス供給源１０１〜圧力調整器１０２間
（圧力調整器の上流側）のガス漏洩の検出、判定方法に
ついて図１（ａ）によって具体的に説明する。ガス器具
１０４を使用していない時に遮断弁（出力手段１１４）
を遮断して、圧力検出手段１１１で圧力変動が検出され
流量検出手段１１２で流量が検出されない場合には、圧
力調整器１０２の上流側でガス漏洩は生じたものと判断
する。圧力検出手段１１１で圧力変動が検出されずに流
量検出手段１１２で流量が検出された場合には、圧力調
整器１０２の圧力検出手段１１１が異常であると判断す
る。圧力検出手段１１１で圧力変動が検出されずに流量
検出手段１１２で流量が検出されない場合には、ガス漏
洩はないと判断する。判定手段１１３で判定しガス漏洩
と判断すれば、出力手段１１４（例えば遮断弁）を動作
させる。

【００２１】同様の方法で圧力調整器１０２〜ガスメー
タ１０３間（圧力調整器の下流側）のガス漏洩について
検出、異常判定及び出力動作について図１（ｂ）によっ
て説明する。ガス器具１０４を使用していない時に遮断
弁（出力手段１１４）を遮断して、圧力検出手段１１１
で圧力変動が検出され流量検出手段１１２で流量が検出
されない場合には、圧力調整器１０２の下流側でガス漏
洩は生じたものと判断する。圧力検出手段１１１で圧力
変動が検出されずに流量検出手段１１２で流量が検出さ
れた場合には、圧力調整器１０２の圧力検出手段１１１
が異常であると判断する。圧力検出手段１１１で圧力変
動が検出されずに流量検出手段１１２で流量が検出され
ない場合には、ガス漏洩はないと判断する。判定手段１
１３で判定しガス漏洩と判断すれば、出力手段１１４
（例えば遮断弁）を動作させる。

【００２２】圧力調整器１０２〜ガスメータ１０３間
（ガスメータの上流側）のガス漏洩の検出、判定方法に
ついて図３（ａ）によって具体的に説明する。ガス器具
１０４を使用していない時に遮断弁（出力手段１１４）
を遮断して、圧力検出手段１１１で圧力変動が検出され
流量検出手段１１２で流量が検出されない場合には、ガ
スメータ１０３の上流側でガス漏洩は生じたものと判断
する。圧力検出手段１１１で圧力変動が検出されずに流
量検出手段１１２で流量が検出された場合には、ガスメ
ータ１０３の圧力検出手段１１１が異常であると判断す
る。圧力検出手段１１１で圧力変動が検出されずに流量
検出手段１１２で流量が検出されない場合には、ガス漏
洩はないと判断する。判定手段１１３で判定しガス漏洩
と判断すれば、出力手段１１４（例えば遮断弁）を動作
させる。

【００２３】同様の方法でガスメータ１０３〜ガス器具
１０４間（ガスメータの下流側）のガス漏洩について検
出、異常判定及び出力動作について図３（ｂ）によって
説明する。ガス器具１０４を使用していない時に遮断弁
（出力手段１１４）を遮断して、圧力検出手段１１１で
圧力変動が検出され流量検出手段１１２で流量が検出さ
れない場合には、圧力調整器１０２の下流側でガス漏洩
は生じたものと判断する。圧力検出手段１１１で圧力変
動が検出されずに流量検出手段１１２で流量が検出され
た場合には、圧力調整器１０２の圧力検出手段１１１が
異常であると判断する。圧力検出手段１１１で圧力変動
が検出されずに流量検出手段１１２で流量が検出されな
い場合には、ガス漏洩はないと判断する。判定手段１１
３で判定しガス漏洩と判断すれば、出力手段１１４（例
えば遮断弁）を動作させる。

【００２４】圧力検出手段１１１として実施例１での静
電容量式圧力センサを用いた場合、ガス配管で微少ガス
漏洩していたものを配管内の微少な圧力変動（２５０〜
２５６ｍｍＨ₂Ｏ）を２ｍｍＨ₂Ｏ以下の精度で検知でき
た結果、微少ガス漏洩を早期かつ正確に判定することが
できるので、検知、判別に要する消費電力を低減するこ
とができ電池を１５年間交換する必要がなくなった。そ
して１５年間以上安定して上記圧力を２ｍｍＨ₂Ｏ以下
の精度で検知でき、各種の異常を正確に判定することが
できた。

【００２５】（比較例１）実施例１と同じシリカ（Ｓｉ
Ｏ₂）３０重量パーセント、酸化バリウム（ＢａＯ）５
０重量パーセント、ホウ酸（Ｂ₂Ｏ₃）１５重量パーセン
ト、残部が微量成分であるホウケイ酸バリウムガラスか
らなるガラス基板２’（厚み０．４ｍｍ）を用意し、基
板表面に第二の電極１５として金をスパッタリング法で
０．３μｍ形成した。９６％アルミナからなる固定基板
１１（厚み０．６５ｍｍ）に第一の電極１４として金を
スパッタリング法で０．３μｍ形成し、低融点ガラス中
に粒径４０μｍの高融点ガラスビーズ１８を適量含ませ
たガラスペーストをスクリーン印刷したあと４５０℃で
予備焼き付けして、ギャップ部１６（高さ４０μｍ）を
形成した。第一の電極１４と第二の電極１５とが対向す
るように配置した状態で金型温度４３０℃で、プレス圧
力２ｋｇ／ｃｍ²、プレス時間１分でプレス成形を行っ
て、ギャップ部１６を介して固定基板１１とダイアフラ
ム１２とを接着してセンサ素子を作製した。実施例１と
同じ圧力調整器に比較例１の静電容量式圧力センサを組
み込んだ場合、圧力調整器の実際の調整圧が３１５ｍｍ
Ｈ₂Ｏ（別の基準の圧力センサで測定）で異常がないに
も関わらず、ガス圧力を２０ｍｍＨ₂Ｏの精度でしか検
知できないために調整圧異常であると判断した。

【００２６】（比較例２）石英ガラスからなるガラス基
板（厚み０．４ｍｍ）を用意し、フッ酸でエッチングし
て凹部１７とギャップ部１６（高さ４０μｍ）を形成
し、凹部１７に第二の電極１５として金をスパッタリン
グ法で０．３μｍ形成した。石英ガラスからなる固定基
板１１（厚み０．６５ｍｍ）に第一の電極１４として金
をスパッタリング法で０．３μｍ形成した。第一の電極
１４と第二の電極１５とが対向するように配置した状態
で８５０℃で３０分熱処理して、ギャップ部１６を介し
て固定基板１１とダイアフラム１２とを接着面１３で接
着してセンサ素子を作製した。実施例１と同じ圧力調整
器に比較例２の静電容量式圧力センサを組み込んだ場
合、−３０℃〜８０℃の温度範囲でヒートサイクル試験
（−３０℃＊３０分保持→８０℃まで３０分で昇温→８
０℃＊３０分保持→−３０℃まで３０分で降温）を行う
と７４時間後に密着面１３からリークして比較例２の静
電容量式圧力センサが破損した。

【００２７】なお本発明の圧力調整器及びガスメータに
おいて、静電容量式圧力センサの各種材料（ダイアフラ
ム、固定基板、電極、金型等）、成形条件（温度、時
間、圧力、雰囲気等）、センサ形状（円形、角型、径、
電極パターン、厚み、ギャップ等の寸法）、回路構成等
は本実施例に限定されるものではない。

【００２８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の圧力調整
器及びガスメータは、ガス設備内のガス圧を検出する圧
力検出手段として、表面に第一の電極が形成された絶縁
性の固定基板と、第二の電極が表面に形成されたガラス
からなるダイアフラムとを備え、第一の電極と第二の電
極とが対向配置しかつ前記ガラスからなるギャップ部を
介して固定基板とダイアフラムとを一体接合した静電容
量式圧力センサを用いており、固定基板とダイアフラム
とがダイアフラムと同じガラスからなるギャップ材を介
して極めて強固に接着しているので、ダイアフラムとギ
ャップ材との間に熱膨張差がなく、接着部に歪が残らな
い、接着部の剥離がない等の信頼性の向上を図ることが
できる。また封着ガラス中の微小なビーズを分散させて
いないのでギャップばらつきを大幅に低減でき高精度化
を図ることができる。したがって本願発明の圧力調整器
及びガスメータは圧力検出手段として静電容量式圧力セ
ンサを用いることによりガスメータ及び圧力調整器に使
用される微小な圧力（例えば２３０〜３３０ｍｍＨ
₂Ｏ）を長期間安定して高精度に検知することができる
ので、ガス容器から燃焼機器までのガス設備内の配管の
微少なガスの漏洩、圧力調整器の圧力調整機能の異常の
有無等を正確に判断することができるとともに、電池寿
命を伸ばすことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の圧力センサを用いた圧力調
整器のブロック図

【図２】同圧力調整器のフローチャート

【図３】本発明の一実施例の圧力センサを用いたガスメ
ータのブロック図

【図４】同ガスメータのフローチャート

【図５】（ａ）本発明の一実施例で用いた静電容量式圧
力センサの平面図 （ｂ）同圧力センサの断面図

【図６】（ａ）従来の静電容量式圧力センサの構成を説
明する断面図 （ｂ）同センサの別の構成を説明する断面図

【符号の説明】

１ 固定基板 ２ ダイアフラム ４ 第一の電極 ５ 第二の電極 ６ ギャップ部 １１１ 圧力検出手段 １１２ 流量検出手段 １１３ 判定手段 １１４ 出力手段

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】表面に第一の電極が形成された絶縁性の固
   定基板と、表面に第二の電極が形成されたガラスからな
   るダイアフラムとを有し、前記第一の電極と前記第二の
   電極とはギャップ部を介して対向配置し前記固定基板と
   前記ダイアフラムとを一体接合した静電容量式圧力セン
   サからなりガス設備内のガス圧を検出する圧力検出手段
   と、前記ガス設備内のガス流量を検出する流量検出手段
   と、前記圧力検出手段と前記流量検出手段からの電気信
   号で前記ガス設備内の異常を判定する判定手段と、この
   判定手段からの信号により動作する出力手段とを備えた
   圧力調整器。
2. 【請求項２】表面に第一の電極が形成されたアルミナ、
   シリコンまたはガラスからなる固定基板と、表面に第二
   の電極が形成された低融点ガラスからなるダイアフラム
   とを有し、前記第一の電極と前記第二の電極とはギャッ
   プ部を介して対向配置し前記固定基板と前記ダイアフラ
   ムとを一体接合した静電容量式圧力センサからなりガス
   設備内のガス圧を検出する圧力検出手段と、前記ガス設
   備内のガス流量を検出する流量検出手段と、前記圧力検
   出手段と前記流量検出手段からの電気信号で前記ガス設
   備内の異常を判定する判定手段と、この判定手段からの
   信号により動作する出力手段とを備えた圧力調整器。
3. 【請求項３】表面に第一の電極が形成された絶縁性の固
   定基板と、表面に第二の電極が形成されたガラスからな
   るダイアフラムとを有し、前記第一の電極と前記第二の
   電極とはギャップ部を介して対向配置し前記固定基板と
   前記ダイアフラムとを一体接合した静電容量式圧力セン
   サからなりガス設備内のガス圧を検出する圧力検出手段
   と、前記ガス設備内のガス流量を検出する流量検出手段
   と、前記圧力検出手段と前記流量検出手段からの電気信
   号で前記ガス設備内の異常を判定する判定手段と、この
   判定手段からの信号により動作する出力手段とを備えた
   ガスメータ。
4. 【請求項４】表面に第一の電極が形成されたアルミナ、
   シリコンまたはガラスからなる固定基板と、表面に第二
   の電極が形成された低融点ガラスからなるダイアフラム
   とを有し、前記第一の電極と前記第二の電極とはギャッ
   プ部を介して対向配置し前記固定基板と前記ダイアフラ
   ムとを一体接合した静電容量式圧力センサからなりガス
   設備内のガス圧を検出する圧力検出手段と、前記ガス設
   備内のガス流量を検出する流量検出手段と、前記圧力検
   出手段と前記流量検出手段からの電気信号で前記ガス設
   備内の異常を判定する判定手段と、この判定手段からの
   信号により動作する出力手段とを備えたガスメータ。