JPH081689B2 - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
- Publication number
- JPH081689B2 JPH081689B2 JP7721389A JP7721389A JPH081689B2 JP H081689 B2 JPH081689 B2 JP H081689B2 JP 7721389 A JP7721389 A JP 7721389A JP 7721389 A JP7721389 A JP 7721389A JP H081689 B2 JPH081689 B2 JP H081689B2
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- Japan
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- insulating film
- film
- magnetic head
- coil
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- Expired - Lifetime
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims description 16
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 90
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は薄膜磁気ヘッドに関する。
従来の薄膜磁気ヘッドは、第２図に示すように、磁気
ヘッドスライダを構成する基板１上に下部絶縁膜２、下
部磁性膜３、ギャップ膜４、第１絶縁膜５、スパイラル
型の第１コイル６、第２絶縁膜７、スパイラル型の第２
コイル８、第３絶縁膜13、上部磁性膜21、保護膜22を順
次積層することにより形成されている。
ヘッドスライダを構成する基板１上に下部絶縁膜２、下
部磁性膜３、ギャップ膜４、第１絶縁膜５、スパイラル
型の第１コイル６、第２絶縁膜７、スパイラル型の第２
コイル８、第３絶縁膜13、上部磁性膜21、保護膜22を順
次積層することにより形成されている。
上述した従来の薄膜磁気ヘッドは、第１絶縁膜５、第
２絶縁膜７、第３絶縁膜13と順次積層された構造となっ
ているので、これら３層の絶縁膜の側面はそれぞれの絶
縁膜の境界が段差を生じる。すなわち、これら３層の絶
縁膜の上に上部磁性膜11が形成されるので、上記段差は
そのまま上部磁性膜11に反映されるため、上部磁性膜11
は凹凸の激しい形状となり、薄膜磁気ヘッドの電磁変換
特性を著しく悪化させる結果となる。
２絶縁膜７、第３絶縁膜13と順次積層された構造となっ
ているので、これら３層の絶縁膜の側面はそれぞれの絶
縁膜の境界が段差を生じる。すなわち、これら３層の絶
縁膜の上に上部磁性膜11が形成されるので、上記段差は
そのまま上部磁性膜11に反映されるため、上部磁性膜11
は凹凸の激しい形状となり、薄膜磁気ヘッドの電磁変換
特性を著しく悪化させる結果となる。
これを解決する手段として、例えば特開昭62−42311
がある。しかしながら、本例では第２コイルの最外周部
が第３絶縁膜で十分に被覆できず、上部磁性膜と第２コ
イルの最外周部とが電気的に短絡する危険性がある。ま
た、電磁変換特性に重大な影響を与えるギャップ深さ０
の位置が第３絶縁膜で決定されるため、第３絶縁膜のパ
ターニング精度が非常に厳しく歩留りの悪いものとな
る。
がある。しかしながら、本例では第２コイルの最外周部
が第３絶縁膜で十分に被覆できず、上部磁性膜と第２コ
イルの最外周部とが電気的に短絡する危険性がある。ま
た、電磁変換特性に重大な影響を与えるギャップ深さ０
の位置が第３絶縁膜で決定されるため、第３絶縁膜のパ
ターニング精度が非常に厳しく歩留りの悪いものとな
る。
以上のように従来の薄膜磁気ヘッドは、電磁変換特性
が悪く、磁性膜とコイルとの短絡のおそれがあり、かつ
製品の歩留りが低いという欠点がある。
が悪く、磁性膜とコイルとの短絡のおそれがあり、かつ
製品の歩留りが低いという欠点がある。
本発明の薄膜磁気ヘッドは、複数層のコイルのうちの
最上層コイルを被覆する絶縁膜は二重構造とされ、また
該絶縁膜の上層の絶縁膜の大きさが最下層コイルを被覆
している絶縁膜の大きさより大きく、かつ該最下層コイ
ルの直下の絶縁膜の大きさにより小さく形成されてい
る。
最上層コイルを被覆する絶縁膜は二重構造とされ、また
該絶縁膜の上層の絶縁膜の大きさが最下層コイルを被覆
している絶縁膜の大きさより大きく、かつ該最下層コイ
ルの直下の絶縁膜の大きさにより小さく形成されてい
る。
最上層コイルを被覆する絶縁膜が二重構造になってお
り、その絶縁膜の上層の絶縁膜の大きさが最下層コイル
を被覆している絶縁膜の大きさより大きく、かつ最下層
コイルの直下の絶縁膜の大きさより小さいので、コイル
を被覆している各絶縁膜による段差が影響せずに平滑な
上部磁性膜が得られて電磁変換特性が悪化せず、また上
部磁性膜と最上層コイルの最外周部との電気的短絡のお
それがなく、かつ、ギャップ深さ０の位置が最下層コイ
ル直下の絶縁膜で決定されるのでパターニングが容易で
歩留りが悪化しない。
り、その絶縁膜の上層の絶縁膜の大きさが最下層コイル
を被覆している絶縁膜の大きさより大きく、かつ最下層
コイルの直下の絶縁膜の大きさより小さいので、コイル
を被覆している各絶縁膜による段差が影響せずに平滑な
上部磁性膜が得られて電磁変換特性が悪化せず、また上
部磁性膜と最上層コイルの最外周部との電気的短絡のお
それがなく、かつ、ギャップ深さ０の位置が最下層コイ
ル直下の絶縁膜で決定されるのでパターニングが容易で
歩留りが悪化しない。
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明す
る。
る。
第１図は本発明の薄膜磁気ヘッドの一実施例の断面図
である。
である。
この薄膜磁気ヘッドは第２図の薄膜磁気ヘッドの第３
絶縁膜13の代りに第３絶縁膜９と、第４絶縁膜10が積層
され、その上に上部磁性膜11、保護膜12が順次積層され
ることにより形成されている。第４絶縁膜10の大きさは
第１絶縁膜５の大きさよりも小さく、第２絶縁膜７の大
きさより大きくされている。
絶縁膜13の代りに第３絶縁膜９と、第４絶縁膜10が積層
され、その上に上部磁性膜11、保護膜12が順次積層され
ることにより形成されている。第４絶縁膜10の大きさは
第１絶縁膜５の大きさよりも小さく、第２絶縁膜７の大
きさより大きくされている。
本実施例の薄膜磁気ヘッドでは第３絶縁膜９の上に第
４絶縁膜10が形成されているため第１絶縁膜5,第２絶縁
膜7,第３絶縁膜９よりなる３層の絶縁膜の段差が解消さ
れ滑らかな面となっている。したがって、上部磁性膜11
に凹凸は存在せず、電磁変換特性のすぐれた薄膜磁気ヘ
ッドが提供される。また、第２コイル８が第３絶縁膜９
と第４絶縁膜10との２層の絶縁膜で被覆されているた
め、第２コイル８の最外周部14と上部磁気膜11が電気的
に短絡することも全くない。さらに、第４絶縁膜10の大
きさを第１絶縁膜５より小さく第２絶縁膜７より大きく
しているので、ギャップ深さ０の位置は従来と同じく第
１絶縁膜５で決定されるので歩留りを悪化させることも
ない。
４絶縁膜10が形成されているため第１絶縁膜5,第２絶縁
膜7,第３絶縁膜９よりなる３層の絶縁膜の段差が解消さ
れ滑らかな面となっている。したがって、上部磁性膜11
に凹凸は存在せず、電磁変換特性のすぐれた薄膜磁気ヘ
ッドが提供される。また、第２コイル８が第３絶縁膜９
と第４絶縁膜10との２層の絶縁膜で被覆されているた
め、第２コイル８の最外周部14と上部磁気膜11が電気的
に短絡することも全くない。さらに、第４絶縁膜10の大
きさを第１絶縁膜５より小さく第２絶縁膜７より大きく
しているので、ギャップ深さ０の位置は従来と同じく第
１絶縁膜５で決定されるので歩留りを悪化させることも
ない。
以上説明したように本発明は、最上層コイルを被覆す
る絶縁膜の構造を二層構造とし、また、この絶縁膜の上
層の絶縁膜の大きさを最下層コイルを被覆する絶縁膜の
大きさよりも大きく、かつ最下層コイル直下の絶縁膜よ
り小さくすることにより、コイルを被覆している各絶縁
膜による段差が上部磁性膜に影響を与えないのですぐれ
た電磁変換特性が得られ、また、上部磁性膜と最上層コ
イルの最外周部との電気的短絡のおそれがなく、かつ、
ギャップ深さ０の位置が最下層コイル直下の絶縁膜で決
定されるのでパターニングが容易で歩留りが安定すると
いう効果がある。
る絶縁膜の構造を二層構造とし、また、この絶縁膜の上
層の絶縁膜の大きさを最下層コイルを被覆する絶縁膜の
大きさよりも大きく、かつ最下層コイル直下の絶縁膜よ
り小さくすることにより、コイルを被覆している各絶縁
膜による段差が上部磁性膜に影響を与えないのですぐれ
た電磁変換特性が得られ、また、上部磁性膜と最上層コ
イルの最外周部との電気的短絡のおそれがなく、かつ、
ギャップ深さ０の位置が最下層コイル直下の絶縁膜で決
定されるのでパターニングが容易で歩留りが安定すると
いう効果がある。
第１図は本発明の薄膜磁気ヘッドの一実施例の断面図、
第２図は薄膜磁気ヘッドの従来例の断面図である。 １……基板、２……下部絶縁膜、３……下部磁性膜、４
……ギャップ膜、５……第１絶縁膜、６……第１コイ
ル、７……第２絶縁膜、８……第２コイル、９……第３
絶縁膜、10……第４絶縁膜、11……上部磁性膜、12……
保護膜、14……最外周部。
第２図は薄膜磁気ヘッドの従来例の断面図である。 １……基板、２……下部絶縁膜、３……下部磁性膜、４
……ギャップ膜、５……第１絶縁膜、６……第１コイ
ル、７……第２絶縁膜、８……第２コイル、９……第３
絶縁膜、10……第４絶縁膜、11……上部磁性膜、12……
保護膜、14……最外周部。
Claims (1)
- 【請求項１】基板上に下部磁性膜，ギャップ膜，複数層
のコイル，絶縁膜，上部磁性膜等が順次積層されて形成
される薄膜磁気ヘッドにおいて、 前記コイルのうちの最上層コイルを被覆する絶縁膜は二
重構造とされ、また該絶縁膜の上層の絶縁膜の大きさが
最下層コイルを被覆している絶縁膜の大きさより大き
く、かつ該最下層コイルの直下の絶縁膜の大きさより小
さく形成されていることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7721389A JPH081689B2 (ja) | 1989-03-28 | 1989-03-28 | 薄膜磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7721389A JPH081689B2 (ja) | 1989-03-28 | 1989-03-28 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02254614A JPH02254614A (ja) | 1990-10-15 |
| JPH081689B2 true JPH081689B2 (ja) | 1996-01-10 |
Family
ID=13627556
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7721389A Expired - Lifetime JPH081689B2 (ja) | 1989-03-28 | 1989-03-28 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH081689B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2539536B2 (ja) * | 1989-08-23 | 1996-10-02 | 株式会社日立製作所 | 薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 |
| US6400527B1 (en) | 1998-11-13 | 2002-06-04 | Alps Electric Co., Ltd. | Thin film magnetic head having upper core layer with narrow track width |
-
1989
- 1989-03-28 JP JP7721389A patent/JPH081689B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02254614A (ja) | 1990-10-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090110 Year of fee payment: 13 |
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| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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