JPH081795B2 - スパッタイオンポンプ - Google Patents
スパッタイオンポンプInfo
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- JPH081795B2 JPH081795B2 JP4112424A JP11242492A JPH081795B2 JP H081795 B2 JPH081795 B2 JP H081795B2 JP 4112424 A JP4112424 A JP 4112424A JP 11242492 A JP11242492 A JP 11242492A JP H081795 B2 JPH081795 B2 JP H081795B2
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- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
ッタイオンポンプに関する。
して備えた従来のスパッタイオンポンプの斜視図であ
り、その一部を破断して内部が見えるようにしたもので
ある。ポンプ素子２は、ポンプ容器４の内部に収納され
ており、ポンプ素子２に平行磁場を印加する為のマグネ
ット６は、ポンプ容器４の外部からポンプ素子２をはさ
み込む状態で取り付けられる。シース型ヒーター８はマ
グネット６の外側に巻き付けられており、場合によって
はさらにこの上からアルミ箔等の保温材を貼り付けて、
シース型ヒーター８に通電することにより、ポンプ容器
４並びにポンプ素子２の加熱を行っている。この加熱に
より、ポンプ容器４の内壁やポンプ素子２に吸着してい
るガス分子などを放出させている。
プの再生、到達圧力の向上、並びに超高真空、極高真空
を作る上で、必要不可欠の操作である。しかしながら、
上記従来の加熱機構ではシース型ヒーター８とポンプ容
器４との間にマグネット６があるため、このマグネット
６が熱の伝導を妨げ、ポンプ容器４並びにポンプ素子２
の効率的な加熱が行えないという問題があった。
るマグネット６は、フェライトマグネット、希土類マグ
ネット等に代表される高出力マグネットが主であるた
め、比較的熱的影響を受けやすく、ポンプ容器４とポン
プ素子２の加熱温度を上昇させようとすると、マグネッ
ト６の減磁を引きおこしやすいという問題があった。
容器４とポンプ素子２の加熱温度はできるだけ高くした
いが、一方で、マグネットの加熱温度はできるだけ低く
したい、という相反する条件で加熱を行わなければなら
ないという欠点があった。
し、ポンプ容器並びにポンプ素子の高効率の加熱が可能
となるとともに、加熱時のマグネットの温度上昇を低減
した加熱機構を備えたスパッタイオンポンプを提供する
ことにある。
めに、本発明のスパッタイオンポンプは、ポンプ容器と
マグネットとの間にポンプ加熱用ヒーターを設けてい
る。ここで、ポンプ容器とは、ポンプ素子を収納する真
空容器を意味する。
ンレス鋼などの金属製ヒーターカバーを配置すれば、よ
り効果的である。ヒーターとしてはフレキシブルヒータ
ーを用いることができる。
の間にヒーターを配置することにより、マグネットを介
することなくポンプ容器並びにポンプ素子へヒーターか
ら直接熱が伝わることになるため、高効率な加熱が可能
となる。さらに、マグネット表面がヒーターに覆われず
に常に露出した状態となるため、マグネットの放熱効果
が高くなり、加熱によるマグネットの温度上昇を最小限
に抑えることができる。
ーカバーを取り付けると、ヒーターの熱を遮蔽してマグ
ネットへの熱の伝わりを抑えるとともに、ヒーターの取
付けを確実なものにする作用がある。
一般的な二極型スパッタイオンポンプに本発明を適用し
た実施例であり、ポンプの一部を破断して内部が見える
ようにした斜視図である。
発生するためのポンプ素子１２が収納されている。ポン
プ容器１０の外側には、ポンプ素子１２を取り囲むよう
にフレキシブルヒーター１４が取付けられており、その
上からヒーターカバー１６がフレキシブルヒーター１４
を押さえ込むように取り付けられている。さらに、マグ
ネット１８はヒーターカバー１６の外側に配置されてい
る。図２は本実施例のスパッタイオンポンプの一部を示
す正面断面図であり、ヒーターカバー１６の取り付け方
法を示している。ヒーターカバー１６の下端はカバー押
さえ２０でポンプ容器１０に固定され、ヒーターカバー
１６の上端はカバー押さえ２２でポンプ容器１０に固定
されている。ヒーターカバー１６はＳＵＳ３０４または
ＳＵＳ３１６ステンレス鋼で製作される。
バー１６に押さえられてポンプ容器１０に密着している
ため、加熱時の熱は、ポンプ容器１０とその内部のポン
プ素子１２を直接加熱することになり、特に、ポンプ素
子１２が高効率で加熱されることになる。また、フレキ
シブルヒーター１４やヒーターカバー１６等の加熱機構
をマグネット１８の内側に配置することにより、マグネ
ット１８の表面が常に外部に露出した構造となり、その
効果としてマグネット１８の放熱効果が向上し、加熱に
よるマグネット１８の温度上昇を最小限に抑えることが
できる。
ー１４をつつみ込む効果としては、フレキシブルヒータ
ー１４の熱を遮断してマグネット１８への熱の伝わりを
抑えるとともに、フレキシブルヒーター１４の取付けを
確実なものにする効果がある。
本発明を適用した場合について説明したが、本発明はそ
の他のタイプのイオンポンプにも適用でき、例えば三極
型イオンポンプ、ポスト型イオンポンプ、マグネトロン
型イオンポンプなど、磁場を利用する全てのイオンポン
プに適用できる。なお、マグネットは、永久磁石に限ら
ず、電磁石を利用してもよい。また、ヒーターとして
は、フレキシブルヒーターのような柔軟性をもつヒータ
ーに限らず、固定式のプレートヒーター等を利用しても
よい。
にヒーターを配置することにより、ポンプ容器並びにポ
ンプ素子への高効率の加熱が可能となるとともに、加熱
時のマグネットの放熱効果を向上させて、マグネットの
温度上昇を最小限に抑える効果がある。
図である。
断面図である。
示した斜視図である。
Claims (1)
- 【請求項１】 ポンプ容器とマグネットとの間にポンプ
加熱用のフレキシブルヒーターを設け、このフレキシブ
ルヒーターをヒーターカバーで押さえることによって、
フレキシブルヒーターをポンプ容器に密着させたことを
特徴とするスパッタイオンポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4112424A JPH081795B2 (ja) | 1992-04-06 | 1992-04-06 | スパッタイオンポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4112424A JPH081795B2 (ja) | 1992-04-06 | 1992-04-06 | スパッタイオンポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05290791A JPH05290791A (ja) | 1993-11-05 |
| JPH081795B2 true JPH081795B2 (ja) | 1996-01-10 |
Family
ID=14586300
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4112424A Expired - Fee Related JPH081795B2 (ja) | 1992-04-06 | 1992-04-06 | スパッタイオンポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH081795B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4557681B2 (ja) * | 2004-11-09 | 2010-10-06 | 株式会社アルバック | スパッタイオンポンプ |
-
1992
- 1992-04-06 JP JP4112424A patent/JPH081795B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05290791A (ja) | 1993-11-05 |
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