JPH08189939A - プロービング特性試験装置 - Google Patents
プロービング特性試験装置Info
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- JPH08189939A JPH08189939A JP7001674A JP167495A JPH08189939A JP H08189939 A JPH08189939 A JP H08189939A JP 7001674 A JP7001674 A JP 7001674A JP 167495 A JP167495 A JP 167495A JP H08189939 A JPH08189939 A JP H08189939A
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- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims abstract description 115
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 67
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 5
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
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- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、プローブを被試験回路基板上の接
続端子の上を移動させて試験を行うプロービング特性試
験装置に関し、ファインピッチの回路基板であっても１
本あるいは複数本のプローブで順次走査し、いずれのピ
ッチについても任意の試験回路に接続して試験を可能に
することを目的とする。 【構成】 １本あるいは複数本のプローブを被試験回路
基板上の接続端子の上を移動させる移動機構と、この移
動機構によって１本あるいは複数本のプローブを被試験
回路基板上の接続端子に接触させた状態で、該当する試
験回路に切り換える切替回路と、この切替回路によって
切り換えられた試験回路が１本あるいは複数本のプロー
ブを介して信号を受信あるいは送出して試験を行う試験
回路とを備え、この試験回路によって試験された結果を
出力するように構成する。
続端子の上を移動させて試験を行うプロービング特性試
験装置に関し、ファインピッチの回路基板であっても１
本あるいは複数本のプローブで順次走査し、いずれのピ
ッチについても任意の試験回路に接続して試験を可能に
することを目的とする。 【構成】 １本あるいは複数本のプローブを被試験回路
基板上の接続端子の上を移動させる移動機構と、この移
動機構によって１本あるいは複数本のプローブを被試験
回路基板上の接続端子に接触させた状態で、該当する試
験回路に切り換える切替回路と、この切替回路によって
切り換えられた試験回路が１本あるいは複数本のプロー
ブを介して信号を受信あるいは送出して試験を行う試験
回路とを備え、この試験回路によって試験された結果を
出力するように構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、プローブを被試験回路
基板上の接続端子の上を移動させて試験を行うプロービ
ング特性試験装置に関するものである。
基板上の接続端子の上を移動させて試験を行うプロービ
ング特性試験装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、プリント基板の多数のピン端子
（接続端子）の試験を行う場合、ピンの間隔が広い場合
には、このピンの間隔に合わせたピンを持つ治具を作成
し、治具を被試験対象のプリント基板のピン端子に同時
に接触させ、試験を行っていた。
（接続端子）の試験を行う場合、ピンの間隔が広い場合
には、このピンの間隔に合わせたピンを持つ治具を作成
し、治具を被試験対象のプリント基板のピン端子に同時
に接触させ、試験を行っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、プリント基板
のピン端子の間隔がファインピッチ言われる０．３ｍｍ
にもなってくると、治具のピンの太さやその先端のプロ
ーブ径をこのピッチ以下にする必要があり、作成が困難
であると共に、このような細いプローブの全てを同時に
試験対象のプリント基板の端子に接触させることが難し
いという問題があった。
のピン端子の間隔がファインピッチ言われる０．３ｍｍ
にもなってくると、治具のピンの太さやその先端のプロ
ーブ径をこのピッチ以下にする必要があり、作成が困難
であると共に、このような細いプローブの全てを同時に
試験対象のプリント基板の端子に接触させることが難し
いという問題があった。
【０００４】本発明は、これらの問題を解決するため、
ファインピッチの回路基板であっても１本あるいは複数
本のプローブで順次走査し、いずれのピッチについても
任意の試験回路に接続して試験を可能にすることを目的
としている。
ファインピッチの回路基板であっても１本あるいは複数
本のプローブで順次走査し、いずれのピッチについても
任意の試験回路に接続して試験を可能にすることを目的
としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】図１を参照して課題を解
決するための手段を説明する。図１において、プローブ
１は、１本あるいは複数本のプローブであって、被試験
回路基板３の接続端子４の上を移動して信号を取り出し
たり、入力したりするものである。
決するための手段を説明する。図１において、プローブ
１は、１本あるいは複数本のプローブであって、被試験
回路基板３の接続端子４の上を移動して信号を取り出し
たり、入力したりするものである。
【０００６】移動機構２は、プローブ１を被試験回路基
板３の接続端子４の上を移動させるものである。被試験
回路基板３は、試験対象の回路基板である。
板３の接続端子４の上を移動させるものである。被試験
回路基板３は、試験対象の回路基板である。
【０００７】マルチプレクサ５は、切替回路の例であっ
て、プローブ１からの信号を任意の試験回路６に切り替
えたり、任意の試験回路６からの信号を切り替えてプロ
ーブ１に供給したりするものである。
て、プローブ１からの信号を任意の試験回路６に切り替
えたり、任意の試験回路６からの信号を切り替えてプロ
ーブ１に供給したりするものである。
【０００８】試験回路６は、プローブ１からの信号ある
いはプローブ１へ信号を供給して各種試験を行うもので
ある。制御回路７は、全体を統括制御するものである。
いはプローブ１へ信号を供給して各種試験を行うもので
ある。制御回路７は、全体を統括制御するものである。
【０００９】判定結果テーブル８は、ピン番号に対応づ
けて試験データおよび試験結果を保存するものである。
けて試験データおよび試験結果を保存するものである。
【００１０】
【作用】本発明は、図１に示すように、移動機構２が１
本あるいは複数本のプローブ１を被試験回路基板上の接
続端子４の上を移動させ、切替回路であるマルチプレク
サ５が接続端子４と対応する試験回路６とを接続するよ
うに切り替え、切り替えられた試験回路６が１本あるい
は複数本のプローブ１を介して信号を受信あるいは送出
して試験を行うようにしている。
本あるいは複数本のプローブ１を被試験回路基板上の接
続端子４の上を移動させ、切替回路であるマルチプレク
サ５が接続端子４と対応する試験回路６とを接続するよ
うに切り替え、切り替えられた試験回路６が１本あるい
は複数本のプローブ１を介して信号を受信あるいは送出
して試験を行うようにしている。
【００１１】この際、制御回路７が試験結果を、判断結
果テーブル８に、ピン番号に対応づけて試験データおよ
び判定結果を順次保存しておき、試験終了したときに合
格のときはその旨、不合格のときは不合格のピン番号、
試験データおよび判定結果のリストを出力するようにし
ている。
果テーブル８に、ピン番号に対応づけて試験データおよ
び判定結果を順次保存しておき、試験終了したときに合
格のときはその旨、不合格のときは不合格のピン番号、
試験データおよび判定結果のリストを出力するようにし
ている。
【００１２】また、１本あるいは複数本のプローブ１と
して、先端に微小なボールあるいはボールベアリングと
し、接続端子４の上を移動しやすくするようにしてい
る。従って、ファインピッチの回路基板であっても１本
あるいは複数本のプローブ１で順次走査し、いずれのピ
ッチの接続端子４を持つ被試験回路基板３であっても容
易に試験を行うことが可能となる。
して、先端に微小なボールあるいはボールベアリングと
し、接続端子４の上を移動しやすくするようにしてい
る。従って、ファインピッチの回路基板であっても１本
あるいは複数本のプローブ１で順次走査し、いずれのピ
ッチの接続端子４を持つ被試験回路基板３であっても容
易に試験を行うことが可能となる。
【００１３】
【実施例】次に、図２のフローチャートに示す順序に従
い、図１の構成の実施例の動作を詳細に説明する。
い、図１の構成の実施例の動作を詳細に説明する。
【００１４】図２において、Ｓ１は、スタートポイント
座標、プローブ移動ピッチ、ピン数Ｍを入力する。これ
は、図１の被試験回路基板３の試験を行おうとする試験
者が、図示外の試験用画面上から、被試験回路基板３の ・接続端子４のスタートポイント座標： ・プローブ移動ピッチｐ：例えばｐ＝０．３３ｍｍ ・ピン数Ｍ をそれぞれ入力し、設定する。
座標、プローブ移動ピッチ、ピン数Ｍを入力する。これ
は、図１の被試験回路基板３の試験を行おうとする試験
者が、図示外の試験用画面上から、被試験回路基板３の ・接続端子４のスタートポイント座標： ・プローブ移動ピッチｐ：例えばｐ＝０．３３ｍｍ ・ピン数Ｍ をそれぞれ入力し、設定する。
【００１５】Ｓ２は、プローブをスタートポイントに移
動する。これは、図１の移動機構２が、Ｓ１で入力され
た接続端子４のスタートポイント座標にプローブ１を移
動し、ピンＮｏ．の例えばｍ＝１の位置に移動させる。
動する。これは、図１の移動機構２が、Ｓ１で入力され
た接続端子４のスタートポイント座標にプローブ１を移
動し、ピンＮｏ．の例えばｍ＝１の位置に移動させる。
【００１６】Ｓ３は、光学顕微鏡にて微調整する。これ
は、Ｓ２で移動機構２によって、プローブ１を設定され
たスタートポイントに移動されているが、念のために光
学顕微鏡で試験者が接続端子の中央にプローブ１が接触
するように移動されているか確認し、もしわずかでもず
れていた場合に微調整を行い、接続端子４の中央にプロ
ーブ１が接触するようにする。
は、Ｓ２で移動機構２によって、プローブ１を設定され
たスタートポイントに移動されているが、念のために光
学顕微鏡で試験者が接続端子の中央にプローブ１が接触
するように移動されているか確認し、もしわずかでもず
れていた場合に微調整を行い、接続端子４の中央にプロ
ーブ１が接触するようにする。
【００１７】Ｓ４は、現在プロービングしているピンＮ
ｏ．ｍ＝１と初期設定する。Ｓ５は、プローブと試験回
路とをスイッチマトリクスにより接続し試験する。これ
は、図１のマルチプレクサ（スイッチマトリクス）５が
プローブ１と、試験データによって指定された試験回路
６とを接続するように切り替えた後、切り替えられた試
験回路６がプローブ１から信号を取り込んだり、信号を
送出したりし、被試験回路基板３の試験を行う。例えば
信号をプローブ１から取り込んで電圧、電流、波形など
を測定したり、あるいは信号をプローブ１に送出してそ
のときの電圧、電流、波形などを測定したりなどの試験
を行う。尚、電源やアースラインなどは別途固定したプ
ローブあるいはコネクタによって供給したり、更に加え
て信号を供給する必要のある接続端子４には固定のプロ
ーブあるいはコネクタにより信号（試験データ）を供給
し、プローブ１によって接続端子４からの信号を取り出
して試験するのみとしてもよい。これは、被試験回路基
板３の試験データの内容によって効率的に行えるように
任意に選択すればよい。また、図１は、プローブ１を１
本のみとしたが、プローブ１を複数本として、これらを
走査して任意の位置の接続端子４と接触させて試験を行
うようにしてもよい。
ｏ．ｍ＝１と初期設定する。Ｓ５は、プローブと試験回
路とをスイッチマトリクスにより接続し試験する。これ
は、図１のマルチプレクサ（スイッチマトリクス）５が
プローブ１と、試験データによって指定された試験回路
６とを接続するように切り替えた後、切り替えられた試
験回路６がプローブ１から信号を取り込んだり、信号を
送出したりし、被試験回路基板３の試験を行う。例えば
信号をプローブ１から取り込んで電圧、電流、波形など
を測定したり、あるいは信号をプローブ１に送出してそ
のときの電圧、電流、波形などを測定したりなどの試験
を行う。尚、電源やアースラインなどは別途固定したプ
ローブあるいはコネクタによって供給したり、更に加え
て信号を供給する必要のある接続端子４には固定のプロ
ーブあるいはコネクタにより信号（試験データ）を供給
し、プローブ１によって接続端子４からの信号を取り出
して試験するのみとしてもよい。これは、被試験回路基
板３の試験データの内容によって効率的に行えるように
任意に選択すればよい。また、図１は、プローブ１を１
本のみとしたが、プローブ１を複数本として、これらを
走査して任意の位置の接続端子４と接触させて試験を行
うようにしてもよい。
【００１８】Ｓ６は、ピンＮｏ．ｍ、試験データ、個別
判定結果を保存する。これは、Ｓ５で試験した結果とし
て、 ・ピンＮｏ．：ｍ ・試験データ ・個別判定結果 を後述する図３の判定結果保存テーブル８に示すように
保存する。
判定結果を保存する。これは、Ｓ５で試験した結果とし
て、 ・ピンＮｏ．：ｍ ・試験データ ・個別判定結果 を後述する図３の判定結果保存テーブル８に示すように
保存する。
【００１９】Ｓ７は、プローブと試験回路とをスイッチ
マトリクスにより開放する。これは、Ｓ５でスイッチマ
トリクスでプローブ１と試験回路６とを試験データで指
定されたように切り替えた状態で試験を終わったので、
両者の接続を開放する。
マトリクスにより開放する。これは、Ｓ５でスイッチマ
トリクスでプローブ１と試験回路６とを試験データで指
定されたように切り替えた状態で試験を終わったので、
両者の接続を開放する。
【００２０】Ｓ８は、ｍ＝Ｍか、即ち現在の接続端子４
の番号ｍと、試験対象の最大のピン番号Ｍとが等しくな
り、全ての接続端子について試験を終了したか判別す
る。ＹＥＳの場合には、Ｓ１１に進む。ＮＯの場合に
は、全ての接続端子４の試験をまだ終了していないの
で、Ｓ９に進む。
の番号ｍと、試験対象の最大のピン番号Ｍとが等しくな
り、全ての接続端子について試験を終了したか判別す
る。ＹＥＳの場合には、Ｓ１１に進む。ＮＯの場合に
は、全ての接続端子４の試験をまだ終了していないの
で、Ｓ９に進む。
【００２１】Ｓ９は、ｍ＝ｍ＋１し、次のピン番号にす
る。Ｓ１０は、プローブをピッチ分だけ移動する。これ
は、図１の移動機構２がプローブ１を指定されたピッチ
分（例えばｐ＝０．３３ｍｍ分）だけ移動し、次の接続
端子４に位置づける。そして、Ｓ５に戻り繰り返す。
る。Ｓ１０は、プローブをピッチ分だけ移動する。これ
は、図１の移動機構２がプローブ１を指定されたピッチ
分（例えばｐ＝０．３３ｍｍ分）だけ移動し、次の接続
端子４に位置づける。そして、Ｓ５に戻り繰り返す。
【００２２】以上のＳ１からＳ１０によって、図１の被
試験回路基板３上の指定された接続端子４の上を移動機
構２によってプローブ１が順次移動されて位置づけら
れ、この位置づけられた状態で、マルチプレクサ５が試
験データで指定された試験回路６とプローブ１とを切り
替えて接続し、試験回路６がプローブ１から信号を取り
込んだり、信号をプローブ１に送出したりし、試験を行
い、その結果を判定結果保存テーブル８に保存すること
を全ての接続端子４について繰り返し測定を終了したこ
ととなる。
試験回路基板３上の指定された接続端子４の上を移動機
構２によってプローブ１が順次移動されて位置づけら
れ、この位置づけられた状態で、マルチプレクサ５が試
験データで指定された試験回路６とプローブ１とを切り
替えて接続し、試験回路６がプローブ１から信号を取り
込んだり、信号をプローブ１に送出したりし、試験を行
い、その結果を判定結果保存テーブル８に保存すること
を全ての接続端子４について繰り返し測定を終了したこ
ととなる。
【００２３】次に、Ｓ１１は、総合判定を行う。総合判
定は、 ・合格／不合格 の判定を行う。
定は、 ・合格／不合格 の判定を行う。
【００２４】Ｓ１２は、判定結果を表示する。判定結果
の内容は、右側に図示したように、 １．合格の場合： ・判定結果のみ（この試験回路基板３は試験に合格） ２．不合格の場合： ・不合格 ・不合格箇所のピンＮｏ． ・試験データ を表示する。
の内容は、右側に図示したように、 １．合格の場合： ・判定結果のみ（この試験回路基板３は試験に合格） ２．不合格の場合： ・不合格 ・不合格箇所のピンＮｏ． ・試験データ を表示する。
【００２５】以上のＳ１１からＳ１２によって、判定結
果保存テーブル８に保存された各接続端子の試験データ
および当該接続端子４の判定結果をもとに総合判定とし
て、全部の接続端子４の判定結果が規格内であった場合
に合格とし、１つの接続端子４でも規格外であった場合
には不合格とし、その規格外のピンＮｏ．、試験データ
および試験結果（測定した実際の値）のリストを表示な
どする。これにより、被試験回路基板３の接続端子４を
プローブ１で順次自動的に走査して試験を行うことが可
能となると共に、被試験回路基板３の接続端子４のピッ
チがどのように変化してもその値を設定するのみで自動
的にピッチに合わせて試験を行う汎用性を持たせること
が可能となった。
果保存テーブル８に保存された各接続端子の試験データ
および当該接続端子４の判定結果をもとに総合判定とし
て、全部の接続端子４の判定結果が規格内であった場合
に合格とし、１つの接続端子４でも規格外であった場合
には不合格とし、その規格外のピンＮｏ．、試験データ
および試験結果（測定した実際の値）のリストを表示な
どする。これにより、被試験回路基板３の接続端子４を
プローブ１で順次自動的に走査して試験を行うことが可
能となると共に、被試験回路基板３の接続端子４のピッ
チがどのように変化してもその値を設定するのみで自動
的にピッチに合わせて試験を行う汎用性を持たせること
が可能となった。
【００２６】図３は、本発明の判定結果保存テーブル例
を示す。これは、図２のＳ６で試験したときの情報 ・ピンＮｏ．：ｍ ・試験データ： ・判定結果： を保存した例であって、ここでは、図示の下記の ・ピンＮｏ．：ｍ ・試験データ：Ｄ ・判定結果フラグ：規格内／規格外の区別 および、総合判定結果を保存する。ここで、試験データ
には、プローブ１によって接続端子４から取り出した信
号を測定する、規格値、電圧／電流／波形のいずれの区
別、更にいずれの試験回路６（例えば電圧を測定する試
験回路６、電流を測定する試験回路６、波形を測定する
試験回路６（テジタルオシロスコープなど））に切り替
えて接続するかの区別を予め設定しておく（これによ
り、マルチプレクサ５がプローブ１をこの設定されてい
る試験回路６に自動的に切り替えることとなる）。
を示す。これは、図２のＳ６で試験したときの情報 ・ピンＮｏ．：ｍ ・試験データ： ・判定結果： を保存した例であって、ここでは、図示の下記の ・ピンＮｏ．：ｍ ・試験データ：Ｄ ・判定結果フラグ：規格内／規格外の区別 および、総合判定結果を保存する。ここで、試験データ
には、プローブ１によって接続端子４から取り出した信
号を測定する、規格値、電圧／電流／波形のいずれの区
別、更にいずれの試験回路６（例えば電圧を測定する試
験回路６、電流を測定する試験回路６、波形を測定する
試験回路６（テジタルオシロスコープなど））に切り替
えて接続するかの区別を予め設定しておく（これによ
り、マルチプレクサ５がプローブ１をこの設定されてい
る試験回路６に自動的に切り替えることとなる）。
【００２７】また、総合判定結果は、既述したように、
ピンＮｏ．の全ての判定結果が規格内のときに合格、１
つでも規格外のときに不合格とする。そして、判定結果
の出力時には、この判定結果保存テーブル８をもとに、
既述した図２のＳ１１、Ｓ１２で説明したように、合格
の旨を出力、あるいは不合格の旨と規格外のピンＮ
ｏ．、試験データのリストを出力する。
ピンＮｏ．の全ての判定結果が規格内のときに合格、１
つでも規格外のときに不合格とする。そして、判定結果
の出力時には、この判定結果保存テーブル８をもとに、
既述した図２のＳ１１、Ｓ１２で説明したように、合格
の旨を出力、あるいは不合格の旨と規格外のピンＮ
ｏ．、試験データのリストを出力する。
【００２８】図４は、本発明のプローブ先端の構造例を
示す。通常は、プローブ１の先端は金線の先端を丸くし
たもの、あるいはプローブ１を丸くして金メッキしたも
のを用い、被試験回路基板３の接続端子４上を摺動する
が、ここでは、更に、移動しやすくするために先端にボ
ール１１あるいはベアリング１３を取り付けた例を示
す。
示す。通常は、プローブ１の先端は金線の先端を丸くし
たもの、あるいはプローブ１を丸くして金メッキしたも
のを用い、被試験回路基板３の接続端子４上を摺動する
が、ここでは、更に、移動しやすくするために先端にボ
ール１１あるいはベアリング１３を取り付けた例を示
す。
【００２９】図４の（ａ）は、プローブ１の先端にボー
ル１１を取り付けた例を示す。この例では、先端に図示
のように、球のボール１１を外れないように取付け、当
該ボール１１にスプリング１２で局部的に接触して電気
的な接続を行い、プローブ１のこのボール１１と被試験
回路基板３の接続端子４とが電気的に良好に接触するよ
うにしている。このボール１１の大きさは、接続端子４
と接続端子４の間隔、即ちピッチよりも小さく、隣接す
る接続端子４の両者に接触しない小さなサイズとする。
また、このボール１１は、接続端子４との電気的な接触
を良好にするため、金メッキを施し、電気伝導性を良好
にする。
ル１１を取り付けた例を示す。この例では、先端に図示
のように、球のボール１１を外れないように取付け、当
該ボール１１にスプリング１２で局部的に接触して電気
的な接続を行い、プローブ１のこのボール１１と被試験
回路基板３の接続端子４とが電気的に良好に接触するよ
うにしている。このボール１１の大きさは、接続端子４
と接続端子４の間隔、即ちピッチよりも小さく、隣接す
る接続端子４の両者に接触しない小さなサイズとする。
また、このボール１１は、接続端子４との電気的な接触
を良好にするため、金メッキを施し、電気伝導性を良好
にする。
【００３０】以上のように、プローブ１の先端に小さな
ボール１１を埋め込んで回転自在あるいは摺動し得るよ
うにしたため、図１の被試験回路基板３の接続端子４上
をスムーズに移動（摺動）でき、移動機構２によってプ
ローブ１を移動制御して所定の接続端子４の位置に正確
に位置合わせすることが可能となる。
ボール１１を埋め込んで回転自在あるいは摺動し得るよ
うにしたため、図１の被試験回路基板３の接続端子４上
をスムーズに移動（摺動）でき、移動機構２によってプ
ローブ１を移動制御して所定の接続端子４の位置に正確
に位置合わせすることが可能となる。
【００３１】図４の（ｂ）は、プローブ１の先端にボー
ルベアリング１３を取り付けた例を示す。この例では、
先端に図示のように、微小なボールベアリング１３を取
付け、ボールベアリング１３と被試験回路基板３の接続
端子４とが電気的に良好に接触するようにしている。こ
のボールベアリング１３の大きさは、接続端子４と接続
端子４の間隔、即ちピッチよりも小さく、隣接する接続
端子４の両者に接触しない小さなサイズとする。また、
このボールベアリング１３は、接続端子４との電気的な
接触を良好にするため、接続端子４と接触する部分、更
に必要に応じてボール自身に金メッキを施し、電気伝導
性を良好にする。
ルベアリング１３を取り付けた例を示す。この例では、
先端に図示のように、微小なボールベアリング１３を取
付け、ボールベアリング１３と被試験回路基板３の接続
端子４とが電気的に良好に接触するようにしている。こ
のボールベアリング１３の大きさは、接続端子４と接続
端子４の間隔、即ちピッチよりも小さく、隣接する接続
端子４の両者に接触しない小さなサイズとする。また、
このボールベアリング１３は、接続端子４との電気的な
接触を良好にするため、接続端子４と接触する部分、更
に必要に応じてボール自身に金メッキを施し、電気伝導
性を良好にする。
【００３２】以上のように、プローブ１の先端に小さな
ボールベアリング１３を埋め込んで回転自在にしたた
め、図１の被試験回路基板３の接続端子４上をスムーズ
に移動（摺動）でき、移動機構２によってプローブ１を
移動制御して所定の接続端子４の位置に正確に位置合わ
せすることが可能となる。
ボールベアリング１３を埋め込んで回転自在にしたた
め、図１の被試験回路基板３の接続端子４上をスムーズ
に移動（摺動）でき、移動機構２によってプローブ１を
移動制御して所定の接続端子４の位置に正確に位置合わ
せすることが可能となる。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ファインピッチの回路基板であっても１本あるいは複数
本のプローブ１で被試験回路基板３の接続端子４の上を
順次走査し、該当する試験回路６に切り替えて試験を行
う構成を採用しているため、いずれのピッチの接続端子
を持つ被試験回路基板であっても容易に試験を行うこと
ができる。これらにより、 （１） 従来のプローブを全ての被試験回路基板の接続
端子上に接触させていた場合に、不可能であったファイ
ンピッチ（例えばピッチ＝０．３３ｍｍ以下）であって
も、容易に自動的に接続端子にプローブを接触させて試
験を行うことが可能となった。
ファインピッチの回路基板であっても１本あるいは複数
本のプローブ１で被試験回路基板３の接続端子４の上を
順次走査し、該当する試験回路６に切り替えて試験を行
う構成を採用しているため、いずれのピッチの接続端子
を持つ被試験回路基板であっても容易に試験を行うこと
ができる。これらにより、 （１） 従来のプローブを全ての被試験回路基板の接続
端子上に接触させていた場合に、不可能であったファイ
ンピッチ（例えばピッチ＝０．３３ｍｍ以下）であって
も、容易に自動的に接続端子にプローブを接触させて試
験を行うことが可能となった。
【００３４】（２） 被試験回路基板の接続端子のピッ
チや本数が異なっても、ピッチや、本数を指定するのみ
で、プローブをそのピッチでその本数分のみ走査し、自
動的に試験を行うことができ、汎用性のあるプローブ特
性試験装置を実現できた。
チや本数が異なっても、ピッチや、本数を指定するのみ
で、プローブをそのピッチでその本数分のみ走査し、自
動的に試験を行うことができ、汎用性のあるプローブ特
性試験装置を実現できた。
【図１】本発明の１実施例構成図である。
【図２】本発明の動作説明フローチャートである。
【図３】本発明の判定結果保存テーブル例である。
【図４】本発明のプローブ先端の構造例である。
１：プローブ ２：移動機構 ３：被試験回路基板 ４：接続端子 ５：マルチプレクサ（スイッチマトリクス、切替回路） ６：試験回路 ７：制御回路 ８：判定結果テーブル １１：ボール １２：スプリング １３：ベアリング
Claims (3)
- 【請求項１】１本あるいは複数本のプローブを被試験回
路基板上の接続端子の上を移動させる移動機構と、 この移動機構によって１本あるいは複数本のプローブを
被試験回路基板上の接続端子に接触させた状態で、該当
する試験回路に切り換える切替回路と、 この切替回路によって切り換えられた試験回路が１本あ
るいは複数本のプローブを介して信号を受信あるいは送
出して試験を行う試験回路とを備え、 この試験回路によって試験された結果を出力するように
構成したことを特徴とするプロービング特性試験装置。 - 【請求項２】上記結果として、接続端子番号に対応づけ
て試験データおよび判定結果を順次保存しておき、試験
終了したときに合格のときはその旨、不合格のときは不
合格の接続端子番号、試験データおよび判定結果のリス
トを出力することを特徴とする請求項１記載のプロービ
ング特性試験装置。 - 【請求項３】上記プローブとして、先端に微小なボール
あるいはボールベアリングとし、接続端子の上を移動し
やすくしたことを特徴とする請求項１あるいは請求項２
記載のプロービング特性試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7001674A JPH08189939A (ja) | 1995-01-10 | 1995-01-10 | プロービング特性試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7001674A JPH08189939A (ja) | 1995-01-10 | 1995-01-10 | プロービング特性試験装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08189939A true JPH08189939A (ja) | 1996-07-23 |
Family
ID=11508070
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7001674A Pending JPH08189939A (ja) | 1995-01-10 | 1995-01-10 | プロービング特性試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08189939A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0773445A3 (en) * | 1995-11-10 | 1999-08-25 | OHT Inc. | Inspection apparatus of conductive patterns |
| US6788078B2 (en) | 2001-11-16 | 2004-09-07 | Delaware Capital Formation, Inc. | Apparatus for scan testing printed circuit boards |
| JP2006275859A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Hioki Ee Corp | 回路基板検査方法およびその装置ならびに回路基板検査プローブ |
| JP2008051727A (ja) * | 2006-08-28 | 2008-03-06 | Adtec Engineeng Co Ltd | なぞり式回路基板検査装置 |
| JP2023511688A (ja) * | 2020-01-28 | 2023-03-22 | シーメンス エナジー グローバル ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト | 計器用変圧器 |
-
1995
- 1995-01-10 JP JP7001674A patent/JPH08189939A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0773445A3 (en) * | 1995-11-10 | 1999-08-25 | OHT Inc. | Inspection apparatus of conductive patterns |
| US6788078B2 (en) | 2001-11-16 | 2004-09-07 | Delaware Capital Formation, Inc. | Apparatus for scan testing printed circuit boards |
| US7071716B2 (en) | 2001-11-16 | 2006-07-04 | Delaware Capital Formation, Inc. | Apparatus for scan testing printed circuit boards |
| JP2006275859A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Hioki Ee Corp | 回路基板検査方法およびその装置ならびに回路基板検査プローブ |
| JP2008051727A (ja) * | 2006-08-28 | 2008-03-06 | Adtec Engineeng Co Ltd | なぞり式回路基板検査装置 |
| JP2023511688A (ja) * | 2020-01-28 | 2023-03-22 | シーメンス エナジー グローバル ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト | 計器用変圧器 |
| JP2024171343A (ja) * | 2020-01-28 | 2024-12-11 | ハーエスペー ホッホシュパンヌングスゲレーテ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 計器用変圧器 |
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