JPH08200314A - 低摩擦抵抗エアシリンダ - Google Patents
低摩擦抵抗エアシリンダInfo
- Publication number
- JPH08200314A JPH08200314A JP3175995A JP3175995A JPH08200314A JP H08200314 A JPH08200314 A JP H08200314A JP 3175995 A JP3175995 A JP 3175995A JP 3175995 A JP3175995 A JP 3175995A JP H08200314 A JPH08200314 A JP H08200314A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piston
- cylinder
- air
- peripheral surface
- air cylinder
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 低摩擦抵抗エアシリンダにおいて、シリンダ
２のヘッド端およびロッド端に精密減圧弁５，６を接続
しても、応答性は損なわれず、これを復動式エアシリン
ダとして使用することができるようにする。 【構成】 軸方向内孔１０がピストン１およびピストン
ロッド９に設けられ、ピストンの軸方向中央部におい
て、軸方向内孔がピストンの外周面に開口し、エアがシ
リンダの内周壁とピストンの外周面間に洩れたとき、そ
れを軸方向内孔を介して大気に放出することができる。
２のヘッド端およびロッド端に精密減圧弁５，６を接続
しても、応答性は損なわれず、これを復動式エアシリン
ダとして使用することができるようにする。 【構成】 軸方向内孔１０がピストン１およびピストン
ロッド９に設けられ、ピストンの軸方向中央部におい
て、軸方向内孔がピストンの外周面に開口し、エアがシ
リンダの内周壁とピストンの外周面間に洩れたとき、そ
れを軸方向内孔を介して大気に放出することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、低摩擦抵抗エアシリ
ンダに関するものである。
ンダに関するものである。
【０００２】
【従来技術とその問題点】低摩擦抵抗エアシリンダとは
シリンダの内周壁に沿ってスライドするピストンの摩擦
抵抗が低いエアシリンダのことである。したがって、単
動式エアシリンダにおいて、シリンダのヘッド端にエア
を供給し、エアをピストンの端面に作用させると、エア
によってピストンが推進され、その摩擦抵抗の問題がな
く、高い精度を得ることができる。低摩擦抵抗エアシリ
ンダの場合、エアがシリンダの内周壁とピストンの外周
面間を通り、シリンダのロッド端に洩れるという問題は
あるが、単動式エアシリンダでは、エアがシリンダのロ
ッド端に洩れても、それを大気に放出することができ、
支障はない。
シリンダの内周壁に沿ってスライドするピストンの摩擦
抵抗が低いエアシリンダのことである。したがって、単
動式エアシリンダにおいて、シリンダのヘッド端にエア
を供給し、エアをピストンの端面に作用させると、エア
によってピストンが推進され、その摩擦抵抗の問題がな
く、高い精度を得ることができる。低摩擦抵抗エアシリ
ンダの場合、エアがシリンダの内周壁とピストンの外周
面間を通り、シリンダのロッド端に洩れるという問題は
あるが、単動式エアシリンダでは、エアがシリンダのロ
ッド端に洩れても、それを大気に放出することができ、
支障はない。
【０００３】しかしながら、復動式エアシリンダでは、
シリンダのヘッド端およびロッド端にエアを供給する必
要があり、ヘッド端およびロッド端に精密減圧弁を接続
する必要がある。このため、たとえば、ヘッド端にエア
を供給したとき、エアがシリンダの内周壁とピストンの
外周面間を通り、シリンダのロッド端に洩れると、精密
減圧弁によってその放出が阻害され、ロッド端におい
て、エアがピストンの端面に作用し、ヘッド端のエアに
干渉する。これによって応答性が損なわれる。反対に、
ロッド端にエアを供給したとき、エアがシリンダの内周
壁とピストンの外周面間を通り、ヘッド端に洩れると、
それがピストンの端面に作用し、ヘッド端のエアに干渉
し、これによって応答性が損なわれる。したがって、こ
れまで、低摩擦抵抗エアシリンダは単動式エアシリンダ
に限られ、これを復動式エアシリンダに使用することは
できなかった。
シリンダのヘッド端およびロッド端にエアを供給する必
要があり、ヘッド端およびロッド端に精密減圧弁を接続
する必要がある。このため、たとえば、ヘッド端にエア
を供給したとき、エアがシリンダの内周壁とピストンの
外周面間を通り、シリンダのロッド端に洩れると、精密
減圧弁によってその放出が阻害され、ロッド端におい
て、エアがピストンの端面に作用し、ヘッド端のエアに
干渉する。これによって応答性が損なわれる。反対に、
ロッド端にエアを供給したとき、エアがシリンダの内周
壁とピストンの外周面間を通り、ヘッド端に洩れると、
それがピストンの端面に作用し、ヘッド端のエアに干渉
し、これによって応答性が損なわれる。したがって、こ
れまで、低摩擦抵抗エアシリンダは単動式エアシリンダ
に限られ、これを復動式エアシリンダに使用することは
できなかった。
【０００４】
【発明の目的】この発明は、低摩擦抵抗エアシリンダに
おいて、シリンダのヘッド端およびロッド端に精密減圧
弁を接続しても、応答性は損なわれず、これを復動式エ
アシリンダとして使用することができるようにすること
を目的としてなされたものである。
おいて、シリンダのヘッド端およびロッド端に精密減圧
弁を接続しても、応答性は損なわれず、これを復動式エ
アシリンダとして使用することができるようにすること
を目的としてなされたものである。
【０００５】
【発明の構成】この発明によれば、軸方向内孔がピスト
ンおよびピストンロッドに設けられ、ピストンの軸方向
中央部において、軸方向内孔がピストンの外周面に開口
する。したがって、エアがシリンダの内周壁とピストン
の外周面間に洩れたとき、それを軸方向内孔を介して大
気に放出することができる。
ンおよびピストンロッドに設けられ、ピストンの軸方向
中央部において、軸方向内孔がピストンの外周面に開口
する。したがって、エアがシリンダの内周壁とピストン
の外周面間に洩れたとき、それを軸方向内孔を介して大
気に放出することができる。
【０００６】
【実施例の説明】以下、この発明の実施例を説明する。
【０００７】図１において、これは復動式エアシリンダ
であり、ピストン１を有する。ピストン１はシリンダ２
に収容されており、その内周壁に沿ってスライドするこ
とができる。さらに、シリンダ２のヘッド端およびロッ
ド端にポート３，４が形成され、精密減圧弁５，６が接
続され、一対のピストンリング７，８がシリンダ２の内
周壁とピストン１の外周面間に設けられ、ピストンリン
グ７，８によってシリンダ２の内周壁とピストン１の外
周面間がシールされている。したがって、エアを精密減
圧弁５に供給すると、精密減圧弁５によってエアが減圧
され、それがポート３を通り、シリンダ２のヘッド端に
エアが供給される。したがって、シリンダ２のヘッド端
において、エアがピストン１の端面に作用し、エアによ
ってピストン１が推進される。反対に、エアを精密減圧
弁６に供給すると、精密減圧弁６によってエアが減圧さ
れ、それがポート４を通り、シリンダ２のロッド端にエ
アが供給される。したがって、シリンダ２のロッド端に
おいて、エアがピストン１の端面に作用し、エアによっ
てピストン１が推進される。
であり、ピストン１を有する。ピストン１はシリンダ２
に収容されており、その内周壁に沿ってスライドするこ
とができる。さらに、シリンダ２のヘッド端およびロッ
ド端にポート３，４が形成され、精密減圧弁５，６が接
続され、一対のピストンリング７，８がシリンダ２の内
周壁とピストン１の外周面間に設けられ、ピストンリン
グ７，８によってシリンダ２の内周壁とピストン１の外
周面間がシールされている。したがって、エアを精密減
圧弁５に供給すると、精密減圧弁５によってエアが減圧
され、それがポート３を通り、シリンダ２のヘッド端に
エアが供給される。したがって、シリンダ２のヘッド端
において、エアがピストン１の端面に作用し、エアによ
ってピストン１が推進される。反対に、エアを精密減圧
弁６に供給すると、精密減圧弁６によってエアが減圧さ
れ、それがポート４を通り、シリンダ２のロッド端にエ
アが供給される。したがって、シリンダ２のロッド端に
おいて、エアがピストン１の端面に作用し、エアによっ
てピストン１が推進される。
【０００８】また、これは低摩擦抵抗エアシリンダであ
る。したがって、ピストン１の摩擦抵抗の問題がなく、
高い精度を得ることはできるが、摩擦抵抗の関係上、ピ
ストンリング７，８のシール作用を高めることはできな
い。このため、シリンダ２のヘッド端またはロッド端に
エアを供給したとき、エアがピストンリング７，８を越
え、シリンダ２の内周面とピストン１の外周面間に洩れ
る。これを踏まえ、このエアシリンダでは、ピストン１
およびピストンロッド９に軸方向内孔１０が形成されて
いる。これは洩れたエアを放出するためのもので、ピス
トン１の軸方向中央部において、軸方向内孔１０はピス
トン１の半径方向内孔１１に連通し、ピストン１の外周
面に開口している。その位置は各ピストンリング７，８
間の位置である。さらに、シリンダ２の外部において、
軸方向内孔１０がピストンロッド９の半径方向内孔１２
に連通し、シリンダ２の外部に開口している。
る。したがって、ピストン１の摩擦抵抗の問題がなく、
高い精度を得ることはできるが、摩擦抵抗の関係上、ピ
ストンリング７，８のシール作用を高めることはできな
い。このため、シリンダ２のヘッド端またはロッド端に
エアを供給したとき、エアがピストンリング７，８を越
え、シリンダ２の内周面とピストン１の外周面間に洩れ
る。これを踏まえ、このエアシリンダでは、ピストン１
およびピストンロッド９に軸方向内孔１０が形成されて
いる。これは洩れたエアを放出するためのもので、ピス
トン１の軸方向中央部において、軸方向内孔１０はピス
トン１の半径方向内孔１１に連通し、ピストン１の外周
面に開口している。その位置は各ピストンリング７，８
間の位置である。さらに、シリンダ２の外部において、
軸方向内孔１０がピストンロッド９の半径方向内孔１２
に連通し、シリンダ２の外部に開口している。
【０００９】したがって、このエアシリンダにおいて、
たとえば、シリンダ２のヘッド端にエアを供給したと
き、エアがシリンダ２の内周壁とピストン１の外周面間
に洩れても、支障はない。洩れたエアは半径方向内孔１
１、軸方向内孔１０および半径方向内孔１２を通り、大
気に放出される。したがって、エアがシリンダ２の内周
壁とピストン１の外周面間を通り、シリンダ２のロッド
端に洩れることはない。したがって、ロッド端におい
て、エアがピストン１の端面に作用し、ヘッド端のエア
に干渉することはなく、応答性は損なわれない。反対
に、シリンダ２のロッド端にエアを供給したとき、エア
がシリンダ２の内周壁とピストン１の外周面間に洩れて
も、それは半径方向内孔１１、軸方向内孔１０および半
径方向内孔１２を通り、大気に放出され、エアがシリン
ダ２の内周壁とピストン１の外周面間を通り、シリンダ
２のヘッド端に洩れることはない。したがって、ヘッド
端において、エアがピストン１の端面に作用し、ロッド
端のエアに干渉することはなく、応答性は損なわれな
い。
たとえば、シリンダ２のヘッド端にエアを供給したと
き、エアがシリンダ２の内周壁とピストン１の外周面間
に洩れても、支障はない。洩れたエアは半径方向内孔１
１、軸方向内孔１０および半径方向内孔１２を通り、大
気に放出される。したがって、エアがシリンダ２の内周
壁とピストン１の外周面間を通り、シリンダ２のロッド
端に洩れることはない。したがって、ロッド端におい
て、エアがピストン１の端面に作用し、ヘッド端のエア
に干渉することはなく、応答性は損なわれない。反対
に、シリンダ２のロッド端にエアを供給したとき、エア
がシリンダ２の内周壁とピストン１の外周面間に洩れて
も、それは半径方向内孔１１、軸方向内孔１０および半
径方向内孔１２を通り、大気に放出され、エアがシリン
ダ２の内周壁とピストン１の外周面間を通り、シリンダ
２のヘッド端に洩れることはない。したがって、ヘッド
端において、エアがピストン１の端面に作用し、ロッド
端のエアに干渉することはなく、応答性は損なわれな
い。
【００１０】したがって、低摩擦抵抗エアシリンダを復
動式エアシリンダとして使用することができるものであ
る。したがって、復動シリンダにおいて、摩擦抵抗の問
題がなく、高い精度を得ることができ、その利用範囲は
広い。たとえば、紙、プラスチックフィルムなどの連続
ウエブを巻き取る巻取機において、押さえローラを巻取
ロールに接触させ、復動式エアシリンダによって押さえ
ローラを操作し、接圧を制御するとき、低摩擦抵抗エア
シリンダを復動式エアシリンダとして使用し、高い精度
を得ることができる。
動式エアシリンダとして使用することができるものであ
る。したがって、復動シリンダにおいて、摩擦抵抗の問
題がなく、高い精度を得ることができ、その利用範囲は
広い。たとえば、紙、プラスチックフィルムなどの連続
ウエブを巻き取る巻取機において、押さえローラを巻取
ロールに接触させ、復動式エアシリンダによって押さえ
ローラを操作し、接圧を制御するとき、低摩擦抵抗エア
シリンダを復動式エアシリンダとして使用し、高い精度
を得ることができる。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、低摩擦抵抗エアシリンダにおいて、エアがシリンダ
２の内周壁とピストン１の外周面間に洩れたとき、それ
を軸方向内孔１０を介して大気に放出することができ
る。したがって、シリンダ２のヘッド端およびロッド端
に精密減圧弁５，６を接続しても、応答性は損なわれ
ず、これを復動式エアシリンダとして使用することがで
きる。したがって、復動式エアシリンダにおいて、高い
精度を得ることができ、所期の目的を達成することがで
きるものである。
ば、低摩擦抵抗エアシリンダにおいて、エアがシリンダ
２の内周壁とピストン１の外周面間に洩れたとき、それ
を軸方向内孔１０を介して大気に放出することができ
る。したがって、シリンダ２のヘッド端およびロッド端
に精密減圧弁５，６を接続しても、応答性は損なわれ
ず、これを復動式エアシリンダとして使用することがで
きる。したがって、復動式エアシリンダにおいて、高い
精度を得ることができ、所期の目的を達成することがで
きるものである。
【図１】この発明の実施例を示す断面図である。
１ ピストン ２ シリンダ ９ ピストンロッド １０ 軸方向内孔
Claims (1)
- 【請求項１】 ピストンおよびピストンロッドに軸方向
内孔を設け、前記ピストンの軸方向中央部において、前
記軸方向内孔を前記ピストンの外周面に開口させ、シリ
ンダの内周壁と前記ピストンの外周面間に洩れるエアを
前記軸方向内孔を介して大気に放出するようにしたこと
を特徴とする低摩擦抵抗エアシリンダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3175995A JPH08200314A (ja) | 1995-01-26 | 1995-01-26 | 低摩擦抵抗エアシリンダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3175995A JPH08200314A (ja) | 1995-01-26 | 1995-01-26 | 低摩擦抵抗エアシリンダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08200314A true JPH08200314A (ja) | 1996-08-06 |
Family
ID=12339965
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3175995A Pending JPH08200314A (ja) | 1995-01-26 | 1995-01-26 | 低摩擦抵抗エアシリンダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08200314A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009213708A (ja) * | 2008-03-11 | 2009-09-24 | Koito Ind Ltd | リクライニング機構付き椅子、レッグレスト装置およびこれを備えた椅子 |
| CN116066445A (zh) * | 2022-12-22 | 2023-05-05 | 浙江大学 | 平衡式无泄漏低摩阻液压缸 |
| KR20230168663A (ko) * | 2022-06-08 | 2023-12-15 | 세메스 주식회사 | 피스톤 어셈블리, 에어 실린더 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
-
1995
- 1995-01-26 JP JP3175995A patent/JPH08200314A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009213708A (ja) * | 2008-03-11 | 2009-09-24 | Koito Ind Ltd | リクライニング機構付き椅子、レッグレスト装置およびこれを備えた椅子 |
| KR20230168663A (ko) * | 2022-06-08 | 2023-12-15 | 세메스 주식회사 | 피스톤 어셈블리, 에어 실린더 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
| US11965597B2 (en) | 2022-06-08 | 2024-04-23 | Semes Co., Ltd. | Piston assembly, air cylinder and apparatus for processing substrate |
| CN116066445A (zh) * | 2022-12-22 | 2023-05-05 | 浙江大学 | 平衡式无泄漏低摩阻液压缸 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20040226 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040309 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20040727 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |