JPH08201037A - パターン検査装置及び方法 - Google Patents
パターン検査装置及び方法Info
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- JPH08201037A JPH08201037A JP3014995A JP3014995A JPH08201037A JP H08201037 A JPH08201037 A JP H08201037A JP 3014995 A JP3014995 A JP 3014995A JP 3014995 A JP3014995 A JP 3014995A JP H08201037 A JPH08201037 A JP H08201037A
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 大規模なハードウェアを使用せず、長時間を
要することなく、局所領域毎の揺すらせ比較により二つ
のパターン間の相違部分を検出する。 【構成】 検査対象パターンの2値画像データをオブジ
ェクトデータ及びマスタデータとして記憶し(S10,S1
2)、この後、オブジェクトデータから各検査ブロック
のデータDPを順次抽出し(S14)、その抽出毎に、マス
タパターンにおいて現検査ブロックに対応する位置を中
心として揺すらせ範囲を設定し、その範囲内で2次元的
に1画素ずつ順次ずれた各マスタブロックのデータDM
を順次抽出する(S18)。そして、データDP及びDMの
双方が全画素"1"又は全画素"0"の場合には、揺すらせ
比較を行なうことなく現検査ブロックを一致部分と判定
し(S22,S32)、それ以外の場合には、揺すらせ比較
(S24〜S30)を行なうことにより、検検査ブロックが一
致部分か相違部分かを判定する(S32,S34)。
要することなく、局所領域毎の揺すらせ比較により二つ
のパターン間の相違部分を検出する。 【構成】 検査対象パターンの2値画像データをオブジ
ェクトデータ及びマスタデータとして記憶し(S10,S1
2)、この後、オブジェクトデータから各検査ブロック
のデータDPを順次抽出し(S14)、その抽出毎に、マス
タパターンにおいて現検査ブロックに対応する位置を中
心として揺すらせ範囲を設定し、その範囲内で2次元的
に1画素ずつ順次ずれた各マスタブロックのデータDM
を順次抽出する(S18)。そして、データDP及びDMの
双方が全画素"1"又は全画素"0"の場合には、揺すらせ
比較を行なうことなく現検査ブロックを一致部分と判定
し(S22,S32)、それ以外の場合には、揺すらせ比較
(S24〜S30)を行なうことにより、検検査ブロックが一
致部分か相違部分かを判定する(S32,S34)。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、印刷工程の校正段階で
初校と再校とを比較して相違部分を検出するために使用
されるパターン検査装置及び方法に関する。
初校と再校とを比較して相違部分を検出するために使用
されるパターン検査装置及び方法に関する。
【0002】
【従来の技術】印刷工程の校正段階では、校正刷り又は
製版フィルムの初校と再校とを比較して相違部分を検出
し、修正指示された箇所が正しく修正されているか、ま
た修正指示された箇所以外で変更された部分はないか、
を確かめるという検版作業が行なわれる。このような作
業を行なうための検版装置としては、初校と再校のフィ
ルムをテレビカメラで撮像して得られる画像をメモリに
記憶し、記憶された初校と再校の画像を比較照合して両
者間での相違部分を点滅表示させるもの(以下「従来例
1」という)が、特公平4−61345号公報において
開示されている。
製版フィルムの初校と再校とを比較して相違部分を検出
し、修正指示された箇所が正しく修正されているか、ま
た修正指示された箇所以外で変更された部分はないか、
を確かめるという検版作業が行なわれる。このような作
業を行なうための検版装置としては、初校と再校のフィ
ルムをテレビカメラで撮像して得られる画像をメモリに
記憶し、記憶された初校と再校の画像を比較照合して両
者間での相違部分を点滅表示させるもの(以下「従来例
1」という)が、特公平4−61345号公報において
開示されている。
【0003】上記従来例1において初校と再校の画像を
比較照合する際には、初校と再校との位置合わせが必要
となる。上記公報には、この位置合わせについて次の二
つの方法が記載されている。 (1)ピン機構による方法 (2)メモリに記憶した初校の画像と、現在テレビカメ
ラで取り込んでいる再校の画像とを交互に表示しなが
ら、再校フィルムの位置を合わせるという方法
比較照合する際には、初校と再校との位置合わせが必要
となる。上記公報には、この位置合わせについて次の二
つの方法が記載されている。 (1)ピン機構による方法 (2)メモリに記憶した初校の画像と、現在テレビカメ
ラで取り込んでいる再校の画像とを交互に表示しなが
ら、再校フィルムの位置を合わせるという方法
【0004】一方、二つの画像パターンを比較照合する
方法として、二つの画像パターンを所定範囲内でずらし
ながら局所領域毎に比較することにより、対象物の位置
ずれや位置合わせ誤差を吸収しつつ二つのパターンを照
合するという方法(以下「揺すらせ比較法」という)が
知られており、揺すらせ比較法の実施例としてのパター
ン欠陥検査装置(以下「従来例2」という)が特公平6
−21769号公報に開示されている。このパターン欠
陥検査装置は、2値画素信号の2次元オブジェクトパタ
ーンを2次元マスタパターンと所定の大きさの局所領域
毎に比較して欠陥検出を行なうものであって、オブジェ
クトパターンの一つの局所領域に対し、図5に示すよう
に、マスタパターンにおいて位置的に対応する局所領域
M0を中心として2次元的に所定画素数だけ周辺を広げ
たエリア(以下「揺すらせ範囲」といい、図5では上下
左右に3画素ずつ広げたエリアを揺すらせ範囲としてい
る)を設定し、その揺すらせ範囲内で2次元的に1画素
ずつ順次ずれた複数の局所領域M11〜M77のマスタパタ
ーンと、前記一つの局所領域のオブジェクトパターンと
を、検査ウィンドウWMを利用したパターンマッチング
法により比較する。このとき、パターン全体の検査に要
する時間を短縮するために、一つの局所領域のオブジェ
クトパターンと、複数の局所領域M11〜M77のマスタパ
ターンとのパターンマッチングが並列処理により行なわ
れる。
方法として、二つの画像パターンを所定範囲内でずらし
ながら局所領域毎に比較することにより、対象物の位置
ずれや位置合わせ誤差を吸収しつつ二つのパターンを照
合するという方法(以下「揺すらせ比較法」という)が
知られており、揺すらせ比較法の実施例としてのパター
ン欠陥検査装置(以下「従来例2」という)が特公平6
−21769号公報に開示されている。このパターン欠
陥検査装置は、2値画素信号の2次元オブジェクトパタ
ーンを2次元マスタパターンと所定の大きさの局所領域
毎に比較して欠陥検出を行なうものであって、オブジェ
クトパターンの一つの局所領域に対し、図5に示すよう
に、マスタパターンにおいて位置的に対応する局所領域
M0を中心として2次元的に所定画素数だけ周辺を広げ
たエリア(以下「揺すらせ範囲」といい、図5では上下
左右に3画素ずつ広げたエリアを揺すらせ範囲としてい
る)を設定し、その揺すらせ範囲内で2次元的に1画素
ずつ順次ずれた複数の局所領域M11〜M77のマスタパタ
ーンと、前記一つの局所領域のオブジェクトパターンと
を、検査ウィンドウWMを利用したパターンマッチング
法により比較する。このとき、パターン全体の検査に要
する時間を短縮するために、一つの局所領域のオブジェ
クトパターンと、複数の局所領域M11〜M77のマスタパ
ターンとのパターンマッチングが並列処理により行なわ
れる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記従来例1において
初校と再校との位置合わせに(1)の方法を採用した場
合、ピン穴の無い検査対象物に対してはピン用の穴を新
たに設けなければならない。また、(2)の方法を採用
した場合には、作業者がモニタの画面を見ながら手で検
査対象物(再校フィルム)を移動させることになるた
め、位置合わせに精度的な限界がある。これに対し、別
途駆動機構を設けて検査対象物を移動させることも考え
られるが、この場合にはコストの上昇を招くとともに装
置も大型化するという問題が生じる。さらに、検査対象
物が紙のように伸縮を伴う場合には、(1)と(2)の
いずれの方法によっても検査対象物の各部を全て一致さ
せることはできない。
初校と再校との位置合わせに(1)の方法を採用した場
合、ピン穴の無い検査対象物に対してはピン用の穴を新
たに設けなければならない。また、(2)の方法を採用
した場合には、作業者がモニタの画面を見ながら手で検
査対象物(再校フィルム)を移動させることになるた
め、位置合わせに精度的な限界がある。これに対し、別
途駆動機構を設けて検査対象物を移動させることも考え
られるが、この場合にはコストの上昇を招くとともに装
置も大型化するという問題が生じる。さらに、検査対象
物が紙のように伸縮を伴う場合には、(1)と(2)の
いずれの方法によっても検査対象物の各部を全て一致さ
せることはできない。
【0006】一方、従来例2では、従来例1における上
記欠点を解消することができるが、一つの局所領域のオ
ブジェクトパターンと、複数の局所領域M11〜M77のマ
スタパターンとのパターンマッチングが並列処理により
行なわれるため、そのパターンマッチングのためのハー
ドウェアが大規模化し、コスト上昇を招く。また、検版
装置では、紙のように伸縮を伴うものが検査対象物とさ
れたり、伸縮を無視できる検査対象物であっても検査対
象物の二つの画像の間に傾きが生じたりするため、伸縮
が蓄積されて位置ずれが大きくなったり、画像の傾きに
よって端部における位置ずれが大きくなったりする(図
6参照)。揺すらせ比較においてこれらに対処するため
には、揺すらせ範囲を大きくしなければならない。揺す
らせ範囲が大きくなると、従来例2のような並列処理を
行なう場合にはハードウェアが大規模化する。一方、ハ
ードウェアの大規模化を避けるために揺すらせ比較を逐
次的に行なう場合には、揺すらせ範囲が大きくなると処
理時間が長くなる。
記欠点を解消することができるが、一つの局所領域のオ
ブジェクトパターンと、複数の局所領域M11〜M77のマ
スタパターンとのパターンマッチングが並列処理により
行なわれるため、そのパターンマッチングのためのハー
ドウェアが大規模化し、コスト上昇を招く。また、検版
装置では、紙のように伸縮を伴うものが検査対象物とさ
れたり、伸縮を無視できる検査対象物であっても検査対
象物の二つの画像の間に傾きが生じたりするため、伸縮
が蓄積されて位置ずれが大きくなったり、画像の傾きに
よって端部における位置ずれが大きくなったりする(図
6参照)。揺すらせ比較においてこれらに対処するため
には、揺すらせ範囲を大きくしなければならない。揺す
らせ範囲が大きくなると、従来例2のような並列処理を
行なう場合にはハードウェアが大規模化する。一方、ハ
ードウェアの大規模化を避けるために揺すらせ比較を逐
次的に行なう場合には、揺すらせ範囲が大きくなると処
理時間が長くなる。
【0007】本発明はこのような問題を解決するために
成されたものであり、その目的とするところは、大規模
なハードウェアを使用することなく、かつ、長い処理時
間を要することなく、揺すらせ比較法に基づく局所領域
毎の比較によって二つの画像パターン間での相違部分を
検出するパターン検査装置及び方法を提供することにあ
る。
成されたものであり、その目的とするところは、大規模
なハードウェアを使用することなく、かつ、長い処理時
間を要することなく、揺すらせ比較法に基づく局所領域
毎の比較によって二つの画像パターン間での相違部分を
検出するパターン検査装置及び方法を提供することにあ
る。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に成された本発明に係る第1のパターン検査装置では、
二つの検査対象パターンを照合し、該二つの検査対象パ
ターン間での相違部分を検出するパターン検査装置にお
いて、 a)前記二つの検査対象パターンを2次元的に走査して
画素毎に読み取ることにより、"1"と"0"の2種類の値
から成る二つの2値画像データを生成する画像入力手段
と、 b)画像入力手段によって生成された二つの2値画像デ
ータを、それぞれオブジェクトパターンを表わすオブジ
ェクトデータ及びマスタパターンを表わすマスタデータ
として記憶する画像記憶手段と、 c)オブジェクトパターンにおける複数画素から成るブ
ロックを単位として各ブロックに対応する画像データを
オブジェクトデータから順次抽出するオブジェクト抽出
手段と、 d)オブジェクト抽出手段によって1ブロック分の画像
データが抽出される毎に、該ブロックにおける"1"の画
素の数及び"0"の画素の数を求めるオブジェクト計数手
段と、 e)オブジェクト抽出手段によってブロック単位で抽出
される画像データに対し、マスタパターンにおいて該画
像データのブロックと位置的に対応するブロックを中心
ブロックとして2次元的に所定画素数だけ周辺に広げた
拡張ブロックを設定し、該拡張ブロック内で2次元的に
1画素ずつ順次ずれた各ブロックに対応する画像データ
をマスタデータから順次抽出するマスタ抽出手段と、 f)オブジェクトパターンの1ブロックに対してオブジ
ェクト計数手段によって求められた"1"の画素の数及
び"0"の画素の数に基づき、"1"の画素の割合又は"0"
の画素の割合が100%近傍の所定値よりも大きいか否
かを調べ、該所定値よりも大きい場合は、オブジェクト
パターンの前記ブロックは相違部分ではないと判定し
て、オブジェクト抽出手段に未抽出の1ブロック分の画
像データを次のブロックの画像データとして抽出させ、
該所定値以下の場合は、オブジェクトパターンの前記ブ
ロックに対応するマスタパターンの拡張ブロック内の各
ブロックの画像データの抽出をマスタ抽出手段に順次行
なわせる第1制御手段と、 g)オブジェクト抽出手段によってブロック単位で抽出
される画像データを、該画像データに対応してマスタ抽
出手段によって拡張ブロック内からブロック単位で順次
抽出される各画像データと比較し、比較される二つの画
像データによって表わされる二つのパターンが一致する
か否かを順次判定する照合手段と、 h)前記拡張ブロック内のいずれかのブロックについて
前記二つのパターンが一致すると照合手段によって判定
されると、マスタ抽出手段による該拡張ブロック内から
の画像データの抽出を中止するとともに、オブジェクト
抽出手段に次のブロックの画像データとして未抽出の1
ブロック分の画像データを抽出させる第2制御手段と、
を備えることを特徴としている。
に成された本発明に係る第1のパターン検査装置では、
二つの検査対象パターンを照合し、該二つの検査対象パ
ターン間での相違部分を検出するパターン検査装置にお
いて、 a)前記二つの検査対象パターンを2次元的に走査して
画素毎に読み取ることにより、"1"と"0"の2種類の値
から成る二つの2値画像データを生成する画像入力手段
と、 b)画像入力手段によって生成された二つの2値画像デ
ータを、それぞれオブジェクトパターンを表わすオブジ
ェクトデータ及びマスタパターンを表わすマスタデータ
として記憶する画像記憶手段と、 c)オブジェクトパターンにおける複数画素から成るブ
ロックを単位として各ブロックに対応する画像データを
オブジェクトデータから順次抽出するオブジェクト抽出
手段と、 d)オブジェクト抽出手段によって1ブロック分の画像
データが抽出される毎に、該ブロックにおける"1"の画
素の数及び"0"の画素の数を求めるオブジェクト計数手
段と、 e)オブジェクト抽出手段によってブロック単位で抽出
される画像データに対し、マスタパターンにおいて該画
像データのブロックと位置的に対応するブロックを中心
ブロックとして2次元的に所定画素数だけ周辺に広げた
拡張ブロックを設定し、該拡張ブロック内で2次元的に
1画素ずつ順次ずれた各ブロックに対応する画像データ
をマスタデータから順次抽出するマスタ抽出手段と、 f)オブジェクトパターンの1ブロックに対してオブジ
ェクト計数手段によって求められた"1"の画素の数及
び"0"の画素の数に基づき、"1"の画素の割合又は"0"
の画素の割合が100%近傍の所定値よりも大きいか否
かを調べ、該所定値よりも大きい場合は、オブジェクト
パターンの前記ブロックは相違部分ではないと判定し
て、オブジェクト抽出手段に未抽出の1ブロック分の画
像データを次のブロックの画像データとして抽出させ、
該所定値以下の場合は、オブジェクトパターンの前記ブ
ロックに対応するマスタパターンの拡張ブロック内の各
ブロックの画像データの抽出をマスタ抽出手段に順次行
なわせる第1制御手段と、 g)オブジェクト抽出手段によってブロック単位で抽出
される画像データを、該画像データに対応してマスタ抽
出手段によって拡張ブロック内からブロック単位で順次
抽出される各画像データと比較し、比較される二つの画
像データによって表わされる二つのパターンが一致する
か否かを順次判定する照合手段と、 h)前記拡張ブロック内のいずれかのブロックについて
前記二つのパターンが一致すると照合手段によって判定
されると、マスタ抽出手段による該拡張ブロック内から
の画像データの抽出を中止するとともに、オブジェクト
抽出手段に次のブロックの画像データとして未抽出の1
ブロック分の画像データを抽出させる第2制御手段と、
を備えることを特徴としている。
【0009】本発明に係る第2のパターン検査装置で
は、上記第1のパターン検査装置において、マスタ抽出
手段によって抽出された1ブロック分の画像データに基
づいて該ブロックにおける"1"の画素の数及び"0"の画
素の数を求めるマスタ計数手段を更に備え、第1制御手
段は、オブジェクトパターンの1ブロックにおける"1"
の画素の割合又は"0"の画素の割合が前記所定値よりも
大きい場合に、 i)オブジェクトパターンの該ブロックに対応するマス
タパターンの拡張ブロック内の各ブロックの画像データ
をマスタ抽出手段に順次抽出させ、 ii)該拡張ブロック内の1ブロックに対してマスタ計数
手段によって求められた"1"の画素の数及び"0"の画素
の数に基づき、"1"の画素の割合又は"0"の画素の割合
が100%近傍の所定値よりも大きいか否かを調べ、該
所定値よりも大きいときにのみ、オブジェクトパターン
の該ブロックは相違部分ではないと判定して、マスタ抽
出手段による該拡張ブロック内からの画像データの抽出
を中止するとともに、オブジェクト抽出手段に次のブロ
ックの画像データとして未抽出の1ブロック分の画像デ
ータを抽出させる、ことを特徴としている。
は、上記第1のパターン検査装置において、マスタ抽出
手段によって抽出された1ブロック分の画像データに基
づいて該ブロックにおける"1"の画素の数及び"0"の画
素の数を求めるマスタ計数手段を更に備え、第1制御手
段は、オブジェクトパターンの1ブロックにおける"1"
の画素の割合又は"0"の画素の割合が前記所定値よりも
大きい場合に、 i)オブジェクトパターンの該ブロックに対応するマス
タパターンの拡張ブロック内の各ブロックの画像データ
をマスタ抽出手段に順次抽出させ、 ii)該拡張ブロック内の1ブロックに対してマスタ計数
手段によって求められた"1"の画素の数及び"0"の画素
の数に基づき、"1"の画素の割合又は"0"の画素の割合
が100%近傍の所定値よりも大きいか否かを調べ、該
所定値よりも大きいときにのみ、オブジェクトパターン
の該ブロックは相違部分ではないと判定して、マスタ抽
出手段による該拡張ブロック内からの画像データの抽出
を中止するとともに、オブジェクト抽出手段に次のブロ
ックの画像データとして未抽出の1ブロック分の画像デ
ータを抽出させる、ことを特徴としている。
【0010】本発明に係る第1のパターン検査方法で
は、二つの検査対象パターンを2次元的に走査して画素
毎に読み取ることにより、"1"と"0"の2種類の値から
成る二つの2値画像データを生成して、該二つの2値画
像データを、それぞれオブジェクトパターンを表わすオ
ブジェクトデータ及びマスタパターンを表わすマスタデ
ータとして記憶し、オブジェクトパターンにおける複数
画素から成るブロックを単位として各ブロックに対応す
る画像データをオブジェクトデータから順次抽出し、オ
ブジェクトデータからブロック単位で抽出される画像デ
ータに対し、マスタパターンにおいて該画像データのブ
ロックと位置的に対応するブロックを中心ブロックとし
て2次元的に所定画素数だけ周辺に広げた拡張ブロック
を設定して、該拡張ブロック内で2次元的に1画素ずつ
順次ずれた各ブロックに対応する画像データをマスタデ
ータから順次抽出し、オブジェクトデータからブロック
単位で抽出された画像データを、該画像データに対応し
て前記拡張ブロック内からブロック単位で順次抽出され
る各画像データと比較し、比較される二つの画像データ
によって表わされる二つのパターンが一致するか否かを
順次判定する、という処理により、ブロック単位で前記
二つの検査対象パターンにおける相違部分を検出するパ
ターン検査方法において、 a)オブジェクトパターンにおける1ブロック分の画像
データがオブジェクトデータから抽出される毎に、該画
像データに基づいて"1"の画素の割合又は"0"の画素の
割合が100%近傍の所定値よりも大きいか否かを調
べ、 b)前記所定値よりも大きい場合に、オブジェクトパタ
ーンにおける前記ブロックは相違部分ではないと判定し
て、オブジェクパターンにおける次のブロックの画像デ
ータとして未抽出の1ブロック分の画像データをオブジ
ェクトデータから抽出し、 c)前記所定値以下である場合に、オブジェクトパター
ンにおける前記ブロックに対応するマスタパターンの拡
張ブロック内の各ブロックの画像データを前記比較の対
象の画像データとしてマスタデータから順次抽出する、
ことを特徴としている。
は、二つの検査対象パターンを2次元的に走査して画素
毎に読み取ることにより、"1"と"0"の2種類の値から
成る二つの2値画像データを生成して、該二つの2値画
像データを、それぞれオブジェクトパターンを表わすオ
ブジェクトデータ及びマスタパターンを表わすマスタデ
ータとして記憶し、オブジェクトパターンにおける複数
画素から成るブロックを単位として各ブロックに対応す
る画像データをオブジェクトデータから順次抽出し、オ
ブジェクトデータからブロック単位で抽出される画像デ
ータに対し、マスタパターンにおいて該画像データのブ
ロックと位置的に対応するブロックを中心ブロックとし
て2次元的に所定画素数だけ周辺に広げた拡張ブロック
を設定して、該拡張ブロック内で2次元的に1画素ずつ
順次ずれた各ブロックに対応する画像データをマスタデ
ータから順次抽出し、オブジェクトデータからブロック
単位で抽出された画像データを、該画像データに対応し
て前記拡張ブロック内からブロック単位で順次抽出され
る各画像データと比較し、比較される二つの画像データ
によって表わされる二つのパターンが一致するか否かを
順次判定する、という処理により、ブロック単位で前記
二つの検査対象パターンにおける相違部分を検出するパ
ターン検査方法において、 a)オブジェクトパターンにおける1ブロック分の画像
データがオブジェクトデータから抽出される毎に、該画
像データに基づいて"1"の画素の割合又は"0"の画素の
割合が100%近傍の所定値よりも大きいか否かを調
べ、 b)前記所定値よりも大きい場合に、オブジェクトパタ
ーンにおける前記ブロックは相違部分ではないと判定し
て、オブジェクパターンにおける次のブロックの画像デ
ータとして未抽出の1ブロック分の画像データをオブジ
ェクトデータから抽出し、 c)前記所定値以下である場合に、オブジェクトパター
ンにおける前記ブロックに対応するマスタパターンの拡
張ブロック内の各ブロックの画像データを前記比較の対
象の画像データとしてマスタデータから順次抽出する、
ことを特徴としている。
【0011】本発明に係る第2のパターン検査方法で
は、上記第1のパターン検査方法において、オブジェク
トパターンの1ブロックにおける"1"の画素の割合又
は"0"の画素の割合が前記所定値よりも大きい場合に、 i)オブジェクトパターンの該ブロックに対応するマス
タパターンの拡張ブロック内の各ブロックの画像データ
を順次抽出し、 ii)該拡張ブロック内の1ブロック分の画像データに基
づいて"1"の画素の割合又は"0"の画素の割合が100
%近傍の所定値よりも大きいか否かを調べ、該所定値よ
りも大きいときにのみ、オブジェクトパターンの該ブロ
ックは相違部分ではないと判定して、該拡張ブロック内
からの画像データの抽出を中止するとともに、オブジェ
クパターンにおける次のブロックの画像データとして未
抽出の1ブロック分の画像データをオブジェクトデータ
から抽出する、ことを特徴としている。
は、上記第1のパターン検査方法において、オブジェク
トパターンの1ブロックにおける"1"の画素の割合又
は"0"の画素の割合が前記所定値よりも大きい場合に、 i)オブジェクトパターンの該ブロックに対応するマス
タパターンの拡張ブロック内の各ブロックの画像データ
を順次抽出し、 ii)該拡張ブロック内の1ブロック分の画像データに基
づいて"1"の画素の割合又は"0"の画素の割合が100
%近傍の所定値よりも大きいか否かを調べ、該所定値よ
りも大きいときにのみ、オブジェクトパターンの該ブロ
ックは相違部分ではないと判定して、該拡張ブロック内
からの画像データの抽出を中止するとともに、オブジェ
クパターンにおける次のブロックの画像データとして未
抽出の1ブロック分の画像データをオブジェクトデータ
から抽出する、ことを特徴としている。
【0012】
【作用】 [第1のパターン検査装置の作用]本発明に係る第1の
パターン検査装置によると、二つの検査対象パターンを
読み取って得られた2値画像データであるオブジェクト
データ及びマスタデータが画像記憶手段に記憶され、こ
れらのデータに基づき、以下のようにして二つの検査対
象パターン間での相違部分が検出される。
パターン検査装置によると、二つの検査対象パターンを
読み取って得られた2値画像データであるオブジェクト
データ及びマスタデータが画像記憶手段に記憶され、こ
れらのデータに基づき、以下のようにして二つの検査対
象パターン間での相違部分が検出される。
【0013】まず、オブジェクト抽出手段により、オブ
ジェクトデータからブロック単位で画像データが順次抽
出される。この抽出毎に、オブジェクト計数手段によ
り、抽出された画像データに基づいてオブジェクトパタ
ーンの1ブロックにおける"1"の画素の数及び"0"の画
素の数が求められ、第1制御手段によってそのブロック
における"1"の画素の割合又は"0"の画素の割合が10
0%近傍の所定値よりも大きいか否かが調べられる。
ジェクトデータからブロック単位で画像データが順次抽
出される。この抽出毎に、オブジェクト計数手段によ
り、抽出された画像データに基づいてオブジェクトパタ
ーンの1ブロックにおける"1"の画素の数及び"0"の画
素の数が求められ、第1制御手段によってそのブロック
における"1"の画素の割合又は"0"の画素の割合が10
0%近傍の所定値よりも大きいか否かが調べられる。
【0014】"1"の画素の割合又は"0"の画素の割合が
所定値よりも大きい場合は、そのブロックは空白部分又
はベタ部分と判断することができる。そして、検版作業
の対象である初校における空白部分やベタ部分に再校に
おいて文字や絵柄が追加挿入される場合は少ないため、
空白部分又はベタ部分については、通常、オブジェクト
パターンとマスタパターンとは一致するとみなすことが
できる。そこで、"1"の画素の割合又は"0"の画素の割
合が所定値よりも大きい場合は、そのブロックは一致部
分であると判定され、オブジェクトパターンにおける次
のブロックの画像データがオブジェクト抽出手段によっ
て抽出される。
所定値よりも大きい場合は、そのブロックは空白部分又
はベタ部分と判断することができる。そして、検版作業
の対象である初校における空白部分やベタ部分に再校に
おいて文字や絵柄が追加挿入される場合は少ないため、
空白部分又はベタ部分については、通常、オブジェクト
パターンとマスタパターンとは一致するとみなすことが
できる。そこで、"1"の画素の割合又は"0"の画素の割
合が所定値よりも大きい場合は、そのブロックは一致部
分であると判定され、オブジェクトパターンにおける次
のブロックの画像データがオブジェクト抽出手段によっ
て抽出される。
【0015】"1"の画素の割合又は"0"の画素の割合が
所定値以下の場合は、そのブロックは空白部分でもベタ
部分でもないとして、揺すらせ比較法に基づき、そのブ
ロックについてオブジェクトパターンとマスタパターン
とが一致するか否かが判定される。
所定値以下の場合は、そのブロックは空白部分でもベタ
部分でもないとして、揺すらせ比較法に基づき、そのブ
ロックについてオブジェクトパターンとマスタパターン
とが一致するか否かが判定される。
【0016】このために、まず、オブジェクト抽出手段
によってブロック単位で抽出された画像データに対し、
マスタ抽出手段により、その抽出に係るオブジェクトパ
ターンのブロックと位置的に対応するマスタパターンの
ブロックを中心ブロックとする拡張ブロックがマスタパ
ターンに設定され、この拡張ブロック内で2次元的に1
画素ずつ順次ずれた各ブロックに対応する画像データが
マスタデータから順次抽出される。
によってブロック単位で抽出された画像データに対し、
マスタ抽出手段により、その抽出に係るオブジェクトパ
ターンのブロックと位置的に対応するマスタパターンの
ブロックを中心ブロックとする拡張ブロックがマスタパ
ターンに設定され、この拡張ブロック内で2次元的に1
画素ずつ順次ずれた各ブロックに対応する画像データが
マスタデータから順次抽出される。
【0017】このようにして拡張ブロック内の各ブロッ
ク分としてマスタデータから順次抽出される画像データ
は、その拡張ブロックに対応するオブジェクトパターン
の1ブロック分としてオブジェクトデータから抽出され
た画像データと照合手段によって比較され、それら二つ
の画像データによって表わされる二つのパターンが一致
するか否かが順次判定される。これにより、オブジェク
トパターンとマスタパターンとの位置ずれを拡張ブロッ
クの範囲内で補正しつつ両パターンをブロック単位で照
合するという処理、すなわちブロック単位の揺すらせ比
較が逐次的に行なわれることになる。
ク分としてマスタデータから順次抽出される画像データ
は、その拡張ブロックに対応するオブジェクトパターン
の1ブロック分としてオブジェクトデータから抽出され
た画像データと照合手段によって比較され、それら二つ
の画像データによって表わされる二つのパターンが一致
するか否かが順次判定される。これにより、オブジェク
トパターンとマスタパターンとの位置ずれを拡張ブロッ
クの範囲内で補正しつつ両パターンをブロック単位で照
合するという処理、すなわちブロック単位の揺すらせ比
較が逐次的に行なわれることになる。
【0018】照合手段による比較の結果、一致すると判
定された場合は、オブジェクトパターンにおける現時点
のブロックは一致部分であるとされ、現時点の拡張ブロ
ックについてマスタ抽出手段による画像データの抽出が
終了する。この後、オブジェクトパターンの次のブロッ
クについてマスタパターンと一致するか否かを判定する
ために、オブジェクト抽出手段によって次のブロックの
画像データが抽出される。一方、照合手段による比較の
結果、拡張ブロック内で1画素ずつ順次ずれた全てのブ
ロックについて一致しないと判定された場合は、オブジ
ェクトパターンにおける現時点のブロックは相違部分と
され、オブジェクト抽出手段によって次のブロックの画
像データが抽出される。
定された場合は、オブジェクトパターンにおける現時点
のブロックは一致部分であるとされ、現時点の拡張ブロ
ックについてマスタ抽出手段による画像データの抽出が
終了する。この後、オブジェクトパターンの次のブロッ
クについてマスタパターンと一致するか否かを判定する
ために、オブジェクト抽出手段によって次のブロックの
画像データが抽出される。一方、照合手段による比較の
結果、拡張ブロック内で1画素ずつ順次ずれた全てのブ
ロックについて一致しないと判定された場合は、オブジ
ェクトパターンにおける現時点のブロックは相違部分と
され、オブジェクト抽出手段によって次のブロックの画
像データが抽出される。
【0019】以上のようにしてオブジェクトパターンの
各ブロック毎にマスタパターンと一致するか否かが判定
され、オブジェクトパターンにおいて一致/不一致の未
判定ブロックが無くなると、本パターン検査装置による
動作が完了する。
各ブロック毎にマスタパターンと一致するか否かが判定
され、オブジェクトパターンにおいて一致/不一致の未
判定ブロックが無くなると、本パターン検査装置による
動作が完了する。
【0020】[第2のパターン検査装置の作用]本発明
に係る第2のパターン検査装置によると、上記第1のパ
ターン検査装置と同様、オブジェクトデータ及びマスタ
データが画像記憶手段に記憶され、オブジェクト抽出手
段及びオブジェクト計数手段が動作する。そして、オブ
ジェクトデータから抽出された1ブロック分の画像デー
タに基づいて"1"の画素の数及び"0"の画素の数が求め
られた結果、そのブロックにおける"1"の画素の割合又
は"0"の画素の割合が所定値以下の場合は、マスタ抽出
手段及び照合手段により、そのブロックについての揺す
らせ比較が逐次的に行なわれる。
に係る第2のパターン検査装置によると、上記第1のパ
ターン検査装置と同様、オブジェクトデータ及びマスタ
データが画像記憶手段に記憶され、オブジェクト抽出手
段及びオブジェクト計数手段が動作する。そして、オブ
ジェクトデータから抽出された1ブロック分の画像デー
タに基づいて"1"の画素の数及び"0"の画素の数が求め
られた結果、そのブロックにおける"1"の画素の割合又
は"0"の画素の割合が所定値以下の場合は、マスタ抽出
手段及び照合手段により、そのブロックについての揺す
らせ比較が逐次的に行なわれる。
【0021】しかし、上記第1のパターン検査装置と異
なり、"1"の画素の割合又は"0"の画素の割合が所定値
よりも大きい場合にもマスタ抽出手段が動作し、マスタ
計数手段により、マスタデータから抽出された1ブロッ
ク分の画像データに基づいて、そのブロックにおける"
1"の画素の数及び"0"の画素の数が求められる。そし
て、そのブロックにおける"1"の画素の割合又は"0"の
画素の割合も所定値よりも大きいときにのみ、すなわ
ち、オブジェクトパターンにおけるブロックとそれに対
応するマスタパターンにおける拡張ブロック内の1ブロ
ックとが共に空白部分又はベタ部分であるときにのみ、
オブジェクトパターンにおけるそのブロックは一致部分
と判定され、現時点の拡張ブロックについてのマスタ抽
出手段による画像データの抽出が終了する。この後、オ
ブジェクトパターンの次のブロックについてマスタパタ
ーンと一致するか否かを判定するために、オブジェクト
抽出手段によって次のブロックの画像データが抽出され
る。
なり、"1"の画素の割合又は"0"の画素の割合が所定値
よりも大きい場合にもマスタ抽出手段が動作し、マスタ
計数手段により、マスタデータから抽出された1ブロッ
ク分の画像データに基づいて、そのブロックにおける"
1"の画素の数及び"0"の画素の数が求められる。そし
て、そのブロックにおける"1"の画素の割合又は"0"の
画素の割合も所定値よりも大きいときにのみ、すなわ
ち、オブジェクトパターンにおけるブロックとそれに対
応するマスタパターンにおける拡張ブロック内の1ブロ
ックとが共に空白部分又はベタ部分であるときにのみ、
オブジェクトパターンにおけるそのブロックは一致部分
と判定され、現時点の拡張ブロックについてのマスタ抽
出手段による画像データの抽出が終了する。この後、オ
ブジェクトパターンの次のブロックについてマスタパタ
ーンと一致するか否かを判定するために、オブジェクト
抽出手段によって次のブロックの画像データが抽出され
る。
【0022】[パターン検査方法の作用]本発明に係る
第1及び第2のパターン検査方法の作用は、それぞれ、
上記第1及び第2のパターン検査装置の作用と同様であ
って、オブジェクトパターンのブロック毎に空白部分又
はベタ部分であるか否かが調べられ、空白部分でもベタ
部分でもないブロックについては逐次的に揺すらせ比較
が行なわれる。これにより、二つの検査対象パターン間
での相違部分がブロック単位で検出される。
第1及び第2のパターン検査方法の作用は、それぞれ、
上記第1及び第2のパターン検査装置の作用と同様であ
って、オブジェクトパターンのブロック毎に空白部分又
はベタ部分であるか否かが調べられ、空白部分でもベタ
部分でもないブロックについては逐次的に揺すらせ比較
が行なわれる。これにより、二つの検査対象パターン間
での相違部分がブロック単位で検出される。
【0023】
[実施例のハードウェア構成]図2は、本発明の一実施
例(以下「実施例1」という)であるパターン検査シス
テムにおけるハードウェア構成を示す図である。このパ
ターン検査システムは、ポインティングデバイスとして
のマウス22が接続されたホストコンピュータ20、ス
キャナ12、及びプリンタ14から構成され、校正刷り
又は製版フィルムの初校と再校とを検査対象物10とす
るものであって、印刷工程の校正段階での検版作業に使
用される。
例(以下「実施例1」という)であるパターン検査シス
テムにおけるハードウェア構成を示す図である。このパ
ターン検査システムは、ポインティングデバイスとして
のマウス22が接続されたホストコンピュータ20、ス
キャナ12、及びプリンタ14から構成され、校正刷り
又は製版フィルムの初校と再校とを検査対象物10とす
るものであって、印刷工程の校正段階での検版作業に使
用される。
【0024】このパターン検査システムにおいてスキャ
ナ12は、検査対象物10である初校及び再校のパター
ンを読み取ってそれらの画像データを生成する。この画
像データはホストコンピュータ20に転送される。な
お、スキャナ12の代わりにテレビカメラで検査対象物
10のパターンを読み取ることにより画像データを生成
してもよい。
ナ12は、検査対象物10である初校及び再校のパター
ンを読み取ってそれらの画像データを生成する。この画
像データはホストコンピュータ20に転送される。な
お、スキャナ12の代わりにテレビカメラで検査対象物
10のパターンを読み取ることにより画像データを生成
してもよい。
【0025】ホストコンピュータ20は、CPU、メモ
リ、CRTディスプレイ、及びI/Oポート等を備えて
おり、スキャナ12から転送された上記画像データを2
値化した後、初校に対する2値画像データをオブジェク
トデータとして、再校に対する2値画像データをマスタ
データとして、それぞれ内部のメモリに記憶する。そし
て、これらのマスタデータ及びオブジェクトデータとマ
ウス22による入力操作に基づいて後述の処理を行な
い、初校と再校との相違部分を検出する。この相違部分
を示すデータは検査結果としてプリンタ14に転送され
る。
リ、CRTディスプレイ、及びI/Oポート等を備えて
おり、スキャナ12から転送された上記画像データを2
値化した後、初校に対する2値画像データをオブジェク
トデータとして、再校に対する2値画像データをマスタ
データとして、それぞれ内部のメモリに記憶する。そし
て、これらのマスタデータ及びオブジェクトデータとマ
ウス22による入力操作に基づいて後述の処理を行な
い、初校と再校との相違部分を検出する。この相違部分
を示すデータは検査結果としてプリンタ14に転送され
る。
【0026】プリンタ14は、ホストコンピュータ20
から転送された検査結果のデータに基づき、初校と再校
との相違部分を出力する。なお、プリンタの代わりにプ
ロッタ、CRTディスプレイ等に初校と再校との相違部
分を出力させてもよい。
から転送された検査結果のデータに基づき、初校と再校
との相違部分を出力する。なお、プリンタの代わりにプ
ロッタ、CRTディスプレイ等に初校と再校との相違部
分を出力させてもよい。
【0027】[相違検出処理]本実施例では、初校と再
校との相違部分を検出するための処理(以下「相違検出
処理」という)は、ホストコンピュータ20において所
定のプログラムに基づくCPUの動作により行なわれ
る。この相違検出処理の原理は既述の従来例2の欠陥検
出処理の原理と基本的には同一であり、局所領域(以下
「検査ブロック」という)毎に揺すらせ比較が行なわれ
る。以下、本実施例の相違検出処理の詳細につき図1の
フローチャートを参照しつつ説明する。
校との相違部分を検出するための処理(以下「相違検出
処理」という)は、ホストコンピュータ20において所
定のプログラムに基づくCPUの動作により行なわれ
る。この相違検出処理の原理は既述の従来例2の欠陥検
出処理の原理と基本的には同一であり、局所領域(以下
「検査ブロック」という)毎に揺すらせ比較が行なわれ
る。以下、本実施例の相違検出処理の詳細につき図1の
フローチャートを参照しつつ説明する。
【0028】まずステップS10において、校正刷り又
は製版フィルムの初校である修正前のパターンを読み取
って得られたデータを2値化した後、オブジェクトデー
タとしてメモリに記憶する。同様にステップS12にお
いて、校正刷り又は製版フィルムの再校である修正後の
パターンを読み取って得られたデータを2値化した後、
マスタデータとしてメモリに記憶する。本実施例では、
スキャナ12において初校及び再校が載置される位置が
ピン機構によって決定され、これにより、マスタデータ
によって表わされるマスタパターンとオブジェクトデー
タによって表わされるオブジェクトパターンとは概略的
な位置合わせが行なわれた状態となっている。なお、位
置合わせ手段としてのピン機構が採用されていない場合
には、上記のようにして初校と再校のパターンを読み取
った後に、例えば次のようにして位置合わせを行なって
もよい。すなわち、ホストコンピュータのCRTディス
プレイにマスタパターンとオブジェクトパターンを異な
る色で表示させ、作業者がこの表示を見ながらマウス2
2を操作して両パターンの相対的な位置を変化させるこ
とにより、概略的な位置合わせを行なってもよい。
は製版フィルムの初校である修正前のパターンを読み取
って得られたデータを2値化した後、オブジェクトデー
タとしてメモリに記憶する。同様にステップS12にお
いて、校正刷り又は製版フィルムの再校である修正後の
パターンを読み取って得られたデータを2値化した後、
マスタデータとしてメモリに記憶する。本実施例では、
スキャナ12において初校及び再校が載置される位置が
ピン機構によって決定され、これにより、マスタデータ
によって表わされるマスタパターンとオブジェクトデー
タによって表わされるオブジェクトパターンとは概略的
な位置合わせが行なわれた状態となっている。なお、位
置合わせ手段としてのピン機構が採用されていない場合
には、上記のようにして初校と再校のパターンを読み取
った後に、例えば次のようにして位置合わせを行なって
もよい。すなわち、ホストコンピュータのCRTディス
プレイにマスタパターンとオブジェクトパターンを異な
る色で表示させ、作業者がこの表示を見ながらマウス2
2を操作して両パターンの相対的な位置を変化させるこ
とにより、概略的な位置合わせを行なってもよい。
【0029】上記のようにしてマスタデータ及びオブジ
ェクトデータを得た後は、ステップS14において、オ
ブジェクトデータから一つの検査ブロック分のデータD
Pを抽出する(以下、データDPが抽出された検査ブロッ
クを「現検査ブロック」といい、抽出されたデータDP
を「オブジェクト検査データ」という)。ここで、検査
ブロックのサイズは、検査対象の初校及び再校における
最小文字サイズ程度となるように選択する。
ェクトデータを得た後は、ステップS14において、オ
ブジェクトデータから一つの検査ブロック分のデータD
Pを抽出する(以下、データDPが抽出された検査ブロッ
クを「現検査ブロック」といい、抽出されたデータDP
を「オブジェクト検査データ」という)。ここで、検査
ブロックのサイズは、検査対象の初校及び再校における
最小文字サイズ程度となるように選択する。
【0030】次のステップS16では、抽出されたオブ
ジェクト検査データDPにおける"1"の画素の数及び"
0"の画素の数を求める。
ジェクト検査データDPにおける"1"の画素の数及び"
0"の画素の数を求める。
【0031】その後、ステップS18において、オブジ
ェクトパターンの現検査ブロックと位置的に対応する同
一サイズのマスタパターンのブロック(以下「マスタ基
準ブロック」という)を求め、そのマスタ基準ブロック
を中心ブロックとして所定画素数だけ周辺を広げた領域
を揺すらせ範囲として設定し、その揺すらせ範囲内で2
次元的に1画素ずつ順次ずれた複数の同一サイズのブロ
ック(以下「マスタブロック」という)のうち一つを現
マスタブロックとして選択する。本実施例におけるこの
選択の開始点はマスタ基準ブロックであり、現時点はス
テップS18の最初の実行時点であるため、ここではマ
スタ基準ブロックを現マスタブロックとして選択する。
そして、マスタデータから現マスタブロック分のデータ
(以下「マスタ検査データ」という)DMを抽出する。
ェクトパターンの現検査ブロックと位置的に対応する同
一サイズのマスタパターンのブロック(以下「マスタ基
準ブロック」という)を求め、そのマスタ基準ブロック
を中心ブロックとして所定画素数だけ周辺を広げた領域
を揺すらせ範囲として設定し、その揺すらせ範囲内で2
次元的に1画素ずつ順次ずれた複数の同一サイズのブロ
ック(以下「マスタブロック」という)のうち一つを現
マスタブロックとして選択する。本実施例におけるこの
選択の開始点はマスタ基準ブロックであり、現時点はス
テップS18の最初の実行時点であるため、ここではマ
スタ基準ブロックを現マスタブロックとして選択する。
そして、マスタデータから現マスタブロック分のデータ
(以下「マスタ検査データ」という)DMを抽出する。
【0032】次のステップS20では、抽出されたマス
タ検査データDMにおける"1"の画素の数及び"0"の画
素の数を求める。
タ検査データDMにおける"1"の画素の数及び"0"の画
素の数を求める。
【0033】このようにしてオブジェクト検査データD
P及びマスタ検査データDMについて"1"の画素の数及
び"0"の画素の数を求めた結果、両データDP、DMにつ
いて共に全画素が"1"又は全画素が"0"の場合は、現オ
ブジェクトブロック及び現マスタブロックは共に空白部
分か又はベタ部分であって、両ブロックについてはオブ
ジェクトパターンとマスタパターンとの間に相違がない
と判断することができる。一方、検査対象物10である
初校及び再校のパターンは例えば図3に示すようなもの
であって、検査対象物10において、周辺部に空白が多
く存在し、また絵柄部などではベタ部分も多い。そし
て、前述のように検査ブロックのサイズは、検査対象の
初校及び再校における最小文字サイズ程度となるように
選択されているため、文章の改行箇所や行間に文字を含
まない空白のブロックが多く生じる。そこで、この点を
利用して処理時間を短縮するために、ステップS22で
は、オブジェクト検査データDP及びマスタ検査データ
DMについて共に全画素が"1"又は全画素が"0"である
か否かを判定し、共に全画素が"1"又は全画素が"0"で
あると判定されれば、ステップS32へ進み、現検査ブ
ロックは一致部分であると判定する。これは、再校にお
いて現検査ブロックに対応する領域内で初校に対し変更
が加えられていないことを意味する。ステップS32の
実行後は、オブジェクトパターンの次の検査ブロックに
ついてマスタパターンと一致するか否かを調べるため
に、ステップS36へ進む。
P及びマスタ検査データDMについて"1"の画素の数及
び"0"の画素の数を求めた結果、両データDP、DMにつ
いて共に全画素が"1"又は全画素が"0"の場合は、現オ
ブジェクトブロック及び現マスタブロックは共に空白部
分か又はベタ部分であって、両ブロックについてはオブ
ジェクトパターンとマスタパターンとの間に相違がない
と判断することができる。一方、検査対象物10である
初校及び再校のパターンは例えば図3に示すようなもの
であって、検査対象物10において、周辺部に空白が多
く存在し、また絵柄部などではベタ部分も多い。そし
て、前述のように検査ブロックのサイズは、検査対象の
初校及び再校における最小文字サイズ程度となるように
選択されているため、文章の改行箇所や行間に文字を含
まない空白のブロックが多く生じる。そこで、この点を
利用して処理時間を短縮するために、ステップS22で
は、オブジェクト検査データDP及びマスタ検査データ
DMについて共に全画素が"1"又は全画素が"0"である
か否かを判定し、共に全画素が"1"又は全画素が"0"で
あると判定されれば、ステップS32へ進み、現検査ブ
ロックは一致部分であると判定する。これは、再校にお
いて現検査ブロックに対応する領域内で初校に対し変更
が加えられていないことを意味する。ステップS32の
実行後は、オブジェクトパターンの次の検査ブロックに
ついてマスタパターンと一致するか否かを調べるため
に、ステップS36へ進む。
【0034】ステップS22において共に全画素が"1"
又は全画素が"0"であるとは判定されなかった場合は、
ステップS24において、オブジェクト検査データDP
及びマスタ検査データDMによって表わされる二つのパ
ターンを比較照合する。そしてステップS26におい
て、これら二つのパターンに一定以上の相違があるか否
かを判定する。例えば、従来例2と同様に、検査ウィン
ドウを利用したパターンマッチング法により上記二つの
パターンを比較して相違の有無を判定すればよい。すな
わち、複数画素からなる検査ウィンドウ(例えば2×2
画素サイズのウィンドウ)WPを現検査ブロック内に走
査させると共に、同一サイズの検査ウィンドウWMを現
マスタブロック内に検査ウィンドウWPと位置的に対応
させながら走査させ、いずれかの走査位置において検査
ウィンドウWP、WM内に含まれる相対応する画素の値が
全て不一致のときに両検査データによって表わされる二
つのパターンに相違があると判定し、それ以外のときに
相違が無いと判定すればよい。このような検査ウィンド
ウを利用したパターンマッチング法によれば、初校及び
再校の読み取りの際の量子化誤差に起因する誤判定を防
止できるという利点がある。
又は全画素が"0"であるとは判定されなかった場合は、
ステップS24において、オブジェクト検査データDP
及びマスタ検査データDMによって表わされる二つのパ
ターンを比較照合する。そしてステップS26におい
て、これら二つのパターンに一定以上の相違があるか否
かを判定する。例えば、従来例2と同様に、検査ウィン
ドウを利用したパターンマッチング法により上記二つの
パターンを比較して相違の有無を判定すればよい。すな
わち、複数画素からなる検査ウィンドウ(例えば2×2
画素サイズのウィンドウ)WPを現検査ブロック内に走
査させると共に、同一サイズの検査ウィンドウWMを現
マスタブロック内に検査ウィンドウWPと位置的に対応
させながら走査させ、いずれかの走査位置において検査
ウィンドウWP、WM内に含まれる相対応する画素の値が
全て不一致のときに両検査データによって表わされる二
つのパターンに相違があると判定し、それ以外のときに
相違が無いと判定すればよい。このような検査ウィンド
ウを利用したパターンマッチング法によれば、初校及び
再校の読み取りの際の量子化誤差に起因する誤判定を防
止できるという利点がある。
【0035】ステップS26において相違があると判定
された場合は、揺すらせ範囲内において、マスタブロッ
クの選択の開始点であるマスタ基準ブロックから次第に
遠ざかるような順序で、1画素分ずれた他のマスタブロ
ックを現マスタブロックとして順次選択し、上記の処理
(ステップS18〜S26)を繰り返し実行する。この
ために、まずステップS28において、揺すらせ範囲内
で2次元的に1画素ずつ順次ずれた全てのマスタブロッ
クについて比較照合が行なわれたか否か、すなわちマス
タブロックのずらしが終了したか否かを判定し、マスタ
ブロックのずらしが終了していなければステップS30
へ進む。ステップS30では、次に比較照合の対象とす
べきマスタブロックを現マスタブロックとして揺すらせ
範囲内から選択し、その現マスタブロック分のデータを
マスタ検査データとしてマスタデータから抽出するため
に、その抽出の開始アドレスを1画素分だけ変更する。
その後、ステップS18へ戻って、変更後の開始アドレ
スに基づき新たにマスタ検査データDMを抽出する。そ
して、そのマスタ検査データDMを用いて、上記と同様
にして、現マスタブロック及び現検査ブロックにつき、
空白部分又はベタ部分であるか否かを判定し(ステップ
S22)、空白部分でもベタ部分でもないと判定される
とオブジェクトパターンとマスタパターンとを比較照合
する(ステップS24)。以下同様にして、現検査ブロ
ック及び現マスタブロックが空白部分でもベタ部分でも
なく(ステップS22参照)、かつ、現マスタブロック
及び現検査ブロックの二つのパターン間で相違ありと判
定される限り(ステップS26参照)、ステップS28
→S30→S18→S20→S22→S24→S26→
S28というループが繰り返し実行される。その結果、
揺すらせ範囲内で2次元的に1画素ずつ順次ずれた全て
のマスタブロックについて相違があると判定されれば、
ステップS34へ進み、現検査ブロックは相違部分であ
ると判定する。これは、再校において現検査ブロックに
対応する領域内で初校に対し変更が加えられていること
を意味する。ステップS34の実行後は、オブジェクト
パターンの次の検査ブロックについてマスタパターンと
一致するか否かを調べるために、ステップS36へ進
む。
された場合は、揺すらせ範囲内において、マスタブロッ
クの選択の開始点であるマスタ基準ブロックから次第に
遠ざかるような順序で、1画素分ずれた他のマスタブロ
ックを現マスタブロックとして順次選択し、上記の処理
(ステップS18〜S26)を繰り返し実行する。この
ために、まずステップS28において、揺すらせ範囲内
で2次元的に1画素ずつ順次ずれた全てのマスタブロッ
クについて比較照合が行なわれたか否か、すなわちマス
タブロックのずらしが終了したか否かを判定し、マスタ
ブロックのずらしが終了していなければステップS30
へ進む。ステップS30では、次に比較照合の対象とす
べきマスタブロックを現マスタブロックとして揺すらせ
範囲内から選択し、その現マスタブロック分のデータを
マスタ検査データとしてマスタデータから抽出するため
に、その抽出の開始アドレスを1画素分だけ変更する。
その後、ステップS18へ戻って、変更後の開始アドレ
スに基づき新たにマスタ検査データDMを抽出する。そ
して、そのマスタ検査データDMを用いて、上記と同様
にして、現マスタブロック及び現検査ブロックにつき、
空白部分又はベタ部分であるか否かを判定し(ステップ
S22)、空白部分でもベタ部分でもないと判定される
とオブジェクトパターンとマスタパターンとを比較照合
する(ステップS24)。以下同様にして、現検査ブロ
ック及び現マスタブロックが空白部分でもベタ部分でも
なく(ステップS22参照)、かつ、現マスタブロック
及び現検査ブロックの二つのパターン間で相違ありと判
定される限り(ステップS26参照)、ステップS28
→S30→S18→S20→S22→S24→S26→
S28というループが繰り返し実行される。その結果、
揺すらせ範囲内で2次元的に1画素ずつ順次ずれた全て
のマスタブロックについて相違があると判定されれば、
ステップS34へ進み、現検査ブロックは相違部分であ
ると判定する。これは、再校において現検査ブロックに
対応する領域内で初校に対し変更が加えられていること
を意味する。ステップS34の実行後は、オブジェクト
パターンの次の検査ブロックについてマスタパターンと
一致するか否かを調べるために、ステップS36へ進
む。
【0036】なお上記処理において、ステップS20及
びS22は各揺すらせ範囲内で最初に抽出されるマスタ
検査データDMに対してのみ実行し、各揺すらせ範囲内
で2回目以降に抽出されるマスタ検査データDMについ
てはステップS18の後にステップS24へ進むように
してもよい。
びS22は各揺すらせ範囲内で最初に抽出されるマスタ
検査データDMに対してのみ実行し、各揺すらせ範囲内
で2回目以降に抽出されるマスタ検査データDMについ
てはステップS18の後にステップS24へ進むように
してもよい。
【0037】ステップS26において現マスタブロック
と現検査ブロックの二つのパターン間で相違が無いと判
定されると、ステップS32へ進み、現検査ブロックは
一致部分であると判定する。これは、再校において現検
査ブロックに対応する領域内では初校に対し変更が無い
ことを意味する。ステップS32の実行後は、オブジェ
クトパターンの次の検査ブロックについてマスタパター
ンと一致するか否かを調べる。
と現検査ブロックの二つのパターン間で相違が無いと判
定されると、ステップS32へ進み、現検査ブロックは
一致部分であると判定する。これは、再校において現検
査ブロックに対応する領域内では初校に対し変更が無い
ことを意味する。ステップS32の実行後は、オブジェ
クトパターンの次の検査ブロックについてマスタパター
ンと一致するか否かを調べる。
【0038】このために、まず、ステップS36におい
て、オブジェクトパターンの全ての検査ブロックについ
てマスタパターンとの一致/不一致が調べられたか否
か、すなわち検査ブロックが終了したか否かを判定し、
検査ブロックが終了していなければステップS38へ進
む。ステップS38では、次にマスタパターンとの一致
/不一致を調べるべき検査ブロックを現検査ブロックと
して選択し、その現検査ブロック分のデータであるオブ
ジェクト検査データをオブジェクトデータから抽出する
ために、その抽出の開始アドレスを算出する。ここで、
一致/不一致を調べるべき検査ブロックは、例えば、ス
キャナ12による再校パターンの読み取りの際の走査順
に選択する。すなわち、読み取りの際の主走査方向に検
査ブロックを順次選択し、主走査ラインに対応する一つ
の検査ブロック列の選択が終了する毎に、選択すべき検
査ブロックの位置が副走査方向に1検査ブロック分だけ
移動する。
て、オブジェクトパターンの全ての検査ブロックについ
てマスタパターンとの一致/不一致が調べられたか否
か、すなわち検査ブロックが終了したか否かを判定し、
検査ブロックが終了していなければステップS38へ進
む。ステップS38では、次にマスタパターンとの一致
/不一致を調べるべき検査ブロックを現検査ブロックと
して選択し、その現検査ブロック分のデータであるオブ
ジェクト検査データをオブジェクトデータから抽出する
ために、その抽出の開始アドレスを算出する。ここで、
一致/不一致を調べるべき検査ブロックは、例えば、ス
キャナ12による再校パターンの読み取りの際の走査順
に選択する。すなわち、読み取りの際の主走査方向に検
査ブロックを順次選択し、主走査ラインに対応する一つ
の検査ブロック列の選択が終了する毎に、選択すべき検
査ブロックの位置が副走査方向に1検査ブロック分だけ
移動する。
【0039】ステップS38において開始アドレスが算
出されると、ステップS14へ戻って、この開始アドレ
スに基づき新たにオブジェクト検査データDPを抽出
し、そのオブジェクト検査データDPを用いて、上記と
同様にして、現検査ブロックについてオブジェクトパタ
ーンがマスタパターンと一致するか否かを調べる。以下
同様にして、オブジェクトパターンに未処理の検査ブロ
ックがある限り、ステップS36→S38→S14→…
…→S36というループが繰り返し実行され、ステップ
S36で検査ブロックが終了したと判定されると、本実
施例の相違検出処理が完了する。
出されると、ステップS14へ戻って、この開始アドレ
スに基づき新たにオブジェクト検査データDPを抽出
し、そのオブジェクト検査データDPを用いて、上記と
同様にして、現検査ブロックについてオブジェクトパタ
ーンがマスタパターンと一致するか否かを調べる。以下
同様にして、オブジェクトパターンに未処理の検査ブロ
ックがある限り、ステップS36→S38→S14→…
…→S36というループが繰り返し実行され、ステップ
S36で検査ブロックが終了したと判定されると、本実
施例の相違検出処理が完了する。
【0040】上記相違検出処理により相違ありと判定さ
れた検査ブロック(ステップS34参照)は初校と再校
との相違部分に相当し、この相違部分は、プリンタ14
に、オブジェクトパターン及びマスタパターンの双方の
色と異なる色で示される。作業者は、このような出力結
果を見て、初校に対して修正指示された箇所が正しく修
正されているか、また修正指示された箇所以外で変更さ
れた部分はないか、を確かめる。
れた検査ブロック(ステップS34参照)は初校と再校
との相違部分に相当し、この相違部分は、プリンタ14
に、オブジェクトパターン及びマスタパターンの双方の
色と異なる色で示される。作業者は、このような出力結
果を見て、初校に対して修正指示された箇所が正しく修
正されているか、また修正指示された箇所以外で変更さ
れた部分はないか、を確かめる。
【0041】[実施例の効果]上記実施例1によれば、
初校を示すオブジェクトパターンと再校を示すマスタパ
ターンとについて各検査ブロック毎の揺すらせ比較が逐
次的に行なわれるため(ステップS18〜S30)、並
列処理により揺すらせ比較を行なっていた従来例2のよ
うな大規模なハードウェアは不要である。また上記実施
例1によれば、検査ブロック及びそれに対応するマスタ
ブロックが共に空白部分又はベタ部分であれば、その検
査ブロックについては揺すらせ比較を行なうことなく一
致部分であると判定されるため(ステップS22、S3
2)、相違検出処理に要する時間を短縮することができ
る。
初校を示すオブジェクトパターンと再校を示すマスタパ
ターンとについて各検査ブロック毎の揺すらせ比較が逐
次的に行なわれるため(ステップS18〜S30)、並
列処理により揺すらせ比較を行なっていた従来例2のよ
うな大規模なハードウェアは不要である。また上記実施
例1によれば、検査ブロック及びそれに対応するマスタ
ブロックが共に空白部分又はベタ部分であれば、その検
査ブロックについては揺すらせ比較を行なうことなく一
致部分であると判定されるため(ステップS22、S3
2)、相違検出処理に要する時間を短縮することができ
る。
【0042】[他の実施例]以下、本発明の他の実施例
(以下「実施例2」という)であるパターン検査システ
ムについて説明する。このパターン検査システムは上記
実施例1と同一のハードウェア構成(図2参照)を有す
るが、相違検出処理の内容が実施例1と異なる。以下で
は、本実施例における相違検出処理について説明する。
(以下「実施例2」という)であるパターン検査システ
ムについて説明する。このパターン検査システムは上記
実施例1と同一のハードウェア構成(図2参照)を有す
るが、相違検出処理の内容が実施例1と異なる。以下で
は、本実施例における相違検出処理について説明する。
【0043】通常の校正では、初校における空白部分や
ベタ部分に再校において文字や絵柄が追加挿入される場
合は少ない。そこで本実施例では、初校を示すオブジェ
クトパターンの検査ブロックが空白部分又はベタ部分で
あれば、その検査ブロックについては初校と再校とは一
致すると判定し、マスタ検査データを抽出することな
く、したがってその検査ブロックについての揺すらせ比
較を行なうことなく、次の検査ブロックついての処理へ
移行する。
ベタ部分に再校において文字や絵柄が追加挿入される場
合は少ない。そこで本実施例では、初校を示すオブジェ
クトパターンの検査ブロックが空白部分又はベタ部分で
あれば、その検査ブロックについては初校と再校とは一
致すると判定し、マスタ検査データを抽出することな
く、したがってその検査ブロックについての揺すらせ比
較を行なうことなく、次の検査ブロックついての処理へ
移行する。
【0044】図4は、このような本実施例の相違検出処
理を示すフローチャートである。このフローチャートで
は、図1のフローチャートと同様に、修正前のパターン
を示す初校及び修正後のパターンを示す再校を読み取っ
て得られた二つの2値画像データを、それぞれオブジェ
クトパターンを表わすオブジェクトデータ及びマスタパ
ターンを表わすマスタデータとして記憶し(ステップS
50、S52)、その後、オブジェクトパターンの各検
査ブロック毎にマスタパターンと一致するか否かを調べ
る。
理を示すフローチャートである。このフローチャートで
は、図1のフローチャートと同様に、修正前のパターン
を示す初校及び修正後のパターンを示す再校を読み取っ
て得られた二つの2値画像データを、それぞれオブジェ
クトパターンを表わすオブジェクトデータ及びマスタパ
ターンを表わすマスタデータとして記憶し(ステップS
50、S52)、その後、オブジェクトパターンの各検
査ブロック毎にマスタパターンと一致するか否かを調べ
る。
【0045】このために、まず、ステップS54におい
て、オブジェクトデータから一つの検査ブロック分のデ
ータをオブジェクト検査データDPとして抽出した後、
ステップS56において、このオブジェクト検査データ
DPにおける"1"の画素の数及び"0"の画素の数を求め
る。
て、オブジェクトデータから一つの検査ブロック分のデ
ータをオブジェクト検査データDPとして抽出した後、
ステップS56において、このオブジェクト検査データ
DPにおける"1"の画素の数及び"0"の画素の数を求め
る。
【0046】次のステップS58では、抽出されたオブ
ジェクト検査データDPについて全画素が"1"又は全画
素が"0"であるか否かを判定する。ここで全画素が"1"
又は全画素が"0"であると判定されれば、現検査ブロッ
クは空白部分又はベタ部分であるため、ステップS70
へ進み、現検査ブロックは一致部分であると判定する。
その後、オブジェクトパターンの次の検査ブロックにつ
いてマスタパターンと一致するか否かを調べるために、
ステップS74へ進む。
ジェクト検査データDPについて全画素が"1"又は全画
素が"0"であるか否かを判定する。ここで全画素が"1"
又は全画素が"0"であると判定されれば、現検査ブロッ
クは空白部分又はベタ部分であるため、ステップS70
へ進み、現検査ブロックは一致部分であると判定する。
その後、オブジェクトパターンの次の検査ブロックにつ
いてマスタパターンと一致するか否かを調べるために、
ステップS74へ進む。
【0047】ステップS58において全画素が"1"又は
全画素が"0"であるとは判定されなかった場合は、実施
例1とは異なり、マスタ検査データDMにおける"1"の
画素の数や"0"の画素の数を求めて全画素が"1"又は全
画素が"0"であるか否かを判定するという処理(図1に
おけるステップS20、S22)を行なうことなく、現
検査ブロックについて揺すらせ比較を行なう(ステップ
S60〜S68)。この揺すらせ比較の具体的な手順は
実施例1と同様であり、揺すらせ範囲内で2次元的に1
画素ずつ順次ずれた全てのマスタブロックについて相違
があると判定されれば、ステップS72へ進み、現検査
ブロックは相違部分であると判定する。その後、オブジ
ェクトパターンの次の検査ブロックについてマスタパタ
ーンと一致するか否かを調べるために、ステップS74
へ進む。
全画素が"0"であるとは判定されなかった場合は、実施
例1とは異なり、マスタ検査データDMにおける"1"の
画素の数や"0"の画素の数を求めて全画素が"1"又は全
画素が"0"であるか否かを判定するという処理(図1に
おけるステップS20、S22)を行なうことなく、現
検査ブロックについて揺すらせ比較を行なう(ステップ
S60〜S68)。この揺すらせ比較の具体的な手順は
実施例1と同様であり、揺すらせ範囲内で2次元的に1
画素ずつ順次ずれた全てのマスタブロックについて相違
があると判定されれば、ステップS72へ進み、現検査
ブロックは相違部分であると判定する。その後、オブジ
ェクトパターンの次の検査ブロックについてマスタパタ
ーンと一致するか否かを調べるために、ステップS74
へ進む。
【0048】ステップS64において、現マスタブロッ
クと現検査ブロックの二つのパターン間で相違が無いと
判定されると、ステップS70へ進み、現検査ブロック
は一致部分であると判定する。その後、オブジェクトパ
ターンの次の検査ブロックについてマスタパターンと一
致するか否かを調べるために、ステップS74へ進む。
クと現検査ブロックの二つのパターン間で相違が無いと
判定されると、ステップS70へ進み、現検査ブロック
は一致部分であると判定する。その後、オブジェクトパ
ターンの次の検査ブロックについてマスタパターンと一
致するか否かを調べるために、ステップS74へ進む。
【0049】以下、オブジェクトパターンに未処理の検
査ブロックがある限り、ステップS74→S76→S5
4→……→S74というループが繰り返し実行され、ス
テップS74で検査ブロックが終了したと判定される
と、本実施例の相違検出処理が完了する。
査ブロックがある限り、ステップS74→S76→S5
4→……→S74というループが繰り返し実行され、ス
テップS74で検査ブロックが終了したと判定される
と、本実施例の相違検出処理が完了する。
【0050】以上のように本実施例によれば、検査ブロ
ックが空白部分又はベタ部分であれば、その検査ブロッ
クについては揺すらせ比較を行なうことなく、一致部分
であると判定されるため(ステップS58、S70)、
相違検出処理に要する時間を短縮することができる。ま
た、実施例1と同様、オブジェクトパターンの各検査ブ
ロック毎の揺すらせ処理が逐次的に行なわれるため、大
規模なハードウェアは不要である。
ックが空白部分又はベタ部分であれば、その検査ブロッ
クについては揺すらせ比較を行なうことなく、一致部分
であると判定されるため(ステップS58、S70)、
相違検出処理に要する時間を短縮することができる。ま
た、実施例1と同様、オブジェクトパターンの各検査ブ
ロック毎の揺すらせ処理が逐次的に行なわれるため、大
規模なハードウェアは不要である。
【0051】[変形例]上記実施例1及び実施例2で
は、オブジェクトデータ又はマスタデータから抽出され
た1ブロック分のデータについて全画素が"1"又は全画
素が"0"の場合に、そのブロックは空白部分又はベタ部
分であるとしているが(ステップS22、S58参
照)、全画素が"1"又は全画素が"0"でなくとも、"1"
の画素の割合又は"0"の画素の割合が100%に近い場
合には、そのブロックは空白部分又はベタ部分とみなす
ようにしてもよい。このようにすると、本来空白部分又
はベタ部分であるブロックが初校や再校の読み取りの際
の量子化誤差などによって空白部分又はベタ部分でない
と誤認されるのを防止することができる。
は、オブジェクトデータ又はマスタデータから抽出され
た1ブロック分のデータについて全画素が"1"又は全画
素が"0"の場合に、そのブロックは空白部分又はベタ部
分であるとしているが(ステップS22、S58参
照)、全画素が"1"又は全画素が"0"でなくとも、"1"
の画素の割合又は"0"の画素の割合が100%に近い場
合には、そのブロックは空白部分又はベタ部分とみなす
ようにしてもよい。このようにすると、本来空白部分又
はベタ部分であるブロックが初校や再校の読み取りの際
の量子化誤差などによって空白部分又はベタ部分でない
と誤認されるのを防止することができる。
【0052】
【発明の効果】本発明によれば、オブジェクトパターン
の各ブロック毎の揺すらせ比較が逐次的に行なわれるた
め、従来の揺すらせ比較よりも小規模のハードウェアで
二つのパターン間での相違部分を検出することができ
る。
の各ブロック毎の揺すらせ比較が逐次的に行なわれるた
め、従来の揺すらせ比較よりも小規模のハードウェアで
二つのパターン間での相違部分を検出することができ
る。
【0053】また、本発明に係る第1のパターン検査装
置及び方法ではオブジェクトパターンにおける1ブロッ
クの略全画素が"1"又は略全画素が"0"の場合に、本発
明に係る第2のパターン検査装置及び方法ではそれに加
えて位置的に対応するマスタパターンの1ブロックにつ
いても略全画素が"1"又は略全画素が"0"の場合に、オ
ブジェクトパターンのそのブロックは空白部分又はベタ
部分であるとして揺すらせ比較が省略される。これによ
り、二つの検査対象パターン全体を検査するのに要する
時間を短縮することができる。
置及び方法ではオブジェクトパターンにおける1ブロッ
クの略全画素が"1"又は略全画素が"0"の場合に、本発
明に係る第2のパターン検査装置及び方法ではそれに加
えて位置的に対応するマスタパターンの1ブロックにつ
いても略全画素が"1"又は略全画素が"0"の場合に、オ
ブジェクトパターンのそのブロックは空白部分又はベタ
部分であるとして揺すらせ比較が省略される。これによ
り、二つの検査対象パターン全体を検査するのに要する
時間を短縮することができる。
【図1】 本発明の一実施例であるパターン検査システ
ムにおける相違検出処理を示すフローチャート。
ムにおける相違検出処理を示すフローチャート。
【図2】 本発明の一実施例であるパターン検査システ
ムにおけるハードウェア構成を示す図。
ムにおけるハードウェア構成を示す図。
【図3】 検版作業における検査対象物のパターンの一
例を示す図。
例を示す図。
【図4】 本発明の他の実施例であるパターン検査シス
テムにおける相違検出処理を示すフローチャート。
テムにおける相違検出処理を示すフローチャート。
【図5】 揺すらせ比較法を概念的に示す図。
【図6】 オブジェクトパターンとマスタパターンとの
間における傾きを伴う位置ずれを示す図。
間における傾きを伴う位置ずれを示す図。
10…検査対象物(初校及び再校) 12…スキャナ 14…プリンタ 20…ホストコンピュータ 22…マウス
Claims (4)
- 【請求項1】 二つの検査対象パターンを照合し、該二
つの検査対象パターン間での相違部分を検出するパター
ン検査装置において、 a)前記二つの検査対象パターンを2次元的に走査して
画素毎に読み取ることにより、"1"と"0"の2種類の値
から成る二つの2値画像データを生成する画像入力手段
と、 b)画像入力手段によって生成された二つの2値画像デ
ータを、それぞれオブジェクトパターンを表わすオブジ
ェクトデータ及びマスタパターンを表わすマスタデータ
として記憶する画像記憶手段と、 c)オブジェクトパターンにおける複数画素から成るブ
ロックを単位として各ブロックに対応する画像データを
オブジェクトデータから順次抽出するオブジェクト抽出
手段と、 d)オブジェクト抽出手段によって1ブロック分の画像
データが抽出される毎に、該ブロックにおける"1"の画
素の数及び"0"の画素の数を求めるオブジェクト計数手
段と、 e)オブジェクト抽出手段によってブロック単位で抽出
される画像データに対し、マスタパターンにおいて該画
像データのブロックと位置的に対応するブロックを中心
ブロックとして2次元的に所定画素数だけ周辺に広げた
拡張ブロックを設定し、該拡張ブロック内で2次元的に
1画素ずつ順次ずれた各ブロックに対応する画像データ
をマスタデータから順次抽出するマスタ抽出手段と、 f)オブジェクトパターンの1ブロックに対してオブジ
ェクト計数手段によって求められた"1"の画素の数及
び"0"の画素の数に基づき、"1"の画素の割合又は"0"
の画素の割合が100%近傍の所定値よりも大きいか否
かを調べ、該所定値よりも大きい場合は、オブジェクト
パターンの前記ブロックは相違部分ではないと判定し
て、オブジェクト抽出手段に未抽出の1ブロック分の画
像データを次のブロックの画像データとして抽出させ、
該所定値以下の場合は、オブジェクトパターンの前記ブ
ロックに対応するマスタパターンの拡張ブロック内の各
ブロックの画像データの抽出をマスタ抽出手段に順次行
なわせる第1制御手段と、 g)オブジェクト抽出手段によってブロック単位で抽出
される画像データを、該画像データに対応してマスタ抽
出手段によって拡張ブロック内からブロック単位で順次
抽出される各画像データと比較し、比較される二つの画
像データによって表わされる二つのパターンが一致する
か否かを順次判定する照合手段と、 h)前記拡張ブロック内のいずれかのブロックについて
前記二つのパターンが一致すると照合手段によって判定
されると、マスタ抽出手段による該拡張ブロック内から
の画像データの抽出を中止するとともに、オブジェクト
抽出手段に次のブロックの画像データとして未抽出の1
ブロック分の画像データを抽出させる第2制御手段と、
を備えることを特徴とするパターン検査装置。 - 【請求項2】 請求項1に記載のパターン検査装置にお
いて、 マスタ抽出手段によって抽出された1ブロック分の画像
データに基づいて該ブロックにおける"1"の画素の数及
び"0"の画素の数を求めるマスタ計数手段を更に備え、 第1制御手段は、オブジェクトパターンの1ブロックに
おける"1"の画素の割合又は"0"の画素の割合が前記所
定値よりも大きい場合に、 i)オブジェクトパターンの該ブロックに対応するマス
タパターンの拡張ブロック内の各ブロックの画像データ
をマスタ抽出手段に順次抽出させ、 ii)該拡張ブロック内の1ブロックに対してマスタ計数
手段によって求められた"1"の画素の数及び"0"の画素
の数に基づき、"1"の画素の割合又は"0"の画素の割合
が100%近傍の所定値よりも大きいか否かを調べ、該
所定値よりも大きいときにのみ、オブジェクトパターン
の該ブロックは相違部分ではないと判定して、マスタ抽
出手段による該拡張ブロック内からの画像データの抽出
を中止するとともに、オブジェクト抽出手段に次のブロ
ックの画像データとして未抽出の1ブロック分の画像デ
ータを抽出させる、ことを特徴とするパターン検査装
置。 - 【請求項3】 二つの検査対象パターンを2次元的に走
査して画素毎に読み取ることにより、"1"と"0"の2種
類の値から成る二つの2値画像データを生成して、該二
つの2値画像データを、それぞれオブジェクトパターン
を表わすオブジェクトデータ及びマスタパターンを表わ
すマスタデータとして記憶し、 オブジェクトパターンにおける複数画素から成るブロッ
クを単位として各ブロックに対応する画像データをオブ
ジェクトデータから順次抽出し、 オブジェクトデータからブロック単位で抽出される画像
データに対し、マスタパターンにおいて該画像データの
ブロックと位置的に対応するブロックを中心ブロックと
して2次元的に所定画素数だけ周辺に広げた拡張ブロッ
クを設定して、該拡張ブロック内で2次元的に1画素ず
つ順次ずれた各ブロックに対応する画像データをマスタ
データから順次抽出し、 オブジェクトデータからブロック単位で抽出された画像
データを、該画像データに対応して前記拡張ブロック内
からブロック単位で順次抽出される各画像データと比較
し、比較される二つの画像データによって表わされる二
つのパターンが一致するか否かを順次判定する、という
処理により、ブロック単位で前記二つの検査対象パター
ンにおける相違部分を検出するパターン検査方法におい
て、 a)オブジェクトパターンにおける1ブロック分の画像
データがオブジェクトデータから抽出される毎に、該画
像データに基づいて"1"の画素の割合又は"0"の画素の
割合が100%近傍の所定値よりも大きいか否かを調
べ、 b)前記所定値よりも大きい場合に、オブジェクトパタ
ーンにおける前記ブロックは相違部分ではないと判定し
て、オブジェクパターンにおける次のブロックの画像デ
ータとして未抽出の1ブロック分の画像データをオブジ
ェクトデータから抽出し、 c)前記所定値以下である場合に、オブジェクトパター
ンにおける前記ブロックに対応するマスタパターンの拡
張ブロック内の各ブロックの画像データを前記比較の対
象の画像データとしてマスタデータから順次抽出する、
ことを特徴とするパターン検査方法。 - 【請求項4】 請求項3に記載のパターン検査方法にお
いて、 オブジェクトパターンの1ブロックにおける"1"の画素
の割合又は"0"の画素の割合が前記所定値よりも大きい
場合に、 i)オブジェクトパターンの該ブロックに対応するマス
タパターンの拡張ブロック内の各ブロックの画像データ
を順次抽出し、 ii)該拡張ブロック内の1ブロック分の画像データに基
づいて"1"の画素の割合又は"0"の画素の割合が100
%近傍の所定値よりも大きいか否かを調べ、該所定値よ
りも大きいときにのみ、オブジェクトパターンの該ブロ
ックは相違部分ではないと判定して、該拡張ブロック内
からの画像データの抽出を中止するとともに、オブジェ
クパターンにおける次のブロックの画像データとして未
抽出の1ブロック分の画像データをオブジェクトデータ
から抽出する、ことを特徴とするパターン検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3014995A JPH08201037A (ja) | 1995-01-25 | 1995-01-25 | パターン検査装置及び方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3014995A JPH08201037A (ja) | 1995-01-25 | 1995-01-25 | パターン検査装置及び方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08201037A true JPH08201037A (ja) | 1996-08-09 |
Family
ID=12295716
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3014995A Pending JPH08201037A (ja) | 1995-01-25 | 1995-01-25 | パターン検査装置及び方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08201037A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015099585A (ja) * | 2013-10-16 | 2015-05-28 | 富士ゼロックス株式会社 | 画像処理装置及び画像処理プログラム |
-
1995
- 1995-01-25 JP JP3014995A patent/JPH08201037A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015099585A (ja) * | 2013-10-16 | 2015-05-28 | 富士ゼロックス株式会社 | 画像処理装置及び画像処理プログラム |
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