JPH082134A - 印刷用凹版 - Google Patents
印刷用凹版Info
- Publication number
- JPH082134A JPH082134A JP14350194A JP14350194A JPH082134A JP H082134 A JPH082134 A JP H082134A JP 14350194 A JP14350194 A JP 14350194A JP 14350194 A JP14350194 A JP 14350194A JP H082134 A JPH082134 A JP H082134A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- etching
- printing
- intaglio
- recess
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/10—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
- H05K3/12—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
Landscapes
- Printing Plates And Materials Therefor (AREA)
Abstract
上面の傷や凹部のエッジ部の欠けを防ぎ、耐久性を向上
させる凹版を提供する。 【構成】 凹部2の内表面を含む基板1の表面に硬質の
保護膜3を形成した。
Description
ト印刷による精密印刷に適した印刷用凹版に関するもの
である。
算器、デジタル時計、テレビなどの電子機器に用いられ
る電子回路の回路基板や液晶カラーディスプレイのカラ
ーフィルターは、製造工程が少なく安価である印刷法を
用いて製造することが提案されている。その際、100
μmレベルの印刷精度が必要であるため、印刷パターン
の直線性が高くかつ微細な線幅や線間隔を再現すること
のできるグラビアオフセット印刷を使用する製造方法が
検討されている。
板の表面へのエッチングレジストの形成、エッチングレ
ジスト上への印刷パターンの形成、印刷パターンに対応
した部位のエッチングレジストの除去、エッチングによ
る印刷パターンの凹部の形成、エッチングレジストの除
去からなる。グラビアオフセット印刷は、凹版へのイン
キの充填、凹版からオフセットブランケットへのインキ
の転写、オフセットブランケットから被印刷体へのイン
キの転写の各工程からなる。このうち、インキの充填の
際には、図2に示すように、凹版表面の余分のインキ4
をドクター刃5でA方向にかき取りながら、凹部内6に
インキ4を充填する、いわゆるドクタリングがある。
イムガラスなどの軟質のガラスを用いた場合は、微細な
印刷パターンでも精度よくエッチングすることができ、
さらに、図3に示すように、凹部の底面7がフラットで
エッジ部が尖った、シャープな形状になる。しかし、基
板1が軟質であるために、ドクタリング時に、図4に示
すように、凹版の上面8に傷9が入ったり、図5に示す
ように、凹部10のエッジ部に欠け11が生じたりす
る。
ングレジストにクロム膜などの硬質の膜を用い、これを
エッチング後も除去せずに、図6に示すように、保護膜
12として用いた場合、ドクター刃が直接触れる凹版の
上面13は傷が生じにくくなるが、かえって凹部のエッ
ジ部14には欠けが生じやすくなる。一方、グラビアオ
フセット印刷用凹版の基板に軟鋼、銅、黄銅または石英
ガラスや低アルカリガラスなどの硬質ガラスを用いた場
合は、ドクタリング時に前述のような傷やエッジ部の欠
けが生じにくくなるが、微細なパターンを精度よくエッ
チングすることが困難になり、さらに図7に示すよう
に、凹部の断面は底面15が丸くなって、シャープさに
欠けた形状になり、さらに深さのばらつきも大きくな
る。
し、微細なパターンを精度よく印刷でき、かつドクタリ
ングによって傷や欠けが生じず、耐久性が向上した印刷
用凹版を提供することである。
めの本発明の印刷用凹版は、印刷パターンの凹部の内表
面を含む基板の表面に硬質の保護膜を形成したことを特
徴とするものである。図1は、本発明の印刷用凹版の一
例を示す断面図であり、基板1の表面には印刷パターン
の凹部2が形成されており、この凹部2の内表面を含む
基板1の表面は硬質の保護膜3で被膜されている。
ライムガラス、ステンレス、銅などが用いられる。ま
た、エッジ部がシャープで凹部の底面がフラットな凹部
を得るためには、前記の基板材料のうち、特にソーダラ
イムガラスなどの軟質ガラスを用いることが好ましい。
硬質の保護膜3としては、例えばクロム、アルミニウ
ム、チタン、モリブデン、銅、金などの金属膜、Ti
C、TiN、Al2 O3 、SiC、MoSi、Si
O2 、Si3 N4 、WCなどのセラミックス、ダイアモ
ンドなどが用いられる。この保護膜は、CVD(化学蒸
着)やPVD(物理蒸着)などによって形成することが
できる。保護膜は、非常に薄い膜から厚い膜まで任意の
厚さで形成できるが、ドクタリングに対する耐久性を向
上させるうえで、50A以上、好ましくは100〜1
0,000Aの厚みであればよい。
の材料から選ばれる基板1の表面にエッチングレジスト
を形成する。エッチングレジストの材料としては、エッ
チングの腐食液に対して十分な耐性を有することが必要
で、腐食液の種類に応じてクロム、ノボラック系の樹
脂、ワックス(電子部材用)などを基板の表面に、通常
は0.05〜0.5μmの厚みで蒸着あるいは塗布され
る。
ーの照射やフォトリソグラフィー法などによって印刷パ
ターンに対応した部位のレジストを除去し、基板表面に
印刷パターンを形成する。エッチングに使用する腐食液
は、通常、フッ酸を主成分とし、この他に硝酸、硫酸、
フッ化アンモニウムなどを含んだ混合水溶液などが用い
られる。腐食液の種類、腐食液の濃度、腐食時間、腐食
温度は、基板に形成する凹部の深さに応じて設定され
る。
トを除去し、凹部2の内表面を含む基板1の表面に前記
の材料から選ばれる硬質の保護膜3を形成する。
板の表面に硬質の保護膜が形成されているために、ドク
タリング時に凹版の上面の傷および凹部のエッジ部の欠
けが生じにくくなり、耐久性が向上する。また、基板と
して軟質のガラスを用いるときは、精度のよいエッチン
グや深さのばらつきが小さいエッチングが可能となり、
断面の形状がシャープな凹版を製造することができる。
クロム膜のエッチングレジストを形成し、このレジスト
上に100μm幅のストライプパターンである印刷パタ
ーンをレーザー光を用いて形成した。次いで、腐食液と
してpHを1〜2に調整したフッ酸と硫酸の混合水溶液
を用い、23℃に保った腐食液に前記の基板を10分間
浸してエッチングを行い、ストライプパターンの凹部
(幅125μm、深さ8μm)を形成した。さらに、基
板の表面からエッチングレジストを除去し、凹部の内表
面を含む基板の表面全体に厚さ50Aのクロム膜を保護
膜として蒸着し、凹版を得た。 実施例2 実施例1と同様にして、ソーダライムガラス基板の表面
全体にエッチングレジストを形成し、印刷パターンを形
成してからエッチングを行い、ついで、基板の表面から
エッチングレジストを除去した。さらに、凹部の内表面
を含む基板の表面全体に厚さ100Aのクロム膜を蒸着
し、凹版を得た。 実施例3 実施例1と同様にして、ソーダライムガラス基板の表面
全体にエッチングレジストを形成し、印刷パターンを形
成してからエッチングを行い、ついで、基板の表面から
エッチングレジストを除去した。さらに、凹部の内表面
を含む基板の表面全体に厚さ1000Aのクロム膜を蒸
着し、凹版を得た。 実施例4 実施例1と同様にして、ステンレス基板の表面全体にエ
ッチングレジストを形成し、印刷パターンを形成してか
らエッチングを行い、ついで、基板の表面からエッチン
グレジストを除去した。さらに、凹部の内表面を含む基
板の表面全体に厚さ1000Aのクロム膜を蒸着し、凹
版を得た。 実施例5 実施例1と同様にして、ソーダライムガラス基板の表面
全体にエッチングレジストを形成し、印刷パターンを形
成してからエッチングを行い、ついで、基板の表面から
エッチングレジストを除去した。さらに、凹部の内表面
を含む基板の表面全体に厚さ1000Aのアルミニウム
膜を蒸着し、凹版を得た。 実施例6 実施例1と同様にして、ソーダライムガラス基板の表面
全体にエッチングレジストを形成し、印刷パターンを形
成してからエッチングを行い、ついで、基板の表面から
エッチングレジストを除去した。さらに、凹部の内表面
を含む基板の表面全体に厚さ1000Aのチタン膜を蒸
着し、凹版を得た。 実施例7 実施例1と同様にして、ソーダライムガラス基板の表面
全体にエッチングレジストを形成し、印刷パターンを形
成してからエッチングを行い、ついで、基板の表面から
エッチングレジストを除去した。さらに、凹部の内表面
を含む基板の表面全体に厚さ1000AのTiC膜を蒸
着し、凹版を得た。 実施例8 実施例1と同様にして、ソーダライムガラス基板の表面
全体にエッチングレジストを形成し、印刷パターンを形
成してからエッチングを行い、ついで、基板の表面から
エッチングレジストを除去した。さらに、凹部の内表面
を含む基板の表面全体に厚さ1000AのAl2 O3 膜
を蒸着し、凹版を得た。 比較例1 実施例1と同様にして、ソーダライムガラス基板の表面
全体にエッチングレジストを形成し、印刷パターンを形
成してからエッチングした。エッチング後、基板の表面
からエッチングレジストを除去して凹版を得た。 比較例2 実施例1と同様にして、ソーダライムガラス基板の表面
全体にエッチングレジストを形成し、印刷パターンを形
成してからエッチングした。エッチング後、エッチング
レジストを除去せずに凹版を得た。 比較例3 実施例1と同様にして、ステンレス基板の表面全体にエ
ッチングレジストを形成し、印刷パターンを形成してか
らエッチングした。エッチング後、基板の表面からエッ
チングレジストを除去して凹版を得た。 比較例4 実施例1と同様にして、石英ガラス基板の表面全体にエ
ッチングレジストを形成し、印刷パターンを形成してか
らエッチングした。エッチング後、基板の表面からエッ
チングレジストを除去して凹版を得た。 比較例5 実施例1と同様にして、低アルカリガラス基板の表面全
体にエッチングレジストを形成し、印刷パターンを形成
してからエッチングした。エッチング後、基板の表面か
らエッチングレジストを除去して凹版を得た。
版の耐久性を調べるためにドクタリング試験を行った。
この試験のドクター刃にはスウェーデン鋼を用い、合計
10000回のドクタリングのうち、100回毎に凹版
の上面の傷および凹部のエッジ部の欠けを調べた。その
結果を実験条件とともに表1に示す。
グの回数 状況:「傷」とは凹版の上面の傷を意味する。(図4) 「欠け」とは凹部のエッジ部の欠けを意味する。(図
5) 「なし」とは10000回のドクタリング後も目立った
損傷がないことを意味する。
の厚みが100A以上の場合(実施例2〜8)は、凹版
の断面形状が良好で、10000回のドクタリングを行
なっても凹版の損傷が見られなかった。一方、保護膜の
厚みが50Aである場合(実施例1)は、ドクタリング
回数が500回において、凹版の上面に傷を生じた。し
かし、比較例1〜3の損傷発生回数と比較すると、凹版
の耐久性が大きく向上していることがわかる。
板の表面全体に硬質の保護膜を形成したため、ドクタリ
ングによる凹版の上面の傷や凹部のエッジの欠けの発生
を防止することができる。このため、凹版の耐久性が向
上し、微細なパターンの大量印刷に適する。
質ガラス材料を用いたために、精度のよいエッチングや
深さのばらつきの小さいエッチングが可能になり、シャ
ープな断面形状をもった凹版が製造できる。このため、
微細な線幅や線間隔をもつ印刷パターンを精度よくエッ
チングでき、従ってシャープなエッジからのインキ層の
転写がスムーズで、印刷においてパターンを精密に再現
することができる。
グラビアオフセット印刷法による電子回路やカラーフィ
ルターなどの微細なパターンの印刷に特に好適に使用で
き、その工業的価値は極めて高い。
る。
模式図である。
面図である。
視図である。
破断斜視図である。
断面図である。
る。
Claims (2)
- 【請求項1】印刷パターンの凹部の内表面を含む基板の
表面に硬質の保護膜を形成したことを特徴とする印刷用
凹版。 - 【請求項2】基板が軟質ガラス材料からなる請求項1記
載の印刷用凹版。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14350194A JP3467317B2 (ja) | 1994-06-24 | 1994-06-24 | 印刷用凹版 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14350194A JP3467317B2 (ja) | 1994-06-24 | 1994-06-24 | 印刷用凹版 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH082134A true JPH082134A (ja) | 1996-01-09 |
| JP3467317B2 JP3467317B2 (ja) | 2003-11-17 |
Family
ID=15340197
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14350194A Expired - Fee Related JP3467317B2 (ja) | 1994-06-24 | 1994-06-24 | 印刷用凹版 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3467317B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007132734A1 (ja) * | 2006-05-11 | 2007-11-22 | Think Laboratory Co., Ltd. | グラビア製版ロール及びその製造方法 |
| JPWO2007013333A1 (ja) * | 2005-07-25 | 2009-02-05 | 株式会社シンク・ラボラトリー | グラビア製版ロール及びその製造方法 |
| JP2009045817A (ja) * | 2007-08-20 | 2009-03-05 | Shineisha:Kk | 凹版および凹版の製造方法 |
| JPWO2007132755A1 (ja) * | 2006-05-16 | 2009-09-24 | 株式会社シンク・ラボラトリー | グラビア製版ロール及びその製造方法 |
| JP2021041635A (ja) * | 2019-09-12 | 2021-03-18 | 株式会社小森コーポレーション | 印刷用ガラス凹版 |
-
1994
- 1994-06-24 JP JP14350194A patent/JP3467317B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2007013333A1 (ja) * | 2005-07-25 | 2009-02-05 | 株式会社シンク・ラボラトリー | グラビア製版ロール及びその製造方法 |
| WO2007132734A1 (ja) * | 2006-05-11 | 2007-11-22 | Think Laboratory Co., Ltd. | グラビア製版ロール及びその製造方法 |
| JPWO2007132734A1 (ja) * | 2006-05-11 | 2009-09-24 | 株式会社シンク・ラボラトリー | グラビア製版ロール及びその製造方法 |
| JPWO2007132755A1 (ja) * | 2006-05-16 | 2009-09-24 | 株式会社シンク・ラボラトリー | グラビア製版ロール及びその製造方法 |
| JP2009045817A (ja) * | 2007-08-20 | 2009-03-05 | Shineisha:Kk | 凹版および凹版の製造方法 |
| JP2021041635A (ja) * | 2019-09-12 | 2021-03-18 | 株式会社小森コーポレーション | 印刷用ガラス凹版 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3467317B2 (ja) | 2003-11-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6363896B2 (ja) | ||
| CN101900932B (zh) | 多色调光掩模、多色调光掩模制造方法以及图案转印方法 | |
| KR20170113083A (ko) | 위상 시프트 마스크 블랭크, 위상 시프트 마스크 및 표시 장치의 제조 방법 | |
| KR101679034B1 (ko) | 에칭 방법, 마스크, 기능 부품 및 기능 부품의 제조 방법 | |
| JP3467317B2 (ja) | 印刷用凹版 | |
| EP0049799B1 (en) | Photomask blank and photomask | |
| JP4918765B2 (ja) | 凹版の製造方法および印刷方法 | |
| JP2002060927A (ja) | 薄膜パターン成膜用マスク | |
| JP3474927B2 (ja) | 印刷用凹版の製造方法 | |
| JP2502852B2 (ja) | 凹版およびその製造方法 | |
| JP5161419B2 (ja) | グレートーンマスクブランク及びグレートーンマスクの製造方法 | |
| CN110196530A (zh) | 相移掩模坯料、相移掩模的制造方法、及显示装置的制造方法 | |
| JP3250973B2 (ja) | ハーフトーン型位相シフトマスクブランク及びハーフトーン型位相シフトマスク | |
| US20090050007A1 (en) | Intaglio plate and method for fabricating the same | |
| JP2001277567A (ja) | グレーズド基板及びその製造方法 | |
| JPH054464A (ja) | 微細パターン印刷用の凹版印刷版の製造方法 | |
| JPH07253660A (ja) | 印刷用ガラス凹版の製造方法 | |
| JPS646449B2 (ja) | ||
| JPH05510A (ja) | オリフイスプレートの製造方法 | |
| JPH07319152A (ja) | ガラス系脆性基体印刷凹版の作製方法 | |
| KR101477299B1 (ko) | 그라비아 오프셋 인쇄장치용 요판 및 이의 제조방법 | |
| JPS6352374B2 (ja) | ||
| JP3404293B2 (ja) | 圧電素子の製造方法 | |
| JPS6221629B2 (ja) | ||
| JPH05185576A (ja) | 平凹版 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 5 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080829 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 5 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080829 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090829 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090829 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100829 Year of fee payment: 7 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |